JP2524502B2 - 半導体素子のピックアップ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体素子をリードフレームに接着する装
置等に用いられる半導体素子のピックアップ装置に関す
るものである。

（従来の技術） ピックアップ装置を用い、半導体素子をリードフレー
ムに接着するには、真空を利用したピックアップノズル
を用いて、粘着シートに貼り付けられた半導体素子を吸
着し、これをリードフレームと擦り合わせるスクラブと
呼ぶ動作を行って、リードフレームの上に接着する。こ
のスクラブを行うため、ピックアップノズルは、半導体
素子の上面がノズル端面に隣接しない状態で、半導体素
子を保持する必要がある。

この種の従来のピックアップ装置について、第３図に
より説明する。同図は従来のピックアップ装置のピック
アップノズルの拡大断面図で、中心に真空孔1aを設けた
ピックアップノズル１の端面の両縁に、内側に向かって
相対する傾斜面を有するコレット1bおよび1cが形成され
ている。

ピックアップノズル１の端面に吸着された半導体素子
２は、両縁に形成されたコレット1bおよび1cの傾斜面の
途中で支えられる。

このような構成のピックアップノズル１の動作につい
て説明する。

まず、粘着シートに貼り付けられている半導体素子２
の真上に、ピックアップノズル１を移動し、真空を働か
せると、その先端に半導体素子１が吸着され、第３図に
示す状態となる。その際、半導体素子２の相対する２辺
が、コレット1bおよび1cの傾斜面の中間に押え付けられ
て支持される。

この状態のまま、リードフレーム（図示せず）の上に
移動し、コレット1bおよび1cに直角の方向にスクラブ動
作をして接着する。半導体素子２は、コレット1b又は1c
で押えられているのでスクラブ動作によって、移動する
こともなく、また、半導体素子２の上面とピックアップ
ノズル１の先端面とは接続していないので、傷が付くこ
ともない。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記の構成では、形状の異なる多数の
半導体素子を１個のリードフレームあるいは基板に接着
する場合には、コレットの間隔が異なる形状の種類と同
数のピックアップノズル１が必要となり、ピックアップ
ノズルがタレット状に配列するため、装置が大形となる
ばかりでなく、タレットを交換する時間によって生産性
が低下するという問題があった。

本発明は上記の問題点を解決するもので、コレットの
間隔が簡単に交換できる小形の半導体素子のピックアッ
プ装置を提供するものである。

（問題点を解決するための手段） 上記の問題点を解決するために、本発明の半導体素子
のピックアップ装置は、複数対の平行面で形成された多
角柱状のスペーサ部を先端部に有し、回転自在に支持さ
れ、中心に真空孔が設けられた半導体素子吸着用のノズ
ルと、前記スペーサ部の一対の平行面にそれぞれ当接す
る案内面が形成された一対のコレット部を有し、その一
対のコレット部の間隔を変えることのできる一対のコレ
ット可動レバーと、前記一対のコレット可動レバーを、
前記スペーサ部の一対の平行面に前記コレット部の案内
面を当接させる方向に常に付勢するバネ機構と、前記一
対のコレット可動レバーの間隔を開くための第１の駆動
機構と、前記ノズルを回転させるための第２の駆動機構
とを備え、前記スペーサ部の複数対の平行面は、ピック
アップすべき複数種類の半導体素子の対向する二辺の間
隔にそれぞれ対応した間隔を有するものである。

（作 用） 上記構成によれば、ピックアップすべき半導体素子の
対向する二辺の間隔に対応してスペーサ部の一対の平行
面を選択し、ノズルを回転してその平行面を所定の位置
にセットし、コレット部の案内面を当接させる。これに
より、複数種類の半導体素子に対し、一本のノズルで対
応することができる。

（実施例） 本発明の一実施例を第１図および第２図により説明す
る。

第１図は本発明によるピックアップ装置の正面図で、
ピックアップ装置は、本体３の上下両端に設けた軸受４
および５に、回転自在に支持され、第２図の要部拡大底
面図に示すように、三対の平行面で形成された多角柱状
のスペーサ部6aが形成された、中心に真空孔6bが通って
いるノズル６と、本体３の両端に配置した水平の支持軸
７に回動自在に軸支され、先端に上記のノズル６のスペ
ーサ部6aに当接する案内面8aとその先端に可動コレット
8bを形成したコレット可動レバー８と、上記の一対のコ
レット可動レバー８の先端近傍で、常に内側に向かって
付勢するように取り付けられた引張りコイルばね９と、
この引張りコイルばね９の付勢力に抗して、コレット可
動レバー８を随時開くため、コレット可動レバー８の後
端部に配設された一対のソレノイド10と、上記のノズル
６の上部に配置された、ノズル６を回転する電動機11と
から構成されている。なお、ノズル６の上部に、真空孔
6bに接続するニップル12が取り付けられている。

このように構成されたピックアップ装置の動作につい
て説明する。

第２図に示すように、ノズル６のスペーサ部6aを構成
する三対の平行面の距離は、コレット可動レバー８の案
内面8aがこれに密着した時に、その先端の可動コレット
8bの相対向する傾斜面が、そのほぼ中央部で半導体素子
（図示せず）の上面稜部を支えるように、それぞれ使用
する半導体素子の寸法に合わせて調整されている。

従って、ソレノイド10を働かせて、コレット可動レバ
ー８の先端を開き、電動機11を運転してノズル６を回す
と、本実施例では三種類の大きさの異なる半導体素子に
対応することができる。また、多角柱状のスペーサ部6a
に密着する案内面8aで、可動コレット8bの間隔が規制さ
れるので、極めて正確な間隔が得られる。さらに、スコ
ット可動レバー８の動きは僅かでよいので、間隔変換に
要する時間は極めて短時間となる。

なお、本実施例では、スペーサ部6aを多角柱状とした
が、楕円柱状でもよい。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、多角柱状のス
ペーサ部を先端に形成した回転自在のノズルと、上記の
スペーサ部で案内された可動コレットによって、一本の
ピックアップノズルで、形状の異なる複数の半導体素子
を順次接着することができる、切換時間の短かい、生産
が良い小形のピックアップ装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による半導体素子のピックアップ装置の
正面図、第２図はその要部を拡大した底面図、第３図は
従来のピックアップ装置のピックアップノズルの断面図
である。 １……ピックアップノズル、1a,6b……真空孔、1b,1c…
…コレット、２……半導体素子、３……本体、4,5……
軸受、６……ノズル、6a……スペーサ部、７……支持
軸、８……コレット可動レバー、8a……案内面、8b……
可動コレット、９……引張りコイルばね、10……ソレノ
イド、11……電動機、12……ニップル。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数対の平行面で形成された多角柱状のス
   ペーサ部を先端部に有し、回転自在に支持され、中心に
   真空孔が設けられた半導体素子吸着用のノズルと、 前記スペーサ部の一対の平行面にそれぞれ当接する案内
   面が形成された一対のコレット部を有し、その一対のコ
   レット部の間隔を変えることのできる一対のコレット可
   動レバーと、 前記一対のコレット可動レバーを、前記スペーサ部の一
   対の平行面に前記コレット部の案内面を当接させる方向
   に常に付勢するバネ機構と、 前記一対のコレット可動レバーの間隔を開くための第１
   の駆動機構と、 前記ノズルを回転させるための第２の駆動機構とを備
   え、 前記スペーサ部の複数対の平行面は、ピックアップすべ
   き複数種類の半導体素子の対向する二辺の間隔にそれぞ
   れ対応した間隔を有することを特徴とする半導体素子の
   ピックアップ装置。