JP2543221B2 - 誘電体磁器 - Google Patents
誘電体磁器Info
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- JP2543221B2 JP2543221B2 JP2103491A JP10349190A JP2543221B2 JP 2543221 B2 JP2543221 B2 JP 2543221B2 JP 2103491 A JP2103491 A JP 2103491A JP 10349190 A JP10349190 A JP 10349190A JP 2543221 B2 JP2543221 B2 JP 2543221B2
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は誘電体磁器に関し、特にマイクロ波やミリ波
などの高周波領域において高い無負荷Qを有する誘電体
磁器に関する。
などの高周波領域において高い無負荷Qを有する誘電体
磁器に関する。
従来の技術 一般に、高周波用の誘電体磁器は誘電体共振器やMIC
用誘電体基板等として広く使用されている。また、近
年、使用される周波数の高周波化が進みSHF帯を用いた
衛星放送や衛星通信も実用化が行われ始めたため、一層
高い無負荷Qを有する誘電帯磁器の開発が望まれてい
る。
用誘電体基板等として広く使用されている。また、近
年、使用される周波数の高周波化が進みSHF帯を用いた
衛星放送や衛星通信も実用化が行われ始めたため、一層
高い無負荷Qを有する誘電帯磁器の開発が望まれてい
る。
最近、無負荷Qの高い誘電帯磁器として、Ba−Mg−Ta
系(特公昭59−23048号公報、特開昭58−206003号公
報、特開昭61−107609号公報、特開昭61−181008号公
報、特開昭62−170102号公報)の誘電体磁器が注目され
ている。
系(特公昭59−23048号公報、特開昭58−206003号公
報、特開昭61−107609号公報、特開昭61−181008号公
報、特開昭62−170102号公報)の誘電体磁器が注目され
ている。
高周波用誘電体磁器として使用されるBa−Mg−Ta系複
合ペロブスカイト化合物を主成分とする誘電体磁器は焼
結性が悪く、そのため従来のBa−Mg−Ta系においては無
負荷Qが11GHzで3740〜3920と低い値しか得られなかっ
た(特公昭59−23048号公報)、そこで、焼結助剤とし
てMnを添加する方法が提案され、無負荷Qが10000以上
の誘電体磁器が得られるようになったが、Mnのような異
種元素を添加することは製造工程の複雑化を招く上に、
添加により磁器特性に悪影響を及ぼす恐れがある(特開
昭58−206003号公報)。
合ペロブスカイト化合物を主成分とする誘電体磁器は焼
結性が悪く、そのため従来のBa−Mg−Ta系においては無
負荷Qが11GHzで3740〜3920と低い値しか得られなかっ
た(特公昭59−23048号公報)、そこで、焼結助剤とし
てMnを添加する方法が提案され、無負荷Qが10000以上
の誘電体磁器が得られるようになったが、Mnのような異
種元素を添加することは製造工程の複雑化を招く上に、
添加により磁器特性に悪影響を及ぼす恐れがある(特開
昭58−206003号公報)。
また、焼結性を改善するため焼成方法に急速昇温法と
いう特殊な焼成方法が提案され(特開昭61−107609号公
報)、無負荷Qは向上しているが、この方法では磁器の
内部と外部の収縮率に差が生じる等の理由で、特に無負
荷Qの再現性が非常に悪く、品質の安定した製品を得る
ことは難しい。その改善案として加熱、焼成時に加圧成
形物を耐火性粉末で包む方法が提案されたが本質的に問
題が改善されたとは言いがたい(特開昭61−181008号公
報)。さらに、このような複合プロブスカイト化合物
(A(B′1/3B″2/3)O3)を主成分とする誘電体磁器
は、六方晶になる場合には、Bサイトイオン、即ち、前
記式におけるB′およびB″が、B′−B″−B″の順
に3層を1周期として広い範囲にわたって繰り返す周期
的配列(長周期配列)をとることが知られおり、無負荷
Qは、その長周期配列の規則性をどの程度有しているか
を表す規則度が高くないと向上しないため、無負荷Qの
高い磁器を得るためには、急速昇温法で高密度な磁器を
得、さらに、規則度を上げるため非常に長時間の熱処理
が必要であり、製造工程の複雑になったり生産能率向上
の妨げになるという欠点を有していた(特開昭62−1701
02号公報)。
いう特殊な焼成方法が提案され(特開昭61−107609号公
報)、無負荷Qは向上しているが、この方法では磁器の
内部と外部の収縮率に差が生じる等の理由で、特に無負
荷Qの再現性が非常に悪く、品質の安定した製品を得る
ことは難しい。その改善案として加熱、焼成時に加圧成
形物を耐火性粉末で包む方法が提案されたが本質的に問
題が改善されたとは言いがたい(特開昭61−181008号公
報)。さらに、このような複合プロブスカイト化合物
(A(B′1/3B″2/3)O3)を主成分とする誘電体磁器
は、六方晶になる場合には、Bサイトイオン、即ち、前
記式におけるB′およびB″が、B′−B″−B″の順
に3層を1周期として広い範囲にわたって繰り返す周期
的配列(長周期配列)をとることが知られおり、無負荷
Qは、その長周期配列の規則性をどの程度有しているか
を表す規則度が高くないと向上しないため、無負荷Qの
高い磁器を得るためには、急速昇温法で高密度な磁器を
得、さらに、規則度を上げるため非常に長時間の熱処理
が必要であり、製造工程の複雑になったり生産能率向上
の妨げになるという欠点を有していた(特開昭62−1701
02号公報)。
発明が解決しようとする課題 そこで、この発明の主たる目的は、上記の欠点を無く
した、即ち、特別の焼成方法を用いず、通常の焼成方法
で焼成可能で、長時間の熱処理無しに、無負荷Qの高い
複合プロブスカイト化合物を主成分とする誘電体磁器を
提供することである。
した、即ち、特別の焼成方法を用いず、通常の焼成方法
で焼成可能で、長時間の熱処理無しに、無負荷Qの高い
複合プロブスカイト化合物を主成分とする誘電体磁器を
提供することである。
課題を解決するための手段 本発明による誘電体磁器は、酸化バリウム、酸化マグ
ネシウム、及び酸化タンタルを主成分とし、その組成範
囲が酸化バリウム(BaO)48.1〜48.8重量%、酸化マグ
ネシウム(MgO)3.6〜4.5重量%、酸化タンタル(Ta
2O5)46.7〜48.3重量%であり、複合ペロブスカイト化
合物を主成分とする。
ネシウム、及び酸化タンタルを主成分とし、その組成範
囲が酸化バリウム(BaO)48.1〜48.8重量%、酸化マグ
ネシウム(MgO)3.6〜4.5重量%、酸化タンタル(Ta
2O5)46.7〜48.3重量%であり、複合ペロブスカイト化
合物を主成分とする。
また、酸化バリウム、酸化マグネシウム、及び酸化タ
ンタルを主成分とし、その組成範囲が酸化バリウム(Ba
O)48.3〜48.8重量%、酸化マグネシウム(MgO)3.8〜
4.3重量%、酸化タンタル(Ta2O5)46.9〜47.7重量%で
あり、複合ペロブスカイト化合物を主成分とする。
ンタルを主成分とし、その組成範囲が酸化バリウム(Ba
O)48.3〜48.8重量%、酸化マグネシウム(MgO)3.8〜
4.3重量%、酸化タンタル(Ta2O5)46.9〜47.7重量%で
あり、複合ペロブスカイト化合物を主成分とする。
作 用 上記第1の発明の組成によれば、通常の焼成方法で安
定に、焼結性が大幅に向上して容易に高密度化し、無負
荷Qの高い5000以上の複合ペロブスカイト化合物を主成
分とする誘電体磁器が得られる。
定に、焼結性が大幅に向上して容易に高密度化し、無負
荷Qの高い5000以上の複合ペロブスカイト化合物を主成
分とする誘電体磁器が得られる。
また、第2の発明のようにより狭い組成範囲とするこ
とで、高密度化した磁器は極短時間の熱処理で十分規則
化できる。その結果、長時間の熱処理無しに、無負荷Q
が10000以上の複合ペロブスカイト化合物を主成分とす
る誘電体磁器を得ることができる。
とで、高密度化した磁器は極短時間の熱処理で十分規則
化できる。その結果、長時間の熱処理無しに、無負荷Q
が10000以上の複合ペロブスカイト化合物を主成分とす
る誘電体磁器を得ることができる。
実施例 以下に限定的でない実施例を上げる。
高純度のBaCO3、MgO、Ta2O3を表1に示す組成からな
る磁器組成物が得られるように秤量し、秤量原料をボー
ルミルにて湿式混合した。そしてその混合物を1000℃〜
1200℃で2時間仮焼し、さらにボールミルにて湿式粉砕
した後、脱水乾燥を行った。その後、得られた粉体にバ
インダーを加え整粒し、1000kg/cm2の圧力で直径7.5m
m、厚さ4.0mmの寸法で乾式成形を行い、ごく普通の焼成
条件(昇・降温速度200℃/h、焼成温度1500℃〜1600
℃、2〜24時間焼成)で焼成し磁器試料を得た。
る磁器組成物が得られるように秤量し、秤量原料をボー
ルミルにて湿式混合した。そしてその混合物を1000℃〜
1200℃で2時間仮焼し、さらにボールミルにて湿式粉砕
した後、脱水乾燥を行った。その後、得られた粉体にバ
インダーを加え整粒し、1000kg/cm2の圧力で直径7.5m
m、厚さ4.0mmの寸法で乾式成形を行い、ごく普通の焼成
条件(昇・降温速度200℃/h、焼成温度1500℃〜1600
℃、2〜24時間焼成)で焼成し磁器試料を得た。
得られた磁器試料を共振周波数が10GHzになるように
研磨した後、比誘電率(εr)、無負荷Q、共振周波数
の温度特性(τf)を測定し、その結果を表1に示し
た。
研磨した後、比誘電率(εr)、無負荷Q、共振周波数
の温度特性(τf)を測定し、その結果を表1に示し
た。
なお、表1中の試料番号に*印を付した試料は本発明
の範囲外のものである。
の範囲外のものである。
第1図は本発明の組成範囲を示す三角図である。尚、
図中の番号は表1中の試料Noと一致しておりその試料の
組成を示している。
図中の番号は表1中の試料Noと一致しておりその試料の
組成を示している。
表1より明らかなように、本発明における請求項1に
記載の範囲内に於ては、通常の焼成方法にて無負荷Qが
高い磁器が得られることが明らかである。その中でも請
求項2に記載の範囲内に於いては、特に無負荷Qが高い
磁器が得られ、粉末X線回折にて調べた結果、1600℃−
2時間の短時間焼成でもほぼ完全に規則化していた。
記載の範囲内に於ては、通常の焼成方法にて無負荷Qが
高い磁器が得られることが明らかである。その中でも請
求項2に記載の範囲内に於いては、特に無負荷Qが高い
磁器が得られ、粉末X線回折にて調べた結果、1600℃−
2時間の短時間焼成でもほぼ完全に規則化していた。
その他の範囲は、BaOが48.8wt%以上では全く緻密化
せず(試料No13,19,20)、48.1wt%以下では無負荷Qが
低く温度特性(τf)が大きい(試料No15,16)、MgOが
4.5wt%以上では焼結性が劣化しその結果誘電率
(εr)低下し無負荷Qも低い(試料No14,15)、3.6wt
%以下では温度特性(τf)が大きい(試料No17,1
8)、等の欠点が有り、本発明の目的には合致しない。
せず(試料No13,19,20)、48.1wt%以下では無負荷Qが
低く温度特性(τf)が大きい(試料No15,16)、MgOが
4.5wt%以上では焼結性が劣化しその結果誘電率
(εr)低下し無負荷Qも低い(試料No14,15)、3.6wt
%以下では温度特性(τf)が大きい(試料No17,1
8)、等の欠点が有り、本発明の目的には合致しない。
尚、僅かの添加物を加えることで焼結性を改善でき、
特性は大きく劣化しないことが、請求項1に記載の範囲
で確認された。例えば試料No7にSiO2を0.02wt%添加し
た場合、焼成温度が約80℃程度下がるが特性は大きく変
化しなかった。他の添加物でも同等の効果が期待でき
る。
特性は大きく劣化しないことが、請求項1に記載の範囲
で確認された。例えば試料No7にSiO2を0.02wt%添加し
た場合、焼成温度が約80℃程度下がるが特性は大きく変
化しなかった。他の添加物でも同等の効果が期待でき
る。
また、本発明の範囲外の組成である、Ba(Mg1/3T
a2/3)O3の理論組成の粉体を同条件で作製し、複数個を
急速昇温法で焼成して熱処理を施したところ、焼結密度
が大きくばらついたり、亀裂が生じて、その結果、無負
荷Qのばらつきは2000〜18000と大きくばらついたのに
対し、本発明の試料No6を複数個通常の焼成方法で焼成
したところ、無負荷Qは28000〜32000と安定して高い無
負荷Qが得られた。
a2/3)O3の理論組成の粉体を同条件で作製し、複数個を
急速昇温法で焼成して熱処理を施したところ、焼結密度
が大きくばらついたり、亀裂が生じて、その結果、無負
荷Qのばらつきは2000〜18000と大きくばらついたのに
対し、本発明の試料No6を複数個通常の焼成方法で焼成
したところ、無負荷Qは28000〜32000と安定して高い無
負荷Qが得られた。
なお、本発明は、共振周波数の温度特性(τf)を変
化させるためBa、Mg、Taの一部を他の元素で置換した
り、添加物を加えたりしても同様の効果を得ることが出
来ることは、当業者には明らかであろう。
化させるためBa、Mg、Taの一部を他の元素で置換した
り、添加物を加えたりしても同様の効果を得ることが出
来ることは、当業者には明らかであろう。
発明の効果 本発明によれば、難焼結性磁器である複合ペロブスカ
イト化合物を主成分とする誘電体磁器において、焼結助
剤や特殊な焼成方法を使用せず、通常の焼成方法で長時
間の熱処理無しに得ることが出来る、品質的にも安定な
無負荷Qの高い誘電体磁器を提供することができる。
イト化合物を主成分とする誘電体磁器において、焼結助
剤や特殊な焼成方法を使用せず、通常の焼成方法で長時
間の熱処理無しに得ることが出来る、品質的にも安定な
無負荷Qの高い誘電体磁器を提供することができる。
第1図は本発明の実施例における誘電体磁器の組成範囲
を示す三角図である。
を示す三角図である。
Claims (1)
- 【請求項1】酸化バリウム、酸化マグネシウム、及び酸
化タンタルを主成分とする磁器で、その組成範囲が酸化
バリウム(BaO)48.3〜48.8重量%、酸化マグネシウム
(MgO)3.8〜4.3重量%、酸化タンタル(Ta2O5)46.9〜
47.7重量%であり、複合ペロブスカイト化合物を主成分
とすることを特徴とする誘電体磁器。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2103491A JP2543221B2 (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 誘電体磁器 |
DE1991616415 DE69116415T2 (de) | 1990-04-19 | 1991-04-18 | Dielektrische Keramiken |
EP19910106263 EP0452945B1 (en) | 1990-04-19 | 1991-04-18 | Dielectric ceramics |
US07/973,601 US5246898A (en) | 1990-04-19 | 1992-11-09 | Dielectric ceramics |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2103491A JP2543221B2 (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 誘電体磁器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH044509A JPH044509A (ja) | 1992-01-09 |
JP2543221B2 true JP2543221B2 (ja) | 1996-10-16 |
Family
ID=14355474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2103491A Expired - Fee Related JP2543221B2 (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 誘電体磁器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2543221B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5268341A (en) * | 1991-10-30 | 1993-12-07 | Kyocera Corporation | Dielectric ceramic composition for high-frequency use and dielectric material |
JP6172706B2 (ja) * | 2013-01-23 | 2017-08-02 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | BaO−MgO−Ta2O5系酸化物を基盤とする誘電性磁器組成物、および、当該組成物から製造された高いQ値を有するマイクロ波誘電共振器 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62235251A (ja) * | 1986-04-01 | 1987-10-15 | 住友金属鉱山株式会社 | 誘電体磁器の製法 |
-
1990
- 1990-04-19 JP JP2103491A patent/JP2543221B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH044509A (ja) | 1992-01-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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