JP2539106B2 - 圧電アクチュエ―タおよびその製造方法 - Google Patents
圧電アクチュエ―タおよびその製造方法Info
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電アクチュエータの
およびその製造方法に関する。圧電アクチュエータは、
従来の電磁力アクチュエータに比較して、小型であり、
発生力、エネルギー変換率、精度の面でも極めて優れた
特性を発揮する。このような特長がある反面、圧電効果
を得るための構造として、圧電セラミックスの上下に電
極材を配線し、電界を圧電セラミックスに印加する必要
がある。このため図６を参照して説明するように積層型
アクチュエータは外部電極が必要で複雑な構造になって
いる。
およびその製造方法に関する。圧電アクチュエータは、
従来の電磁力アクチュエータに比較して、小型であり、
発生力、エネルギー変換率、精度の面でも極めて優れた
特性を発揮する。このような特長がある反面、圧電効果
を得るための構造として、圧電セラミックスの上下に電
極材を配線し、電界を圧電セラミックスに印加する必要
がある。このため図６を参照して説明するように積層型
アクチュエータは外部電極が必要で複雑な構造になって
いる。
【０００２】
【従来の技術】従来の積層型圧電アクチュエータは、図
６の（ｅ）ように電極２が圧電セラミックス３の層の間
に櫛型に挟み込まれた構造になっている。そのため電極
２の面積が素子１の断面積よりわずかであるが小さいた
め、圧電的に伸びない部分が圧電セラミックス３に生じ
る。そのため、従来の櫛型の積層アクチュエータは、内
部に応力が誘起され、動作中に自己崩壊を起こす。
６の（ｅ）ように電極２が圧電セラミックス３の層の間
に櫛型に挟み込まれた構造になっている。そのため電極
２の面積が素子１の断面積よりわずかであるが小さいた
め、圧電的に伸びない部分が圧電セラミックス３に生じ
る。そのため、従来の櫛型の積層アクチュエータは、内
部に応力が誘起され、動作中に自己崩壊を起こす。
【０００３】また、従来の櫛型積層アクチュエータの製
法では図６の（ａ）に示すように、圧電グリーンシート
３を乾燥した後、電極ペースト４を塗布し、乾燥し１枚
のシート５を得る。次に２枚のシートを少しずらして重
ね合わせ（図６の（ｂ）参照）、同様にして重ね合わせ
た多数のシート６を用意する（図６の（ｃ）参照）。こ
れらを重ね合わせ加圧し焼成した後、切断線７（図６の
（ｄ）参照）で切断して多数のサイコロ状ブロックを作
る。その後交互に櫛型に配列された電極の１群と他の１
群に接触する外部電極１７を形成する。この方法では外
部電極７を必要とするため、製造工程が多くなり、コス
トが高くなる。
法では図６の（ａ）に示すように、圧電グリーンシート
３を乾燥した後、電極ペースト４を塗布し、乾燥し１枚
のシート５を得る。次に２枚のシートを少しずらして重
ね合わせ（図６の（ｂ）参照）、同様にして重ね合わせ
た多数のシート６を用意する（図６の（ｃ）参照）。こ
れらを重ね合わせ加圧し焼成した後、切断線７（図６の
（ｄ）参照）で切断して多数のサイコロ状ブロックを作
る。その後交互に櫛型に配列された電極の１群と他の１
群に接触する外部電極１７を形成する。この方法では外
部電極７を必要とするため、製造工程が多くなり、コス
トが高くなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従って、素子全面に電
極が配線され自己崩壊を起こさない、また低コストで作
製できる圧電アクチュエータの構造およびその製造方法
を開発することを目的とする。
極が配線され自己崩壊を起こさない、また低コストで作
製できる圧電アクチュエータの構造およびその製造方法
を開発することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る圧電アクチ
ュエータは、片面に第１の電極を施した第１の螺旋状圧
電セラミックスと、片面に第２の電極を施した第２の螺
旋状圧電セラミックスとを、一方の電極形成面が他方の
電極非形成面とが対向するように螺旋状に接着した層状
体からなり、該層状体の上面において第１の螺旋状圧電
セラミックスの端部と第２の螺旋状圧電セラミックスの
端部の位置がずらされており、第１及び第２の電極が該
上面で表出されていることを特徴とする。
ュエータは、片面に第１の電極を施した第１の螺旋状圧
電セラミックスと、片面に第２の電極を施した第２の螺
旋状圧電セラミックスとを、一方の電極形成面が他方の
電極非形成面とが対向するように螺旋状に接着した層状
体からなり、該層状体の上面において第１の螺旋状圧電
セラミックスの端部と第２の螺旋状圧電セラミックスの
端部の位置がずらされており、第１及び第２の電極が該
上面で表出されていることを特徴とする。
【０００６】図１は、本発明の原理図である。図１の
（ａ）は螺旋状のグリーンシート１０を示す。（ｂ）に
おいては螺旋状グリーンシート１０の片面に第１の電極
１１を全面に施し第１の螺旋状圧電セラミックスグリー
ンシート１２と、螺旋状グリーンシート１０の片面に第
２の電極１３を全面に施し第２の螺旋状圧電セラミック
スグリーンシート１４とが示される。（ｃ）は、（ｂ）
に示される第１及び第２の螺旋状圧電セラミックスグリ
ーンシート１２、１４を２枚並行に組み合わせたものを
示す。（ｄ）は（ｃ）を加圧したものである。（ｅ）
は、（ｄ）を焼成した層状体１５を示す。（ｅ）におい
て半円状に示される電極１１、１３は一方が他方の下に
入り込み、層状体１５の上下に螺旋状に伸びている。し
たがって各電極の間には圧電セラミックスが存在してお
りかつ圧電セラミックスの上下には電極が存在してい
る。また最上部の平坦面には外部電極となる電極１１、
１３が半円状に存在している。なお、この電極の形状は
半円には限定されず、矩形等任意の形状で良い。
（ａ）は螺旋状のグリーンシート１０を示す。（ｂ）に
おいては螺旋状グリーンシート１０の片面に第１の電極
１１を全面に施し第１の螺旋状圧電セラミックスグリー
ンシート１２と、螺旋状グリーンシート１０の片面に第
２の電極１３を全面に施し第２の螺旋状圧電セラミック
スグリーンシート１４とが示される。（ｃ）は、（ｂ）
に示される第１及び第２の螺旋状圧電セラミックスグリ
ーンシート１２、１４を２枚並行に組み合わせたものを
示す。（ｄ）は（ｃ）を加圧したものである。（ｅ）
は、（ｄ）を焼成した層状体１５を示す。（ｅ）におい
て半円状に示される電極１１、１３は一方が他方の下に
入り込み、層状体１５の上下に螺旋状に伸びている。し
たがって各電極の間には圧電セラミックスが存在してお
りかつ圧電セラミックスの上下には電極が存在してい
る。また最上部の平坦面には外部電極となる電極１１、
１３が半円状に存在している。なお、この電極の形状は
半円には限定されず、矩形等任意の形状で良い。
【０００７】上記圧電アクチュェータを製造するには、
螺旋状の治具上に圧電スラリーを塗布し、乾燥後電極ペ
ーストを塗布するか、または治具上に電極ペーストを塗
布し、乾燥後圧電スラリーを塗布する工程で、電極を配
線した螺旋状の圧電グリーンシートを形成し、前記グリ
ーンシートを前記治具から剥離し、得られた第１及び第
２の螺旋状圧電セラミックスを、一方の電極形成面が他
方の電極非形成面とが対向しかつ前記第１及び第２の電
極が上面に表出されるように組み合わせた層状体を得、
これを加圧後焼成する方法が可能である。
螺旋状の治具上に圧電スラリーを塗布し、乾燥後電極ペ
ーストを塗布するか、または治具上に電極ペーストを塗
布し、乾燥後圧電スラリーを塗布する工程で、電極を配
線した螺旋状の圧電グリーンシートを形成し、前記グリ
ーンシートを前記治具から剥離し、得られた第１及び第
２の螺旋状圧電セラミックスを、一方の電極形成面が他
方の電極非形成面とが対向しかつ前記第１及び第２の電
極が上面に表出されるように組み合わせた層状体を得、
これを加圧後焼成する方法が可能である。
【０００８】さらに、片面に電極をほどこした紐状の２
本の圧電グリーンシートボディを電極面を上または下面
に統一して、重ね合わせて支柱に巻き付けて螺旋状層状
体を得、これを上下から加圧し螺旋形圧電グリーンシー
ト状に形成し、その後焼成することも可能である。螺旋
状体の作り方として、両面に電極を施した２枚の圧電グ
リーンシートに中央部まで切れ込みを入れ、これらのグ
リーンシートの切れ込み同士をかみ合わせた後、切れ込
みを交差させた１対のグリーンシートを複数個重ね合わ
せて層状体を得、これを加圧後焼成することも可能であ
る。この方法具体的には以下のようになる。
本の圧電グリーンシートボディを電極面を上または下面
に統一して、重ね合わせて支柱に巻き付けて螺旋状層状
体を得、これを上下から加圧し螺旋形圧電グリーンシー
ト状に形成し、その後焼成することも可能である。螺旋
状体の作り方として、両面に電極を施した２枚の圧電グ
リーンシートに中央部まで切れ込みを入れ、これらのグ
リーンシートの切れ込み同士をかみ合わせた後、切れ込
みを交差させた１対のグリーンシートを複数個重ね合わ
せて層状体を得、これを加圧後焼成することも可能であ
る。この方法具体的には以下のようになる。
【０００９】両面に電極を施したグリーンシートに穴を
空けさらに中央部まで切れ込みを入れ、切れ込み同士を
かみ合わせ交差させたグリーンシートを２枚一組として
作製し、それを積み上げ螺旋状の圧電グリーンシートを
形成する：両面に電極を施したグリーンシートに中央部
までグリーンシート厚と同じ幅を持つ切れ込みを入れ、
切れ込み同士をかみ合わせ交差させたグリーンシートを
２枚一組として作製し、それを積み上げ螺旋状の圧電グ
リーンシートを形成する：両面に電極を施したグリーン
シートに中央部まで斜めに切れ込みを入れ、斜めの切れ
込みが外になるように切れ込み同士をかみ合わせ交差さ
せたグリーンシートを２枚一組として作製し、それを積
み上げ螺旋状の圧電グリーンシートを形成する：両面に
電極を施したグリーンシートに中央部まで切れ込みを入
れ、切れ込み同士をかみ合わせ交差させたグリーンシー
トを形成する：両面に電極を施したグリーンシートに多
数の凸型の切れ込みを入れ、切れ込み同士をかみ合わせ
交差させたグリーンシートを２枚一組として作製し、そ
れを積み上げ凸の中央部分を切断し螺旋状の圧電グリー
ンシートを形成する。
空けさらに中央部まで切れ込みを入れ、切れ込み同士を
かみ合わせ交差させたグリーンシートを２枚一組として
作製し、それを積み上げ螺旋状の圧電グリーンシートを
形成する：両面に電極を施したグリーンシートに中央部
までグリーンシート厚と同じ幅を持つ切れ込みを入れ、
切れ込み同士をかみ合わせ交差させたグリーンシートを
２枚一組として作製し、それを積み上げ螺旋状の圧電グ
リーンシートを形成する：両面に電極を施したグリーン
シートに中央部まで斜めに切れ込みを入れ、斜めの切れ
込みが外になるように切れ込み同士をかみ合わせ交差さ
せたグリーンシートを２枚一組として作製し、それを積
み上げ螺旋状の圧電グリーンシートを形成する：両面に
電極を施したグリーンシートに中央部まで切れ込みを入
れ、切れ込み同士をかみ合わせ交差させたグリーンシー
トを形成する：両面に電極を施したグリーンシートに多
数の凸型の切れ込みを入れ、切れ込み同士をかみ合わせ
交差させたグリーンシートを２枚一組として作製し、そ
れを積み上げ凸の中央部分を切断し螺旋状の圧電グリー
ンシートを形成する。
【００１０】
【作用】本請求項１の圧電アクチュエータでは、素子全
面に電極が配線されているので自己崩壊を起こさない。
請求項２〜４の方法では外部との接続用電極は圧電グリ
ーンシートの面に形成されているので、外部接続専用電
極を形成する工程がなく、低コストで圧電アクチュエー
タが製造される。以下、実施例により本発明を説明す
る。
面に電極が配線されているので自己崩壊を起こさない。
請求項２〜４の方法では外部との接続用電極は圧電グリ
ーンシートの面に形成されているので、外部接続専用電
極を形成する工程がなく、低コストで圧電アクチュエー
タが製造される。以下、実施例により本発明を説明す
る。
【００１１】
【実施例】実施例１ 表１に示す組成の圧電セラミックのスラリーを作製し、
図２（ａ）に示す螺旋状治具２０の上にスラリーを塗布
した。乾燥後市販のＡｇ−Ｐｄペーストを塗布し、さら
に乾燥した後成形治具２０からグリーンシートを剥離し
た。剥離後、グリーンシートを図２（ｂ）に示すように
２枚一組で組み合わせ、一軸加圧プレスで６０℃にて５
０ＭＰａの圧力で４０ｍｉｎの加圧を行った後、大気中
で１１００℃、１０ｈの焼成を行った。圧電アクチュエ
ータの特性の結果を表２に示す。
図２（ａ）に示す螺旋状治具２０の上にスラリーを塗布
した。乾燥後市販のＡｇ−Ｐｄペーストを塗布し、さら
に乾燥した後成形治具２０からグリーンシートを剥離し
た。剥離後、グリーンシートを図２（ｂ）に示すように
２枚一組で組み合わせ、一軸加圧プレスで６０℃にて５
０ＭＰａの圧力で４０ｍｉｎの加圧を行った後、大気中
で１１００℃、１０ｈの焼成を行った。圧電アクチュエ
ータの特性の結果を表２に示す。
【００１２】実施例２ 表１に示す組成のスラリーを調製し、図３（ａ）に示す
成形治具２２の下に板２３を置き、板２３を矢印の方向
に引っ張って、スラリーを紐２３状に成形した。スラリ
ーの乾燥後、市販のＡｇ−Ｐｄペーストを塗布し、ペー
スト乾燥後グリーンシートをキャリアテープから剥離し
た。剥離後、紐状グリーンシート２３、２３’を図３
（ｂ）に示すように２枚一組で組み合わせ、支柱２５に
巻付、上下のパンチ２６、２７の間で一軸方向加圧で６
０℃、８０ＭＰａ、４０ｍｉｎの加圧を行った。積層
後、支柱２５を層状体１５から抜き出し、大気中で１１
００℃、１０ｈの焼成を行った。圧電アアクチュエータ
の特性の結果を表２に示す。
成形治具２２の下に板２３を置き、板２３を矢印の方向
に引っ張って、スラリーを紐２３状に成形した。スラリ
ーの乾燥後、市販のＡｇ−Ｐｄペーストを塗布し、ペー
スト乾燥後グリーンシートをキャリアテープから剥離し
た。剥離後、紐状グリーンシート２３、２３’を図３
（ｂ）に示すように２枚一組で組み合わせ、支柱２５に
巻付、上下のパンチ２６、２７の間で一軸方向加圧で６
０℃、８０ＭＰａ、４０ｍｉｎの加圧を行った。積層
後、支柱２５を層状体１５から抜き出し、大気中で１１
００℃、１０ｈの焼成を行った。圧電アアクチュエータ
の特性の結果を表２に示す。
【００１３】実施例３ 表１に示す組成のスラリーを作製し、ドクターブレード
法で成型を行った。グリーンシート乾燥後、キャリアテ
ープから剥離し、グリーンシート３０、３１の両面に市
販のＡｇ−Ｐｄペーストを塗布した（図４（ａ）参
照）。ペースト乾燥後、図４（ｂ）に示すように中心部
を打ち抜き、グリーンシート３０、３１の中央部に穴を
空けた後、斜めに切れ込み３２を入れ、図４（ｃ）に示
すように斜めの切れ込みが外になるように切れ込み同士
をかみ合わせ交差させたグリーンシートを２枚一組とし
た。したがって上下の電極は接合面で一体になり、切れ
込み３２にて下の電極は上の電極に接続され、穴の回り
を電極が３６０°回転する円盤状構造３４が得られる。
この１対の構造３４を６０℃、１０ＭＰａ、５ｍｉｎの
一軸加圧プレスで積層し、さらに、図４（ｄ）に示すよ
うに多数個積み上げ、５０ＭＰａ、４０ｍｉｎの加圧を
行った。積層後、大気中で１１００℃、１０ｈの焼成を
行った。圧電アクチュエータの特性の結果を表２に示
す。
法で成型を行った。グリーンシート乾燥後、キャリアテ
ープから剥離し、グリーンシート３０、３１の両面に市
販のＡｇ−Ｐｄペーストを塗布した（図４（ａ）参
照）。ペースト乾燥後、図４（ｂ）に示すように中心部
を打ち抜き、グリーンシート３０、３１の中央部に穴を
空けた後、斜めに切れ込み３２を入れ、図４（ｃ）に示
すように斜めの切れ込みが外になるように切れ込み同士
をかみ合わせ交差させたグリーンシートを２枚一組とし
た。したがって上下の電極は接合面で一体になり、切れ
込み３２にて下の電極は上の電極に接続され、穴の回り
を電極が３６０°回転する円盤状構造３４が得られる。
この１対の構造３４を６０℃、１０ＭＰａ、５ｍｉｎの
一軸加圧プレスで積層し、さらに、図４（ｄ）に示すよ
うに多数個積み上げ、５０ＭＰａ、４０ｍｉｎの加圧を
行った。積層後、大気中で１１００℃、１０ｈの焼成を
行った。圧電アクチュエータの特性の結果を表２に示
す。
【００１４】実施例４ 表１に示す組成のスラリーを作製し、ドクターブレード
法で成形を行った。グリーンシート４０を乾燥後、キャ
リアテープから剥離し、グリーンシート両面に市販のＡ
ｇ−Ｐｄペースト（１１）を塗布した。ペースト乾燥
後、図５（ａ）に示すように凸型の切れ込み４２を打抜
き、図５（ｂ）に示すように切り込み４２同士をかみ合
わせ交差させたグリーンシート２枚を一組として６０
℃、１０ＭＰａ、５ｍｉｎの等方等圧プレスで積層し、
さらに、図５（ｃ）に示すように１対の積層体４３を積
み上げ、一軸加圧プレスで６０℃、５０ＭＰａ、４０ｍ
ｉｎの加圧を行った。積層後積層体４４を図６（ｄ）に
示す切断線７で凸型の中央部を切断した後、大気中で１
１００℃、１０ｈの焼成を行った。圧電アクチュエータ
の特性の結果を表２に示す。
法で成形を行った。グリーンシート４０を乾燥後、キャ
リアテープから剥離し、グリーンシート両面に市販のＡ
ｇ−Ｐｄペースト（１１）を塗布した。ペースト乾燥
後、図５（ａ）に示すように凸型の切れ込み４２を打抜
き、図５（ｂ）に示すように切り込み４２同士をかみ合
わせ交差させたグリーンシート２枚を一組として６０
℃、１０ＭＰａ、５ｍｉｎの等方等圧プレスで積層し、
さらに、図５（ｃ）に示すように１対の積層体４３を積
み上げ、一軸加圧プレスで６０℃、５０ＭＰａ、４０ｍ
ｉｎの加圧を行った。積層後積層体４４を図６（ｄ）に
示す切断線７で凸型の中央部を切断した後、大気中で１
１００℃、１０ｈの焼成を行った。圧電アクチュエータ
の特性の結果を表２に示す。
【００１５】比較例１ 表１に示す組成のスラリーを作製し、ドクターブレード
法で成形を行った。グリーンシート３を乾燥後、剥離
し、□９０ｍｍに打抜き、図６（ａ）に示すように市販
のＡｇ−Ｐｄペースト４を短冊型に印刷した。印刷後、
グリーンシート５を図６（ｂ）に示すように積層位置を
１ｍｍ交互にずらした一対の積層体６を作り、これを図
６（ｃ）に示すように配線パターンが櫛形になるように
積み上げ、一軸加圧プレスで６０℃、５０ＭＰａ、４０
ｍｉｎの加圧を行った。積層後、大気中で１１００℃、
１０ｈの焼成を行った。焼成後、図６（ｄ）に示すよう
に切断線７で切断した後、外部電極７を焼き付けた。圧
電アクチュエータの特性の結果を表１に示す。
法で成形を行った。グリーンシート３を乾燥後、剥離
し、□９０ｍｍに打抜き、図６（ａ）に示すように市販
のＡｇ−Ｐｄペースト４を短冊型に印刷した。印刷後、
グリーンシート５を図６（ｂ）に示すように積層位置を
１ｍｍ交互にずらした一対の積層体６を作り、これを図
６（ｃ）に示すように配線パターンが櫛形になるように
積み上げ、一軸加圧プレスで６０℃、５０ＭＰａ、４０
ｍｉｎの加圧を行った。積層後、大気中で１１００℃、
１０ｈの焼成を行った。焼成後、図６（ｄ）に示すよう
に切断線７で切断した後、外部電極７を焼き付けた。圧
電アクチュエータの特性の結果を表１に示す。
【００１６】
【表１】
【００１７】
【表２】 ＊1 ：比較例１の変位量を１００％とした場合 ＊2 ：一つずつ作製するために量産には、不向き ＊3 ：外部電極の取付け工程が必要になる
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば積
層型の圧電アクチュエータに自己崩壊が生じ難い全面電
極を施し、さらに、外部電極形成等の工程を削除できる
ため製造工程が容易になる。これらの効果のため、圧電
アクチュエータの高性能化多用途化および歩留まり向上
に寄与する所が大きい。
層型の圧電アクチュエータに自己崩壊が生じ難い全面電
極を施し、さらに、外部電極形成等の工程を削除できる
ため製造工程が容易になる。これらの効果のため、圧電
アクチュエータの高性能化多用途化および歩留まり向上
に寄与する所が大きい。
【図１】本発明の原理図である。
【図２】実施例１の説明図である。
【図３】実施例２の説明図である。
【図４】実施例３の説明図である。
【図５】実施例４の説明図である。
【図６】従来法の説明図である。
【符合の説明】３ グリーンシート（圧電グリーンシー
ト） ４ 内部電極（Ａｇ−Ｐｄペースト） ５ グリーンシート（電極ペーストを施したもの） ７ 切断線 １１ 第１電極 １２ 第１の圧電セラミックスグリーンシート １３ 第２電極 １４ 第２の圧電セラミックスグリーンシート １５ 層状体 １７ 外部電極（Ａｇ−Ｐｄペースト） ２０ 治具 ２３ スラリー ３０ グリーンシート ３１ グリーンシート ３２ 切れ込み ４０ グリーンシート
ト） ４ 内部電極（Ａｇ−Ｐｄペースト） ５ グリーンシート（電極ペーストを施したもの） ７ 切断線 １１ 第１電極 １２ 第１の圧電セラミックスグリーンシート １３ 第２電極 １４ 第２の圧電セラミックスグリーンシート １５ 層状体 １７ 外部電極（Ａｇ−Ｐｄペースト） ２０ 治具 ２３ スラリー ３０ グリーンシート ３１ グリーンシート ３２ 切れ込み ４０ グリーンシート
Claims (4)
- 【請求項１】 片面に第１の電極を施した第１の螺旋状
圧電セラミックスと、片面に第２の電極を施した第２の
螺旋状圧電セラミックスとを、一方の電極形成面が他方
の電極非形成面とが対向するように螺旋状に接着した層
状体からなり、該層状体の上面において第１の螺旋状圧
電セラミックスの端部と第２の螺旋状圧電セラミックス
の端部の位置がずらされており、第１及び第２の電極が
該上面で表出されていることを特徴とする圧電アクチュ
エータ。 - 【請求項２】 螺旋状の治具上に圧電スラリーを塗布
し、乾燥後圧電スラリーを塗布するか、または治具上に
電極ペーストを塗布し、乾燥後電極ペーストを塗布する
工程で、電極を配線した螺旋状の圧電グリーンシートを
形成し、前記グリーンシートを前記治具から剥離し、得
られた第１及び第２の螺旋状圧電セラミックスを、一方
の電極形成面が他方の電極非形成面とが対向しかつ前記
第１及び第２の電極が上面に表出されるように組み合わ
せた層状体を得、これを加圧後焼成することを特徴とす
る請求項１記載の圧電アクチュエータの製造方法。 - 【請求項３】 片面に電極をほどこした紐状の２本の圧
電グリーンシートボディを電極面を上または下面に統一
して、重ね合わせて支柱に巻き付けて螺旋状層状体を
得、これを上下から加圧し螺旋形圧電グリーンシート状
に形成し、その後焼成することを特徴とする請求項１記
載の圧電アクチュエータの製造方法。 - 【請求項４】 両面に電極を施した２枚の圧電グリーン
シートに中央部まで切れ込みを入れ、これらのグリーン
シートの切れ込み同士をかみ合わせた後、切れ込みを交
差させた１対のグリーンシートを複数個重ね合わせて層
状体を得、これを加圧後焼成することを特徴とする請求
項１記載の圧電アクチュエータの製造方法。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP5721291A JP2539106B2 (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 圧電アクチュエ―タおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5721291A JP2539106B2 (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 圧電アクチュエ―タおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04295286A JPH04295286A (ja) | 1992-10-20 |
| JP2539106B2 true JP2539106B2 (ja) | 1996-10-02 |
Family
ID=13049215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5721291A Expired - Fee Related JP2539106B2 (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 圧電アクチュエ―タおよびその製造方法 |
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|---|---|
| JP (1) | JP2539106B2 (ja) |
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| DE19938456C1 (de) | 1999-08-13 | 2001-02-15 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Herstellung von Piezoaktoren mit einem Mehrschichtaufbau von Piezoelementen |
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| JP6011325B2 (ja) * | 2012-12-26 | 2016-10-19 | 富士通株式会社 | アクチュエータ、セル基板複合体、セル基板複合体の製造方法及びアクチュエータの製造方法 |
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-
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- 1991-03-20 JP JP5721291A patent/JP2539106B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JPH04295286A (ja) | 1992-10-20 |
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