JPH0132759Y2 - - Google Patents
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- JPH0132759Y2 JPH0132759Y2 JP19389383U JP19389383U JPH0132759Y2 JP H0132759 Y2 JPH0132759 Y2 JP H0132759Y2 JP 19389383 U JP19389383 U JP 19389383U JP 19389383 U JP19389383 U JP 19389383U JP H0132759 Y2 JPH0132759 Y2 JP H0132759Y2
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- Japan
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- piezoelectric
- green sheet
- porous
- present
- laminated
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- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、圧電的に不活性な部分での歪みの存
在による圧電素子の破壊を防止した圧電セラミツ
クスより構成される積層型圧電アクチユエータに
関する。
在による圧電素子の破壊を防止した圧電セラミツ
クスより構成される積層型圧電アクチユエータに
関する。
従来、電磁式アタチユエータに比べ、小形・軽
量・省電力の圧電式アクチユエータが注目されて
いる。圧電アクチユエータには、圧電横効果を利
用した圧電バイモルフ型及び大きな変位量が得ら
れる圧電縦効果を利用した積層型がある。
量・省電力の圧電式アクチユエータが注目されて
いる。圧電アクチユエータには、圧電横効果を利
用した圧電バイモルフ型及び大きな変位量が得ら
れる圧電縦効果を利用した積層型がある。
積層型の圧電アクチユエータは、積層セラミツ
クコンデンサの製造技術を応用して製造されてい
る。すなわちセラミツクス粉末を有機バインダに
有機溶剤に溶かしてスラリーを得、次に例えばド
クターブレード法により有機フイルム上にグリー
ンシートを形成し、グリーンシート１上に内部電
極２となる二成分化合物（Pd−Ag）などの金属
ペーストを数十μmの間隔で更に印刷塗布し、第
１図に示すごとく、所定の大きさに切断される。
そして上下の層の電極パターンが180゜展開するよ
うにして層状に積層し、更に熱を加えながら上下
方向に加圧し、900〜1250℃位の温度範囲で焼結
し、両側面に銀ペースト等にて外部電極を形成す
ることにより、得ることができる。
クコンデンサの製造技術を応用して製造されてい
る。すなわちセラミツクス粉末を有機バインダに
有機溶剤に溶かしてスラリーを得、次に例えばド
クターブレード法により有機フイルム上にグリー
ンシートを形成し、グリーンシート１上に内部電
極２となる二成分化合物（Pd−Ag）などの金属
ペーストを数十μmの間隔で更に印刷塗布し、第
１図に示すごとく、所定の大きさに切断される。
そして上下の層の電極パターンが180゜展開するよ
うにして層状に積層し、更に熱を加えながら上下
方向に加圧し、900〜1250℃位の温度範囲で焼結
し、両側面に銀ペースト等にて外部電極を形成す
ることにより、得ることができる。
ところで、上記のような工程で得られた素子に
よれば、グリーンシートを１枚１枚打ち抜いて層
状に積層することになり、その膜厚は数十ないし
数百μmであるため、機械的強度が小さく、作業
上格別の考慮が必要となる。しかも電極パターン
を180゜展開する必要があるため、それぞれの膜の
位置合わせを充分に留意するなどに起因して、生
産効率が極めて低下する欠点がある。
よれば、グリーンシートを１枚１枚打ち抜いて層
状に積層することになり、その膜厚は数十ないし
数百μmであるため、機械的強度が小さく、作業
上格別の考慮が必要となる。しかも電極パターン
を180゜展開する必要があるため、それぞれの膜の
位置合わせを充分に留意するなどに起因して、生
産効率が極めて低下する欠点がある。
また第２図に示すごとく、内部電極が全面に形
成されていないために、圧電的に不活性の箇所
（図中Ａ参照）が存在し、その結果、圧電アクチ
ユエータとして繰り返し駆動した場合は、圧電素
子内の内部応力が不均一となり、繰り返し疲労に
よる圧電素子の破壊の虞れがある。
成されていないために、圧電的に不活性の箇所
（図中Ａ参照）が存在し、その結果、圧電アクチ
ユエータとして繰り返し駆動した場合は、圧電素
子内の内部応力が不均一となり、繰り返し疲労に
よる圧電素子の破壊の虞れがある。
本考案はかかる点に鑑み、圧電的に不活性部分
の端面で内部応力を吸収するため、上記不活性な
部分を多孔質かつ弾性に富む材料で置換すること
により、上記のような欠点を解消することを主た
る目的とする。
の端面で内部応力を吸収するため、上記不活性な
部分を多孔質かつ弾性に富む材料で置換すること
により、上記のような欠点を解消することを主た
る目的とする。
以下本考案の一実施例について図面を参照しな
がら詳細に説明する。
がら詳細に説明する。
まず、グリーンシートを形成した後、第３図に
示すごとく、圧電体とすべきグリーンシート１０
に内部電極１１を付着形成し、グリーンシート１
０を包括する大きさに設定した多孔質セラミツク
ス粒子より成るコ字状のグリーンシート１５とを
夫々用意して交互に挟み込んで層状に積層し、第
４図に示すごとく、熱圧着プレスにて圧着成型
し、焼成して一体化するようにしたものである。
示すごとく、圧電体とすべきグリーンシート１０
に内部電極１１を付着形成し、グリーンシート１
０を包括する大きさに設定した多孔質セラミツク
ス粒子より成るコ字状のグリーンシート１５とを
夫々用意して交互に挟み込んで層状に積層し、第
４図に示すごとく、熱圧着プレスにて圧着成型
し、焼成して一体化するようにしたものである。
多孔質セラミツクスとしては、レンガ、ドロマ
イト、カオリン、アルミナ、マグネシア、長石、
硼砂などの多孔質のものが好適である。
イト、カオリン、アルミナ、マグネシア、長石、
硼砂などの多孔質のものが好適である。
尚、圧電体の製法の際に、グリーンシートを製
造するスラリーでの結合剤を圧電的に活性な部分
に用いるグリーンシートより多く含むように構成
することができる。
造するスラリーでの結合剤を圧電的に活性な部分
に用いるグリーンシートより多く含むように構成
することができる。
更に、銀ペースト又は導電性スパツタ膜により
外部電極１４を形成することにより、アクチユエ
ータ２０を得ることができる。
外部電極１４を形成することにより、アクチユエ
ータ２０を得ることができる。
第５図は本考案の他の例を示す図である。本例
においては、多孔質セラミツクス粒子より成るコ
字状のグリーンシート１５に替えて、平面上ロ字
状に形成した多孔質グリーンシート２０を採用す
ることにより、外部電極２１付近の不活性部分で
生ずる歪みの発生を多孔質グリーンシートにて吸
収するようにしたものである。
においては、多孔質セラミツクス粒子より成るコ
字状のグリーンシート１５に替えて、平面上ロ字
状に形成した多孔質グリーンシート２０を採用す
ることにより、外部電極２１付近の不活性部分で
生ずる歪みの発生を多孔質グリーンシートにて吸
収するようにしたものである。
よつて、上記例と同様の作用を得ることができ
る。
る。
尚、外部電極の形成は、上記実施例に限定され
るものではなく、絶縁層として樹脂、ガラス、ア
ルミナの膜を形成し、その上面に上記導電膜をス
パツタリングによつて形成することにより、上記
実施例と同様の効果を得ることができる。
るものではなく、絶縁層として樹脂、ガラス、ア
ルミナの膜を形成し、その上面に上記導電膜をス
パツタリングによつて形成することにより、上記
実施例と同様の効果を得ることができる。
以上述べたごとく本考案によれば、内部電極が
交互に外部電極に接続されるように層状に積層さ
れてなる圧電アクチユエータにおいて、圧電的に
不活性部分に多孔質セラミツクス材より成る材料
で置換するように構成したので、 上記多孔質セラミツクスの部分で、駆動時に発
生する不活性部における歪みを吸収することがで
きる。
交互に外部電極に接続されるように層状に積層さ
れてなる圧電アクチユエータにおいて、圧電的に
不活性部分に多孔質セラミツクス材より成る材料
で置換するように構成したので、 上記多孔質セラミツクスの部分で、駆動時に発
生する不活性部における歪みを吸収することがで
きる。
しかも本考案によれば、従来のセラミツクコン
デンサのように内部電極を交互に180゜転回した内
部電極パターンとする作業工程を不要とすること
ができる。
デンサのように内部電極を交互に180゜転回した内
部電極パターンとする作業工程を不要とすること
ができる。
第１及び第２図は従来の積層圧電アクチユエー
タの構造を示す図、第３図及び第４図は本考案の
一例を示す斜視図及び断面図、第５図は本考案素
子の他の例を示す図である。 １０……圧電体とすべきグリーンシート、１１
……内部電極、１４……外部電極、１５……多孔
質セラミツクス粒子より成るコ字状のグリーンシ
ート、２０……アクチユエータ。
タの構造を示す図、第３図及び第４図は本考案の
一例を示す斜視図及び断面図、第５図は本考案素
子の他の例を示す図である。 １０……圧電体とすべきグリーンシート、１１
……内部電極、１４……外部電極、１５……多孔
質セラミツクス粒子より成るコ字状のグリーンシ
ート、２０……アクチユエータ。
Claims (1)
- 内部電極が交互に外部電極に接続されるように
層状に積層されてなる圧電アクチユエータにおい
て、圧電的に不活性部分に多孔質セラミツクス材
より成る材料で置換したことを特徴とする積層型
圧電アクチユエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19389383U JPS60101765U (ja) | 1983-12-15 | 1983-12-15 | 積層型圧電アクチユエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19389383U JPS60101765U (ja) | 1983-12-15 | 1983-12-15 | 積層型圧電アクチユエ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60101765U JPS60101765U (ja) | 1985-07-11 |
| JPH0132759Y2 true JPH0132759Y2 (ja) | 1989-10-05 |
Family
ID=30416916
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19389383U Granted JPS60101765U (ja) | 1983-12-15 | 1983-12-15 | 積層型圧電アクチユエ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60101765U (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5200331B2 (ja) * | 2006-04-17 | 2013-06-05 | Ｔｄｋ株式会社 | 積層型圧電素子 |
| JP5890676B2 (ja) * | 2011-12-16 | 2016-03-22 | 株式会社日本セラテック | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 |
| JP6035773B2 (ja) * | 2012-02-22 | 2016-11-30 | 日本特殊陶業株式会社 | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 |
-
1983
- 1983-12-15 JP JP19389383U patent/JPS60101765U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60101765U (ja) | 1985-07-11 |
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