JP2540745Y2

JP2540745Y2 - 精密切削装置

Info

Publication number: JP2540745Y2
Application number: JP1992035653U
Authority: JP
Inventors: 一馬関家; 隆之馬橋
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 1992-04-28
Filing date: 1992-04-28
Publication date: 1997-07-09
Anticipated expiration: 2007-04-28
Also published as: JPH0587954U

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、ダイシング装置等の精
密切削装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ダイシング装置で半導体ウェー
ハをチップに切断するような場合、図６に示すように回
転ブレードａの近傍にマイクロスコープｂを配設し、こ
のマイクロスコープｂの位置合わせ用ヘアーラインに回
転ブレードａの切刃線を合わせると共に、半導体ウェー
ハの切断ラインとマイクロスコープのヘアーラインとが
一直線上に合致するようにアライメントしてから切削す
るようにしている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、前記回
転ブレードａを支持しているスピンドルハウジングｃが
切削開始後に加熱されて熱変形を起こし、回転ブレード
ａの切刃線と前記マイクロスコープｂのヘアーラインと
がずれることがある。これはマイクロスコープｂを通し
て半導体ウェーハの切断ラインと正しくアライメントし
ても、回転ブレードａによる実際の切断線が半導体ウェ
ーハの切断ラインからずれることとなり、チップの切断
が正しく遂行されないで不良品になってしまう。又、マ
イクロスコープｂは前記スピンドルハウジングｃとは別
体の保持材ｄにより支持されているので、回転ブレード
ａをＺ軸方向（図６において紙面に垂直方向）に移動さ
せる駆動機構ｅと、マイクロスコープｂをＺ軸方向に移
動させる駆動機構ｆとは別々であり、つまり２つのＺ軸
駆動機構が必要となる。

【０００４】本考案は、このような従来の問題点を解決
するためになされたもので、回転ブレードを支持するス
ピンドルハウジングに熱変形（熱膨張）が生じても回転
ブレードの切刃線とマイクロスコープのヘアーラインと
がずれることがなく、且つスピンドルハウジングとマイ
クロスコープとを１つのＺ軸駆動機構で移動出来るよう
にした、精密切削装置を提供することを課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本考案は、回転ブレードが装着
されるスピンドルと、このスピンドルをラジアル及びス
ラスト両方向にエアーで支持するスピンドルハウジング
とを備える精密切削装置において、前記スピンドルハウ
ジングのスラスト軸受は回転ブレードに極めて近い位置
に形成されており、該スピンドルハウジングのスラスト
軸受の位置にブラケット等を固定して、マイクロスコー
プのヘアーラインと前記回転ブレードの切刃線とが一直
線上に合致するように、前記ブラケット等に該マイクロ
スコープを装着した精密切削装置を要旨とするものであ
る。又、本考案は、スピンドルハウジングをスラスト軸
受の位置で支持して上下動する枠体を具備し、該枠体に
マイクロスコープを装着した精密切削装置を要旨とする
ものである。

【０００６】

【作用】マイクロスコープをスピンドルハウジングの
スラスト軸受の位置にブラケット等を介して装着したの
で、スピンドルハウジングが熱膨張により変形してもマ
イクロスコープと回転ブレードとはその変形にともなっ
て同時に動くため、回転ブレードの切刃線とマイクロス
コープのヘアーラインとがずれる現象を回避することが
できる。尤も、スラスト軸受からブレード装着部までの
スピンドル自身の熱膨張と、スラスト軸受からマイクロ
スコープ迄のブラケット等の熱膨張とは必ずしも一致し
ないが、この間の長さはかなり短いのでさほど問題には
ならない。又、スピンドルハウジングとマイクロスコー
プとを１つのＺ軸駆動機構で移動させることができる。

【０００７】

【実施例】以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて
詳細に説明する。図１において、１はスピンドルハウジ
ング２のスラスト軸受２ａの近傍を１ｂの箇所で固定
し、後部に自由度を持たせるように構成した枠体であ
り、後部の側面に係合片１ａが突設され、この係合片１
ａはＺ軸駆動機構３に形成されたガイド溝３ａに摺動可
能に嵌合し、図２に示すようにモータ３ｃで送りねじ３
ｂを回転させることにより、図３のように枠体１をＺ軸
方向（上下方向）に移動できるようにしてある。

【０００８】前記Ｚ軸駆動機構３は、図３に示すように
Ｙ軸駆動機構４のベースプレート４ａの上面に固定さ
れ、そのベースプレート４ａは送りねじ４ｂに螺合して
おり、モータ４ｃで送りねじ４ｂを回転させてベースプ
レート４ａをガイドレール４ｄに沿ってＹ軸方向（前後
方向）に移動できるようにしてある。従って、前記枠体
１も同時にＹ軸方向に移動する。

【０００９】５はテーブルであり、その上面に半導体ウ
ェーハ等の被切削物を載置固定するための回転自在な装
着部５ａを有し、テーブル５の下部は一対のガイドレー
ル６に摺動可能に嵌合し、図２のようにそのガイドレー
ル６に沿ってＸ軸方向（左右方向）に移動可能にしてあ
る。

【００１０】前記スピンドルハウジング２にはスピンド
ル７が嵌挿されると共に、内部に圧縮エアーを供給する
ことによりそのスピンドル７をスラスト及びラシアル両
方向に支持して所謂エアースピンドルを構成してあり、
スピンドル７の先端部には回転ブレード８が取り付けら
れている。

【００１１】９はマイクロスコープであり、前記スピン
ドルハウジング２のスラスト軸受２ａの近傍にブラケッ
ト１０を介して配設され、即ち前記枠体１の前部の側面
にブラケット１０を固定し、その先端部の下面側にマイ
クロスコープ９を下向きに取り付けてある。この際、図
４に示すようにマイクロスコープ９の位置決め用ヘアー
ライン９ａが、前記回転ブレード８の切刃線と一直線Ｌ
上に合致するようにしてある。

【００１２】本考案に係る精密切削装置は上記のように
構成され、これを使用するには先ず前記テーブル５の装
着部５ａに半導体ウェーハ等の被切削物（図示せず）を
載置固定し、Ｙ軸駆動機構４により枠体１を前進させて
前記マイクロスコープ９で被切削物の切断線をヘアーラ
イン９ａに一致させようにアライメントが行われる。

【００１３】次に、Ｚ軸駆動機構３により枠体１を一定
量下降させて被切削物に対する回転ブレード８の切り込
み深さを設定し、その回転ブレード８を高速回転させる
と共に切削時には下降させた状態で、テーブル５をＸ軸
方向に動かしながら切削工程が行われる。被切削物が半
導体ウェーハであってチップに切断する場合は、回転ブ
レード８を一定のピッチでＹ軸方向に割り出し送りをし
ながら順次半導体ウェーハの切断線に沿って切削する。

【００１４】切削開始後にスピンドルハウジング２が、
加熱されて熱膨張しても、回転ブレード８に極めて近い
スラスト軸受２ａの位置にブラケット１０が固定されて
いるので、スピンドルハウジング２は、ブラケット１０
が固定された位置を基準にして回転ブレード８と反対側
により多く存在することから回転ブレード８と反対側に
より多く熱膨張することになる（この熱膨張は回転ブレ
ード８とマイクロスコープ９との位置関係には全く影響
しない）。そして、そのブラケット１０から回転ブレー
ド８側は、スピンドルハウジング２が殆ど存在しないこ
と、及びそのブラケット１０から回転ブレード８までの
長さが短いことから殆ど熱膨張の影響を受けない。又、
そのブラケット１０に装着されているマイクロスコープ
９のヘアーライン９ａも、ブラケット１０が固定された
位置から回転ブレード８と同じ距離にあり、前記同様、
長さが短いので熱膨張の影響を殆ど受けず、ヘアーライ
ン９ａと回転ブレード８の切刃線との位置ずれが殆ど生
じないのである。

【００１５】更に、マイクロスコープ９は図５に示すよ
うに、ブラケット１０を介してスピンドルハウジング２
のスラスト軸受２ａの近傍に直付けして実施することが
可能である。

【００１６】前記マイクロスコープ９はブラケット１０
を介してスピンドルハウジング２と一体化されているの
で、枠体１をＺ軸駆動機構３により動かすことによって
マイクロスコープ９とスピンドルハウジング２とを同時
に移動させることが可能となり、即ち従来に比べるとＺ
軸駆動機構が１つ減るのでコストダウンを図ることがで
きる。

【００１７】

【考案の効果】以上説明したように、本考案によれば、
ダイシング装置等のスピンドルユニットにおいて、スピ
ンドルハウジングのスラスト軸受近傍にブラケット等を
介してマイクロスコープを装着し、このマイクロスコー
プのヘアーラインとスピンドルに取り付けた回転ブレー
ドの切刃線とを一直線上に合わせたので、切削中にスピ
ンドルハウジングが熱変形（熱膨張）してもマイクロス
コープのヘアーラインと回転ブレードの切刃線とのずれ
を回避でき、常時精密に切削することが可能となり、不
良品の発生を未然に防止する等の優れた効果を奏する。
更に、本考案によれば、スピンドルハウジングとマイク
ロスコープとを一体化構造としたので、これらを１つの
Ｚ軸駆動機構で動かすことが可能となり、部品の削減に
よりコストダウンを図れる等の効果も奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す要部の平面図であ
る。

【図２】同、正面図である。

【図３】同、側面図である。

【図４】マイクロスコープのヘアーラインと回転ブレ
ードの切刃線との位置関係を示す説明図である。

【図５】マイクロスコープをスピンドルハウジングに
直結した実施例を示す一部の平面図である。

【図６】従来例の説明図である。

【符号の説明】

１…枠体１ａ…係合片２…スピンドルハウジン
グ３…Ｚ軸駆動機構３ａ…ガイド溝３ｂ…
送りねじ３ｃ…モータ４…Ｙ軸駆動機構４
ａ…ベースプレート４ｂ…送りねじ４ｃ…モー
タ４ｄ…ガイドレール５…テーブル５ａ…
装着部６…ガイドレール７…スピンドル８
…回転ブレード９…マイクロスコープ１０…ブ
ラケット

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】回転ブレードが装着されるスピンドルと、
このスピンドルをラジアル及びスラスト両方向にエアー
で支持するスピンドルハウジングとを備える精密切削装
置において、前記スピンドルハウジングのスラスト軸受は回転ブレー
ドに極めて近い位置に形成されており、該スピンドルハ
ウジングのスラスト軸受の位置にブラケット等を固定し
て、マイクロスコープのヘアーラインと前記回転ブレー
ドの切刃線とが一直線上に合致するように、前記ブラケ
ット等に該マイクロスコープを装着したことを特徴とす
る精密切削装置。
【請求項２】スピンドルハウジングをスラスト軸受の位
置で支持して上下動する枠体を具備し、該枠体にマイク
ロスコープを装着した請求項１記載の精密切削装置。