JP2529313B2 - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JP2529313B2 JP2529313B2 JP62316621A JP31662187A JP2529313B2 JP 2529313 B2 JP2529313 B2 JP 2529313B2 JP 62316621 A JP62316621 A JP 62316621A JP 31662187 A JP31662187 A JP 31662187A JP 2529313 B2 JP2529313 B2 JP 2529313B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- head
- magnetic head
- amorphous
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は非晶質軟磁性材料を用いた高密度磁気記録用
磁気ヘッドに関するものである。
磁気ヘッドに関するものである。
従来の技術 高記録密度を目ざした金属磁気記録媒体に対応した飽
和磁束密度Bsの大きな非晶質軟磁性膜を用いた磁気ヘッ
ドは、磁性基板上に非晶質膜を形成し、これにコイル巻
線用窓やヘッドコアをガラス接合させる部分へのトラッ
ク加工等を行った後非磁性材料を介して、１対のコアを
接合することによって、作成してゆくことを、ヘッドの
基本構成としている。
和磁束密度Bsの大きな非晶質軟磁性膜を用いた磁気ヘッ
ドは、磁性基板上に非晶質膜を形成し、これにコイル巻
線用窓やヘッドコアをガラス接合させる部分へのトラッ
ク加工等を行った後非磁性材料を介して、１対のコアを
接合することによって、作成してゆくことを、ヘッドの
基本構成としている。
ここで、各種蒸着法で作成した非晶質膜については、
その透磁率を上げるための熱処理が必要であるが、この
方法としては、非晶質磁性材料のキュリー温度Tcと結晶
化温度Txとの関係が、Tc＜Txの場合、無磁界の通常の熱
処理方法によって、TcTm＜Txなる温度Tmにおいて、熱
処理を行うことで、透磁率の向上が図れた。
その透磁率を上げるための熱処理が必要であるが、この
方法としては、非晶質磁性材料のキュリー温度Tcと結晶
化温度Txとの関係が、Tc＜Txの場合、無磁界の通常の熱
処理方法によって、TcTm＜Txなる温度Tmにおいて、熱
処理を行うことで、透磁率の向上が図れた。
発明が解決しようとする問題点 しかし、さらに高密度記録化の要求から、さらに抗磁
力の大きな金属磁性媒体に対応させたより大きなBs値を
もつ非晶質材料の場合、Bs値の増加とともに、通常Tc値
も大きくなり、例えば従来のFe−Si−Al合金コア材料に
匹敵するBs＝104Gaussを有するほとんどの非晶質膜につ
いては、Tc＞Txなる関係に反転するため、上記のような
Tc以上の熱処理は非晶質膜の結晶化をともなうため、不
可能である。
力の大きな金属磁性媒体に対応させたより大きなBs値を
もつ非晶質材料の場合、Bs値の増加とともに、通常Tc値
も大きくなり、例えば従来のFe−Si−Al合金コア材料に
匹敵するBs＝104Gaussを有するほとんどの非晶質膜につ
いては、Tc＞Txなる関係に反転するため、上記のような
Tc以上の熱処理は非晶質膜の結晶化をともなうため、不
可能である。
この場合、非晶質膜のTx以下の温度TA（TA＜Tx）にお
いて、回転磁界中、熱処理により膜の透磁率の向上を図
るのが一般的であった。
いて、回転磁界中、熱処理により膜の透磁率の向上を図
るのが一般的であった。
しかしながら、磁気ヘッドチップの構成において、磁
気ヘッドギャップ付近のような微細な形状をもった部分
においては、反磁界効果のため外部印加磁界が有効には
たらかず、この部分に十分な回転磁界を作用させるに
は、極めて大きな外部磁界が必要であると不都合を生じ
るため、通常の磁界の大きさ（〜1KOeまで）の外部磁界
中での熱処理では、特にこの部分でのヘッド中の非晶質
の透磁率の向上が困難で、実際、このような高BsでTc＞
Txの非晶質膜を用いて、回転磁界中で熱処理をしながら
作製した磁気ヘッドコアは、そのヘッド出力が、不十分
なものが多かった。
気ヘッドギャップ付近のような微細な形状をもった部分
においては、反磁界効果のため外部印加磁界が有効には
たらかず、この部分に十分な回転磁界を作用させるに
は、極めて大きな外部磁界が必要であると不都合を生じ
るため、通常の磁界の大きさ（〜1KOeまで）の外部磁界
中での熱処理では、特にこの部分でのヘッド中の非晶質
の透磁率の向上が困難で、実際、このような高BsでTc＞
Txの非晶質膜を用いて、回転磁界中で熱処理をしながら
作製した磁気ヘッドコアは、そのヘッド出力が、不十分
なものが多かった。
本発明は、上記のような高Bs値を有し、Tc＞Txな関係
にある非晶質を有する磁気ヘッドの作製の際、該非晶質
膜の透磁率向上を図る回転磁界中熱処理による工法の欠
点を改善し、通常の磁界の大きさ（〜1KOeまで）の外部
磁界によって、十分な特性を得られるための磁気ヘッド
を提供するものである。
にある非晶質を有する磁気ヘッドの作製の際、該非晶質
膜の透磁率向上を図る回転磁界中熱処理による工法の欠
点を改善し、通常の磁界の大きさ（〜1KOeまで）の外部
磁界によって、十分な特性を得られるための磁気ヘッド
を提供するものである。
問題点を解決するための手段 この目的を達成するため、磁気ヘッドのギャップデプ
ス方向に相当する非晶質膜面内へ、固定磁界中熱処理に
よって一軸異方性を誘導させるものである。
ス方向に相当する非晶質膜面内へ、固定磁界中熱処理に
よって一軸異方性を誘導させるものである。
作用 非晶質膜面内の磁気ヘッドのギャップデプスに相当す
る方向へ一軸異方性を誘導することで、少なくとも該非
晶質膜に対して垂直方向の透磁率の向上を図ることがで
き、従来の回転磁界中熱処理による工法のヘッドギャッ
プ付近の透磁率の低下を防ぐことができ、その結果とし
て磁性基板を含めた磁気ヘッドコア全体の効率を改善で
きる。
る方向へ一軸異方性を誘導することで、少なくとも該非
晶質膜に対して垂直方向の透磁率の向上を図ることがで
き、従来の回転磁界中熱処理による工法のヘッドギャッ
プ付近の透磁率の低下を防ぐことができ、その結果とし
て磁性基板を含めた磁気ヘッドコア全体の効率を改善で
きる。
実施例 以下、本発明の一実施例における磁気ヘッドについて
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
第１図ａは本発明の一実施例における磁気ヘッドの製
造方法を示す図、同図ｂは同磁気ヘッドの斜視図であ
る。
造方法を示す図、同図ｂは同磁気ヘッドの斜視図であ
る。
高記録密度を目ざした金属磁気記録媒体に対応した飽
和磁束密度Bsの大きな非晶質軟磁性膜を用いた磁気ヘッ
ドは例えば第１図ａに示したように磁性基板１上に非晶
質磁性膜２を形成し、コイル巻線用窓３やヘッドコアを
ガラス接合させる部分４へのトラック加工等を行った
後、コア７の非晶質膜２の上に形成された非磁性材料５
を形成し、コア6,7を接合し、所定の箇所で切断し、１
個の磁気ヘッドを得るものである。
和磁束密度Bsの大きな非晶質軟磁性膜を用いた磁気ヘッ
ドは例えば第１図ａに示したように磁性基板１上に非晶
質磁性膜２を形成し、コイル巻線用窓３やヘッドコアを
ガラス接合させる部分４へのトラック加工等を行った
後、コア７の非晶質膜２の上に形成された非磁性材料５
を形成し、コア6,7を接合し、所定の箇所で切断し、１
個の磁気ヘッドを得るものである。
第１図ｂはその斜視図である。
本発明においては、非晶質膜２を磁性基板１に形成
後、予め磁気ヘッドの完成時のギャップデプス方向に相
当する方向へ、固定磁界中熱処理を行いその後のヘッド
加工熱処理（コア接合，ガラスモールド，ヘッドギャッ
プ接着等）についても上記と同方向の処理を行うもので
ある。
後、予め磁気ヘッドの完成時のギャップデプス方向に相
当する方向へ、固定磁界中熱処理を行いその後のヘッド
加工熱処理（コア接合，ガラスモールド，ヘッドギャッ
プ接着等）についても上記と同方向の処理を行うもので
ある。
第２図の曲線ａは本発明に従って、デジタルオーディ
オ用テープレコーダとして、Co88Ta8Hf4非晶質膜（Tc＞
Tx525℃）を用いて磁気ヘッドのギャップデプス方向
に一軸異方性を誘導し得られた磁気ヘッド特性を示した
ものである（固定磁界,Hex〜1KOe）。なお、第２図の曲
線ｂは従来の回転磁界中熱処理による方法を用いて作成
した同型，同材料の磁気ヘッド特性図である。第２図か
らわかるように従来のものについては、ギャップ付近の
透磁率の劣化と思われる原因で、ヘッド特性として不十
分であるが、本発明の磁気ヘッドについては低域，高域
ともより良好なヘッド出力が得られた。
オ用テープレコーダとして、Co88Ta8Hf4非晶質膜（Tc＞
Tx525℃）を用いて磁気ヘッドのギャップデプス方向
に一軸異方性を誘導し得られた磁気ヘッド特性を示した
ものである（固定磁界,Hex〜1KOe）。なお、第２図の曲
線ｂは従来の回転磁界中熱処理による方法を用いて作成
した同型，同材料の磁気ヘッド特性図である。第２図か
らわかるように従来のものについては、ギャップ付近の
透磁率の劣化と思われる原因で、ヘッド特性として不十
分であるが、本発明の磁気ヘッドについては低域，高域
ともより良好なヘッド出力が得られた。
発明の効果 以上のように本発明によれば、高BsでTc＞Txの関係に
ある軟磁性非晶質膜を含む磁気ヘッドであっても、ヘッ
ドギャップ付近の透磁率の劣化の少ない十分なヘッド出
力を得ることができる。
ある軟磁性非晶質膜を含む磁気ヘッドであっても、ヘッ
ドギャップ付近の透磁率の劣化の少ない十分なヘッド出
力を得ることができる。
第１図ａは本発明の一実施例における磁気ヘッドの製造
方法を示す図、同図ｂは同磁気ヘッドの斜視図、第２図
は本発明の磁気ヘッドと従来の磁気ヘッドの周波数特性
図である。 １……磁性基板、２……非晶質膜、３……コイル巻線用
窓、５……非磁性材料。
方法を示す図、同図ｂは同磁気ヘッドの斜視図、第２図
は本発明の磁気ヘッドと従来の磁気ヘッドの周波数特性
図である。 １……磁性基板、２……非晶質膜、３……コイル巻線用
窓、５……非磁性材料。
Claims (2)
- 【請求項１】磁性基板上に非晶質軟磁性膜を蒸着した２
つの基板表面を磁気ギャップとなる非磁性層を介して接
合する磁気ヘッドであって、前記非晶質軟磁性膜面内に
磁気ヘッドコアの磁気ギャップ前面に対して、ギャップ
デプス方向に一軸異方性を誘導したことを特徴とする磁
気ヘッド。 - 【請求項２】非晶質軟磁性膜はキュリー温度が結晶化温
度より高い材料であることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62316621A JP2529313B2 (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62316621A JP2529313B2 (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | 磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01158606A JPH01158606A (ja) | 1989-06-21 |
| JP2529313B2 true JP2529313B2 (ja) | 1996-08-28 |
Family
ID=18079095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62316621A Expired - Fee Related JP2529313B2 (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2529313B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62209702A (ja) * | 1986-03-10 | 1987-09-14 | Canon Electronics Inc | 磁気ヘツドの製造方法 |
| JPS62266709A (ja) * | 1986-05-13 | 1987-11-19 | Sanyo Electric Co Ltd | 磁気ヘツドの製造方法 |
-
1987
- 1987-12-15 JP JP62316621A patent/JP2529313B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01158606A (ja) | 1989-06-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2529313B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JP3127613B2 (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS58220232A (ja) | 磁気ヘツド及びその製造法 | |
| JPH0668815B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| KR950011125B1 (ko) | 자기헤드의 제조방법 | |
| JPH05282619A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS62246112A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS63173215A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH01300412A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH0156445B2 (ja) | ||
| JPH06101089B2 (ja) | リング型磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH0775053B2 (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH05226152A (ja) | 磁気ヘッド用磁性合金薄膜及び磁気ヘッド | |
| JPH034962B2 (ja) | ||
| JPH0246513A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH025206A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH0869609A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0636221A (ja) | 磁気ヘッドとその製造方法 | |
| JPS63279403A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH11306507A (ja) | 複合型積層磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPS63193312A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS60242511A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH0468682B2 (ja) | ||
| JPH033283B2 (ja) | ||
| JPH05234018A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |