JPH04215204A - 誘電体磁器組成物及びその製法 - Google Patents
誘電体磁器組成物及びその製法Info
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- JPH04215204A JPH04215204A JP2410074A JP41007490A JPH04215204A JP H04215204 A JPH04215204 A JP H04215204A JP 2410074 A JP2410074 A JP 2410074A JP 41007490 A JP41007490 A JP 41007490A JP H04215204 A JPH04215204 A JP H04215204A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高周波用の誘電体磁器組
成物及びその製造方法に関するものである。誘電体磁器
組成物はマイクロ波やミリ波などの高周波領域において
誘電体共振器として幅広く利用され、フィルタや発振器
に組み込まれ、それらの小型軽量化や発振周波数の安定
化等に役立っている。
成物及びその製造方法に関するものである。誘電体磁器
組成物はマイクロ波やミリ波などの高周波領域において
誘電体共振器として幅広く利用され、フィルタや発振器
に組み込まれ、それらの小型軽量化や発振周波数の安定
化等に役立っている。
【０００２】フィルタや発振器は放送衛星からの通信電
波の送受信機として、また地上でのＳＨＦ帯を使った通
信分野での送受信機等に利用されている。
波の送受信機として、また地上でのＳＨＦ帯を使った通
信分野での送受信機等に利用されている。
【０００３】さらにこれらの誘電体磁器組成物は、その
誘電率がアルミナに比べて２倍以上大きいことが利用さ
れて、マイクロ波回路用基板としての適用も見込まれて
いる。
誘電率がアルミナに比べて２倍以上大きいことが利用さ
れて、マイクロ波回路用基板としての適用も見込まれて
いる。
【０００４】
【従来の技術】誘電体共振器として使われる誘電体磁器
組成物として、小さな誘電損失、言い換えれば大きな無
負荷Ｑ（誘電損失の逆数に対応する）を有する材料の開
発が要求され、さらに、目的に応じて所定の誘電率を有
し、かつ共振周波数の温度係数の絶対値の小さいものが
求めれていた。
組成物として、小さな誘電損失、言い換えれば大きな無
負荷Ｑ（誘電損失の逆数に対応する）を有する材料の開
発が要求され、さらに、目的に応じて所定の誘電率を有
し、かつ共振周波数の温度係数の絶対値の小さいものが
求めれていた。
【０００５】ここで無負荷Ｑの値の大きいことは、発信
周波数特性の先端化をもたらし、その発振周波数がデバ
イスの使用温度範囲において変化しないためには、共振
周波数の温度係数特性が数ｐｐｍ／℃で制御されること
が要求される。
周波数特性の先端化をもたらし、その発振周波数がデバ
イスの使用温度範囲において変化しないためには、共振
周波数の温度係数特性が数ｐｐｍ／℃で制御されること
が要求される。
【０００６】また誘電率と誘電体共振器の大きさには、
ある一定の相関があり、共振周波数が決まると、これら
の条件が定められる。
ある一定の相関があり、共振周波数が決まると、これら
の条件が定められる。
【０００７】従来この種の誘電体磁器としては、（Ｂａ
，Ｓｒ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３系材料、Ｂａ（Ｚｎ，Ｔａ
）Ｏ３ 系材料、Ｂａ（Ｚｎ，Ｎｂ）Ｏ３ 系材料など
がある。これらは、いずれも周波数が１０ＧＨｚ にお
いれ誘電率が２０〜４０、Ｑ値が３０００〜８０００、
共振周波数の温度係数が±１０ｐｐｍ／℃以下の特性を
有している。
，Ｓｒ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３系材料、Ｂａ（Ｚｎ，Ｔａ
）Ｏ３ 系材料、Ｂａ（Ｚｎ，Ｎｂ）Ｏ３ 系材料など
がある。これらは、いずれも周波数が１０ＧＨｚ にお
いれ誘電率が２０〜４０、Ｑ値が３０００〜８０００、
共振周波数の温度係数が±１０ｐｐｍ／℃以下の特性を
有している。
【０００８】これらに対して、近年の通信技術の進歩に
より、さらに狭帯域な周波数帯域フィルタや高出力対応
のフィルタが必要となり、誘電体共振器にたいしてより
高いＱ値が要求されている。
より、さらに狭帯域な周波数帯域フィルタや高出力対応
のフィルタが必要となり、誘電体共振器にたいしてより
高いＱ値が要求されている。
【０００９】またＱ値と共振周波数（ｆｏ） の間には
ｆｏ ・Ｑ＝Ｃ（Ｃはある定数）なる経験則が成立し、
共振周波数が高くなるとＱ値は減少するため、同類の機
器や素子を使用する場合でも、使用周波数（材料側から
みれば共振周波数）が高くなれば、より高いＱ値をもつ
誘電体共振器が必要となる。
ｆｏ ・Ｑ＝Ｃ（Ｃはある定数）なる経験則が成立し、
共振周波数が高くなるとＱ値は減少するため、同類の機
器や素子を使用する場合でも、使用周波数（材料側から
みれば共振周波数）が高くなれば、より高いＱ値をもつ
誘電体共振器が必要となる。
【００１０】例えば局部発振器の場合でも、１０ＧＨｚ
以上の高い周波数帯での発振特性の安定化を実現する
ために、より高いＱ値の誘電体共振器の開発が望まれて
いる。
以上の高い周波数帯での発振特性の安定化を実現する
ために、より高いＱ値の誘電体共振器の開発が望まれて
いる。
【００１１】高いＱ値を持つ材料としては、Ｂａ（Ｍｇ
１／３Ｔａ２／３）Ｏ３系が知られている。しかし、こ
の材料は、通常の常圧焼結法によって焼結させた場合、
高い焼結密度を得ることが難しく、そのためにＱ値は低
くなってしまう。
１／３Ｔａ２／３）Ｏ３系が知られている。しかし、こ
の材料は、通常の常圧焼結法によって焼結させた場合、
高い焼結密度を得ることが難しく、そのためにＱ値は低
くなってしまう。
【００１２】例えば、この材料の製法は、特公昭５９―
２３０４８に告示されているが、共振周波数１１ＧＨｚ
以上においてＱ値が４０００以下のものしか得られて
いない。このため、高い焼結密度を得る目的で、研究開
発が精力的に行われている。
２３０４８に告示されているが、共振周波数１１ＧＨｚ
以上においてＱ値が４０００以下のものしか得られて
いない。このため、高い焼結密度を得る目的で、研究開
発が精力的に行われている。
【００１３】特開昭６２―１７０１０２に開示されてい
るように、この材料は、急速昇温加熱 （第一段階加熱
処理） 、及び酸素雰囲気での熱処理 （第二段階加熱
処理） により、焼結密度が９５％で３６０００ とい
う高いＱ値を有すると報告されている。
るように、この材料は、急速昇温加熱 （第一段階加熱
処理） 、及び酸素雰囲気での熱処理 （第二段階加熱
処理） により、焼結密度が９５％で３６０００ とい
う高いＱ値を有すると報告されている。
【００１４】しかしながらこの製造方法は、その処理過
程で １００〜１６００℃／ｍｉｎという急速昇温速度
を必要とし、かつ処理温度も１６００〜１７００℃と高
く、また雰囲気ガスとして酸素を使うなど、信頼性や製
造コストの点で問題が多く、実用化には問題がある。
程で １００〜１６００℃／ｍｉｎという急速昇温速度
を必要とし、かつ処理温度も１６００〜１７００℃と高
く、また雰囲気ガスとして酸素を使うなど、信頼性や製
造コストの点で問題が多く、実用化には問題がある。
【００１５】一方これに対して、添加元素を工夫して、
特開昭６０―１２４３０５のＢａ（Ｓｎ，Ｍｇ，Ｔａ）
Ｏ３系誘電体磁器組成物、特開昭６０―６８５０３のＢ
ａ（Ｚｎ，Ｍｇ，Ｎｂ，Ｔａ）Ｏ３ 系誘電体磁器組成
物、さらに特開昭６３―３７５０８の（Ｂａ，Ｓｒ）（
Ｍｇ，Ｔａ）Ｏ３系誘電体磁器組成物等に知られている
ように、実用的な常圧焼結法による製造も検討されてい
る。
特開昭６０―１２４３０５のＢａ（Ｓｎ，Ｍｇ，Ｔａ）
Ｏ３系誘電体磁器組成物、特開昭６０―６８５０３のＢ
ａ（Ｚｎ，Ｍｇ，Ｎｂ，Ｔａ）Ｏ３ 系誘電体磁器組成
物、さらに特開昭６３―３７５０８の（Ｂａ，Ｓｒ）（
Ｍｇ，Ｔａ）Ｏ３系誘電体磁器組成物等に知られている
ように、実用的な常圧焼結法による製造も検討されてい
る。
【００１６ 】しかし、何れも焼結性は向上するものの
、Ｑ値は１００００ 前後であまり高いものは得られて
いない。
、Ｑ値は１００００ 前後であまり高いものは得られて
いない。
【００１７ 】
【発明が解決しようとする課題】前述の特開昭６２―１
７０１０２に開示されているように、Ｂａ（Ｍｇ１／３
Ｔａ２／３）Ｏ３系材料は高周波用の誘電体磁器組成物
として有望であるにもかかわらず、難焼結性材料である
ために、適切な特性を得るためには急速昇温加熱や酸素
雰囲気での焼結条件を必要とし、経済性、製品の信頼性
の観点から実用化に問題があった。
７０１０２に開示されているように、Ｂａ（Ｍｇ１／３
Ｔａ２／３）Ｏ３系材料は高周波用の誘電体磁器組成物
として有望であるにもかかわらず、難焼結性材料である
ために、適切な特性を得るためには急速昇温加熱や酸素
雰囲気での焼結条件を必要とし、経済性、製品の信頼性
の観点から実用化に問題があった。
【００１８】また、前述の特開昭６０―１２４３０５の
Ｂａ（Ｓｎ，Ｍｇ，Ｔａ）Ｏ３系誘電体磁器組成物、特
開昭６０―６８５０３のＢａ（Ｚｎ，Ｍｇ，Ｎｂ，Ｔａ
）Ｏ３ 系誘電体磁器組成物、さらに特開昭６３―３７
５０８の（Ｂａ，Ｓｒ）（Ｍｇ，Ｔａ）Ｏ３系誘電体磁
器組成物等に知られているように、他の添加成分を加え
た場合には、常圧焼結法による製造を可能とするものの
、Ｑ値は小さくなってしまう。
Ｂａ（Ｓｎ，Ｍｇ，Ｔａ）Ｏ３系誘電体磁器組成物、特
開昭６０―６８５０３のＢａ（Ｚｎ，Ｍｇ，Ｎｂ，Ｔａ
）Ｏ３ 系誘電体磁器組成物、さらに特開昭６３―３７
５０８の（Ｂａ，Ｓｒ）（Ｍｇ，Ｔａ）Ｏ３系誘電体磁
器組成物等に知られているように、他の添加成分を加え
た場合には、常圧焼結法による製造を可能とするものの
、Ｑ値は小さくなってしまう。
【００１９】これらの点から、高いＱ値を維持しつつ、
通常の常圧焼結法による安価で信頼性が高い誘電体磁器
組成物が要望されていた。
通常の常圧焼結法による安価で信頼性が高い誘電体磁器
組成物が要望されていた。
【００２０】この発明は、上記に基づきＢａ（Ｍｇ，Ｔ
ａ）Ｏ３ 系材料についての特性を鋭意研究し、急速昇
温加熱法を用いたり、高温での酸素雰囲気熱処理を施さ
ず、しかも他の添加元素を必要とせずに、Ｑ値の大きな
ペロブスカイト型構造の誘電体磁器組成物を開発するこ
とを目的とする。
ａ）Ｏ３ 系材料についての特性を鋭意研究し、急速昇
温加熱法を用いたり、高温での酸素雰囲気熱処理を施さ
ず、しかも他の添加元素を必要とせずに、Ｑ値の大きな
ペロブスカイト型構造の誘電体磁器組成物を開発するこ
とを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明では、Ｂａ（Ｍｇ１／３Ｔａ２／３）Ｏ３
系材料の焼結性を向上させるために、バリウム成分を本
組成式よりもわずかに少なくすることを試みた。
めに、本発明では、Ｂａ（Ｍｇ１／３Ｔａ２／３）Ｏ３
系材料の焼結性を向上させるために、バリウム成分を本
組成式よりもわずかに少なくすることを試みた。
【００２２】さらに、バリウム成分をわずかに不足させ
つつマグネシウム、タンタルの組成範囲を変え、本発明
を完成させるに至ったのである。即ち、この発明は次の
通りである。
つつマグネシウム、タンタルの組成範囲を変え、本発明
を完成させるに至ったのである。即ち、この発明は次の
通りである。
【００２３】
（１） 一般式 Ｂａ１−ｘ（ＭｇｙＴａｚ）Ｏｗ （
ｗは任意の数） ・・・（Ｉ
）で表せる組成において、ｙとｚが０．２８≦ｙ≦０．
３９、０．６１≦ｚ≦０．７２ （ただしｙ＋ｚ＝１）
の範囲にある酸化物に対して、（Ｉ）式におけるｘの値
を ０．００１≦ｘ≦０．０２の範囲になるようにし、
ｆ・Ｑの値を１０００００以上（ ここで、ｆは共振周
波数（ＧＨｚ） 、Ｑは無負荷Ｑの値）としたことを特
徴とする誘電体磁器組成物。
ｗは任意の数） ・・・（Ｉ
）で表せる組成において、ｙとｚが０．２８≦ｙ≦０．
３９、０．６１≦ｚ≦０．７２ （ただしｙ＋ｚ＝１）
の範囲にある酸化物に対して、（Ｉ）式におけるｘの値
を ０．００１≦ｘ≦０．０２の範囲になるようにし、
ｆ・Ｑの値を１０００００以上（ ここで、ｆは共振周
波数（ＧＨｚ） 、Ｑは無負荷Ｑの値）としたことを特
徴とする誘電体磁器組成物。
【００２４】
（２） Ｂａ（Ｍｇ１／３Ｔａ２／３）Ｏ３を主成分と
するペロブスカイト型構造酸化物において、バリウムの
量を本組成式で示されるバリウム量よりも０．１ 〜２
．０ ％の範囲で不足させ、ｆ・Ｑの値を１０００００
以上（ ここで、ｆは共振周波数（ＧＨｚ） 、Ｑは無
負荷Ｑの値）としたことを特徴とする誘電体磁器組成物
。
するペロブスカイト型構造酸化物において、バリウムの
量を本組成式で示されるバリウム量よりも０．１ 〜２
．０ ％の範囲で不足させ、ｆ・Ｑの値を１０００００
以上（ ここで、ｆは共振周波数（ＧＨｚ） 、Ｑは無
負荷Ｑの値）としたことを特徴とする誘電体磁器組成物
。
【００２５】
（３） バリウム、マグネシウム、タンタル等からなる
化合物を、その組成を Ｂａ１−ｘ（Ｍｇ１／３Ｔａ２
／３）Ｏ３−ｘで代表したときに、ｘが ０．００１≦
ｘ≦０．０２となるように配合し、仮焼により複合ペロ
ブスカイト型構造を有する酸化物粉末とした後、所定の
形状を保持するために加圧成形し、１００ ℃／ｍｉｎ
未満の昇温速度で１４００〜１７００℃の温度まで加熱
後、１４００〜１７００℃の温度範囲に保持して焼結さ
せることにより、ｆ・Ｑの値が１０００００以上（ こ
こで、ｆは共振周波数（ＧＨｚ） 、Ｑは無負荷Ｑの値
）の誘電体磁器組成物を得ることを特徴とする誘電体磁
器組成物の製造方法。
化合物を、その組成を Ｂａ１−ｘ（Ｍｇ１／３Ｔａ２
／３）Ｏ３−ｘで代表したときに、ｘが ０．００１≦
ｘ≦０．０２となるように配合し、仮焼により複合ペロ
ブスカイト型構造を有する酸化物粉末とした後、所定の
形状を保持するために加圧成形し、１００ ℃／ｍｉｎ
未満の昇温速度で１４００〜１７００℃の温度まで加熱
後、１４００〜１７００℃の温度範囲に保持して焼結さ
せることにより、ｆ・Ｑの値が１０００００以上（ こ
こで、ｆは共振周波数（ＧＨｚ） 、Ｑは無負荷Ｑの値
）の誘電体磁器組成物を得ることを特徴とする誘電体磁
器組成物の製造方法。
【００２６】
【作用】先ずバリウム成分をＢａ（Ｍｇ１／３Ｔａ２／
３）Ｏ３組成よりも不足させることの作用を説明する。 Ｂａ（Ｍｇ１／３Ｔａ２／３）Ｏ３の組成の場合は、通
常の昇温速度、例えば ２００℃／時間の昇温速度では
、大気中で１６００〜１７００℃で焼結した場合、その
相対密度は８０〜８５％と低く、ほとんど緻密化しない
。
３）Ｏ３組成よりも不足させることの作用を説明する。 Ｂａ（Ｍｇ１／３Ｔａ２／３）Ｏ３の組成の場合は、通
常の昇温速度、例えば ２００℃／時間の昇温速度では
、大気中で１６００〜１７００℃で焼結した場合、その
相対密度は８０〜８５％と低く、ほとんど緻密化しない
。
【００２７】これに対して、バリウム成分を上記組成よ
りも０．１ 〜２．０ ％不足させた場合、即ち、Ｂａ
１−ｘ （Ｍｇ１／３Ｔａ２／３）Ｏ３−ｘ組成におい
てｘを０．００１ ≦ｘ≦０．０２とした誘電体磁器組
成物については、相対密度で９０％以上の緻密化が可能
となる。
りも０．１ 〜２．０ ％不足させた場合、即ち、Ｂａ
１−ｘ （Ｍｇ１／３Ｔａ２／３）Ｏ３−ｘ組成におい
てｘを０．００１ ≦ｘ≦０．０２とした誘電体磁器組
成物については、相対密度で９０％以上の緻密化が可能
となる。
【００２８】さらに好ましくは不足量ｘを０．００３
≦ｘ≦０．００５とした場合で、相対密度９５％以上の
緻密化が達成され、かつ１０ＧＨｚ において３０００
０ 以上の非常に高いＱ値を得ることができる。
≦ｘ≦０．００５とした場合で、相対密度９５％以上の
緻密化が達成され、かつ１０ＧＨｚ において３０００
０ 以上の非常に高いＱ値を得ることができる。
【００２９】バリウム不足量の下限については、不足量
を０．１ ％未満、即ち、Ｂａ１−ｘ （Ｍｇ１／３Ｔ
ａ２／３）Ｏ３−ｘ組成においてｘを０．００１ 未満
とした場合、１６００〜１７００℃で焼結を行っても相
対密度９０％以上の充分な緻密化が達成できないため、
０．１ ％を不足量の下限とした。
を０．１ ％未満、即ち、Ｂａ１−ｘ （Ｍｇ１／３Ｔ
ａ２／３）Ｏ３−ｘ組成においてｘを０．００１ 未満
とした場合、１６００〜１７００℃で焼結を行っても相
対密度９０％以上の充分な緻密化が達成できないため、
０．１ ％を不足量の下限とした。
【００３０】バリウム不足量の上限については、不足量
が２．０ ％を超える場合、即ち、Ｂａ１−ｘ （Ｍｇ
１／３Ｔａ２／３）Ｏ３−ｘ組成においてｘが０．０２
を超える場合には、最終製品のＱ値が著しく低くなるた
め、不足量の上限を２．０ ％と定めた。
が２．０ ％を超える場合、即ち、Ｂａ１−ｘ （Ｍｇ
１／３Ｔａ２／３）Ｏ３−ｘ組成においてｘが０．０２
を超える場合には、最終製品のＱ値が著しく低くなるた
め、不足量の上限を２．０ ％と定めた。
【００３１】このようにＢａ（Ｍｇ１／３Ｔａ２／３）
Ｏ３組成よりもバリウム成分の量をわずかに不足させる
ことにより、急速加熱等の処理を施すこと無く、しかも
他の成分元素を添加すること無く、通常の大気中常圧焼
結法により、緻密なＢａ（Ｍｇ，Ｔａ）Ｏ３ 系誘電体
磁器組成物を得ることができる。
Ｏ３組成よりもバリウム成分の量をわずかに不足させる
ことにより、急速加熱等の処理を施すこと無く、しかも
他の成分元素を添加すること無く、通常の大気中常圧焼
結法により、緻密なＢａ（Ｍｇ，Ｔａ）Ｏ３ 系誘電体
磁器組成物を得ることができる。
【００３２】また、その誘電特性については１００００
以上のＱ値が得られ、特に不足量を０．３ 〜０．５
％とした場合には３００００ 以上の極めて高いＱ値
を達成できる。
以上のＱ値が得られ、特に不足量を０．３ 〜０．５
％とした場合には３００００ 以上の極めて高いＱ値
を達成できる。
【００３３】さらに、より広範囲な材料組成域において
、具体的には、 Ｂａ１−ｘ（ＭｇｙＴａｚ）Ｏｗ （
ｗは任意の数） で表せる組成において、ｘを ０．０
０１≦ｘ≦０．０２とし、さらにｙとｚを０．２８≦ｙ
≦０．３９、０．６１≦ｚ≦０．７２ （ただしｙ＋ｚ
＝１）とした場合にも同等の高いＱ値が得られる。
、具体的には、 Ｂａ１−ｘ（ＭｇｙＴａｚ）Ｏｗ （
ｗは任意の数） で表せる組成において、ｘを ０．０
０１≦ｘ≦０．０２とし、さらにｙとｚを０．２８≦ｙ
≦０．３９、０．６１≦ｚ≦０．７２ （ただしｙ＋ｚ
＝１）とした場合にも同等の高いＱ値が得られる。
【００３４】ここで、ｙとｚの範囲を前記範囲に限定し
たのは、前記範囲外では比誘電率が低下するか、または
Ｑ値が低下してしまうために目的とする誘電体磁器組成
物が得られないためである。
たのは、前記範囲外では比誘電率が低下するか、または
Ｑ値が低下してしまうために目的とする誘電体磁器組成
物が得られないためである。
【００３５】また、この組成範囲においてもバリウム量
ｘを０．００１ 未満とした場合には相対密度が９０％
未満と低く、ほとんど緻密化しない。
ｘを０．００１ 未満とした場合には相対密度が９０％
未満と低く、ほとんど緻密化しない。
【００３６】次に、製造工程について説明する。本発明
による誘電体磁器組成物は、バリウム、マグネシウム、
タンタル等の炭酸塩、あるいは酸化物等の出発原料を混
合して仮焼した後、成形、焼成して得ることができる。
による誘電体磁器組成物は、バリウム、マグネシウム、
タンタル等の炭酸塩、あるいは酸化物等の出発原料を混
合して仮焼した後、成形、焼成して得ることができる。
【００３７】また、出発原料を共沈法やアルコキシド法
により作製し、それらを仮焼することにより目的とする
ペロブスカイト型相を得た後、最終的に目的とする誘電
体磁器組成物を得ることも可能である。
により作製し、それらを仮焼することにより目的とする
ペロブスカイト型相を得た後、最終的に目的とする誘電
体磁器組成物を得ることも可能である。
【００３８】具体的に製造工程の一例を説明する。炭酸
バリウム、酸化マグネシウム、五酸化タンタルのそれぞ
れを所定量となるように秤量し、水、アルコール等の溶
媒と共に湿式混合する。
バリウム、酸化マグネシウム、五酸化タンタルのそれぞ
れを所定量となるように秤量し、水、アルコール等の溶
媒と共に湿式混合する。
【００３９】続いて、水、アルコール等を除去した後、
粉砕し、大気中で ９００〜１３００℃の温度域で２〜
４時間程度仮焼する。この仮焼粉は、Ｘ線回折法によっ
て、ほぼペロブスカイト相になっていることが確かめら
れた。但し、仮焼温度が低い場合にはＢａ４Ｔａ２Ｏ９
相が生成する場合がある。
粉砕し、大気中で ９００〜１３００℃の温度域で２〜
４時間程度仮焼する。この仮焼粉は、Ｘ線回折法によっ
て、ほぼペロブスカイト相になっていることが確かめら
れた。但し、仮焼温度が低い場合にはＢａ４Ｔａ２Ｏ９
相が生成する場合がある。
【００４０】次にこの仮焼粉末をポリビニルアルコール
等の有機バインダーを用いて造粒し、１００ 〜２００
０ｋｇ／ｃｍ２ の圧力で加圧成形する。その後この成
形物を大気中で、たとえば５０〜５００ ℃／時間の昇
温速度で、１４００〜１７００℃の温度範囲にて４〜６
４時間焼成することにより、本発明の誘電体磁器組成物
が得られる。
等の有機バインダーを用いて造粒し、１００ 〜２００
０ｋｇ／ｃｍ２ の圧力で加圧成形する。その後この成
形物を大気中で、たとえば５０〜５００ ℃／時間の昇
温速度で、１４００〜１７００℃の温度範囲にて４〜６
４時間焼成することにより、本発明の誘電体磁器組成物
が得られる。
【００４１】急速昇温を施す必要はなく、１００ ℃／
ｍｉｎ未満の昇温速度で９０％以上の緻密化が達成され
る。こうして得られた誘電体磁器組成物は、これをその
まま、あるいは必要に応じて適当な形状及びサイズに加
工することにより誘電体共振器となる。
ｍｉｎ未満の昇温速度で９０％以上の緻密化が達成され
る。こうして得られた誘電体磁器組成物は、これをその
まま、あるいは必要に応じて適当な形状及びサイズに加
工することにより誘電体共振器となる。
【００４２】最後に本発明の誘電体磁器組成物は主とし
て誘電体共振器として利用するものであるが、マイクロ
波用のＩＣ基板として、また誘電体調整棒等の材料とし
て利用する事ができる。さらに誘電損失の小さいことを
利用して、高周波プラズマ炉の窓材などの種々の分野に
応用可能な材料である。
て誘電体共振器として利用するものであるが、マイクロ
波用のＩＣ基板として、また誘電体調整棒等の材料とし
て利用する事ができる。さらに誘電損失の小さいことを
利用して、高周波プラズマ炉の窓材などの種々の分野に
応用可能な材料である。
【００４３】
【実施例】原料として高純度のＢａＣＯ３ 、ＭｇＯ
、Ｔａ２Ｏ５ を用い、焼結後にその組成が Ｂａ１−
ｘ（ＭｇｙＴａｚ）Ｏｗ で代表されるように各原料粉
を秤量した （式中、ｘ、ｙ、ｚの範囲は各々 ０．０
０１≦ｘ≦０．０２とし、０．２８≦ｙ≦０．３９、０
．６１≦ｚ≦０．７２、ただしｙ＋ｚ＝１、ｗは任意の
数）。
、Ｔａ２Ｏ５ を用い、焼結後にその組成が Ｂａ１−
ｘ（ＭｇｙＴａｚ）Ｏｗ で代表されるように各原料粉
を秤量した （式中、ｘ、ｙ、ｚの範囲は各々 ０．０
０１≦ｘ≦０．０２とし、０．２８≦ｙ≦０．３９、０
．６１≦ｚ≦０．７２、ただしｙ＋ｚ＝１、ｗは任意の
数）。
【００４４】これらをエタノールを媒体とし、ボールミ
ルにて２４時間、湿式混合した。その後エバポレーター
を用いて乾燥し、大気中で１２５０℃、４時間の仮焼を
行った。
ルにて２４時間、湿式混合した。その後エバポレーター
を用いて乾燥し、大気中で１２５０℃、４時間の仮焼を
行った。
【００４５】この時、仮焼時間と温度は、混合粉の量と
粒度分布で最適条件が少し異なるが、何れの場合もほぼ
ペロブスカイト単一相ができていることを、Ｘ線回折法
により確認した。
粒度分布で最適条件が少し異なるが、何れの場合もほぼ
ペロブスカイト単一相ができていることを、Ｘ線回折法
により確認した。
【００４６】次にこれらの仮焼粉を造粒し、１０００ｋ
ｇ／ｃｍ２の圧力で円柱状に加圧成形した。この際、ポ
リビニルアルコール等の有機バインダーを用いた。
ｇ／ｃｍ２の圧力で円柱状に加圧成形した。この際、ポ
リビニルアルコール等の有機バインダーを用いた。
【００４７】そしてこの成形物を大気中で１５００〜１
７００℃まで５０〜５００ ℃／時間の昇温速度で加熱
し、１５００〜１７００℃で４〜６４時間焼成する事に
より、本発明の誘電体磁器組成物を得た。
７００℃まで５０〜５００ ℃／時間の昇温速度で加熱
し、１５００〜１７００℃で４〜６４時間焼成する事に
より、本発明の誘電体磁器組成物を得た。
【００４８】誘電体の評価は、こうして得られた磁器組
成物を直径約１０ｍｍφ、高さ約５ｍｍの円柱状に加工
し、誘電体円柱共振器法により９．５ 〜１０．５ＧＨ
ｚ におけるＱ値と誘電率を測定した。
成物を直径約１０ｍｍφ、高さ約５ｍｍの円柱状に加工
し、誘電体円柱共振器法により９．５ 〜１０．５ＧＨ
ｚ におけるＱ値と誘電率を測定した。
【００４９】上記の方法で作製し、バリウムの不足量を
０．１ 〜２．０ ％ （０．００１ ≦ｘ≦０．０２
） と変化させた誘電体共振器についての特性を表１に
まとめる。
０．１ 〜２．０ ％ （０．００１ ≦ｘ≦０．０２
） と変化させた誘電体共振器についての特性を表１に
まとめる。
【００５０】なお、＊印を付した試料はこの発明の範囲
外のものであり、それ以外はすべてこの発明の範囲内の
ものである。
外のものであり、それ以外はすべてこの発明の範囲内の
ものである。
【００５１】表に示すように、バリウムの不足量を０．
３ 〜２．０ ％とした場合、すなわち０．００３ ≦
ｘ≦０．０２とした場合に相対密度９５％以上の緻密化
が達成され、特に不足量を０．３ 〜１．０ ％（０．
００３≦ｘ≦０．０１） とした場合には２００００
以上の高いＱ値を持つ。
３ 〜２．０ ％とした場合、すなわち０．００３ ≦
ｘ≦０．０２とした場合に相対密度９５％以上の緻密化
が達成され、特に不足量を０．３ 〜１．０ ％（０．
００３≦ｘ≦０．０１） とした場合には２００００
以上の高いＱ値を持つ。
【００５２】なお、Ｑ値はｆ・Ｑ＝一定（ｆ：共振周波
数）の経験則に基づき、１０ ＧＨｚに換算した値を示
した。
数）の経験則に基づき、１０ ＧＨｚに換算した値を示
した。
【００５３】また、共振周波数の温度係数は各試料を恒
温槽に入れて、−２５〜１００ ℃の温度範囲において
測定した結果、本発明の範囲内にある試料はいずれも２
〜６ｐｐｍ／℃の範囲内にあった。
温槽に入れて、−２５〜１００ ℃の温度範囲において
測定した結果、本発明の範囲内にある試料はいずれも２
〜６ｐｐｍ／℃の範囲内にあった。
【００５４】
【表１】
【００５５】
【発明の効果】本発明により従来難焼結材料として知ら
れてきたＢａ（Ｍｇ，Ｔａ）Ｏ３ 系誘電体磁器の大気
中での常圧焼結が可能となり、１０ＧＨｚ で２０００
０ 以上の高いＱ値をもつ、より高周波領域で利用が期
待される誘電体共振器の製造が可能となった。
れてきたＢａ（Ｍｇ，Ｔａ）Ｏ３ 系誘電体磁器の大気
中での常圧焼結が可能となり、１０ＧＨｚ で２０００
０ 以上の高いＱ値をもつ、より高周波領域で利用が期
待される誘電体共振器の製造が可能となった。
Claims (3)
- 【請求項１】 一般式 Ｂａ１−ｘ（ＭｇｙＴａｚ）
Ｏｗ （ｗは任意の数） で表せる組成において、ｙと
ｚが０．２８≦ｙ≦０．３９、０．６１≦ｚ≦０．７２
（ただしｙ＋ｚ＝１）の範囲にある酸化物に対して、
上記の一般式におけるｘの値を ０．００１≦ｘ≦０．
０２の範囲になるようにし、ｆ・Ｑの値を１０００００
以上（ ここで、ｆは共振周波数（ＧＨｚ） 、Ｑは無
負荷Ｑの値）としたことを特徴とする誘電体磁器組成物
。 - 【請求項２】 Ｂａ（Ｍｇ１／３Ｔａ２／３）Ｏ３を
主成分とするペロブスカイト型構造酸化物において、バ
リウムの量を本組成式で示されるバリウム量よりも０．
１ 〜２．０ ％の範囲で不足させ、ｆ・Ｑの値を１０
００００以上（ ここで、ｆは共振周波数（ＧＨｚ）
、Ｑは無負荷Ｑの値）としたことを特徴とする誘電体磁
器組成物。 - 【請求項３】 バリウム、マグネシウム、タンタル等
からなる化合物を、その組成を Ｂａ１−ｘ（Ｍｇ１／
３Ｔａ２／３）Ｏ３−ｘで代表したときに、ｘが ０．
００１≦ｘ≦０．０２となるように配合し、仮焼により
複合ペロブスカイト型構造を有する酸化物粉末とした後
、所定の形状を保持するために加圧成形し、１００ ℃
／ｍｉｎ未満の昇温速度で１４００〜１７００℃の温度
まで加熱後、１４００〜１７００℃の温度範囲に保持し
て焼結させることにより、ｆ・Ｑの値が１０００００以
上（ ここで、ｆは共振周波数（ＧＨｚ） 、Ｑは無負
荷Ｑの値）の誘電体磁器組成物を得ることを特徴とする
誘電体磁器組成物の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2410074A JPH04215204A (ja) | 1990-12-13 | 1990-12-13 | 誘電体磁器組成物及びその製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2410074A JPH04215204A (ja) | 1990-12-13 | 1990-12-13 | 誘電体磁器組成物及びその製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04215204A true JPH04215204A (ja) | 1992-08-06 |
Family
ID=18519304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2410074A Withdrawn JPH04215204A (ja) | 1990-12-13 | 1990-12-13 | 誘電体磁器組成物及びその製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04215204A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000001635A3 (en) * | 1998-07-01 | 2000-05-18 | Univ Singapore | Novel mechanochemical fabrication of electroceramics |
| JP2020158344A (ja) * | 2019-03-26 | 2020-10-01 | Tdk株式会社 | 誘電体膜および電子部品 |
-
1990
- 1990-12-13 JP JP2410074A patent/JPH04215204A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000001635A3 (en) * | 1998-07-01 | 2000-05-18 | Univ Singapore | Novel mechanochemical fabrication of electroceramics |
| US6627104B1 (en) | 1998-07-01 | 2003-09-30 | The National University Of Singapore | Mechanochemical fabrication of electroceramics |
| JP2020158344A (ja) * | 2019-03-26 | 2020-10-01 | Tdk株式会社 | 誘電体膜および電子部品 |
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