JP2536540B2 - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
感光性樹脂組成物Info
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- JP2536540B2 JP2536540B2 JP62211562A JP21156287A JP2536540B2 JP 2536540 B2 JP2536540 B2 JP 2536540B2 JP 62211562 A JP62211562 A JP 62211562A JP 21156287 A JP21156287 A JP 21156287A JP 2536540 B2 JP2536540 B2 JP 2536540B2
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- meth
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/028—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
- G03F7/029—Inorganic compounds; Onium compounds; Organic compounds having hetero atoms other than oxygen, nitrogen or sulfur
- G03F7/0295—Photolytic halogen compounds
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は感光性樹脂組成物，更に詳しくは印刷配線板
の製造，金属の精密加工等に用いられるエツチングレジ
スト又はめつきレジストとして，特に優れた密着性と作
業性又は高感度を有する感光性樹脂組成物に関する。
の製造，金属の精密加工等に用いられるエツチングレジ
スト又はめつきレジストとして，特に優れた密着性と作
業性又は高感度を有する感光性樹脂組成物に関する。
（従来の技術） 印刷配線板の製造，金属の精密加工等の分野におい
て，エツチング，めつき等の基材の化学的，電気的手法
を用いる際にレジスト材料として感光性樹脂組成物及び
これを用いた感光性エレメントを使用することが知られ
ている。感光性エレメントとしては支持体上に感光性樹
脂組成物を積層したものが広く使用されている。
て，エツチング，めつき等の基材の化学的，電気的手法
を用いる際にレジスト材料として感光性樹脂組成物及び
これを用いた感光性エレメントを使用することが知られ
ている。感光性エレメントとしては支持体上に感光性樹
脂組成物を積層したものが広く使用されている。
従来，印刷配線板の製造法には，テンテイング法とめ
つき法という二つの方法がある。テンテイング法は，チ
ツプ搭載のための銅スルーホールをレジストで保護し，
エツチング，レジストはくりを経て，電気回路形成を行
なうのに対し，めつき法は，電気めつきによつてスルー
ホールに銅を析出させ，半田めつきで保護し，レジスト
はくり，エツチングによつて電気回路の形成を行なう方
法である。
つき法という二つの方法がある。テンテイング法は，チ
ツプ搭載のための銅スルーホールをレジストで保護し，
エツチング，レジストはくりを経て，電気回路形成を行
なうのに対し，めつき法は，電気めつきによつてスルー
ホールに銅を析出させ，半田めつきで保護し，レジスト
はくり，エツチングによつて電気回路の形成を行なう方
法である。
テンテイング法は，めつき法と比較すると脱脂，基板
洗浄，酸洗浄，活性化などの諸工程がなく，強酸性或い
は強塩基性の水溶液にレジストが直接接触しないため，
プリント基板の製造上，不必要なトラブルが避けられ，
かつ工程が単純になるので工業上，有用である。
洗浄，酸洗浄，活性化などの諸工程がなく，強酸性或い
は強塩基性の水溶液にレジストが直接接触しないため，
プリント基板の製造上，不必要なトラブルが避けられ，
かつ工程が単純になるので工業上，有用である。
テンテイング法によつて電気回路の形成を行なう場
合，感光性樹脂組成物に要求される特性は，現像液や水
洗のスプレ圧に耐えうる充分な膜強度を有すること，エ
ツチングの際，所望のライン幅を得るのに良好なレジス
トの形状となること，はくりの際のはくり片が微細であ
ること等である。
合，感光性樹脂組成物に要求される特性は，現像液や水
洗のスプレ圧に耐えうる充分な膜強度を有すること，エ
ツチングの際，所望のライン幅を得るのに良好なレジス
トの形状となること，はくりの際のはくり片が微細であ
ること等である。
通常はくりは，自動はくり機にて行なわれるが，はく
り片が大きいと，はくり機のロールにはくり片が絡まり
著しく作業性を低下させるのみならず，はくり片が清浄
な基板上に再付着する可能性もあるため，はくり片は，
微細であることが望ましい。また，レジスト形状はレジ
ストと銅面との界面部分のレジスト壁に空洞がなくレジ
ストが垂直であることがライン精度の点から望ましい。
レジスト形状が台形であれば，解像度の点で高解像度化
に支障をきたし，逆台形であれば銅面との接触面積が相
対的に小さくなり，エツチング時のレジストの密着性を
低下させることになる。
り片が大きいと，はくり機のロールにはくり片が絡まり
著しく作業性を低下させるのみならず，はくり片が清浄
な基板上に再付着する可能性もあるため，はくり片は，
微細であることが望ましい。また，レジスト形状はレジ
ストと銅面との界面部分のレジスト壁に空洞がなくレジ
ストが垂直であることがライン精度の点から望ましい。
レジスト形状が台形であれば，解像度の点で高解像度化
に支障をきたし，逆台形であれば銅面との接触面積が相
対的に小さくなり，エツチング時のレジストの密着性を
低下させることになる。
特にアルカリ現像形感光性樹脂組成物の場合，はくり
片の大きさは感光性樹脂組成物に用いるフイルム性付与
ポリマの組成或いは分子量によつて決定される。即ち，
分子量が小さければ小さい程はくり片は小さくなり，組
成の親水性が高い程はくり片が小さくなる。
片の大きさは感光性樹脂組成物に用いるフイルム性付与
ポリマの組成或いは分子量によつて決定される。即ち，
分子量が小さければ小さい程はくり片は小さくなり，組
成の親水性が高い程はくり片が小さくなる。
一方，レジストの形状は，組成の親水性が高い程悪く
なり，親水性が高すぎる場合には，レジストのサイドウ
オールに空洞が見られるようになる。良好なレジスト形
状を持ち，はくり片が微細となる感光性樹脂物は，未だ
供給されておらず，良好なレジスト形状は有しているが
はくり片が大きいものが多く，はくり片がロールに絡み
ついた場合には１日に数度ロールから，はくり片を除去
しながら作業するのが現状である。
なり，親水性が高すぎる場合には，レジストのサイドウ
オールに空洞が見られるようになる。良好なレジスト形
状を持ち，はくり片が微細となる感光性樹脂物は，未だ
供給されておらず，良好なレジスト形状は有しているが
はくり片が大きいものが多く，はくり片がロールに絡み
ついた場合には１日に数度ロールから，はくり片を除去
しながら作業するのが現状である。
（発明が解決しようとする問題点） 本発明者らは，上記の欠点を解消すべく研究を重ねた
結果，なされたもので，良好なレジストの形状を有し，
はくりの際にはくり片が微細となる感光性樹脂組成物を
提供するにある。
結果，なされたもので，良好なレジストの形状を有し，
はくりの際にはくり片が微細となる感光性樹脂組成物を
提供するにある。
（問題点を解決するための手段） 本発明は（Ａ）メタクリル酸20〜40重量％及び一般式
（１）で表わされる単量体60〜80重量％を供給合成分と
して得られる重量平均分子量70,000〜150,000のアルカ
リ可溶なビニル系共重合化合物（ａ）とメタクリル酸20
〜40重量％及び一般式（１）で表わされる単量体60〜80
重量％を共重合成分として得られる重量平均分子量10,0
00〜31,000,ガラス転移点60〜110℃のアルカリ可溶なビ
ニル系共重合化合物（ｂ）とを（ａ）／（ｂ）（重量
比）が10/90〜90/10で混合したフイルム性付与ポリマー （R1は水素又はメチル基,R2は炭素数１〜12のアルキル
基である） （Ｂ） エチレン性不飽和化合物 （Ｃ） 有機ハロゲン化合物 ならびに （Ｄ）活性線により遊離ラジカルを生成しうる増感剤お
よび／または増感剤系 を含有してなる感光性樹脂組成物に関する。
（１）で表わされる単量体60〜80重量％を供給合成分と
して得られる重量平均分子量70,000〜150,000のアルカ
リ可溶なビニル系共重合化合物（ａ）とメタクリル酸20
〜40重量％及び一般式（１）で表わされる単量体60〜80
重量％を共重合成分として得られる重量平均分子量10,0
00〜31,000,ガラス転移点60〜110℃のアルカリ可溶なビ
ニル系共重合化合物（ｂ）とを（ａ）／（ｂ）（重量
比）が10/90〜90/10で混合したフイルム性付与ポリマー （R1は水素又はメチル基,R2は炭素数１〜12のアルキル
基である） （Ｂ） エチレン性不飽和化合物 （Ｃ） 有機ハロゲン化合物 ならびに （Ｄ）活性線により遊離ラジカルを生成しうる増感剤お
よび／または増感剤系 を含有してなる感光性樹脂組成物に関する。
本発明において，アルカリ可溶なビニル系共重合化合
物（ａ），（ｂ）の重量平均分子量及びその共重合成分
の割合は，ポリマのガラス転移点，耐水性および組成物
の現像可能性の点から上記の範囲に制限される。得られ
るレジスト膜の強度およびはくり片の細分化の点からア
ルカリ可溶なビニル系共重合化合物（ａ）とビニル系共
重合化合物（ｂ）の重量比（ａ）／（ｂ）は10/90〜90/
10の範囲とされる。
物（ａ），（ｂ）の重量平均分子量及びその共重合成分
の割合は，ポリマのガラス転移点，耐水性および組成物
の現像可能性の点から上記の範囲に制限される。得られ
るレジスト膜の強度およびはくり片の細分化の点からア
ルカリ可溶なビニル系共重合化合物（ａ）とビニル系共
重合化合物（ｂ）の重量比（ａ）／（ｂ）は10/90〜90/
10の範囲とされる。
感光性樹脂組成物のフイルム性付与ポリマを二成分系
にすることによつて単一成分では得られない特性を得る
ことができる。即ち，ビニル系共重合化合物（ａ）のみ
を用いた場合にはレジスト形状は良好なものが得られる
が，はくり片が大きくなり，またビニル系共重合化合物
（ｂ）のみを用いた場合には，はくり片は小さいものが
得られるがレジスト形状が悪く，特に，銅面との界面に
空洞が発生する。ビニル系共重合化合物（ａ）とビニル
系共重合化合物（ｂ）を組合せて用いることにより，は
くり片も小さく，自動はくり機のロールにはくり片が絡
みつく現象もなくレジスト形状も空洞がなく垂直なもの
を得ることができる。
にすることによつて単一成分では得られない特性を得る
ことができる。即ち，ビニル系共重合化合物（ａ）のみ
を用いた場合にはレジスト形状は良好なものが得られる
が，はくり片が大きくなり，またビニル系共重合化合物
（ｂ）のみを用いた場合には，はくり片は小さいものが
得られるがレジスト形状が悪く，特に，銅面との界面に
空洞が発生する。ビニル系共重合化合物（ａ）とビニル
系共重合化合物（ｂ）を組合せて用いることにより，は
くり片も小さく，自動はくり機のロールにはくり片が絡
みつく現象もなくレジスト形状も空洞がなく垂直なもの
を得ることができる。
式（１）で表わされる単量体は，（メタ）アクリル酸
のエステルであり，例えば（メタ）アクリル酸メチル，
（メタ）アクリル酸エチル，（メタ）アクリル酸イソプ
ロピル，（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル，（メタ）アク
リル酸イソブチル，（メタ）アクリル酸−２−エチルヘ
キシル，（メタ）アクリル酸β−ヒドロキシエチル，
（メタ）アクリル酸ラウリル，（メタ）アクリル酸NN′
−ジメチルアミノエチルなどがある。
のエステルであり，例えば（メタ）アクリル酸メチル，
（メタ）アクリル酸エチル，（メタ）アクリル酸イソプ
ロピル，（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル，（メタ）アク
リル酸イソブチル，（メタ）アクリル酸−２−エチルヘ
キシル，（メタ）アクリル酸β−ヒドロキシエチル，
（メタ）アクリル酸ラウリル，（メタ）アクリル酸NN′
−ジメチルアミノエチルなどがある。
エチレン性不飽和化合物（Ｂ）としては，例えば多価
アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を付加して得ら
れる化合物，例えばテトラエチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート，ポリエチレングリコールジ（メタ）
アクリレート，トリメチロールプロパンジ（メタ）アク
リレート，トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリ
レート，テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレ
ート，テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレ
ート，ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト，ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレー
ト，ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレー
ト等，グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボ
ン酸を付加して得られる化合物，例えばトリメチロール
プロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート，ビ
スフエノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリ
レート等，多価カルボン酸，例えば無水フタル酸等と水
酸基およびエチレン性不飽和基を有する物質，例えばβ
−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等とのエステ
ル化物，アクリル酸またはメタクリル酸のアルキルエス
テル，例えば（メタ）アクリル酸メチルエステル，（メ
タ）アクリル酸エチルエステル，（メタ）アクリル酸ブ
チルエステル，（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル
エステル等が用いられ，トリメチルヘキサメチレンジイ
ソシアナート,2価アルコール及び２価アルコールの（メ
タ）アクリル酸のモノエステルを反応させて得られるウ
レタンジアクリレート化合物，ビスフエノールA,アルキ
レングリコールおよびアクリル酸またはメタクリル酸の
付加物，β−フエノキシエトキシエチルアクリレート等
も用いられる。これらの化合物は２種類以上用いてもよ
い。
アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を付加して得ら
れる化合物，例えばテトラエチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート，ポリエチレングリコールジ（メタ）
アクリレート，トリメチロールプロパンジ（メタ）アク
リレート，トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリ
レート，テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレ
ート，テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレ
ート，ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト，ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレー
ト，ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレー
ト等，グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボ
ン酸を付加して得られる化合物，例えばトリメチロール
プロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート，ビ
スフエノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリ
レート等，多価カルボン酸，例えば無水フタル酸等と水
酸基およびエチレン性不飽和基を有する物質，例えばβ
−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等とのエステ
ル化物，アクリル酸またはメタクリル酸のアルキルエス
テル，例えば（メタ）アクリル酸メチルエステル，（メ
タ）アクリル酸エチルエステル，（メタ）アクリル酸ブ
チルエステル，（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル
エステル等が用いられ，トリメチルヘキサメチレンジイ
ソシアナート,2価アルコール及び２価アルコールの（メ
タ）アクリル酸のモノエステルを反応させて得られるウ
レタンジアクリレート化合物，ビスフエノールA,アルキ
レングリコールおよびアクリル酸またはメタクリル酸の
付加物，β−フエノキシエトキシエチルアクリレート等
も用いられる。これらの化合物は２種類以上用いてもよ
い。
有機ハロゲン化合物を用いることにより，感光性樹脂
組成物に発色性を付与することができる。
組成物に発色性を付与することができる。
有機ハロゲン化合物（Ｃ）としては，例えば四塩化炭
素，クロロホルム，ブロモホルム,1,1,1−トリルロロエ
タン，臭化メチレン，ヨウ化メチレン，塩化メチレン，
四臭化炭素，ヨードホルム,1,1,2,2−テトラブロモエタ
ン，ベンタブロモエタン，トリブロモアセトフエノン，
ビス−（トリブロモメチル）スルホン，トリブロモメチ
ルフエニルスルホン，塩化ビニル，塩素化オレフイン等
が挙げられる。炭素−ハロゲン結合強度の弱い脂肪族ハ
ロゲン化合物，特に同一炭素上に２個以上のハロゲン原
子が結合している化合物，とりわけ有機ブロム化合物お
よびトリブロモメチル基を有する有機ハロゲン化合物，
特にトリブロモメチルフエニルスルホンが好ましい。
素，クロロホルム，ブロモホルム,1,1,1−トリルロロエ
タン，臭化メチレン，ヨウ化メチレン，塩化メチレン，
四臭化炭素，ヨードホルム,1,1,2,2−テトラブロモエタ
ン，ベンタブロモエタン，トリブロモアセトフエノン，
ビス−（トリブロモメチル）スルホン，トリブロモメチ
ルフエニルスルホン，塩化ビニル，塩素化オレフイン等
が挙げられる。炭素−ハロゲン結合強度の弱い脂肪族ハ
ロゲン化合物，特に同一炭素上に２個以上のハロゲン原
子が結合している化合物，とりわけ有機ブロム化合物お
よびトリブロモメチル基を有する有機ハロゲン化合物，
特にトリブロモメチルフエニルスルホンが好ましい。
活性線により遊離ラジカルを生成しうる増感剤および
／または増感剤系（Ｄ）としては，例えば4,4′−ビス
（ジメチルアミノ）ベンゾフエノン〔ミヒラーケト
ン〕,4,4′−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフエノン，
ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル，ジエチルアミ
ノ安息香酸エチルエステル，ジメチルアミノ安息香酸ブ
チルエステルジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステ
ル，ベンゾフエノン,2−クロルチオキサントン,2,4−ジ
エチルチオキサントン,2−プロピルチオキサントン等が
挙げられる。本発明における（Ｂ）〜（Ｄ）の各成分は
必要に応じて２種以上を用いてもよい。
／または増感剤系（Ｄ）としては，例えば4,4′−ビス
（ジメチルアミノ）ベンゾフエノン〔ミヒラーケト
ン〕,4,4′−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフエノン，
ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル，ジエチルアミ
ノ安息香酸エチルエステル，ジメチルアミノ安息香酸ブ
チルエステルジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステ
ル，ベンゾフエノン,2−クロルチオキサントン,2,4−ジ
エチルチオキサントン,2−プロピルチオキサントン等が
挙げられる。本発明における（Ｂ）〜（Ｄ）の各成分は
必要に応じて２種以上を用いてもよい。
本発明の感光性樹脂組成物において，各成分の配合割
合は組成物のレジンフロー性およびエツジフエージヨン
の点からフイルム性付与ポリマー40〜80重量部，エチレ
ン性不飽和化合物を20〜60重量部の範囲で，これらの総
量が100重量部になるように配合し，この総量100重量部
に対して有機ハロゲン化合物0.1〜10重量部，活性線に
よりラジカルを生成しうる増感剤および／または増感剤
系0.1〜10重量部の範囲で配合することが好ましい。
合は組成物のレジンフロー性およびエツジフエージヨン
の点からフイルム性付与ポリマー40〜80重量部，エチレ
ン性不飽和化合物を20〜60重量部の範囲で，これらの総
量が100重量部になるように配合し，この総量100重量部
に対して有機ハロゲン化合物0.1〜10重量部，活性線に
よりラジカルを生成しうる増感剤および／または増感剤
系0.1〜10重量部の範囲で配合することが好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物には，染料，可塑剤，顔
料，難燃剤，安定剤，密着性付与剤等を必要に応じて添
加してもよい。
料，難燃剤，安定剤，密着性付与剤等を必要に応じて添
加してもよい。
本発明の感光性樹脂組成物の各成分（Ａ）〜（Ｄ）
は，いずれも常圧において100℃以上の沸点を有してい
ることが好ましい。
は，いずれも常圧において100℃以上の沸点を有してい
ることが好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は，前記各成分（Ａ）〜
（Ｄ）を，これらを溶解する溶剤，例えばトルエン，ア
セトン，メチルエチルケトン（MEK），メチルイソブチ
ルケトン，メチルセロソルブ，エチルセロソルブ，クロ
ロホルム，塩化メチレン，メチルアルコール，エチルア
ルコール等に溶解，混合させることにより，均一な溶液
とされる。
（Ｄ）を，これらを溶解する溶剤，例えばトルエン，ア
セトン，メチルエチルケトン（MEK），メチルイソブチ
ルケトン，メチルセロソルブ，エチルセロソルブ，クロ
ロホルム，塩化メチレン，メチルアルコール，エチルア
ルコール等に溶解，混合させることにより，均一な溶液
とされる。
本発明の感光性樹脂組成物は，溶液として銅板等の基
体に塗布し，乾燥した後，活性光線に露光し，光硬化さ
せて用いることができる。また前記溶液をポリエステル
テレフタレートフイルム等のフイルム上に塗布し，乾燥
した後，これを基体上に積層し，光硬化させて用いるこ
ともできる。
体に塗布し，乾燥した後，活性光線に露光し，光硬化さ
せて用いることができる。また前記溶液をポリエステル
テレフタレートフイルム等のフイルム上に塗布し，乾燥
した後，これを基体上に積層し，光硬化させて用いるこ
ともできる。
光硬化の際用いられる活性光線の光源としては，好ま
しくは波長300〜450nmの光を発光するものが用いられ，
例えば水銀蒸気アーク，カーボンアーク，キセノンアー
クが好ましい。
しくは波長300〜450nmの光を発光するものが用いられ，
例えば水銀蒸気アーク，カーボンアーク，キセノンアー
クが好ましい。
（発明の効果） 本発明によつて，良好なレジストの形状を有し，はく
りの際にはくり片が微細となる感光性樹脂組成物を得る
ことができる。
りの際にはくり片が微細となる感光性樹脂組成物を得る
ことができる。
（実施例） 本発明の実施例を説明する。
実施例１ 以下の手順によりフイルム性付与ポリマを合成した。
１−ａ ビニル系共重合化合物（ａ）の製造 メチルセロソルブ／トルエンの重量で3/2の混合物
（以下，混合物Ａとする）97.6g,メタクリル酸0.4g,メ
タクリル酸メチル2.6g,メタクリル酸ｎ−ブチル0.3g,ア
クリル酸２−エチルヘキシル3.1gを500mlのフラスコに
入れ,85℃に加温する。85℃で１時間保温後，メタクリ
ル酸22.3g,メタクリル酸メチル48.6g,アクリル酸２−エ
チルヘキシル17.3g,メタクリル酸ｎ−ブチル5.2g,アゾ
ビスイソブチルニトリル0.17gを混合物A37.7gに溶解し
た溶液を４時間でフラスコ内に滴下反応させる。ついで
メチルセロソルブを9.0g加え,2時間保温後，メタクリル
酸0.2g,アゾビスイソブチロニトリル0.21gを溶液A5.9g
に溶かした溶液を加え，更に５時間保温する。その後ハ
イドロキノン0.02gをメチルセロソルブ1.4gに溶かした
ものを加え冷却しビニル系共重合化合物（ａ）の溶液を
得た。
（以下，混合物Ａとする）97.6g,メタクリル酸0.4g,メ
タクリル酸メチル2.6g,メタクリル酸ｎ−ブチル0.3g,ア
クリル酸２−エチルヘキシル3.1gを500mlのフラスコに
入れ,85℃に加温する。85℃で１時間保温後，メタクリ
ル酸22.3g,メタクリル酸メチル48.6g,アクリル酸２−エ
チルヘキシル17.3g,メタクリル酸ｎ−ブチル5.2g,アゾ
ビスイソブチルニトリル0.17gを混合物A37.7gに溶解し
た溶液を４時間でフラスコ内に滴下反応させる。ついで
メチルセロソルブを9.0g加え,2時間保温後，メタクリル
酸0.2g,アゾビスイソブチロニトリル0.21gを溶液A5.9g
に溶かした溶液を加え，更に５時間保温する。その後ハ
イドロキノン0.02gをメチルセロソルブ1.4gに溶かした
ものを加え冷却しビニル系共重合化合物（ａ）の溶液を
得た。
１−ｂ ビニル系共重合化合物（ｂ）の製造 メチルセロソルブ135.6gを500mlのフラスコに入れ,80
℃に加温する。80℃で15分保温後，メタクリル酸26.0g,
メタクリル酸メチル51.0g,メタクリル酸β−ヒドロキシ
エチル7.0g,メタクリル酸ｎ−ブチル16.0g,アゾビスイ
ソブチルニトリル2.62gの混合物を３時間でフラスコ内
に滴下反応させる。その後メチルセロソルブ7.5g加え,3
時間保温後，アゾビスイソブチルニトリル0.25gをメチ
ルセロソルブ7.5gに溶解させた溶液を加え，更にメチル
セロソルブ9.5gを加え,2時間保温する。その後105℃に
昇温し,1.5時間保温する。その後，ハイドロキノン0.02
gをメチルセロソルブ1.4gに溶解させた溶液を加え，冷
却しビニル系共重合物（ｂ）の溶液を得た。
℃に加温する。80℃で15分保温後，メタクリル酸26.0g,
メタクリル酸メチル51.0g,メタクリル酸β−ヒドロキシ
エチル7.0g,メタクリル酸ｎ−ブチル16.0g,アゾビスイ
ソブチルニトリル2.62gの混合物を３時間でフラスコ内
に滴下反応させる。その後メチルセロソルブ7.5g加え,3
時間保温後，アゾビスイソブチルニトリル0.25gをメチ
ルセロソルブ7.5gに溶解させた溶液を加え，更にメチル
セロソルブ9.5gを加え,2時間保温する。その後105℃に
昇温し,1.5時間保温する。その後，ハイドロキノン0.02
gをメチルセロソルブ1.4gに溶解させた溶液を加え，冷
却しビニル系共重合物（ｂ）の溶液を得た。
得られたビニル系共重合化合物（ａ），（ｂ）の組成
を表１に，特性を表２に示した。
を表１に，特性を表２に示した。
１−ｃ 感光性樹脂組成物の組成 表３に示す配合で以下の感光性樹脂組成物を配合した
（Ｖ−1,V−２は比較例として示す）。
（Ｖ−1,V−２は比較例として示す）。
１−ｄ 感光性エレメントの製造及び試験片の作成 Ｖ−１〜Ｖ−５の感光性樹脂組成物溶液を，厚み23μ
ｍを有するポリエチレンテレフタレートフイルム（東レ
（株）製 ルミラー ）に乾燥後膜厚が50μｍとなるよ
うに塗工乾燥し，厚み35μｍのポリエチレンフイルムで
被覆して感光性エレメントを得た。得られた感光性エレ
メントからポリエチレンフイルムを剥離しながら，その
感光層面を，スコツチブライト バフロール（住友スリ
ーＭ製）により研磨，乾燥し清浄にされた銅張積層板
（100mm×200mm）の銅面上に日立高温ラミネーターを用
い連続的に積層して試験片を得た。積層条件を表４に示
す。
ｍを有するポリエチレンテレフタレートフイルム（東レ
（株）製 ルミラー ）に乾燥後膜厚が50μｍとなるよ
うに塗工乾燥し，厚み35μｍのポリエチレンフイルムで
被覆して感光性エレメントを得た。得られた感光性エレ
メントからポリエチレンフイルムを剥離しながら，その
感光層面を，スコツチブライト バフロール（住友スリ
ーＭ製）により研磨，乾燥し清浄にされた銅張積層板
（100mm×200mm）の銅面上に日立高温ラミネーターを用
い連続的に積層して試験片を得た。積層条件を表４に示
す。
１−ｅ 感光性エレメントの特性 １−ｄで得られた各試験片につき，次に示す試験を行
ない結果を表７に示した。
ない結果を表７に示した。
（１） 感度試験 21段ステツプタブレツトをそなえたネガを通し，超高
圧水銀灯により80mJ/cm2で１−ｄで得られた試験片を露
光した。30分放置後ポリエチレンテレフタレートフイル
ムをはくりし,30℃の１％炭酸ソーダ水溶液で現像し，
ステツプタブレツトの硬化段数を読みとつた。
圧水銀灯により80mJ/cm2で１−ｄで得られた試験片を露
光した。30分放置後ポリエチレンテレフタレートフイル
ムをはくりし,30℃の１％炭酸ソーダ水溶液で現像し，
ステツプタブレツトの硬化段数を読みとつた。
（２） はくり性 １−ｄで得られた試験片を,21段ステツプタブレツト
で８段になるように露光後,1％炭酸ソーダ水溶液によつ
て現像した。現像条件を表５に示す。
で８段になるように露光後,1％炭酸ソーダ水溶液によつ
て現像した。現像条件を表５に示す。
その後,50℃の３％NaOH水溶液で，レジストをはくり
し，はくり片の大きさと，はくり終了時間（秒）を測定
した。はくり片の大きさの評価基準を表６に示す。
し，はくり片の大きさと，はくり終了時間（秒）を測定
した。はくり片の大きさの評価基準を表６に示す。
（３） レジスト形状 １−ｄで得られた試験片を21段ステツプタブレツトで
８段になるように露光する。その後１％炭酸ソーダ水溶
液によつて現像し,SEM（走査型電子顕微鏡）で，レジス
トの形状を観察し，レジストのサイドウオール空洞がな
い場合○，ある場合×とした。
８段になるように露光する。その後１％炭酸ソーダ水溶
液によつて現像し,SEM（走査型電子顕微鏡）で，レジス
トの形状を観察し，レジストのサイドウオール空洞がな
い場合○，ある場合×とした。
表７に明らかなように上記の共重合化合物（ａ）と
（ｂ）とを組合せた系は，他に比較してはくり時間が短
く，はくり片が小さい上に良好なレジスト形状を有す
る。
（ｂ）とを組合せた系は，他に比較してはくり時間が短
く，はくり片が小さい上に良好なレジスト形状を有す
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 角丸 肇 茨城県日立市東町４丁目13番１号 日立 化成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 正岡 和隆 茨城県日立市東町４丁目13番１号 日立 化成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 南 好隆 茨城県日立市東町４丁目13番１号 日立 化成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 菅沢 昇 茨城県日立市東町４丁目13番１号 日立 化成工業株式会社茨城研究所内 (56)参考文献 特開 昭62−75633（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−1142（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−19752（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−44651（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】（Ａ）メタクリル酸20〜40重量％及び一般
式（１）で表わされる単量体60〜80重量％を共重合成分
として得られる重量平均分子量70,000〜150,000のアル
カリ可溶なビニル系共重合化合物（ａ）とメタクリル酸
20〜40重量％及び一般式（１）で表わされる単量体60〜
80重量％を共重合成分として得られる重量平均分子量1
0,000〜31,000、ガラス転移点60〜110℃のアルカリ可溶
なビニル系共重合化合物（ｂ）とを（ａ）／（ｂ）（重
量比）が10/90〜90/10で混合したフイルム性付与ポリマ
ー （R1は水素又はメチル基、R2は炭素数１〜12のアルキル
基である） （Ｂ）エチレン性不飽和化合物 （Ｃ）有機ハロゲン化合物 ならびに （Ｄ）活性線により遊離ラジカルを生成しうる増感剤お
よび／または増感剤系 を含有してなる感光性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62211562A JP2536540B2 (ja) | 1987-08-26 | 1987-08-26 | 感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62211562A JP2536540B2 (ja) | 1987-08-26 | 1987-08-26 | 感光性樹脂組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6455550A JPS6455550A (en) | 1989-03-02 |
| JP2536540B2 true JP2536540B2 (ja) | 1996-09-18 |
Family
ID=16607849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62211562A Expired - Lifetime JP2536540B2 (ja) | 1987-08-26 | 1987-08-26 | 感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2536540B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03160058A (ja) * | 1989-11-17 | 1991-07-10 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 架橋硬化型樹脂組成物 |
| JP2898143B2 (ja) * | 1991-06-12 | 1999-05-31 | 三井化学株式会社 | 感光液組成物、感光性フィルム及び積層板 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5619752A (en) * | 1979-07-27 | 1981-02-24 | Hitachi Chemical Co Ltd | Photosensitive resin composition laminate |
| JPS581142A (ja) * | 1981-06-25 | 1983-01-06 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物及び感光性樹脂組成物積層体 |
| JPS6275633A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
| JPS6344651A (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-25 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | 光重合性組成物 |
-
1987
- 1987-08-26 JP JP62211562A patent/JP2536540B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6455550A (en) | 1989-03-02 |
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