JPH022463Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 【考案の属する技術分野】

この考案は、精密機器、部品などに塵埃等が付
着するのを防止するために室内を高清浄度とした
クリーンルームの出入口通路に設置し、ここを通
過する作業員ないし機器などの物体の表面に付着
している塵埃粒子を払い落として除去するエアシ
ヤワー装置に関する。

【従来技術とその問題点】 この種のエアシヤワー装置は、一般に高清浄度
に維持されるクリーンルームの室内へ外部から入
室する物体（作業員、機器等）に清浄な空気のジ
エツト気流を吹き付けることにより、物体の表面
に付着している塵埃粒子を払い落として除去する
ように構成されたものである。また物体に付着し
た帯電粒子に対しては、その帯電粒子の電荷を中
和して塵埃の除去性能を高めるために、ジエツト
気流の空気分子を正、負にイオン化させる機能を
併せ持つたエアシヤワー装置が採用されている。 ここで上記したエアシヤワー装置の従来構成を
第４図に示す。第４図において、１は図示されて
ないクリーンルームに通じるエアシヤワー装置の
通路であり、この通路１を仕切る左右の仕切壁２
の少なくとも一方には位置を変えて気流吹出し口
３が分散開口され、またこの気流吹出し口３の設
けられた仕切壁の背後側に送風機室４が画成さ
れ、ここに送風機５、フイルタ６、およびイオン
化機構７が配備されている。かかる構成で通路１
内に例えば作業員などの物体８が室外から入る
と、これを検知して送風機５が運転開始される。
これにより点線矢印で示すように送風機５が吸い
込んだ空気をフイルタ６、イオン化機構７を経由
して送風し、イオン化された清浄空気のジエツト
気流を気流吹出し口３を通じて通路内に吹出して
物体８に吹付ける。 ところで上記した従来の構成では、イオン化機
構７は送風機室４内における通風径路の途中に配
備されたフイルタ６の出口側に隣接してその通風
域全面をカバーするように構成配置されている。
その詳細構造は第５図のごとくであり、イオン化
機構７は針状電極を備えた高圧電極７ａとアース
電極７ｂとを交互に配列し、この両電極間に高電
圧を電源７ｃから供給することにより電極間を通
過する空気流にコロナ放電を発生して空気をイオ
ン化させるような原理で構成されている。 しかして上記従来の構成では次記のような欠点
がある。すなわち (1) イオン化機構７がフイルタ６の全面域をカバ
ーしているために、イオン化機構が極めて大形
な構造となり製作設備費が高価となる。 (2) イオン化機構７から気流吹出し口３に至る通
風径路の距離が長く、この径路を空気流が通流
する間にイオンの再結合が生じて空気流のイオ
ン濃度が減衰されるために物体８に付着してい
る帯電粒子の電荷中和能力が低下し、それだけ
塵埃除去の性能、効率が低くなる。 (3) イオン化機構７が送風機室４内に設置されて
いるために、比較的頻繁な保手点検を必要とす
るイオン化機構のメインテナンス作業を行う際
にはイオン化機構を外部に引き出すための予備
作業に手間が掛かる。

【考案の目的】

この考案は上記の点にかんがみなされたもので
あり、従来装置の欠点を除去してより高性能で、
かつメインテナンス性、経済性にも優れたエアシ
ヤワー装置を提供することを目的とする。

【考案の要点】

上記目的を達成するために、この考案は通路の
仕切壁に分散して開口された各気流吹出し口ごと
に、その吹出し口の背後に臨ませて空気のイオン
化機構を配備して構成し、送風機を経由して気流
吹出し口まで送風されてきた空気流を通路内への
吹出し直前までイオン化することにより、高イオ
ン濃度を維持したまま通路内へジエツト気流を吹
き出すようにしたものである。 かかる基本構成によりイオン化機構から物体ま
での通風径路の距離が短縮されるので気流中のイ
オン濃度の減衰を低く抑えることができ、それだ
け帯電粒子の払い落とし性能を高く維持できる。
またイオン化機構を気流吹出し口の構成部材と一
体に組立ておくことにより、イオン化機構の保守
点検時には気流吹出し口から容易に外部へ取り出
すことができてそのメインテナンス性を改善でき
る利点が得られることになる。

【考案の実施例】

第１図はこの考案の実施例の全体構成図、第２
図、第３図は第１図における要部の詳細構造図で
あり、第４図、第５図と同一ないし等価な部材に
は同じ符号が付してある。すなわち図示実施例の
構成によれば、通路１を仕切る仕切壁２に開口す
る各気流吹出し口３ごとに、その吹出し口の背後
に臨んでそれぞれイオン化機構７が分割して配備
されている。その詳細構造は第２図、第３図に示
すごとくであり、気流吹出し口３に設置してここ
から吹き出すジエツト気流の吹出し方向を自由に
変更できるパンカールーバーとしてなるジエツト
気流噴出ノズル９の取付金具１０の背面側に取付
けて一体に組立構成されている。したがつてこの
構成により、イオン化機構の保守点検に際して前
記の取付金具１０を通路側から取り外すことによ
り、同時にイオン化機構７を一緒に引き出せるこ
とになる。 かかる構成における動作は第４図と同様であ
り、通路１内に室外から物体が入るとこれを検知
して送風機５が始動し、空気は送風機からフイル
タ６、イオン化機構７を経由して気流吹出し口３
より通路内にジエツト気流として吹き出す。しか
してこの場合にイオン化機構７は気流吹出し口３
の直前に設置されており、したがつてここでイオ
ン化された空気流は高イオン濃度を保つたまま物
体８に吹付けられることになる。かかる点に関し
て考案者の行つた実験結果によれば、気流吹出し
口から吹き出す空気流のイオン濃度を同じ値とし
て、第４図の従来方式と比べてイオン化機構を約
10分の１に小形化できることが確認されている。

【考案の効果】

以上述べたようにこの考案によれば、通路を仕
切る仕切壁に分散開口する各気流吹出し口ごと
に、その吹出し口の背後に臨ませて空気のイオン
化機構を配備して構成したことにより、まず各イ
オン化機構は空気流が絞られる小さい面積に対応
した小形のものでよく、したがつて製作費が安価
で済みかつ空気流のイオン化も効率的に行われ
る。またイオン化機構と気流吹出し口との間の通
風径路の距離も従来方式と比べて大幅に短縮され
るので物体表面に到達するジエツト気流のイオン
濃度の減衰をより低く抑えることができ、それだ
け物体に付着している帯電粒子の電荷中和、すな
わち付着粒子の払い落とし能力が相対的に向上す
る。さらに加えてイオン化機構の保守点検時に
は、気流吹出し口を通じて通路側からイオン化機
構を容易に取り外すことが可能となり、そのメイ
ンテナンス性の改善が図れる等の利点も得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例に係るエアシヤワー
装置の全体構成を示す縦断面図、第２図は第１図
における要部の詳細構造を示す拡大平面図、第３
図は第２図における矢示−断面図、第４図は
従来におけるエアシヤワー装置の構成断面図、第
５図は第４図におけるイオン化機構の構成斜視図
である。 図において、１……通路、２……仕切壁、３…
…気流吹出し口、４……送風機室、５……送風機
機、６……フイルタ、７……イオン化機構、７ａ
……高圧電極、７ｂ……アース電極、７ｃ……高
圧電源、８……物体、９……ジエツト気流噴出ノ
ズル、１０……ノズル取付金具。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 通路を仕切る壁面に気流吹出し口を分散して
   開口し、該気流吹出し口を通じて仕切壁の背後
   側からイオン化された清浄空気を通路内を通過
   する物体に向けて吹き付け送風することによ
   り、物体の表面に付着している塵埃を払い落と
   して清浄化するエアシヤワー装置において、前
   記の各気流吹出し口ごとにその吹出し口の背後
   に臨ませて空気のイオン化機構を配備して構成
   したことを特徴とするエアシヤワー装置。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項記載のエアシ
   ヤワー装置において、イオン化機構が各気流吹
   出し口に対応して取り外し可能に設置された気
   流噴出ノズルの取付金具へ一体に支持して構成
   されていることを特徴とするエアシヤワー装
   置。