JPH0548297U - クリーンルーム用除電器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 除電器本体がフィルタユニットの空気吹出し
面から突出しないようにして、清浄作用の低下を防止
し、除電器の除電能力の低下を防止するとともに、微細
塵の付着を抑止する。 【構成】 クリーンルーム用除電器１０の除電器本体１
１に、固定具１７を介してフィルタユニット１を支承面
１６に支承する支持部１３を設け、該除電器本体１１の
室内側面１１ａとフィルタユニット１のフィルタ２の空
気吹出し面１ａとが略面一になるようにする。これによ
り、フィルタ２からの空気流Ｑは除電器側へも拡散して
いくが、空気流が除電器本体１１に衝突しないので、乱
流になる事態がなくなる。また、放電電極１２近傍で乱
流が生じないことから、放電電極１２から発生する多数
の空気イオンが再結合しにくくなる。更に、除電器本体
１１が突出しないので、塵の付着が防止される。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体製造工場のクリーンルーム等において用いられる静電気除去 用のクリーンルーム用除電器に関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、クリーンルームにおいては、図３に示すように、例えば、ダウンフロ ー型のクリーンルームで説明すると、天井にフィルターユニット１を所定間隔に 列設し、フィルターユニットの後部に設けられたファン（図示せず）で、天井側 のダクトの空気をフィルターユニットのフィルタ２に送給し、室内３に清浄空気 を吹出すようにしている。そして、室内に放出された空気は、格子状の床４（グ レーティング）を経てリターンエア５となり、再び、ファンによりフィルタ２に 送給されて循環させられる。

【０００３】 このような、クリーンルームにおいては、一般に、除電器が設けられている。 このクリーンルーム用除電器は、空気中を浮遊する微小なダストが静電気の帯電 している物に付着しやすいという点に着目し、室内空気をイオン化して帯電物の 静電気を除去することによりダストの付着率を低下させるものである。

【０００４】 従来、クリーンルーム用除電器は、例えば、図４に示すように、棒状の一対の 放電電極５を断面かまぼこ型に形成したプラスチック製の除電器本体６に突出さ せて保持したもので、この一対の放電電極５に正負の電圧をそれぞれ印加し、正 負イオンを連続的に発生させるようにしている。

【０００５】 上述したフィルタユニット１は、例えば、図４に示すように、枠体７にフィル タ２を嵌挿させており、天井に支持棒８を介して吊下された支持板９上に上記枠 体７を支承することにより、天井に取付けられている。また、クリーンルーム用 除電器は、支持棒８を介して天井に吊下された支持板９の室内側面に、該除電器 本体６の底部を固定させて取付けられている。なお、符号９ａはフィルタに対向 して設けられ空気が通過可能なパンチング板である。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、この従来のクリーンルーム用除電器の取付けにあっては、天井に支 持棒８を介して吊下されフィルタユニット１を支承した支持板９の室内側面に除 電器本体６の底部を取付けているので、除電器本体６がフィルタユニット１の空 気吹出し面１ａから室内側に突出して段差ができてしまい、そのため、吹出した 清浄空気流が除電器本体６に当たって乱れ、局部的に乱流が生じ、この乱流によ り室内の清浄作用が低下するという問題があった。

【０００７】 また、放電電極５から多数の空気イオン（正イオン及び負イオン）が発生され るが、乱流のために、イオンの再結合が生じ、除電能力が低下するという問題が あった。また、突出した除電器本体６に空気中の微細な浮遊塵や放電電極の放電 による微細な分解塵等が付着し易くなり、一度付着が始まるとこれが連鎖的に生 長してかたまりになってしまい、ついには落下してしまうことがあり、この落下 塵が悪影響を及ぼすことがあるという問題があった。

【０００８】 そこで、本考案の課題は、除電器本体がフィルタユニットの空気吹出し面から 突出しないようにして、清浄作用の低下を防止し、除電器の除電能力の低下を防 止するとともに、微細塵の付着を抑止する点にある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

このような課題を解決するため本考案は、クリーンルームの天井に空気が通過 するフィルタユニットとともに設けられるクリーンルーム用除電器において、除 電器本体に、該除電器本体の室内側面と上記フィルタユニットの空気吹出し面と が略面一になるように該フィルタユニットを支持する支持部を設けたものである 。

【００１０】

【作用】

このように構成されたクリーンルーム用除電器によれば、このクリーンルーム 用除電器及びフィルタユニットの使用時には、フィルタユニットから清浄空気が 室内に吹き出されるとともに、除電器の放電電極の先端部でコロナ放電が行なわ れ空気がイオン化されていく。この場合、フィルタから室内に吹き出される空気 流は除電器側へも拡散していくが、除電器本体の室内側面とフィルタユニットの 空気吹出し面とが面一になっているので、空気流が除電器本体に衝突して乱流に なる事態がなくなる。また、放電電極近傍で乱流が生じないことから、放電電極 から発生する多数の空気イオンが再結合しにくくなる。更に、除電器本体が突出 しないので、塵の付着が防止される。

【００１１】

【実施例】

以下、本考案の実施例に係るクリーンルーム用除電器を図面を参照して説明す る。クリーンルーム用除電器は、クリーンルームの天井に空気が通過するフィル タユニットとともに設けられる。

【００１２】 図１は第一の実施例に係るクリーンルーム用除電器を、フィルタユニットの取 付け状態とともに示す断面図である。上記と同様、フィルタユニット１は、枠体 ７に嵌挿されたフィルタ２と、フィルタ２の後部に設けられたファン（図示せず ）を覆うカバー７ａとを備えて構成されている。

【００１３】 第一の実施例に係るクリーンルーム用除電器１０は、除電器本体１１と、正負 の電圧がそれぞれ印加される一対あるいは複数対の放電電極１２（イオンエミッ タ）とを備えている。除電器本体１１は、断面略矩形のプラスチック製の直状部 材であり、その室内側面１１ａは平面状に形成されている。また、放電電極１２ は、その先端部が除電器本体１１の室内側面１１ａから突出するように除電器本 体１１に差し込み保持されているとともに、長手方向に沿って列設されている（ 図では一個表わしてある）。

【００１４】 １３は支持部であって、除電器本体１１の室内側面１１ａと上記フィルタユニ ット１のフィルタ２の空気吹出し面１ａとが面一になるように該フィルタユニッ ト１を支持するものである。支持部１３は、両側から除電器本体１１を挾持する 一対の保持部材１４で構成され、両保持部材１４の側面がフィルタユニット１の 枠体７が接する接面１５として形成されているとともに、両保持部材１４の上面 がフィルタユニット１を固定具１７を介して支承する支承面１６として形成され ている。固定具１７は枠体７上部に沿って設けられる断面Ｌ字形の部材であり、 枠体７から外側に突出し上記支持部１３の支承面１６に支承される被支承部１７ ａを備えている。この固定具１７は、フィルタユニット１のカバー７ａ外側にボ ルト１９固定された取付け金具１８にボルト２０，ナット２１によって固定され ている。

【００１５】 また、一対の保持部材１４の上部内側には、長手方向に沿って互いに対向し、 天井に支持棒２２を介して吊下された支持板２３が嵌合する溝２４が設けられて いる。そして、保持部材１４は支持板２３及び支持棒２２を介して天井に吊下さ れる。

【００１６】 従って、この第一の実施例に係るクリーンルーム用除電器１０及びフィルタユ ニット１を天井に取付けるときは、クリーンルーム用除電器１０の保持部材１４ の溝２４に支持板２３を嵌合させて、支持棒２２を天井に取付け、クリーンルー ム用除電器１０を吊下するとともに、クリーンルーム用除電器１０の支持部１３ の支承面１６にフィルタユニット１に取付けた固定具１７を支承し、フィルタユ ニット１をクリーンルーム用除電器１０に隣接させて設置する。この状態では、 除電器本体１１の室内側面１１ａとフィルタユニット１のフィルタ２の空気吹出 し面１ａとが面一になる。

【００１７】 また、このクリーンルーム用除電器１０及びフィルタユニット１の使用時には 、フィルタユニット１のファンの駆動によってフィルタ２から清浄空気が室内に 吹き出されるとともに、除電器の放電電極１２の先端部でコロナ放電が行なわれ 、この先端部付近の空気がイオン化されていく。

【００１８】 この場合、フィルタ２から室内に吹き出される空気流Ｑは除電器側へも拡散し ていくが、除電器本体１１の室内側面１１ａとフィルタユニット１の空気吹出し 面１ａとが面一になっているので、空気流が除電器本体１１に衝突して乱流にな る現象がなく、それだけ、清浄作用が低下する事態がなくなる。

【００１９】 また、放電電極１２近傍で乱流が生じないことから、放電電極１２から発生す る多数の空気イオン（正イオン及び負イオン）が、再結合しにくくなり、除電能 力が低下する事態が防止される。更に、除電器本体１１の室内側面１１ａとフィ ルタユニット１の空気吹出し面１ａとが面一になっているので、除電器本体１１ に空気中の微細な浮遊塵や放電電極１２の放電による微細な分解塵等が付着しに くくなり、そのため、付着塵が生長して落下してしまう事態が防止される。

【００２０】 図２は第二の実施例に係るクリーンルーム用除電器３０を、フィルタユニット １の取付け状態とともに示す断面図である。フィルタユニット１は、上記と同様 に枠体７にフィルタ２を嵌挿してある。

【００２１】 第二の実施例に係るクリーンルーム用除電器３０は、上記と同様に、正負の電 圧がそれぞれ印加される一対あるいは複数対の放電電極３２を、断面略矩形のプ ラスチック製除電器本体３１に差し込み保持している。

【００２２】 ３３は支持部材であって、除電器本体３１の室内側面３１ａと上記フィルタユ ニット１のフィルタ２の空気吹出し面１ａとが略面一になるように該フィルタユ ニット１を支持するものである。この支持部３３は、除電器本体３１をその室内 側面３１ａを露出させて保持する断面コ字状の保持部材３４を備えている。この 保持部材３４の下端部両側には、室内側面３１ａと面一に突出しフィルタユニッ ト１の枠体７を支承する支承部３５が一体形成されている。

【００２３】 また、保持部材３４の上部には、天井に支持棒３６を介して吊下された連結具 ３７が係合する係合部３８が設けられている。支持棒３６は雄ネジになっており 、一対のナット３９により連結具３７を締め付け保持している。そして、保持部 材３４は連結具３７及び支持棒３６を介して天井に吊下される。

【００２４】 従って、この第二の実施例に係るクリーンルーム用除電器３０及びフィルタユ ニット１を天井に取付けるときは、クリーンルーム用除電器３０の保持部材３４ の係合部３８に連結具３７を係合させて、支持棒３６を天井に取付け、クリーン ルーム用除電器３０を吊下するとともに、クリーンルーム用除電器３０の支持部 ３３の支承部３５にフィルタユニット１の枠体７を支承し、フィルタユニット１ をクリーンルーム用除電器３０に隣接させて設置する。この状態では、除電器本 体３１の室内側面３１ａとフィルタユニット１のフィルタ２の空気吹出し面１ａ とが略面一になる。

【００２５】 そのため、このクリーンルーム用除電器３０及びフィルタユニット１の使用時 には、上記と同様に、空気流Ｑが除電器本体３１に衝突して乱流になる現象がな く、それだけ、清浄作用が低下する事態がなくなる。また、乱流が生じないこと から、空気イオンの再結合が抑止されるとともに、除電器本体３１への付着塵の 発生も防止される。

【００２６】 なお、上記実施例において、支持部１３，３３の構造は上述したあものに限ら れるものではなく、適宜変更して良い。また、フィルタユニット１の構成も上述 したものに限られない。更に、除電器においては、放電電極に正負の電圧をそれ ぞれ印加して正負イオンを連続的に発生させる方法、印加する電圧をパルス状に して正負のイオン群を交互に発生させる方法等各種の方法を用いて良い。

【００２７】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案のクリーンルーム用除電器によれば、除電器本体 がフィルタユニットの空気吹出し面から突出しないので、フィルタユニットから 吹き出される空気流が除電器本体に衝突して乱流になる現象がなく、それだけ、 空気流による清浄作用の低下を防止することができる。

【００２８】 また、放電電極近傍で乱流が生じないことから、放電電極から発生する多数の 空気イオンが再結合しにくくなり、それだけ、除電能力を向上させることができ る。

【００２９】 更に、除電器本体がフィルタユニットの空気吹出し面から突出しないことから 、除電器本体に空気中の微細な浮遊塵や放電電極の放電による微細な分解塵等が 付着しにくくなり、そのため、付着塵が生長して落下してしまう事態を防止でき 、それだけ、クリーンルームの清浄度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第一の実施例に係るクリーンルーム用
除電器をその取付け及びフィルタユニットの取付け状態
とともに示す示す断面図である。

【図２】本考案の第二の実施例に係るクリーンルーム用
除電器をその取付け及びフィルタユニットの取付け状態
とともに示す示す断面図である。

【図３】本考案の実施例に係るクリーンルーム用除電器
が設けられるクリーンルームの空気の流れの概略を示す
断面図である。

【図４】従来のクリーンルーム用除電器の一例をその取
付け及びフィルタユニットの取付け状態とともに示す示
す断面図である。

【符号の説明】

１ フィルタユニット １ａ 空気吹出し面 ２ フィルタ ７ 枠体 １０ クリーンルーム用除電器 １１ 除電器本体 １２ 放電電極 １３ 支持部 １６ 支承面 １７ 固定具 ３０ クリーンルーム用除電器 ３１ 除電器本体 ３２ 放電電極 ３３ 支持部 ３５ 支承部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルームの天井に空気が通過する
   フィルタユニットとともに設けられるクリーンルーム用
   除電器において、除電器本体に、該除電器本体の室内側
   面と上記フィルタユニットの空気吹出し面とが略面一に
   なるように該フィルタユニットを支持する支持部を設け
   たことを特徴とするクリーンルーム用除電器。