JP2543721Y2 - 波形測定装置 - Google Patents

波形測定装置

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JP2543721Y2
JP2543721Y2 JP6530390U JP6530390U JP2543721Y2 JP 2543721 Y2 JP2543721 Y2 JP 2543721Y2 JP 6530390 U JP6530390 U JP 6530390U JP 6530390 U JP6530390 U JP 6530390U JP 2543721 Y2 JP2543721 Y2 JP 2543721Y2
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Yokogawa Electric Corp
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Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、LSIテスタの波形測定装置に関し、更に詳
しくは、被測定信号の任意の点を連続して測定すること
ができる波形測定装置に関する。
〈従来の技術〉 従来の波形測定装置は、モジュールコントローラのシ
ステムトリガを遅延したディレイ信号によって、被測定
信号を被検査対象物(Device Und Test:以下DUTと略称
する)の出力側に設けられたAD変換部からスポット的に
モジュールコントローラに取り込んでポイントごとに測
定していた。
第4図は、従来のLSIテスタによって波形を測定する
場合の説明図である。(J)はモジュールコントローラ
からのシステムトリガ、(C)は被測定信号である。被
測定信号に示されている数字は、測定したいポイント
で、数字の順番に測定されるものとする。
第1の測定ポイントは、第1のシステムトリガがt1時
間遅延されたディレイ信号によって測定され、第2の測
定ポイントは、第2のシステムトリガがt2時間遅延され
たディレイ信号によって測定される。各測定ポイントの
データは、このように各測定ポイントごとに遅延したシ
ステムトリガによって得られる。
〈考案が解決しようとする課題〉 しかしながら、このような従来の波形測定装置は、1
回のシステムトリガで、被測定信号の1ポイントしか測
定できない。このために希望する測定ポイントが多数に
及ぶような場合は、何回もシステムトリガを与えて測定
を繰り返す必要がある。このため、被測定信号の多くの
ポイントを測定する場合、測定のために多くの時間が必
要となる。
本考案は、このような点に鑑みてなされたもので、被
測定信号の任意の点を連続して測定することができるよ
うにしたもので、1回の測定で高速に多数の測定ポイン
トを測定することができる波形測定装置を提供すること
にある。
〈課題を解決するための手段〉 このような目的を達成するために、本考案は、 DUTから出力される被測定信号の測定ポイントをサン
プリングクロック信号に同期して測定する波形測定装置
であって、 前記DUTに与える検査信号に同期してモジュール同期
トリガを出力するモジュールコントローラと、 前記モジュール同期トリガでイネーブルされた後、前
記サンプリングクロック信号によりサイクリックにカウ
ント動作を行い、メモリのアドレスを指定するサイクリ
ックカウンタと、 前記モジュール同期トリガを前記モジュールコントロ
ーラで設定されている時間遅延するディレイタイマー
と、 このディレイタイマで遅延して得たトリガ信号によっ
て前記サイクリックカウンタから出力されたアドレスを
ラッチし、測定ポイントを前記モジュールコントローラ
に出力するアドレスラッチと、 前記ディレイタイマからのトリガ信号で前記サンプリ
ングクロック信号をカウントし、前記モジュールコント
ローラで設定されたカウント数で、前記サイクリックカ
ウンタをディスエイブルすると共に、前記モジュール同
期トリガでイネーブルされたメモリをディスエイブルす
るトリガ後カウンタと、 前記メモリに前記サンプリングクロックに同期したラ
イト信号を出力し、前記サイクリックカウンタで指定さ
れアドレスに前記DUTの出力データを書き込むライトパ
ルス発生器と、 を設け、前記アドレスラッチでラッチしたアドレスを
基準に、前記メモリから任意の測定ポイントを連続して
読出して前記DUTを検査するようにしたことを特徴とし
ている。
〈作用〉 本考案の、各構成要素は次のような作用をする。
モジュールコントローラは、波形測定モジュールを制
御していて、モジュール各部に波形測定のためのデータ
を設定している。また、波形測定モジュールがDUTから
得た測定データを解析し、測定波形の良否判断を行う。
RS形フリップフロップは、モジュールコントローラか
ら入力されたモジュール同期トリガによって、サイクリ
ックカウンタとメモリをイネーブルする。
イネーブルされたサイクリックカウンタは、アドレス
をメモリとアドレスラッチに出力する。
D形フリップフロップは、モジュールコントローラか
ら入力されるモジュール同期トリガを遅延してトリガ信
号を、トリガ後カウンタとアドレスラッチに出力する。
トリガ後カウンタは、トリガ信号の入力によってカウ
ントを開始し、所定カウントになった時点で、サイクリ
ックカウンタとメモリをディスエイブルする信号をRS形
フリップフロップに出力する。
アドレスラッチは、トリガ信号の入力によってサイク
リックカウンタからのアドレスをラッチし、そのアドレ
スをモジュールコントローラに出力する。
〈実施例〉 以下図面を用いて、本考案の一実施例を詳細に説明す
る。
第1図は、本考案の波形測定装置の構成ブロック図で
ある。1はモジュルコントローラで、波形発生モジュー
ル2を介してDUT3に検査信号Siを与え、波形測定モジュ
ール4がDUT3から得た被測定信号Soを解析する。
また、モジュールコントローラ1は、波形測定モジュ
ール4を制御していて、モジュール各部に波形測定のた
めのデータを設定している。
41はD形フリップフロップで、モジュールコントロー
ラ1から検査信号Siと同期して出力されるモジュール同
期トリガパルスPiの立ち上がりで、ディレイタイマ42を
イネーブルにする。
また、モジュール同期トリガパルスPiは、D形フリッ
プフロップ41と同時にRS形フリップフロップ43のセット
端子Sにも出力される。RS形フリップフロップ43は、こ
のモジュール同期トリガパルスPiで得た出力信号S1によ
り、サイクリックカウンタ44とメモリ45をイネーブルに
する。
イネーブルされたサイクリックカウンタ44は、サンプ
リングクロックSCKによりサイクリックにカウント動作
を行い、モジュールコントローラ1で設定されているデ
ータD1に従い、その出力をメモリ45のアドレスとしてメ
モリ45とアドレスラッチ46に出力する。
47はメモリ45にライトパルスWRを出力するライトパル
ス発生器、48はADコンバータで、サンプルホールド回路
49でホールドされた被測定信号SoをAD変換し、そのデー
タDAをメモリ45に出力する。
ライトパルスWRとデータDAは、アドレスADと同様にサン
プリングクロックSCKに同期した信号であり、サイクリ
ックカウンタ44よってメモリ45に指定したアドレスADに
データDAを書き込む。
ディレイタイマ42は、モジュールコントローラ1によ
ってディレイ値データD2が設定されていて、設定された
ディレイ値Tを発信器42aから入力されるクロック信号C
Kに基づいてカウントする。
ディレイタイマ42は、ディレイ値Tをカウント後、出
力端子Qからトリガ信号Trをアドレスラッチ46とトリガ
後カウンタ50とに出力する。
アドレスラッチ46は、そのトリガ信号Trでその時のア
ドレスのデータD4をモジュールコントローラに伝達す
る。
一方、トリガ後カウンタ50は、トリガ信号Trが入力さ
れてイネーブルになると、モジュールコントローラ1で
設定されたカウント値のデータD3をサンプリングクロッ
クSCKに基づいてカウントする。トリガ後カウンタ50
は、カウント終了後、出力S2をRS形フリップフロップ43
に与えて、サイクリックカウンタ44とメモリ45をディス
エイブルにする。
このように、メモリは、トリガ信号Tr後の測定範囲
を、モジュールコントローラのデータD3によってサイク
リックに任意に設定されるので、特に、大きな記憶容量
である必要はない。
第2図は、第1図で示した波形測定装置の動作を示す
タイミングチャートである。(A)はモジュールコント
ローラ1から出力されるシステム同期トリガPi、(B)
はDUT3に与えられる検査信号、(C)はDUTから出力さ
れる被測定信号、(D)はディレイタイマ42で遅延され
たトリガ信号、(E)はサンプリンッグクロックSCK、
(F)はRSフリップフロップ43からの出力S1(S1-)、
(G)はトリガ後カウンタ50からの出力S2、(H)はサ
イクリックカウンタ44から出力されるアドレスAD、
(I)はライトパルスWR、(J)はデータDAである。
モジュールコントローラ1から検査信号Siに同期して
システム同期トリガPiが、D形フリップフロップ41とRS
形フリップフロップ43に出力される。
RSフリップフロップ43は、モジュール同期トリガPiを
受けて、ハイレベルの出力信号S1をサイクリックカウン
タ44とメモリ45に出力する。この出力信号S1で、サイク
リックカウンタ44とメモリ45がイネーブルされる。サイ
クリックカウンタ44は、サンプリングクロックSCKに同
期してアドレスADをメモリ45に与え、メモリ45は、ライ
トパルスWRによってDUTからデータDAを読み込む。
一方、D形フリップフロップ41は、モジュール同期ト
リガPiの立ち上がりのパルスで、ディレイタイマ42をイ
ネーブルして、カウント動作を開始する。
ディレイタイマ42は、モジュールコントローラ1から
与えられた設定値がセットされ、この設定値になるまで
クロック信号をカウントし、設定値D2に達した時点で、
トリガ信号Trをアドレススラッチ46とトリガ後カウンタ
50に出力する。
アドレスラッチ46は、トリガ信号Trを受け、サイクリ
ックカウンタ44から出力されるアドレスADをラッチし、
このアドレスのデータD4をモジュールコントローラ1に
伝達する。
一方、トリガ信号Trでイネーブルされたトリガ後カウ
ンタ50は、サンプリングクロックSCKを、モジュールコ
ントローラ1から設定された設定値D3になるまでをカウ
ントする。トリガ後カウンタ50は、設定値D3に対応する
数のサンプリンッグクロックをカウントすると、出力信
号S2をRS形フリップフロップ43に出力する。
この出力信号S2を受けたRS形フリップフロップ43は、
ローレベルの出力信号S1-を、サイクリックカウンタ44
とメモリ45に出力し、それぞれをディスエイブルとす
る。
モジュールコントローラ1は、アドレスラッチ46から
入力したアドレスのデータD4を基準に、メモリ45からア
ドレスADを呼び出し、そのデータを判定する。
第3図は、メモリに読み込まれるデータの内容の説明
図である。メモリ45は、そのメモリアドレスとして0〜
nが用意されており、サイクリックカウンタ44によって
メモリアドレスが指定される。図中、tはディレイタイ
マ42からトリガ信号Trがアドレスラッチ46に出力された
時点のアドレス、α1とα2はトリガ信号Tr後にメモリ
45に読み込まれたデータである。
尚、α=α1+α2で、βはトリガ信号Tr入力前にメ
モリに読み込まれたデータであり、α、βと各信号の関
係は、第2図に示す通りである。
メモリ45は、トリガ信号Tr後に書き込まれるデータα
の量によって以下に示すようになる。α<(n−t)の場合 全データが、アドレスn内に書き込まれる。α>(n−t)の場合 図3に示される場合であって、βの一部がα2によっ
て書き換えられる。
モジュールコントローラ1は、アドレスラッチ46でト
リガ信号Trの入ったアドレスを判断できるので、α、β
のアドレス領域を認識できる。このために、トリガ信号
Trを基準にして任意のポイントを測定することができ
る。
〈考案の効果〉 以上詳細に説明したように、本考案の、波形測定装置
は、モジュール同期トリガをディレイしたトリガ信号に
よって任意に測定ポイントを決めることができる。ま
た、このトリガを基準に、一定の範囲の測定データをメ
モリに記憶することができるきで、トリガ周辺の多数の
ポイントを1回の測定で検査することができる。
さらに、メモリの記憶する範囲を限定することができ
るので、特に、記憶容量の大きなメモリを必要としな
い。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の波形測定装置の構成ブロック図、第2
図は第1図で示した波形測定装置の動作を示すタイミン
グチャート、第3図はメモリに読み込まれるデータの内
容の説明図、第4図は従来のLSIテスタによって波形を
測定する場合の説明図である。 1……モジュールコントローラ、4……波形測定モジュ
ール、42……ディレイタイマ、44……サイクリックカウ
ンタ、45……メモリ、46……アドレスラッチ、47……ラ
イトパルス発生器、50……トリガ後カウンタ。

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】DUTから出力される被測定信号の測定ポイ
    ントをサンプリングクロック信号に同期して測定する波
    形測定装置であって、 前記DUTに与える検査信号に同期してモジュール同期ト
    リガを出力するモジュールコントローラと、 前記モジュール同期トリガでイネーブルされた後、前記
    サンプリングクロック信号によりサイクリックにカウン
    ト動作を行い、メモリのアドレスを指定するサイクリッ
    クカウンタと、 前記モジュール同期トリガを前記モジュールコントロー
    ラで設定されている時間遅延するディレイタイマーと、 このディレイタイマで遅延して得たトリガ信号によって
    前記サイクリックカウンタから出力されたアドレスをラ
    ッチし、測定ポイントを前記モジュールコントローラに
    出力するアドレスラッチと、 前記ディレイタイマからのトリガ信号で前記サンプリン
    グクロック信号をカウントし、前記モジュールコントロ
    ーラで設定されたカウント数で、前記サイクリックカウ
    ンタをディスエイブルすると共に、前記モジュール同期
    トリガでイネーブルされたメモリをディスエイブルする
    トリガ後カウンタと、 前記メモリに前記サンプリングクロックに同期したライ
    ト信号を出力し、前記サイクリックカウンタで指定され
    アドレスに前記DUTの出力データを書き込むライトパル
    ス発生器と、 を設け、前記アドレスラッチでラッチしたアドレスを基
    準に、前記メモリから任意の測定ポイントを連続して読
    出して前記DUTを検査するようにしたことを特徴とした
    波形測定装置。
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