JP2541869Y2 - 漏れ探し装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は漏れ探し装置に関し、特
に、半導体製造装置を含む設備のガス配管や真空装置の
真空排気用配管における気密継手部の漏れ発生部の検出
に適した漏れ探し装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置を含む設備のガス配管や
真空装置の真空排気用配管等における溶接部やフランジ
継手等の気密継手部の漏れ探しは、従来、溶接またはフ
ランジ継手等による配管施工が完了した段階で、配管内
に一定の圧力を加えた状態で圧力計の指針の変化を監視
することにより、または気密継手部分に石鹸水等を塗布
し泡の発生の有無を監視することにより、または液中に
配管継手部を沈め泡の発生の有無を監視することによ
り、行っていた。また真空を利用する漏れ探しの方法と
しては、例えば、配管施工が完了した段階で配管内を真
空排気し、ヘリウム（Ｈｅ）リークディテクタ等の検出
装置を配管に接続し、外部からＨｅガス等の検出ガスを
吹き付け、漏れ探しを行っていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た加圧による漏れ探し法では、漏れ量の検出限界が低い
ため、微小漏れを検出することができず、加えて配管施
工がすべて完了しないと漏れ探しができないという欠点
があった。また、配管内部を真空排気して漏れ探しを行
う方法では、配管が細く長い場合には漏れ探しができる
程度の圧力まで真空排気するのに時間がかかると共に、
検出装置と気密継手部の間の距離が長くなり、Ｈｅガス
等を吹き付けてから検出装置で検出されるまでの時間が
長くなるという欠点があった。

【０００４】本考案の目的は、従来の漏れ探し法の欠点
を解決すべく、配管施工がすべて完了していなくとも、
気密継手部の一部を、確実に、短時間で高感度に漏れ探
しを行うことのできる漏れ探し装置を提供することにあ
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本考案に係る漏れ探し装
置は、次のように構成される。

【０００６】気密継手部を有する配管の気密継手部を含
む部分を外側から覆うように配管に取り付けられ、この
とき気密継手部を含む気密空間が形成される取り外し可
能な真空気密容器と、気密空間を真空排気する真空ポン
プと、真空気密容器に接続された気密継手部の漏れ探し
を行うための漏れ検出器とを備えてなる漏れ探し装置に
おいて、真空気密容器は少なくとも二分割可能な構造を
有し、配管に当接される内側真空シール材と外側真空シ
ール材を備え、内側真空シール材と外側真空シール材は
少なくとも二分割可能な構造を有し、真空気密容器は内
側真空シール材と外側真空シール材に当接して配管に取
り付けられ、内側真空シール材と外側真空シール材によ
って、気密継手部を含む第１の気密空間と気密継手部を
含まない第２の気密空間とからなる内外二重シール構造
が形成され、真空気密容器の内外二重シール構造で、第
１の気密空間および第２の気密空間はそれぞれ別々の真
空ポンプで真空排気され、第２の気密空間は第１の気密
空間と大気との間の中間的気密空間になるように真空に
排気される。

【０００７】前記の構成において、好ましくは、内側真
空シール材と外側真空シール材は、配管に当接する部分
と、真空気密容器のみに当接する部分とから構成され
る。

【０００８】前記の構成において、漏れ検出器がヘリウ
ムガス専用質量分析器で構成されることを特徴とする。

【０００９】前記の構成において、漏れ検出器が四重極
型質量分析計で構成されることを特徴とする。

【００１０】前記の構成において、好ましくは、内外の
真空シール材にエラストマを使用し たことを特徴とす
る。

【００１１】前記の構成において、好ましくは、内外の
真空シール材にポリエチレン系ゲル材料を使用したこと
を特徴とする。

【００１２】

【作用】本考案では、配管の内部を加圧したり真空排気
するのではなく、気密継手部の外側周囲を取り外し可能
な真空気密容器で覆い、気密継手部外周面と真空気密容
器の内側部と真空シール材とによって気密継手部を含む
気密空間を有する真空気密シール構造を形成し、気密空
間を真空排気し、さらに真空気密容器に接続された漏れ
検出器により気密継手部の漏れ探しを行う。従って、真
空排気する空間が小さくて済みかつコンダクタンスも大
きくできるので、漏れ探しができる圧力まで真空排気す
る時間が短時間で済み、気密継手部と漏れ検出器までの
距離も短いので高感度で応答性の良い経済的で信頼性の
高い漏れ探しが可能となる。

【００１３】また内外二重シール構造とした漏れ探し装
置では、気密継手部を含む気密空間の周囲に他の気密空
間を形成し、それぞれ別々の真空ポンプで真空排気し、
大気との中間に形成された気密空間で、漏れ検出を行う
気密空間の真空度を高く保持する。

【００１４】

【実施例】以下に、本考案の実施例を添付図面に基づい
て説明する。

【００１５】図１に本考案に係る漏れ探し装置の使用状
態の外観および装置構成図を示す。図１において１は気
密継手部を有する被試験体である配管、２は半体２ａ，
２ｂから成る取り外し可能な分割型真空気密容器、３は
真空排気ポート、４は二重シール部の中間排気ポート、
５は真空ポンプ、６は二重シール部の中間排気用真空ポ
ンプ、７は漏れ検出器である。真空気密容器２は、２分
割された半体２ａと半体２ｂを例えばボルトおよびナッ
トから成る締結手段で結合することにより一体化され
る。本実施例で、真空気密容器２は二分割型で形成され
るが、これに限定されるものではない。組付け性を良好
にする観点から一体型で開閉自在の構造にすることもで
きるし、各種形状の配管部分に適用できるようにする観
点からさらに多くの要素で構成される分割型にすること
もできる。

【００１６】後述するように、真空排気ポート３は気密
継手部を含むように形成された内側（中央部）に位置す
る第１の気密空間１２に通じており、また中間排気ポー
ト４は、第１の気密空間１２の外側周囲に形成された中
間的な第２の気密空間１３に通じている。第２の気密空
間１３は、第１の気密空間１２と大気との間に設けられ
るという点で中間的な空間である。

【００１７】真空排気ポート３と、真空ポンプ５および
漏れ検出器７とはパイプ部材２１で接続され、中間排気
ポート４と中間排気用真空ポンプ６とはパイプ部材２２
で接続される。漏れ検出器７は、例えば、ヘリウムガス
専用質量分析器や四重極型質量分析計で構成されるもの
が使用される。

【００１８】図２は図１に示した取り外し可能な真空気
密容器２の詳細平面図、図３は図２中のＡ−Ａ線断面
図、図４は図２中のＢ−Ｂ線断面図である。図３および
図４を参照して真空気密容器２の内部構造について詳細
に説明する。

【００１９】図２において、８は内側真空シール材、９
は外側真空シール部材である。内側真空シール部材８
は、真空気密容器半体２ａ側のシール材８ａと真空気密
容器半体２ｂ側のシール材８ｂとによって構成される。
シール材８ａ，８ｂから成る内側真空シール材８の全体
的な形状を示した外観斜視図を図５に示す。同様に、外
側真空シール材９は、真空気密容器半体２ａ側のシール
材９ａと真空気密容器半体２ｂ側のシール材９ｂとで構
成される。２３は配管１に当接するリング部で形成され
る孔である。シール材９ａ，９ｂから成る外側真空シー
ル材９の全体的な形状を示した外観斜視図を図６に示
す。２４は配管１に当接するリング部で形成される孔で
ある。真空シール材８，９の材質としては、例えばエラ
ストマあるいはポリエチレン系ゲル材料が使用される。
真空気密容器２と配管１の外面と内外の真空シール材
８，９で、図３に示すように、内側（中央部）に形成さ
れる第１の気密空間１２と、その周囲の外側に位置する
第２の気密空間１３が形成される。

【００２０】ボルト１０とナット１１は、真空気密容器
半体２ａ，２ｂを結合するための締結手段であり、締結
部が例えば４箇所設けられる。また締結手段は、ボルト
・ナットに限定されず、締結がより簡単な構造を採用す
ることができる。内側真空シール材８と外側真空シール
材９を配管１の周囲に当接状態で配置し、真空気密容器
半体２ａ，２ｂを組み付けてボルト１０とナット１１で
真空気密容器２を配管１の周囲に固定すると、図４に示
すように、前述のごとく真空気密容器２と内側真空シー
ル材８と外側真空シール材９等によって気密空間１２と
気密空間１３が形成される。気密空間１２は真空排気ポ
ート３とつながっている内側真空シール材８の内側の空
間、空間１３は中間排気ポート４とつながっている内側
真空シール材８と外側真空シール材９とに囲まれた空間
である。図４において１４は配管１の気密継手部であ
る。第１の気密空間１２は、その内部に気密継手部１４
が位置する、すなわち気密継手部１４を含むように形成
される。

【００２１】なお図３および図４で明らかなように、真
空気密容器２ａ，２ｂにおけるシール材当接面には、各
シール材に嵌合する溝が形成される。この嵌合関係によ
って気密性が高められる。

【００２２】上記構成を有する漏れ探し装置の使い方お
よび動作を説明する。配管１の気密継手部１４が真空気
密容器２の第１の気密空間１２の箇所に対応するよう
に、内側真空シール材８ａ，８ｂおよび外側真空シール
部材９ａ，９ｂを配管１に押し付けながら真空気密容器
の半体２ａ，２ｂを配管１に被せ、ボルト１０とナット
１１により固定し、さらに真空排気ポート３と中間排気
ポート４のそれぞれに対しパイプ部材２１，２２による
接続を図１に示すごとく行う。その後、真空ホンプ５，
６を起動させ、漏れ検出器７を動作させて配管１の気密
継手部１４の漏れ探しを行う。

【００２３】上記構造によれば、内側真空シール材８
ａ，８ｂと配管１との気密が不十分な場合でも、内側真
空シール材８および外側真空シール材９に囲まれた第２
の気密空間１３を真空ポンプ６にて別途に真空排気して
いるので、信頼性の高い漏れ探しを行うことができる。
なお、内側真空シール材８ａ，８ｂによる配管１の気密
性に関する信頼が高い場合には、外側真空シール材９
ａ，９ｂによる第２の気密空間１３を形成し真空ポンプ
６によって中間排気を行うことは不要である。

【００２４】また第１の気密空間１２は体積は配管１内
の空間の体積に比較してはるかに小さくすることができ
るので、漏れ検出器７が動作する圧力まで排気する時間
も短くて済み、効率の良い漏れ探しを行うことができ
る。

【００２５】さらに漏れ探しを行いたい気密継手部１４
の箇所から漏れ検出器７までの距離も最短に設定できる
ので、検出感度および応答性を良くすることができ、そ
のために信頼性の高い漏れ探しを行うことができる。

【００２６】また従来の漏れ探し法では配管施工がすべ
て完了しないとできなかったのに比べ、本考案による漏
れ探し装置では、気密継手部のそれぞれ一箇所で漏れ探
しを行うことができるので、効率の良い漏れ探しおよび
配管施工ができる。

【００２７】なお上記実施例の図示例では、一箇所の気
密継手部を囲う形の真空気密容器２を示したが、複数箇
所を気密継手部を囲う形の真空気密容器の構造であって
も構わない。

【００２８】また上記実施例では、配管１の気密継手部
１４の位置が直線的な箇所に形成されたものを示した
が、Ｌ字状、Ｔ字状およびクロス状等の気密継手部の位
置であっても、真空気密容器２を応用し、変形または複
数個組み合わせれば本考案における漏れ探し装置によっ
て対応することが可能である。

【００２９】さらに配管１の気密継手部１４は溶接構造
を示しているが、フランジ等によるシール材を有した継
手、くい込み継手等であっても何ら問題なく本考案によ
る漏れ探し装置を適用することができる。

【００３０】

【考案の効果】以上の説明で明らかなように本考案によ
れば、次の効果を奏する。

【００３１】検査対象である配管の気密継手部が形成さ
れた箇所に、外側から真空気密容器を取り付け、このと
き内部に気密継手を含む気密空間を形成し、この気密空
間を真空排気して漏れ探しを行うようにしたため、配管
内部を真空排気して行う従来の漏れ探しに比較して作業
時間を短縮でき、効率の良い漏れ探しを行うことができ
る。

【００３２】また検出感度を高めかつ応答性を良好にす
ることができ、信頼性の高い漏れ探しを行うことができ
る。特に、気密継手部を含む本来の気密空間の周囲に中
間的な気密空間を形成するようにした構成によれば、気
密継手部を含む気密空間の真空度を高め気密性を高度に
維持できるため、検出感度をいっそう高めることができ
る。

【００３３】また配管内部の空間を利用せず、かつ配管
の各気密継手部のそれぞれを一箇所づつ漏れ探しを行う
ことができるので、配管施工が完了している必要はな
く、効率の良い漏れ探しおよび配管施工を行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る漏れ探し装置の使用状態の外観と
装置構成を示す図である。

【図２】真空気密容器の平面図である。

【図３】図２中のＡ−Ａ線断面図である。

【図４】図２中のＢ−Ｂ線断面図である。

【図５】内側真空シール材のみを示す外観斜視図であ
る。

【図６】外側真空シール材のみを示す外観斜視図であ
る。

【符号の説明】

１ 配管 ２ 真空気密容器 ３ 真空排気ポート ４ 中間排気ポート ５，６ 真空ポンプ ７ 漏れ検出器 ８ 内側真空シール材 ９ 外側真空シール材 １２ 第１の気密空間 １３ 第２の気密空間 １４ 気密継手部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 南 達朗 東京都府中市四谷５丁目８番１号 日電 アネルバ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭57−169648（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−136749（ＪＰ，Ｕ)

Claims (6)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 気密継手部を有する配管の前記気密継手
   部を含む部分を外側から覆うように前記配管に取り付け
   られ、このとき前記気密継手部を含む気密空間が形成さ
   れる取り外し可能な真空気密容器と、前記気密空間を真
   空排気する真空ポンプと、前記真空気密容器に接続され
   た前記気密継手部の漏れ探しを行うための漏れ検出器と
   を備えてなる漏れ探し装置において、 前記真空気密容器は少なくとも二分割可能な構造を有
   し、 前記配管に当接される内側真空シール材と外側真空シー
   ル材を備え、前記内側真空シール材と前記外側真空シー
   ル材は前記真空気密容器に対応して少なくとも二分割可
   能な構造を有し、 前記真空気密容器は前記内側真空シール材と前記外側真
   空シール材に当接して前記配管に取り付けられ、前記内
   側真空シール材と前記外側真空シール材によって、前記
   気密継手部を含む第１の気密空間と前記気密継手部を含
   まない第２の気密空間とからなる内外二重シール構造が
   形成され、 前記真空気密容器の前記内外二重シール構造で、前記第
   １の気密空間および前記第２の気密空間はそれぞれ別々
   の真空ポンプで真空排気され、前記第２の気密空間は前
   記第１の気密空間と大気との間の中間的気密空間となる
   ように真空に排気される、 ことを特徴とする漏れ探し装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の漏れ探し装置において、
   前記内側真空シール材と前記外側真空シール材は、前記
   配管に当接する部分と、前記真空気密容器のみに当接す
   る部分からなることを特徴とする漏れ探し装置。
3. 【請求項３】 請求項１記載の漏れ探し装置において、
   前記漏れ検出器はヘリウムガス専用質量分析器で構成さ
   れることを特徴とする漏れ探し装置。
4. 【請求項４】 請求項１記載の漏れ探し装置において、
   前記漏れ検出器は四重極型質量分析計で構成されること
   を特徴とする漏れ探し装置。
5. 【請求項５】 請求項１または２記載の漏れ探し装置に
   おいて、内外の前記真空シール材にエラストマを使用し
   たことを特徴とする漏れ探し装置。
6. 【請求項６】 請求項１または２記載の漏れ探し装置に
   おいて、内外の前記 真空シール材にポリエチレン系ゲル
   材料を使用したことを特徴とする漏れ探し装置。