JP2531667B2 - インナ−リ−ドボンダ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、テープ状のフィルムキャリアに設けられた
フィンガーリードにペレットの電極を金属突起を介して
ボンディングするためのインナーリードボンダに関す
る。

（従来の技術） 第６図は、従来のインナーリードボンダを示すもの
で、この装置は、ペレット（Ａ）を保持して上下駆動す
る上下駆動装置（Ｂ）と、この上下駆動装置（Ｂ）をXY
方向に移動させるXY駆動装置（Ｃ）と、フィルムキャリ
ア（Ｄ）をボンディング位置に送るフィルムキャリア移
送装置（Ｅ）と、フィルムキャリア（Ｄ）をボンディン
グ位置に正確に位置決めするためフィルムキャリア
（Ｄ）にテンションを加えるテンション機構（Ｆ）と、
位置決めされたフィルムキャリア（Ｄ）のリードをボン
ディング位置にあるペレット（Ａ）のバンプに合せる位
置合せ装置（Ｇ）と、リードとバンプとをボンディング
するために加圧する加圧装置（Ｈ）とを主たる構成とし
ている。

ところで、上記加圧装置（Ｈ）は、第７図に示すよう
に、ボンディングを行うツール（Ｉ）が一端部に取付け
られ揺動自在に設けられたアーム（Ｊ）の他端部に取付
けられたエアシリンダ（Ｋ）によりアーム（Ｊ）を揺動
駆動させることによりリード（Ｌ）をバンプ（Ｍ）に加
圧するようにしている。そうして、エアシリンダ（Ｋ）
への圧縮空気の供給は、電磁弁により行っている。ま
た、圧縮空気の圧力調整つまりツール（Ｉ）のバンプ
（Ｍ）への加圧力の調整は、手動で行っている。したが
って、操作が煩雑であるとともに、接合強度を大きくす
るために加圧力を高くすると、加圧力だけでなく、ツー
ル（Ｉ）がバンプ（Ｍ）に当たるときに発生する衝撃荷
重も大きくなり、これによりペレット（Ａ）にクラック
が生じる虞がある。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明は、上述したように、バンプの加圧源であるエ
アリシンダの制御を電磁弁で行うことにともなって生じ
る問題点を勘案してなされたもので、加圧力を最適に制
御することのできるインナーリードボンダを提供するこ
とを目的とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段と作用） 本発明は、上記した問題点を解決するために、ペレッ
ト載置台に載置されたペレットとフィルムキャリアテー
プとをボンディングツールを用いてインナリードボンデ
ィングするインナリードボンダにおいて、上記ボンディ
ングツールを駆動させる駆動手段と、この駆動手段を駆
動させる空気圧力を制御する空気圧力制御手段と、この
空気圧力制御手段に空気圧力を制御する制御信号を印加
して上記ボンディングツールによるボンディング圧力を
ペレット載置台に載置されたペレットのボンディング期
間中に可変制御すると共にペレット載置台に載置された
ペレットに応じて可変制御する制御手段とを具備するこ
とを特徴とするインナリードボンダを提供するものであ
る。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。

第１図は、この実施例のインナーリードボンダ用加圧
装置を示している。この装置は、枢軸（１）を中心に矢
印（2a），（2b）方向に揺動自在に軸支された棒状のア
ーム（３）と、このアーム（３）の一端部に長手方向が
アーム（３）の長手方向に直行するように連結されたボ
ンディングツール（４）と、アーム（３）の他端部に取
付けられアーム（３）を揺動させるエアシリンダ（駆動
手段）（５）と、このエアシリンダ（５）を駆動する圧
縮空気圧を制御する電空変換器（空気圧力制御手段）
（electro−pneumatic converter）（６）と、所定のボ
ンディングプログラムが格納されこのプログラムに基づ
いて所定の電圧の制御信号SPを電空変換器（６）に出力
する例えばマイクロコンピュータを主体とする制御装置
（制御手段）（７）とからなっている。しかして、上記
ボンディングツール（４）は、アーム（３）の一端部に
直結された杆体（８）と、この杆体（８）の先端部に取
付けられ保持装置（ペレット載置台）（９）上に保持さ
れているペレット（10）のバンプ（11）とフィルムキャ
リア（12）のリード（13）とを直接加圧して接合する当
接体（14）とからなっている。一方、エアシリンダ
（５）は、シリンダ及びこのシリンダに摺動自在に嵌挿
されたピストンなどからなりかつ固定位置に設けられた
本体（15）と、ピストンと一体的に矢印（16a），（16
b）方向に昇降するように設けられ且つ先端がアームの
他端部に回動自在に取付けられたピストンロッド（17）
と、このピストンロッド（17）に巻装されアーム（３）
を矢印（2a）方向に弾性的に付勢する圧縮ばね（18）と
からなっている。このエアシリンダ（５）は、前記電空
変換器（６）を介して圧縮空気源（18）に接続されてい
る。しかして、電空変換器（６）は、制御信号SPの電圧
値に比例した空気圧の圧縮空気を圧縮空気源（19）から
エアシリンダ（５）に供給するようになっているもの
で、その構成は、第２図に示すように、制御信号SPを入
力して磁気的作用により制御信号SPの電流に比例した大
きさの力で可動部材（図示せず）を一定方向に発生する
いわゆるフォースモータからなる電気／力変換部（6a）
と、この電気／力変換部（6a）の可動部材に接続される
とともに圧縮空気源（19）からの空気が案内され可動部
材に加えられている力に比例した背圧を発生するいわゆ
るノズルフラッパからなる力／空気圧変換部（6b）と、
この力／空気圧変換器（6b）において発生した背圧に応
じた量だけ開閉弁が開き圧縮空気源（19）からの圧縮空
気を制御信号SPが示す所定の空気圧でエアシリンダ
（５）に供給するいわゆるブースターリレーである駆動
部（6c）とからなっている。

つぎに、上記構成のインナーリードボンダの作動につ
いて述べる。

まず、保持装置（９）によりペレット（10）をボンデ
ィング位置に位置決めするとともに、フィルムキャリア
（12）のリード（13）をペレット（10）のバンプ（11）
直上に位置決めする。ついで、制御装置（７）からは、
電空変換器（６）に電圧VOの制御信号SP（保持装置
（９）に位置決めされたペレット（10）に対応した信
号）が出力される。しかして、この電空変換器（６）に
より、入力した制御信号SPの電圧VOに比例した空気圧PO
の圧縮空気が、圧縮空気源（19）からエアシリンダ
（５）に供給される（第２図及び第３図参照）。する
と、ピストンロッド（17）は、圧縮ばね（18）の付勢力
に抗して矢印（16b）方向に上昇する。これにともない
アーム（３）が、矢印（2b）方向に揺動する。その結
果、ボンディングツール（４）は、矢印（16a）方向に
下降し、まず、当接体（14）が、リード（13）とバンプ
（11）とに、空気圧POに応じた加圧力（ボンディング圧
力）で当接する。つぎに、制御装置（７）からは、制御
信号SPの電圧値をVOより大きいVBに変化させ、この制御
信号SPを電空変換器（６）に印加する。すると、電圧VB
に比例した空気圧PB（POよりも大きい。）の圧縮空気が
エアシリンダ（５）に供給される。その結果、リード
（13）とバンプ（11）のボンディングツール（４）によ
る加圧力は、最初の当接時に比べて急増する。このとき
の加圧力つまり空気圧PBは、リードとバンプ（11）が、
確実に接合される適正圧力になるようあらかじめ設定し
ておく。ついで、所定時間Ｔ（第２図参照）経過後、制
御信号SPの電空変換器（６）への印加を停止する。する
と、ピストンロッド（17）は、圧縮ばね（18）の付勢力
により矢印（16a）方向に下降し、アーム（３）は、矢
印（2a）方向に揺動し、ボンディング位置から原位置ま
で復帰する。

以上のように、この実施例のインナーリードボンダ
は、電空変換器（６）により、ボンディングのための加
圧力の付加を多段に変化させ、ボンディングツール
（４）の当接開始時における衝撃を緩和することができ
るとともに、当接期間中においてもボンディング圧力を
適正値になるよう自動的に調整することができるので
（可変制御することができるので）、ペレット（10）と
リード（13）との接合強度が向上する。また、接合欠陥
の発生がなくなるので、歩留が高くなる。

なお、上記実施例においては、空気圧はPOからPBに段
差状に急増させているが、ペレットの電極の構造が加圧
時の衝撃に対しより損傷を受けやすい場合には第５図に
示すように、多段又は徐々に増加させ、加圧力がスロー
ブ状つまり漸次加わるようにしてもよい（漸次加わるよ
うに可変制御してもよい）。また、第３図に示す段差状
の加圧曲線の急増部を、第５図に示すやり方で、緩和す
るようにしてもよい。さらに、上記実施例においては、
アーム（３）の復動を圧縮ばね（18）により行わせてい
るが、復動型のエアシリンダを用いれば、圧縮ばね（1
8）は必要ない。

〔発明の効果〕

本発明のインナリードボンダは、ボンディング開始時
における衝撃力によるペレットの損傷の発生を防止して
歩留を向上することができるとともに、適正圧力にボン
ディング圧力を設定可能であるので、接合欠陥の発生を
防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のインナーリードボンダ用加
圧装置の構成図、第２図は第１図の要部を示すブロック
図、第３図及び第４図は同じくボンディング加圧力の変
化を示すグラフ、第５図は本発明の他の実施例のボンデ
ィング加圧曲線を示すグラフ、第６図は本発明の他の実
施例のボンディング加圧力の変化を示すグラフ、第７図
はインナーリードボンダの概略図を示す図である。 （３）：アーム，（４）：ボンディングツール，
（５）：エアシリンダ，（６）：電空変換器，（７）：
制御装置。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ペレット載置台に載置されたペレットとフ
   ィルムキャリアテープとをボンディングツールを用いて
   インナリードボンディングするインナリードボンダにお
   いて、上記ボンディングツールを駆動させる駆動手段
   と、この駆動手段を駆動させる空気圧力を制御する空気
   圧力制御手段と、この空気圧力制御手段に空気圧力を制
   御する制御信号を印加して上記ボンディングツールによ
   るボンディング圧力をペレット載置台に載置されたペレ
   ットのボンディング期間中に可変制御すると共にペレッ
   ト載置台に載置されたペレットに応じて可変制御する制
   御手段とを具備することを特徴とするインナリードボン
   ダ。