JP2540028B2 - 集積プログラミング回路 - Google Patents

集積プログラミング回路

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JP2540028B2 JP32511294A JP32511294A JP2540028B2 JP 2540028 B2 JP2540028 B2 JP 2540028B2 JP 32511294 A JP32511294 A JP 32511294A JP 32511294 A JP32511294 A JP 32511294A JP 2540028 B2 JP2540028 B2 JP 2540028B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、冗長性を有する電気的
プログラム可能半導体メモリ装置の集積プログラミング
回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】EPROM,EEPROM及びフラッシ
ュEEPROMのような電気的プログラム可能半導体メ
モリはマトリクス構造に構成され、単一のメモリ素子が
行(ワードライン)と列(ビットライン)の交点に位置
する。所定のメモリ素子をアクセスするためにはこのメ
モリ素子が位置する交点のワードライン及びビットライ
ンを選択する必要があり、この目的のためにメモリアド
レスバスは行及び列アドレス信号に分割され、別々にデ
コードされる。
【0003】8ビット又は16ビットを具えるデータバ
スを有するバイト構成メモリ又はワード構成メモリでは
データバス内のそれぞれのビットがそれぞれ一群のビッ
トラインを具えるそれぞれのメモリマトリクス部分に関
連し、列アドレス信号の各論理構成が各群内の1ビット
ラインの同時選択を行う。各ビットライン群がそれぞれ
のメモリマトリクス部分に属するメモリ素子に蓄積され
た情報を読み出すそれぞれのセンス回路に関連するとと
もに、該ビットライン群に接続されたメモリ素子をプロ
グラムするプログラミング負荷回路に関連する。
【0004】メモリ装置にプログラミング動作を自動化
する内部制御回路を設けるのが普通になってきており、
これはマイクロコントローラにより直接オンボードプロ
グラムするようにされたフラッシュEEPROM装置に
対し特に必要であって、このため、このような装置に対
してはプログラミング動作をマイクロコントローラをビ
ジーに保つ必要なしに実行するのが好ましい。このよう
な制御回路はインテリジェントプログラミングアルゴリ
ズムを実行することができ、このアルゴリズムによれば
プログラミング電圧を選択されたメモリ素子に、これら
の素子がまだプログラムされてない場合にのみ供給し、
メモリ素子が不必要なストレスを受けないようにして装
置の総合寿命を延ばすことができる。また、反復パルス
に基づいて、各プログラミングパルス後にプログラム検
証ステップを実行することもできる。前記内部制御回路
は一般に前記ビットライン群の各群に関連するプログラ
ミング負荷回路の駆動を制御する複数の制御回路と中央
制御回路を具える。
【0005】また、半導体メモリの製造において、メモ
リマトリクス内の少数のメモリ素子を不良にする欠陥が
しばしば生じうる。このタイプの欠陥の発生確率が高い
のは、半導体メモリ装置においてはチップ面積の最大部
分がメモリマトリクスにより占められるからであり、更
に、製造プロセス特性が限界まで強いられるのは通常周
辺回路ではなくメモリマトリクスであるからである。
【0006】何百万個ものメモリ素子の内の少数の欠陥
メモリ素子の存在がチップ全体を不良にするのを阻止
し、製造の歩留りを増大するために、メモリ装置のテス
ト中に欠陥を示すメモリ素子の代わりとして使用すべ
き、一般に”冗長メモリ素子”と言う所定数の追加のメ
モリ素子と、欠陥メモリ素子と冗長メモリ素子との機能
的置換を可能にする選択回路(全体として”冗長回路”
と言う)を製造する技術が知られており、この冗長メモ
リ素子と選択回路の組み合わせを単に”冗長性”とも言
う。
【0007】冗長回路は、欠陥メモリ素子に対応するア
ドレスを記憶するのに好適なプログラム可能不揮発性メ
モリレジスタを具え、これらのレジスタをメモリ装置の
テスト中に最終的にプログラムし、電源が存在しない場
合でもこれらのレジスタに記憶した情報を保持する必要
がある。
【0008】冗長回路の実施例では、一般に冗長メモリ
素子のワードラインとビットラインの双方をメモリマト
リクス内に設け、各冗長ワードライン又はビットライン
を各別の不揮発性メモリレジスタに関連させ、このレジ
スタに欠陥ワードライン又はビットラインのアドレスを
記憶し、欠陥ワードライン又はビットラインがアドレス
されたときに対応する冗長ワードライン又はビットライ
ンが選択されるようにする。
【0009】既知のメモリマトリクス構造では、各ビッ
トライン群、即ちメモリ装置のデータバスの各ビットに
関連する各マトリクス部分が一組の冗長ビットラインを
具え、冗長回路において冗長ビットラインに関連する不
揮発性レジスタのみが列アドレス信号の論理構成を記憶
するため、一つの群内の欠陥ビットラインと、関連する
組の冗長ビットラインとの置換が、この欠陥ビットライ
ンと同一の論理構成の列アドレス信号を有する他の群内
のビットラインに対し、これらのビットラインが不良で
なくても同様の置換を生じさせる。これは冗長回路資源
の浪費をまねき、メモリ装置の修復率を制限する。
【0010】異なるメモリマトリクス構成では、唯一組
の冗長ビットラインをメモリ装置のデータバス内の各ビ
ットに関連する全てのビットライン群に関連させる。こ
の場合には、この一組の冗長ビットラインを冗長センス
回路及び冗長プログラミング回路に関連させる。この構
成では、一つのビットライン群内の欠陥ビットラインを
冗長ビットラインと置換することができ、この際他の群
内の同一の論理構成の列アドレス信号を有する全てのビ
ットラインが冗長ビットラインと自動的に置換されるこ
とがない。換言すれば、欠陥ビットラインのみが冗長ビ
ットラインと置換され、前記の既知の構成と異なり、欠
陥ビットラインと同一のレジスタアドレスを共有する他
の群内の全てのビットラインが冗長ビットラインと置換
されない。このためには、テスト中に欠陥ビットライン
が検出されたビットラインの群に関する情報を欠陥ビッ
トラインの代わりに使用する冗長ビットラインに関連す
る不揮発性レジスタに記憶する必要がある。このこと
は、冗長回路内の各不揮発性レジスタは先に述べた構成
のメモリマトリクスに対し追加のプログラム可能メモリ
セルを具えるが、メモリ装置の修復率が増大することを
意味し、これは所定数の欠陥ビットラインを置換するの
に少数の冗長ビットラインが必要とされるのみであるた
めである。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】以上の従来技術に鑑
み、本発明の目的は上述した第2のタイプのメモリマト
リクス構成を有する冗長回路を有する電気的プログラム
可能半導体メモリ装置のためのプログラミング回路を実
現することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、行及び列の交点にメモリ素子を具
えるメモリマトリクスを具え、該マトリクスの列が複数
のデータ入/出力パッドにそれぞれ関連する複数のマト
リクス部分を形成するようグループ化されており、且つ
前記マトリクス内に設けられた少なくとも一つの冗長列
の群を形成するそれぞれの冗長列に関連するプログラム
可能不揮発性メモリレジスタを具え、各不揮発性メモリ
レジスタを欠陥列のアドレス及び欠陥列が属するマトリ
クス部分を識別する識別コードを記憶するようプログラ
ムしうる電気的プログラム可能半導体メモリ装置の集積
プログラミング回路であって、それぞれ一つのマトリク
ス部分に関連し、駆動時に当該マトリクス部分の列をプ
ログラミング電圧ラインに電気的に接続する複数のプロ
グラミング負荷回路と、それぞれのプログラミング負荷
回路の駆動をプログラムすべきデータを供給するそれぞ
れのデータ信号ラインの論理状態に従って制御する複数
のプログラミング負荷制御回路と、前記冗長列の群に関
連する冗長プログラミング負荷回路とを具えるプログラ
ミング回路において、各プログラミング負荷制御回路
が、プログラミング中に欠陥列アドレスがメモリ装置に
供給されると、この欠陥列アドレスが記憶された不揮発
性レジスタに記憶されている識別コードから発生された
信号が供給される復号手段と、前記復号手段の出力端子
の復号信号に応答して冗長プログラミング負荷回路の駆
動を前記データラインの論理状態に従ってイネーブルす
るとともに関連するプログラミング負荷回路の駆動を禁
止せしめるスイッチ手段とを具えることを特徴とする。
【0013】本発明によれば、メモリ装置のデータバス
のそれぞれのビットに関連するマトリクス部分を構成す
るビットライン群にそれぞれ関連するプログラミング負
荷回路の駆動及び冗長ビットライン群に関連するプログ
ラミング負荷回路の駆動を制御するために一般に設けら
れている既存のプログラミング負荷制御回路を用いるこ
とができる。
【0014】本発明の好適実施例では、各プログラミン
グ負荷制御回路が、前記データ信号ラインにより供給さ
れるデータをアドレスされたメモリ素子に記憶されてい
るデータ信号と比較し、このアドレスされたメモリ素子
が非欠陥列に属するときは当該マトリクス部分に関連す
るセンス回路の出力信号と比較し、アドレスされたメモ
リ素子が欠陥ビットラインに属するときは冗長列群に関
連する冗長センス回路の出力信号と比較する比較回路を
具え、メモリ装置がプログラミングモードにあり且つア
ドレスされたメモリ素子がプログラムされてない状態に
あるとともにデータ信号ラインにより供給されるデータ
の状態がメモリ素子のプログラムされた状態に対応する
場合にのみ前記比較回路がプログラム負荷駆動信号をア
クティブにするよう構成する。
【0015】本発明のこの好適実施例によれば、メモリ
装置をプログラムする際に、まだプログラムされた状態
にないアドレスされたメモリ素子のみにプログラム電圧
を供給することができる。
【0016】
【実施例】次に、図面を参照して本発明を好適実施例に
つき詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるので
はない。電気的プログラム可能半導体メモリ装置は、既
知のように、行(ワードライン)及び列(ビットライ
ン)の交点に位置するメモリ素子(図示せず)のマトリ
クスを具え、ワード構成メモリ装置ではマトリクスはビ
ットラインBLの複数の群を具える複数の部分OD0−
OD15に分割され、各部分OD0−OD15はメモリ
装置の外部データバスの各別のビットに関連する。マト
リクス部分OD0−OD15の各々と関連する選択手段
SEL0−SEL15(マルチプレクサ回路で示す)に
よりそれぞれのマトリクス部分OD0−OD15内の所
定のビットラインBLを選択し、選択したビットライン
BLをそれぞれのセンス回路SA0−SA15に電気的
に接続してそれぞれの部分OD0−OD15に属するビ
ットラインBLに接続されたメモリ素子に記憶されてい
る情報を読み出すことができる。
【0017】メモリマトリクスは更に冗長ビットライン
RBLの群RBを具え、その各冗長ビットラインはマト
リクス部分OD0−OD15の任意の一つに属する欠陥
ビットラインBLの代わりに使用することができる。冗
長ビットラインRBLの群RBにも所定の冗長ビットラ
インを選択する手段SELRを設け、更にマトリクス部
分OD0−OD15に関連するセンス回路SA0−SA
15に類似の冗長センス回路RSAを設ける。
【0018】センス回路SA0−SA15の出力信号S
O0−SO15を一まとめにしてバスSBUSを形成す
る。単一の冗長センス回路RSAの出力は信号SORで
示す。各マトリクス部分OD0−OD15は各別のプロ
グラミング負荷回路PLOAD0−PLOAD15(図
2)にも関連する。これらのプログラミング負荷回路は
それぞれのプログラミング負荷駆動制御回路CNT0−
CNT15により制御される。冗長ビットラインRBL
の群RBはプログラミング負荷回路PLOAD0−PL
OAD15に類似の冗長プログラミング負荷回路PLO
ADRにも関連する。
【0019】図4に示すように、各プログラミング負荷
駆動制御回路CNT0−CNT15はデータフリップフ
ロップFFDを具え、このフリップフロップには内部デ
ータバスDBUSから一つのデータ信号D0−D15が
供給される。各データ信号D0−D15はバッファ回路
IOBUFを経てメモリ装置の各別のデータ入/出力パ
ッドIOPAD0−IOPAD15(図2)に接続され
る。各制御回路CNT0−CNT15は検証フリップフ
ロップFFVも具え、このフリップフロップにはバスS
BUSからの信号SO0−SO15の一つが供給される
第1入力チャネル及び信号SORが供給される第2入力
チャネルを有する2チャネルマルチプレクサMの出力信
号Sが供給される。
【0020】各制御回路CNT0−CNT15では、検
証フリップフロップFVの真出力Q1を第1−2入力A
NDゲート1の第1入力端子に供給し、その第2入力端
子にデータフリップフロップFFDの偽出力Q2Nを供
給し、且つ検証フリップフロップFFVの偽出力Q1N
を第2−2入力ANDゲート2の第1入力端子に供給
し、その第2入力端子にデータフリップフロップFFD
の真出力Q2を供給する。ANDゲート1及び2はNO
Rゲート3と相まって比較回路を構成する。NORゲー
ト3の出力CMPを3入力NORゲート4に供給し、こ
のNORゲート4の第2入力端子にデータフリップフロ
ップFFDの真出力Q2を供給し、その第3入力端子に
メモリ装置の内部制御回路5(図2)により発生される
プログラムイネーブル信号PGENを供給する。後にも
っと明瞭に説明するように、ゲート1、2及び3からな
る比較回路は、メモリ装置のプログラミング動作中、ア
ドレスされたメモリ素子のプログラミング状態に基づく
制御を行い、既にプログラムされた状態にあるメモリ素
子がプログラミング電圧を受けるのを阻止することがで
き、このような制御はフラッシュEEPROM装置の場
合に極めて重要である。しかし、このような制御は特定
のメモリ装置では重要でなく、この場合には比較回路
1、2及び3は不要であり、各制御回路CNT0−CN
T15はデータフリップフロップFFDのみを具え、N
ORゲート4は3入力の代わりに2入力にする。
【0021】プログラミング負荷駆動信号を表すNOR
ゲート4の出力信号PGMを2入力NANDゲート6の
第1入力端子に供給し、このNANDゲート6の第2入
力端子に、バスOCODE(図2)からの4つの信号が
供給される4入力NANDゲート7からなるデコード回
路の出力ROUTを供給する。図示の例では、前記バス
OCODEは3つの信号OC0−OC2及びそれらの論
理補数OC0N−OC2N、及びもう2つの信号OC3
及びOC3Nの全部で8つの信号を具え、各プログラミ
ング負荷制御回路CNT0−CNT15には前記8つの
信号OC0−OC3及びOC0N−OC3Nの内の4つ
の信号の異なる組み合わせが供給される。即ち、第1制
御回路CNT0には信号OC0−OC3の組み合わせが
供給され、第2制御回路CNT1には信号OC0N,O
C1−OC3の組み合わせが供給され、以下同様にして
最後の制御回路CNT15には信号OC0N−OC3N
の組み合わせが供給される。NORゲート4の出力信号
を、NANDゲート7の出力ROUTが供給されるイン
バータ8の出力により制御されるスイッチSWにも供給
する。NANDゲート7の出力ROUTはマルチプレク
サMの制御信号も構成する。NANDゲート6の出力は
関連するプログラミング負荷回路PLOAD0−PLO
AD15に供給する制御信号CS0−CS15を表す。
制御回路CNT0−CNT15内の全てのスイッチSW
の出力を共通信号ラインRCSNに接続し、インバータ
9に供給する。このインバータ9の出力は冗長プログラ
ミング負荷回路PLOADRの制御信号RCSを表す
(図2)。
【0022】図3に示すように、各プログラミング負荷
回路PLOAD0−PLOAD15及び冗長プログラミ
ング負荷回路PLOADRは既知のようにラッチ回路及
び最終段を具え、このラッチ回路は第1NチャネルMO
SFET T1及び第2NチャネルMOSFET T2
を具え、MOSFET T1のゲートを各別の制御信号
CS0−CS15又はRCSに接続し、そのソースを基
準電圧ラインGNDに接続し、そのドレインをMOSF
ET T2のソースに接続し、MOSFETT2のドレ
インを第1PチャネルMOSFET T3のドレインに
接続し、このMOSFET T3のソースを高電圧源V
PP(代表的には12V)に接続するとともに、そのゲ
ートを同様にそのソースが高電圧源VPPに接続された
第2PチャネルMOSFET T4のドレインに接続
し、そのゲートを第1PチャネルMOSFET T3の
ドレインに接続してラッチ構成にする。第2Pチャネル
MOSFET T4のドレインを第3NチャネルMOS
FET T5のドレインに接続し、そのゲートを第2N
チャネルMOSFET T2のゲートと一緒に代表的に
は5Vの電圧源VDDに接続するとともに、そのソース
を、基準電圧GNDに接続されたソースを有する第4N
チャネルMOSFET T6のドレインに接続し、その
ゲートを制御信号CS0−CS15又はRCSが供給さ
れるインバータ10の出力端子に接続する。第2Pチャ
ネルMOSFET T4のドレインを更に高電圧源VP
Pに接続されたソースを有し最終段を構成する第3Pチ
ャネルMOSFET T7のゲートに接続する。このM
OSFET T7のドレインがプログラミング負荷回路
PLOAD0−PLOAD15又はPLOADRの出力
端子PG0−PG15又はPGRを構成し、それぞれの
センス回路SA0−SA15又はSARの入力端子と一
緒に選択手段SEL0−AEL15又はSELRの出力
端子に接続する(図1)。
【0023】メモリ装置は更に複数のプログラム可能不
揮発性メモリレジスタRRを具える冗長回路17を具え
る(図5)。各レジスタRRは群RB内の各別の冗長ビ
ットラインRBLに関連する。各レジスタRRは欠陥ビ
ットラインBLのアドレスを記憶する第1回路部分11
を具え、この部分に記憶されているアドレスとメモリ装
置に供給される現在アドレス(このアドレスはバスCO
LOADによりレジスタRRのこの第1回路部分11に
供給される)との比較を行う。各レジスタRRの第1回
路部分11は、現在アドレスCOLOADがレジスタR
Rに記憶されているアドレスと一致するするときアクテ
ィブになる冗長選択信号RSを発生して関連する冗長ビ
ットラインRBLを選択するとともに欠陥ビットライン
BLを選択解除する。各レジスタRRは、その第1回路
部分11にアドレスが記憶された欠陥ビットラインがマ
トリクス部分OD0−OD15のどの部分にあるのかを
決定するのに好適な情報を符号化した形で記憶する第2
回路部分12も具える。図示の実施例では、メモリマト
リクスの所定のマトリクス部分OD0−OD15を識別
するには4ビットを用いて16種類のビット構成を得れ
ば十分である。この情報の各ビットは各レジスタRRの
第2回路部分12に含まれる各別のプログラム可能メモ
リセル(図示せず)に記憶される。これらのメモリセル
に記憶された情報はそれぞれの信号ラインOC0′−O
C3′に現れ、それぞれのレジスタRRの冗長選択信号
RSにより制御されるマルチスイッチ13に供給する。
全てのスイッチ3の出力端子をOCODEバスの信号O
C0−OC3に共通に接続する。信号OC0N−OC2
Nを信号OC0−OC2からインバータ14により発生
させるとともに、信号OC3Nを信号OC3から2入力
NORゲート15により発生させ、このゲートの一方の
入力端子に、信号RSの全てが供給されるNORゲート
16の出力端子RENを供給する。
【0024】信号RENをNチャネルMOSFET T
8のゲートにも供給し、そのドレインを信号ラインRC
SNに接続するとともに、そのソースを接地する。別の
NチャネルMOSFET T9を信号ラインRCSNと
大地との間に接続し、信号PGENで制御する(図
2)。
【0025】メモリ装置が読み出し状態のとき、内部制
御回路5(図2)が信号PGENを高論理状態に維持す
る。この状態では、全てのプログラミング負荷駆動制御
回路CNT0−CNT15(図4)内のNORゲート4
の出力が低論理状態に維持され、全ての制御信号CS0
−CS15が高論理状態に維持される。これにより各プ
ログラミング負荷回路PLOAD0−PLOAD15内
のPチャネルMOSFET T7がオフにされ、従って
出力PG0−PG15がフローティングのままになる。
信号PGENは更にNチャネルMOSFET T9(図
2)をオンにするため、信号ラインRCSNが接地に維
持され、信号RCSが高論理状態になる。これにより冗
長プログラミング負荷回路PLOADR内のPチャネル
MOSFET T7がオフになり、出力PGRもフロー
ティングのままになる。換言すれば、メモリ装置が読み
出し状態のときは、プログラミング負荷回路PLOAD
0−PLOAD15及びPLOADRがマトリクス部分
OD0−OD15及び冗長ビットライン群RBから切り
離される。
【0026】メモリ装置をプログラムするときは、プロ
グラムすべきデータワードを外部からパッドIOPAD
0−IOPAD15(図2)に供給するとともに、バッ
ファ回路IOBUFを経てバスDBUSにデータ信号D
0−D15を転送する。各データ信号D0−D15はそ
れぞれの制御回路CNT0−CNT15のデータフリッ
プフロップFFD(図4)にラッチされる。メモリ装置
にはデータワードをプログラムすべきメモリ位置、即ち
メモリ素子を選択するアドレス信号も供給する。
【0027】内部制御回路5が最初信号PGENを高論
理状態に維持するため、プログラミング負荷回路がメモ
リマトリクスのビットラインから切り離され、アドレス
されたメモリ素子の現在の論理状態がセンス回路SA0
−SA15(図1)により読み出され、信号ラインSO
0−SO15に現れる。現在の列アドレスCOLADD
が欠陥ビットラインのアドレスに一致しない場合には冗
長選択信号RSのどれもアクティブにならず、信号RE
Nが高論理状態に維持され、更に、全てのスイッチ13
(図5)が開くため、信号OC0−OC3がどの群の信
号ラインOC0′−OC3′にも接続されない。しか
し、一般にある種のプルアップ又はプルダウンを信号ラ
インOC0−OC3の各ラインに与え、これらのライン
がフローティングにならないようにするため、全ての信
号ラインOC0−OC3が明確に規定され、例えば低論
理状態になる。信号RENがNORゲート15の出力を
低論理状態にするため、信号OC3が低論理状態でも信
号OC3Nは低論理状態になる。従って、信号OC0−
OC3,OC0N−OC3Nの組み合わせは制御回路C
N0−CN15により認識しうる16種類の組み合わせ
に属しない。従って、全ての回路CNT0−CNT15
内のNANDゲート7の信号ROUTが高論理状態にな
り、マルチプレクサMの出力チャネルSが、現在アドレ
スされているプログラムすべきメモリ素子から読み出さ
れたデータが存在する信号ラインSO0−SO15に接
続される。この情報が検証フリップフロップFFVにラ
ッチされる。制御回路CNT0−CNT15内のゲート
1、2及び3からなる比較回路により、メモリ素子の現
在の状態がこれにプログラムすべきデータと比較され
る。メモリ素子の現在の状態がこれにプログラムすべき
データと一致する場合には、信号CMPが高論理状態に
なり、プログラミング負荷駆動信号PGMが低論理状態
になるため、制御信号CS0−CS15は”1”に維持
される。この場合には、内部回路5が信号PGENを低
論理状態に駆動しても、プログラミング負荷回路PLO
AD0−PLOAD15は関連するマトリクス部分OD
0−OD15から切り離されたままになり、従って既に
所望の状態にプログラムされているメモリ素子はプログ
ラミングを受けない。
【0028】次に、マトリクス部分OD0内のアドレス
されたメモリ素子の現在の状態がこれにプログラムすべ
きデータD0と一致しないものと仮定すると、信号CM
Pが低論理状態に維持される。しかし、D0が論理値”
1”である場合、即ちアドレスされたメモリ素子の現在
の状態が論理値”0”である場合には、CNT0のNO
Rゲート4の一つの入力が高論理値になるため、内部制
御回路5が信号PEGNを低論理状態に駆動すると、プ
ログラミング負荷駆動信号PGMが低論理状態のままに
なり、従って信号CS0−CS15が高論理状態に維持
され、プログラミング負荷回路PLOAD0は駆動され
ない。これは、このメモリ素子はプログラムする必要が
あるのではなく消去する必要があるからである。
【0029】その代わりにD0が論理値”0”である場
合、即ちアドレスされたメモリ素子の現在の状態が論理
値”1”である場合には、内部制御回路5が信号PGE
Nを低論理状態に駆動すると、プログラミング負荷駆動
信号PGMが高論理状態になり、制御信号CS0が低論
理状態になる。この場合、プログラミング負荷回路PL
OAD0内のPチャネルMOSFET T7がオンにな
り、従って信号ラインPG0が高電圧源VPPに接続さ
れ、メモリ素子をプログラムすることができる。
【0030】所定の時間間隔後に、制御回路5が信号P
GENを高論理状態に駆動し、メモリ素子に記憶された
情報を再びセンス回路SA0−SA15により読み出
し、メモリ素子が既にプログラムされているか検証す
る。即ち、再び、メモリ素子の現在の状態が検証フリッ
プフロップFFVにラッチされ、プログラムすべきデー
タと比較される。内部制御回路5が再びPGENを低論
理状態に駆動すると、プログラミング負荷回路PLOA
D0−PLOAD15が再駆動されて最初のパルスでプ
ログラムされなかったメモリ素子に第2プログラミング
パルスを供給する。この動作が繰り返されて反復パルス
によるプログラミングが得られる。各反復サイクルごと
に未だプログラムされていないメモリ素子のみにプログ
ラム電圧が供給される。
【0031】メモリ装置に供給される列アドレスCOL
ADDが、テスト中に冗長回路17の不揮発性レジスタ
RRの一つに記憶された欠陥ビットラインのアドレスと
一致する場合には、前記不揮発性レジスタRRがその第
1回路部分11の出力信号RSをアクティブにする。こ
の場合、関連するスイッチ13が信号ラインOC0′−
OC3′をそのレジスタRRの第2回路部分12の信号
ラインOC0−OC3に接続する。また、信号RENが
低論理状態になるため、信号OS3Nが信号OC3の正
しい論理補数になる。例えば現在アドレスされている欠
陥ビットラインがマトリクス部分OD0に属する場合に
は、信号ラインOC0−OC3が全て高論理状態にな
り、制御回路CNT0内の信号ROUTが低論理状態に
なる。この場合、マルチプレクサMがその出力チャネル
Sを信号SORが供給される入力チャネルに接続するた
め、検証フリップフロップFFVが、マトリクス部分O
D0内の欠陥ラインBLと置換する冗長ビットラインB
LRに接続された冗長メモリ素子から冗長センス回路S
ARにより読み出された情報をラッチすることができ
る。信号ROUTは選択信号CS0をプログラミング負
荷駆動信号PGMの論理状態と無関係に”1”に維持せ
しめるため、プログラミング負荷回路PLOAD0が駆
動されず、またスイッチSWが閉じるため、信号PGM
が信号ラインRCSNに接続される。REN信号は低論
理状態であるため、内部制御回路5がPGENを低論理
状態に駆動すると、2つのMOSFET T8及びT9
がオフになり、RCSNラインの電圧はプログラミング
負荷駆動信号PGMの論理状態にのみ依存する。この論
理状態は上述したように冗長メモリ素子の現在の状態と
プログラムすべきデータとの比較結果に依存する。冗長
メモリ素子をプログラムする必要がある場合には、RC
SN信号が高論理状態になり、RCS信号が低論理状態
になるため、冗長プログラム負荷回路PLOADRが駆
動される。その代わりに、冗長メモリ素子がD0と一致
する状態にあるため、又はD0が”1”で、メモリ素子
が”0”状態にあるために冗長メモリ素子をプログラム
する必要がない場合には、信号RCSNが低論理状態に
維持され、RCSが高論理状態になるため、プログラミ
ング負荷回路PLOADRは駆動されない。
【図面の簡単な説明】
【図1】電気的プログラム可能メモリ装置のメモリマト
リクス構成の概略図である。
【図2】図1の電気的プログラム可能メモリ装置用の本
発明によるプログラミング回路の概略図である。
【図3】図2のプログラミング回路のプログラミング負
荷回路の回路図である。
【図4】前記プログラミング回路のプログラミング負荷
制御回路の回路図である。
【図5】前記電気的プログラム可能メモリ装置の冗長回
路の回路図である。
【符号の説明】
OD0−OD15 マトリクス部分 RB 冗長ビットライン群 SEL0−SEL15 選択手段 SELR 冗長選択手段 SA0−SA15 センス回路 RSA 冗長センス回路 PLOAD0−PLOAD15 プログラミング負荷回
路 PLOADR 冗長プログラミング負荷回路 CNT0−CNT15 プログラミング負荷制御回路 FFD データフリップフロップ FFV 検証フリップフロップ PGEM プログラムイネーブル信号 1−3 比較回路 4 NORゲート回路 5 内部制御回路 7 デコーダ 6 NANDゲート回路 8 スイッチ CS0−CS15、RCS 制御信号 RR レジスタ 11 第1レジスタ部分 12 第2レジスタ部分 13 スイッチ 16 NORゲート回路 17 冗長回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 シルヴィア パドアン イタリア国 フォルリ 47037 リミニ ヴィア サン ベルナルド 35 (72)発明者 マルコ マッカーローネ イタリア国 パヴィア 27030 パレス トロ ヴィア フォルナセ 8 (56)参考文献 特開 平2−141998(JP,A)

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 行及び列(BL)の交点にメモリ素子を
    具えるメモリマトリクスを具え、該マトリクスの列(B
    L)が複数のデータ入/出力パッド(IOPAD0−I
    OPAD15)にそれぞれ関連する複数のマトリクス部
    分(OD0−OD15)を形成するようグループ化され
    ており、且つ前記メモリマトリクス内に設けられた少な
    くとも一つの冗長列(RBL)の群(RB)を形成する
    それぞれの冗長列(RBL)に関連するプログラム可能
    不揮発性メモリレジスタ(RR)を具え、各不揮発性メ
    モリレジスタ(RR)を欠陥列(BL)のアドレス(C
    OLADD)及び欠陥列(BL)が属するマトリクス部
    分(OD0−OD15)を識別する識別コード(OC
    0′−OC3′)を記憶するようプログラムすることが
    できる電気的プログラム可能半導体メモリ装置の集積プ
    ログラミング回路であって、それぞれ一つのマトリクス
    部分(OD0−OD15)に関連し、駆動時に当該マト
    リクス部分(OD0−OD15)の列(BL)をプログ
    ラミング電圧ライン(VPP)に電気的に接続する複数
    のプログラミング負荷回路(PLOAD0−PLOAD
    15)と、それぞれ一つのプログラミング負荷回路(P
    LOAD0−PLOAD15)の駆動を、プログラムす
    べきデータを供給するそれぞれのデータ信号ライン(D
    0−D15)の論理状態に従って制御する複数のプログ
    ラミング負荷制御回路(CNT0−CNT15)と、前
    記冗長列(RBL)の群(RB)に関連する冗長プログ
    ラミング負荷回路(PLOADR)とを具えるプログラ
    ミング回路において、各プログラミング負荷制御回路
    (CNT0−CNT15)が、プログラミング中に欠陥
    列アドレス(COLADD)がメモリ装置に供給される
    と、この欠陥列アドレス(COLADD)が記憶された
    不揮発性レジスタ(RR)に記憶されている識別コード
    (OC0′−OC3′)から発生された信号(OC0−
    OC3、OC0N−OC3N)が供給される復号手段
    (7)と、前記復号手段(7)の出力端子の復号出力信
    号(ROUT)に応答して冗長プログラミング負荷回路
    (PLOADR)の駆動を前記データライン(D0−D
    15)の論理状態に従ってイネーブルするとともにそれ
    ぞれ関連するプログラミング負荷回路(PLOAD0−
    PLOAD15)の駆動を禁止せしめるスイッチ手段
    (SW,6)とを具えることを特徴とする集積プログラ
    ミング回路。
  2. 【請求項2】 前記スイッチ手段(SW,6)が前記復
    号出力信号(ROUT)及びプログラミング負荷駆動信
    号(PGM)を受信しそれぞれ関連するプログラミング
    負荷回路(PLOAD0−PLOAD15)の制御信号
    (CS0−CS15)を出力する論理ゲート(6)と、
    前記復号出力信号(ROUT)により制御され、閉成時
    に前記プログラミング負荷駆動信号(PGM)を冗長プ
    ログラミング負荷回路(PLOAD0−PLOAD1
    5)の冗長制御信号ライン(RCSN)に転送するスイ
    ッチ(SW)とを具え、前記復号出力信号(ROUT)
    がアクティブのときは、プログラミング負荷駆動信号
    (PGM)がアクティブであっても前記制御信号(CS
    0−CS15)が禁止されると同時に前記スイッチ(S
    W)が閉成されるように構成されていることを特徴とす
    る請求項1記載の集積プログラミング回路。
  3. 【請求項3】 各プログラミング負荷制御回路(CNT
    0−CNT15)が、前記データ信号ライン(D0−D
    15)により供給されるデータをアドレスされたメモリ
    素子に記憶されている信号(S)と比較し、このアドレ
    スされたメモリ素子が非欠陥列に属するときは当該マト
    リクス部分(OD0−OD15)に関連するセンス回路
    (SO0−SO15)の出力信号(SO0−SO15)
    と比較し、このアドレスされたメモリ素子が欠陥ビット
    ラインに属するときは冗長列(RBL)の群(RB)に
    関連する冗長センス回路(SAR)の出力信号(SO
    R)と比較する比較回路(1−4)を具え、メモリ装置
    がプログラミングモードにあり且つアドレスされたメモ
    リ素子がプログラムされてない状態にあるとともにデー
    タ信号ライン(D0−D15)により供給されるデータ
    の状態がメモリ素子のプログラムされた状態に対応する
    場合にのみ前記比較回路(1−4)がプログラム負荷駆
    動信号(PGM)をアクティブにするよう構成されてい
    ることを特徴とする請求項2記載の集積プログラミング
    回路。
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6230233B1 (en) * 1991-09-13 2001-05-08 Sandisk Corporation Wear leveling techniques for flash EEPROM systems
US5726937A (en) * 1994-01-31 1998-03-10 Norand Corporation Flash memory system having memory cache
DE69412230T2 (de) * 1994-02-17 1999-04-08 Sgs Thomson Microelectronics Verfahren zur Programmierung von Redundanzregistern in einer Spaltenredundanzschaltung für einen Halbleiterspeicherbaustein
US5841712A (en) * 1996-09-30 1998-11-24 Advanced Micro Devices, Inc. Dual comparator circuit and method for selecting between normal and redundant decode logic in a semiconductor memory device
US6022788A (en) * 1997-12-23 2000-02-08 Stmicroelectronics, Inc. Method of forming an integrated circuit having spacer after shallow trench fill and integrated circuit formed thereby
US6040993A (en) * 1998-02-23 2000-03-21 Macronix International Co., Ltd. Method for programming an analog/multi-level flash EEPROM
DE19922920C1 (de) * 1999-05-19 2000-11-16 Siemens Ag Integrierter Speicher mit Redundanzfunktion
US6535780B1 (en) * 1999-11-10 2003-03-18 Data I/O Corporation High speed programmer system
US6675319B2 (en) * 2000-12-27 2004-01-06 Han-Ping Chen Memory access and data control
TW561339B (en) * 2002-07-24 2003-11-11 C One Technology Corp Non-volatile memory based storage system capable of directly overwriting without using redundancy and the method thereof
JP4518951B2 (ja) * 2002-10-28 2010-08-04 サンディスク コーポレイション 不揮発性記憶システムにおける自動損耗均等化
US7472737B1 (en) * 2003-01-15 2009-01-06 Leannoux Properties Ag L.L.C. Adjustable micro device feeder
DE602004004841T2 (de) 2003-08-29 2007-11-08 Fujifilm Corp. Laminierte Struktur, Verfahren zur Herstellung derselben und Vielfach-Ultraschallwandlerfeld
US7295478B2 (en) * 2005-05-12 2007-11-13 Sandisk Corporation Selective application of program inhibit schemes in non-volatile memory
KR20160012751A (ko) * 2014-07-25 2016-02-03 에스케이하이닉스 주식회사 반도체 메모리 장치

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01109599A (ja) * 1987-10-22 1989-04-26 Nec Corp 書込み・消去可能な半導体記憶装置
JPH0748316B2 (ja) * 1988-05-30 1995-05-24 日本電気株式会社 デュアルポートメモリ回路
JPH0760413B2 (ja) * 1989-05-12 1995-06-28 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション メモリ・システム
JPH06111596A (ja) * 1990-10-09 1994-04-22 Texas Instr Inc <Ti> メモリ
JP2782948B2 (ja) * 1990-11-16 1998-08-06 日本電気株式会社 半導体メモリ
JPH07105697A (ja) * 1993-10-07 1995-04-21 Mitsubishi Electric Corp 半導体記憶装置
US5438546A (en) * 1994-06-02 1995-08-01 Intel Corporation Programmable redundancy scheme suitable for single-bit state and multibit state nonvolatile memories

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