JP2541869Y2 - 漏れ探し装置 - Google Patents
漏れ探し装置Info
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- JP2541869Y2 JP2541869Y2 JP1993016275U JP1627593U JP2541869Y2 JP 2541869 Y2 JP2541869 Y2 JP 2541869Y2 JP 1993016275 U JP1993016275 U JP 1993016275U JP 1627593 U JP1627593 U JP 1627593U JP 2541869 Y2 JP2541869 Y2 JP 2541869Y2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は漏れ探し装置に関し、特
に、半導体製造装置を含む設備のガス配管や真空装置の
真空排気用配管における気密継手部の漏れ発生部の検出
に適した漏れ探し装置に関するものである。
に、半導体製造装置を含む設備のガス配管や真空装置の
真空排気用配管における気密継手部の漏れ発生部の検出
に適した漏れ探し装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体製造装置を含む設備のガス配管や
真空装置の真空排気用配管等における溶接部やフランジ
継手等の気密継手部の漏れ探しは、従来、溶接またはフ
ランジ継手等による配管施工が完了した段階で、配管内
に一定の圧力を加えた状態で圧力計の指針の変化を監視
することにより、または気密継手部分に石鹸水等を塗布
し泡の発生の有無を監視することにより、または液中に
配管継手部を沈め泡の発生の有無を監視することによ
り、行っていた。また真空を利用する漏れ探しの方法と
しては、例えば、配管施工が完了した段階で配管内を真
空排気し、ヘリウム(He)リークディテクタ等の検出
装置を配管に接続し、外部からHeガス等の検出ガスを
吹き付け、漏れ探しを行っていた。
真空装置の真空排気用配管等における溶接部やフランジ
継手等の気密継手部の漏れ探しは、従来、溶接またはフ
ランジ継手等による配管施工が完了した段階で、配管内
に一定の圧力を加えた状態で圧力計の指針の変化を監視
することにより、または気密継手部分に石鹸水等を塗布
し泡の発生の有無を監視することにより、または液中に
配管継手部を沈め泡の発生の有無を監視することによ
り、行っていた。また真空を利用する漏れ探しの方法と
しては、例えば、配管施工が完了した段階で配管内を真
空排気し、ヘリウム(He)リークディテクタ等の検出
装置を配管に接続し、外部からHeガス等の検出ガスを
吹き付け、漏れ探しを行っていた。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た加圧による漏れ探し法では、漏れ量の検出限界が低い
ため、微小漏れを検出することができず、加えて配管施
工がすべて完了しないと漏れ探しができないという欠点
があった。また、配管内部を真空排気して漏れ探しを行
う方法では、配管が細く長い場合には漏れ探しができる
程度の圧力まで真空排気するのに時間がかかると共に、
検出装置と気密継手部の間の距離が長くなり、Heガス
等を吹き付けてから検出装置で検出されるまでの時間が
長くなるという欠点があった。
た加圧による漏れ探し法では、漏れ量の検出限界が低い
ため、微小漏れを検出することができず、加えて配管施
工がすべて完了しないと漏れ探しができないという欠点
があった。また、配管内部を真空排気して漏れ探しを行
う方法では、配管が細く長い場合には漏れ探しができる
程度の圧力まで真空排気するのに時間がかかると共に、
検出装置と気密継手部の間の距離が長くなり、Heガス
等を吹き付けてから検出装置で検出されるまでの時間が
長くなるという欠点があった。
【0004】本考案の目的は、従来の漏れ探し法の欠点
を解決すべく、配管施工がすべて完了していなくとも、
気密継手部の一部を、確実に、短時間で高感度に漏れ探
しを行うことのできる漏れ探し装置を提供することにあ
る。
を解決すべく、配管施工がすべて完了していなくとも、
気密継手部の一部を、確実に、短時間で高感度に漏れ探
しを行うことのできる漏れ探し装置を提供することにあ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】本考案に係る漏れ探し装
置は、次のように構成される。
置は、次のように構成される。
【0006】気密継手部を有する配管の気密継手部を含
む部分を外側から覆うように配管に取り付けられ、この
とき気密継手部を含む気密空間が形成される取り外し可
能な真空気密容器と、気密空間を真空排気する真空ポン
プと、真空気密容器に接続された気密継手部の漏れ探し
を行うための漏れ検出器とを備えてなる漏れ探し装置に
おいて、真空気密容器は少なくとも二分割可能な構造を
有し、配管に当接される内側真空シール材と外側真空シ
ール材を備え、内側真空シール材と外側真空シール材は
少なくとも二分割可能な構造を有し、真空気密容器は内
側真空シール材と外側真空シール材に当接して配管に取
り付けられ、内側真空シール材と外側真空シール材によ
って、気密継手部を含む第1の気密空間と気密継手部を
含まない第2の気密空間とからなる内外二重シール構造
が形成され、真空気密容器の内外二重シール構造で、第
1の気密空間および第2の気密空間はそれぞれ別々の真
空ポンプで真空排気され、第2の気密空間は第1の気密
空間と大気との間の中間的気密空間になるように真空に
排気される。
む部分を外側から覆うように配管に取り付けられ、この
とき気密継手部を含む気密空間が形成される取り外し可
能な真空気密容器と、気密空間を真空排気する真空ポン
プと、真空気密容器に接続された気密継手部の漏れ探し
を行うための漏れ検出器とを備えてなる漏れ探し装置に
おいて、真空気密容器は少なくとも二分割可能な構造を
有し、配管に当接される内側真空シール材と外側真空シ
ール材を備え、内側真空シール材と外側真空シール材は
少なくとも二分割可能な構造を有し、真空気密容器は内
側真空シール材と外側真空シール材に当接して配管に取
り付けられ、内側真空シール材と外側真空シール材によ
って、気密継手部を含む第1の気密空間と気密継手部を
含まない第2の気密空間とからなる内外二重シール構造
が形成され、真空気密容器の内外二重シール構造で、第
1の気密空間および第2の気密空間はそれぞれ別々の真
空ポンプで真空排気され、第2の気密空間は第1の気密
空間と大気との間の中間的気密空間になるように真空に
排気される。
【0007】前記の構成において、好ましくは、内側真
空シール材と外側真空シール材は、配管に当接する部分
と、真空気密容器のみに当接する部分とから構成され
る。
空シール材と外側真空シール材は、配管に当接する部分
と、真空気密容器のみに当接する部分とから構成され
る。
【0008】前記の構成において、漏れ検出器がヘリウ
ムガス専用質量分析器で構成されることを特徴とする。
ムガス専用質量分析器で構成されることを特徴とする。
【0009】前記の構成において、漏れ検出器が四重極
型質量分析計で構成されることを特徴とする。
型質量分析計で構成されることを特徴とする。
【0010】前記の構成において、好ましくは、内外の
真空シール材にエラストマを使用し たことを特徴とす
る。
真空シール材にエラストマを使用し たことを特徴とす
る。
【0011】前記の構成において、好ましくは、内外の
真空シール材にポリエチレン系ゲル材料を使用したこと
を特徴とする。
真空シール材にポリエチレン系ゲル材料を使用したこと
を特徴とする。
【0012】
【作用】本考案では、配管の内部を加圧したり真空排気
するのではなく、気密継手部の外側周囲を取り外し可能
な真空気密容器で覆い、気密継手部外周面と真空気密容
器の内側部と真空シール材とによって気密継手部を含む
気密空間を有する真空気密シール構造を形成し、気密空
間を真空排気し、さらに真空気密容器に接続された漏れ
検出器により気密継手部の漏れ探しを行う。従って、真
空排気する空間が小さくて済みかつコンダクタンスも大
きくできるので、漏れ探しができる圧力まで真空排気す
る時間が短時間で済み、気密継手部と漏れ検出器までの
距離も短いので高感度で応答性の良い経済的で信頼性の
高い漏れ探しが可能となる。
するのではなく、気密継手部の外側周囲を取り外し可能
な真空気密容器で覆い、気密継手部外周面と真空気密容
器の内側部と真空シール材とによって気密継手部を含む
気密空間を有する真空気密シール構造を形成し、気密空
間を真空排気し、さらに真空気密容器に接続された漏れ
検出器により気密継手部の漏れ探しを行う。従って、真
空排気する空間が小さくて済みかつコンダクタンスも大
きくできるので、漏れ探しができる圧力まで真空排気す
る時間が短時間で済み、気密継手部と漏れ検出器までの
距離も短いので高感度で応答性の良い経済的で信頼性の
高い漏れ探しが可能となる。
【0013】また内外二重シール構造とした漏れ探し装
置では、気密継手部を含む気密空間の周囲に他の気密空
間を形成し、それぞれ別々の真空ポンプで真空排気し、
大気との中間に形成された気密空間で、漏れ検出を行う
気密空間の真空度を高く保持する。
置では、気密継手部を含む気密空間の周囲に他の気密空
間を形成し、それぞれ別々の真空ポンプで真空排気し、
大気との中間に形成された気密空間で、漏れ検出を行う
気密空間の真空度を高く保持する。
【0014】
【実施例】以下に、本考案の実施例を添付図面に基づい
て説明する。
て説明する。
【0015】図1に本考案に係る漏れ探し装置の使用状
態の外観および装置構成図を示す。図1において1は気
密継手部を有する被試験体である配管、2は半体2a,
2bから成る取り外し可能な分割型真空気密容器、3は
真空排気ポート、4は二重シール部の中間排気ポート、
5は真空ポンプ、6は二重シール部の中間排気用真空ポ
ンプ、7は漏れ検出器である。真空気密容器2は、2分
割された半体2aと半体2bを例えばボルトおよびナッ
トから成る締結手段で結合することにより一体化され
る。本実施例で、真空気密容器2は二分割型で形成され
るが、これに限定されるものではない。組付け性を良好
にする観点から一体型で開閉自在の構造にすることもで
きるし、各種形状の配管部分に適用できるようにする観
点からさらに多くの要素で構成される分割型にすること
もできる。
態の外観および装置構成図を示す。図1において1は気
密継手部を有する被試験体である配管、2は半体2a,
2bから成る取り外し可能な分割型真空気密容器、3は
真空排気ポート、4は二重シール部の中間排気ポート、
5は真空ポンプ、6は二重シール部の中間排気用真空ポ
ンプ、7は漏れ検出器である。真空気密容器2は、2分
割された半体2aと半体2bを例えばボルトおよびナッ
トから成る締結手段で結合することにより一体化され
る。本実施例で、真空気密容器2は二分割型で形成され
るが、これに限定されるものではない。組付け性を良好
にする観点から一体型で開閉自在の構造にすることもで
きるし、各種形状の配管部分に適用できるようにする観
点からさらに多くの要素で構成される分割型にすること
もできる。
【0016】後述するように、真空排気ポート3は気密
継手部を含むように形成された内側(中央部)に位置す
る第1の気密空間12に通じており、また中間排気ポー
ト4は、第1の気密空間12の外側周囲に形成された中
間的な第2の気密空間13に通じている。第2の気密空
間13は、第1の気密空間12と大気との間に設けられ
るという点で中間的な空間である。
継手部を含むように形成された内側(中央部)に位置す
る第1の気密空間12に通じており、また中間排気ポー
ト4は、第1の気密空間12の外側周囲に形成された中
間的な第2の気密空間13に通じている。第2の気密空
間13は、第1の気密空間12と大気との間に設けられ
るという点で中間的な空間である。
【0017】真空排気ポート3と、真空ポンプ5および
漏れ検出器7とはパイプ部材21で接続され、中間排気
ポート4と中間排気用真空ポンプ6とはパイプ部材22
で接続される。漏れ検出器7は、例えば、ヘリウムガス
専用質量分析器や四重極型質量分析計で構成されるもの
が使用される。
漏れ検出器7とはパイプ部材21で接続され、中間排気
ポート4と中間排気用真空ポンプ6とはパイプ部材22
で接続される。漏れ検出器7は、例えば、ヘリウムガス
専用質量分析器や四重極型質量分析計で構成されるもの
が使用される。
【0018】図2は図1に示した取り外し可能な真空気
密容器2の詳細平面図、図3は図2中のA−A線断面
図、図4は図2中のB−B線断面図である。図3および
図4を参照して真空気密容器2の内部構造について詳細
に説明する。
密容器2の詳細平面図、図3は図2中のA−A線断面
図、図4は図2中のB−B線断面図である。図3および
図4を参照して真空気密容器2の内部構造について詳細
に説明する。
【0019】図2において、8は内側真空シール材、9
は外側真空シール部材である。内側真空シール部材8
は、真空気密容器半体2a側のシール材8aと真空気密
容器半体2b側のシール材8bとによって構成される。
シール材8a,8bから成る内側真空シール材8の全体
的な形状を示した外観斜視図を図5に示す。同様に、外
側真空シール材9は、真空気密容器半体2a側のシール
材9aと真空気密容器半体2b側のシール材9bとで構
成される。23は配管1に当接するリング部で形成され
る孔である。シール材9a,9bから成る外側真空シー
ル材9の全体的な形状を示した外観斜視図を図6に示
す。24は配管1に当接するリング部で形成される孔で
ある。真空シール材8,9の材質としては、例えばエラ
ストマあるいはポリエチレン系ゲル材料が使用される。
真空気密容器2と配管1の外面と内外の真空シール材
8,9で、図3に示すように、内側(中央部)に形成さ
れる第1の気密空間12と、その周囲の外側に位置する
第2の気密空間13が形成される。
は外側真空シール部材である。内側真空シール部材8
は、真空気密容器半体2a側のシール材8aと真空気密
容器半体2b側のシール材8bとによって構成される。
シール材8a,8bから成る内側真空シール材8の全体
的な形状を示した外観斜視図を図5に示す。同様に、外
側真空シール材9は、真空気密容器半体2a側のシール
材9aと真空気密容器半体2b側のシール材9bとで構
成される。23は配管1に当接するリング部で形成され
る孔である。シール材9a,9bから成る外側真空シー
ル材9の全体的な形状を示した外観斜視図を図6に示
す。24は配管1に当接するリング部で形成される孔で
ある。真空シール材8,9の材質としては、例えばエラ
ストマあるいはポリエチレン系ゲル材料が使用される。
真空気密容器2と配管1の外面と内外の真空シール材
8,9で、図3に示すように、内側(中央部)に形成さ
れる第1の気密空間12と、その周囲の外側に位置する
第2の気密空間13が形成される。
【0020】ボルト10とナット11は、真空気密容器
半体2a,2bを結合するための締結手段であり、締結
部が例えば4箇所設けられる。また締結手段は、ボルト
・ナットに限定されず、締結がより簡単な構造を採用す
ることができる。内側真空シール材8と外側真空シール
材9を配管1の周囲に当接状態で配置し、真空気密容器
半体2a,2bを組み付けてボルト10とナット11で
真空気密容器2を配管1の周囲に固定すると、図4に示
すように、前述のごとく真空気密容器2と内側真空シー
ル材8と外側真空シール材9等によって気密空間12と
気密空間13が形成される。気密空間12は真空排気ポ
ート3とつながっている内側真空シール材8の内側の空
間、空間13は中間排気ポート4とつながっている内側
真空シール材8と外側真空シール材9とに囲まれた空間
である。図4において14は配管1の気密継手部であ
る。第1の気密空間12は、その内部に気密継手部14
が位置する、すなわち気密継手部14を含むように形成
される。
半体2a,2bを結合するための締結手段であり、締結
部が例えば4箇所設けられる。また締結手段は、ボルト
・ナットに限定されず、締結がより簡単な構造を採用す
ることができる。内側真空シール材8と外側真空シール
材9を配管1の周囲に当接状態で配置し、真空気密容器
半体2a,2bを組み付けてボルト10とナット11で
真空気密容器2を配管1の周囲に固定すると、図4に示
すように、前述のごとく真空気密容器2と内側真空シー
ル材8と外側真空シール材9等によって気密空間12と
気密空間13が形成される。気密空間12は真空排気ポ
ート3とつながっている内側真空シール材8の内側の空
間、空間13は中間排気ポート4とつながっている内側
真空シール材8と外側真空シール材9とに囲まれた空間
である。図4において14は配管1の気密継手部であ
る。第1の気密空間12は、その内部に気密継手部14
が位置する、すなわち気密継手部14を含むように形成
される。
【0021】なお図3および図4で明らかなように、真
空気密容器2a,2bにおけるシール材当接面には、各
シール材に嵌合する溝が形成される。この嵌合関係によ
って気密性が高められる。
空気密容器2a,2bにおけるシール材当接面には、各
シール材に嵌合する溝が形成される。この嵌合関係によ
って気密性が高められる。
【0022】上記構成を有する漏れ探し装置の使い方お
よび動作を説明する。配管1の気密継手部14が真空気
密容器2の第1の気密空間12の箇所に対応するよう
に、内側真空シール材8a,8bおよび外側真空シール
部材9a,9bを配管1に押し付けながら真空気密容器
の半体2a,2bを配管1に被せ、ボルト10とナット
11により固定し、さらに真空排気ポート3と中間排気
ポート4のそれぞれに対しパイプ部材21,22による
接続を図1に示すごとく行う。その後、真空ホンプ5,
6を起動させ、漏れ検出器7を動作させて配管1の気密
継手部14の漏れ探しを行う。
よび動作を説明する。配管1の気密継手部14が真空気
密容器2の第1の気密空間12の箇所に対応するよう
に、内側真空シール材8a,8bおよび外側真空シール
部材9a,9bを配管1に押し付けながら真空気密容器
の半体2a,2bを配管1に被せ、ボルト10とナット
11により固定し、さらに真空排気ポート3と中間排気
ポート4のそれぞれに対しパイプ部材21,22による
接続を図1に示すごとく行う。その後、真空ホンプ5,
6を起動させ、漏れ検出器7を動作させて配管1の気密
継手部14の漏れ探しを行う。
【0023】上記構造によれば、内側真空シール材8
a,8bと配管1との気密が不十分な場合でも、内側真
空シール材8および外側真空シール材9に囲まれた第2
の気密空間13を真空ポンプ6にて別途に真空排気して
いるので、信頼性の高い漏れ探しを行うことができる。
なお、内側真空シール材8a,8bによる配管1の気密
性に関する信頼が高い場合には、外側真空シール材9
a,9bによる第2の気密空間13を形成し真空ポンプ
6によって中間排気を行うことは不要である。
a,8bと配管1との気密が不十分な場合でも、内側真
空シール材8および外側真空シール材9に囲まれた第2
の気密空間13を真空ポンプ6にて別途に真空排気して
いるので、信頼性の高い漏れ探しを行うことができる。
なお、内側真空シール材8a,8bによる配管1の気密
性に関する信頼が高い場合には、外側真空シール材9
a,9bによる第2の気密空間13を形成し真空ポンプ
6によって中間排気を行うことは不要である。
【0024】また第1の気密空間12は体積は配管1内
の空間の体積に比較してはるかに小さくすることができ
るので、漏れ検出器7が動作する圧力まで排気する時間
も短くて済み、効率の良い漏れ探しを行うことができ
る。
の空間の体積に比較してはるかに小さくすることができ
るので、漏れ検出器7が動作する圧力まで排気する時間
も短くて済み、効率の良い漏れ探しを行うことができ
る。
【0025】さらに漏れ探しを行いたい気密継手部14
の箇所から漏れ検出器7までの距離も最短に設定できる
ので、検出感度および応答性を良くすることができ、そ
のために信頼性の高い漏れ探しを行うことができる。
の箇所から漏れ検出器7までの距離も最短に設定できる
ので、検出感度および応答性を良くすることができ、そ
のために信頼性の高い漏れ探しを行うことができる。
【0026】また従来の漏れ探し法では配管施工がすべ
て完了しないとできなかったのに比べ、本考案による漏
れ探し装置では、気密継手部のそれぞれ一箇所で漏れ探
しを行うことができるので、効率の良い漏れ探しおよび
配管施工ができる。
て完了しないとできなかったのに比べ、本考案による漏
れ探し装置では、気密継手部のそれぞれ一箇所で漏れ探
しを行うことができるので、効率の良い漏れ探しおよび
配管施工ができる。
【0027】なお上記実施例の図示例では、一箇所の気
密継手部を囲う形の真空気密容器2を示したが、複数箇
所を気密継手部を囲う形の真空気密容器の構造であって
も構わない。
密継手部を囲う形の真空気密容器2を示したが、複数箇
所を気密継手部を囲う形の真空気密容器の構造であって
も構わない。
【0028】また上記実施例では、配管1の気密継手部
14の位置が直線的な箇所に形成されたものを示した
が、L字状、T字状およびクロス状等の気密継手部の位
置であっても、真空気密容器2を応用し、変形または複
数個組み合わせれば本考案における漏れ探し装置によっ
て対応することが可能である。
14の位置が直線的な箇所に形成されたものを示した
が、L字状、T字状およびクロス状等の気密継手部の位
置であっても、真空気密容器2を応用し、変形または複
数個組み合わせれば本考案における漏れ探し装置によっ
て対応することが可能である。
【0029】さらに配管1の気密継手部14は溶接構造
を示しているが、フランジ等によるシール材を有した継
手、くい込み継手等であっても何ら問題なく本考案によ
る漏れ探し装置を適用することができる。
を示しているが、フランジ等によるシール材を有した継
手、くい込み継手等であっても何ら問題なく本考案によ
る漏れ探し装置を適用することができる。
【0030】
【考案の効果】以上の説明で明らかなように本考案によ
れば、次の効果を奏する。
れば、次の効果を奏する。
【0031】検査対象である配管の気密継手部が形成さ
れた箇所に、外側から真空気密容器を取り付け、このと
き内部に気密継手を含む気密空間を形成し、この気密空
間を真空排気して漏れ探しを行うようにしたため、配管
内部を真空排気して行う従来の漏れ探しに比較して作業
時間を短縮でき、効率の良い漏れ探しを行うことができ
る。
れた箇所に、外側から真空気密容器を取り付け、このと
き内部に気密継手を含む気密空間を形成し、この気密空
間を真空排気して漏れ探しを行うようにしたため、配管
内部を真空排気して行う従来の漏れ探しに比較して作業
時間を短縮でき、効率の良い漏れ探しを行うことができ
る。
【0032】また検出感度を高めかつ応答性を良好にす
ることができ、信頼性の高い漏れ探しを行うことができ
る。特に、気密継手部を含む本来の気密空間の周囲に中
間的な気密空間を形成するようにした構成によれば、気
密継手部を含む気密空間の真空度を高め気密性を高度に
維持できるため、検出感度をいっそう高めることができ
る。
ることができ、信頼性の高い漏れ探しを行うことができ
る。特に、気密継手部を含む本来の気密空間の周囲に中
間的な気密空間を形成するようにした構成によれば、気
密継手部を含む気密空間の真空度を高め気密性を高度に
維持できるため、検出感度をいっそう高めることができ
る。
【0033】また配管内部の空間を利用せず、かつ配管
の各気密継手部のそれぞれを一箇所づつ漏れ探しを行う
ことができるので、配管施工が完了している必要はな
く、効率の良い漏れ探しおよび配管施工を行うことがで
きる。
の各気密継手部のそれぞれを一箇所づつ漏れ探しを行う
ことができるので、配管施工が完了している必要はな
く、効率の良い漏れ探しおよび配管施工を行うことがで
きる。
【図1】本考案に係る漏れ探し装置の使用状態の外観と
装置構成を示す図である。
装置構成を示す図である。
【図2】真空気密容器の平面図である。
【図3】図2中のA−A線断面図である。
【図4】図2中のB−B線断面図である。
【図5】内側真空シール材のみを示す外観斜視図であ
る。
る。
【図6】外側真空シール材のみを示す外観斜視図であ
る。
る。
1 配管 2 真空気密容器 3 真空排気ポート 4 中間排気ポート 5,6 真空ポンプ 7 漏れ検出器 8 内側真空シール材 9 外側真空シール材 12 第1の気密空間 13 第2の気密空間 14 気密継手部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 南 達朗 東京都府中市四谷5丁目8番1号 日電 アネルバ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭57−169648(JP,A) 実開 昭58−136749(JP,U)
Claims (6)
- 【請求項1】 気密継手部を有する配管の前記気密継手
部を含む部分を外側から覆うように前記配管に取り付け
られ、このとき前記気密継手部を含む気密空間が形成さ
れる取り外し可能な真空気密容器と、前記気密空間を真
空排気する真空ポンプと、前記真空気密容器に接続され
た前記気密継手部の漏れ探しを行うための漏れ検出器と
を備えてなる漏れ探し装置において、 前記真空気密容器は少なくとも二分割可能な構造を有
し、 前記配管に当接される内側真空シール材と外側真空シー
ル材を備え、前記内側真空シール材と前記外側真空シー
ル材は前記真空気密容器に対応して少なくとも二分割可
能な構造を有し、 前記真空気密容器は前記内側真空シール材と前記外側真
空シール材に当接して前記配管に取り付けられ、前記内
側真空シール材と前記外側真空シール材によって、前記
気密継手部を含む第1の気密空間と前記気密継手部を含
まない第2の気密空間とからなる内外二重シール構造が
形成され、 前記真空気密容器の前記内外二重シール構造で、前記第
1の気密空間および前記第2の気密空間はそれぞれ別々
の真空ポンプで真空排気され、前記第2の気密空間は前
記第1の気密空間と大気との間の中間的気密空間となる
ように真空に排気される、 ことを特徴とする漏れ探し装置。 - 【請求項2】 請求項1記載の漏れ探し装置において、
前記内側真空シール材と前記外側真空シール材は、前記
配管に当接する部分と、前記真空気密容器のみに当接す
る部分からなることを特徴とする漏れ探し装置。 - 【請求項3】 請求項1記載の漏れ探し装置において、
前記漏れ検出器はヘリウムガス専用質量分析器で構成さ
れることを特徴とする漏れ探し装置。 - 【請求項4】 請求項1記載の漏れ探し装置において、
前記漏れ検出器は四重極型質量分析計で構成されること
を特徴とする漏れ探し装置。 - 【請求項5】 請求項1または2記載の漏れ探し装置に
おいて、内外の前記真空シール材にエラストマを使用し
たことを特徴とする漏れ探し装置。 - 【請求項6】 請求項1または2記載の漏れ探し装置に
おいて、内外の前記 真空シール材にポリエチレン系ゲル
材料を使用したことを特徴とする漏れ探し装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993016275U JP2541869Y2 (ja) | 1993-03-10 | 1993-03-10 | 漏れ探し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993016275U JP2541869Y2 (ja) | 1993-03-10 | 1993-03-10 | 漏れ探し装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0669524U JPH0669524U (ja) | 1994-09-30 |
JP2541869Y2 true JP2541869Y2 (ja) | 1997-07-23 |
Family
ID=11912002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1993016275U Expired - Lifetime JP2541869Y2 (ja) | 1993-03-10 | 1993-03-10 | 漏れ探し装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2541869Y2 (ja) |
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KR101471952B1 (ko) * | 2013-09-16 | 2014-12-12 | 한국기계연구원 | 배관 누설 측정용 커버 |
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Family Cites Families (2)
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---|---|---|---|---|
JPS57169648A (en) * | 1981-04-13 | 1982-10-19 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Inspecting method for pipe |
JPS6349708U (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-04 |
-
1993
- 1993-03-10 JP JP1993016275U patent/JP2541869Y2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
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JPH0669524U (ja) | 1994-09-30 |
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