JP2514881B2 - 露光装置における試料保持装置及び両面同時露光装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は例えばレジスト膜を形成
した銅張積層板と、該積層板の片面又は両面に当てたマ
スクフィルムとを位置合せした状態で両者を保持し、銅
張積層板試料を露光する露光装置における試料の保持装
置及び両面同時露光装置に関する他、ＩＣリ−ドフレ−
ム、半導体素子、その他電子部品や各種精密部品を形成
する際の基板又は薄膜の試料にマスク合せをした状態で
露光する露光装置における試料の保持装置及び両面同時
露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の露光装置は、例えばプラスチック
製支持台の中央部上面に真空吸引用の細穴を複数個穿設
し、その支持台の上にレジスト膜を形成した銅張積層板
を位置合せして載置し、次いで、該銅張積層板上に、予
めガラス板の下面に真空吸引保持されたマスクフィルム
を位置合せした状態で重ね、上方から光を照射して、片
面露光を行っていた。片面露光の終了後、該銅張積層板
をひっくり返し、その下面を上にして、前記と同様の方
法で露光を行い、銅張積層板の両面を露光するようにし
ていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の露光装置は、レ
ジスト膜を形成した銅張積層板の片面露光を終えた後
に、該該銅張積層板をひっくり返し、その下面を上にし
て、その上にした面を露光するようにしており、銅張積
層板の両面を同時に露光することは出来なかった。ま
た、片面露光をするたび毎に銅張積層板およびマスクフ
ィルムのそれぞれを位置合せしなければならず、かつ銅
張積層板の反転作業もあり、作業の手間がかかる上に作
業時間も長くなるなどの難点があった。本発明は上記の
点に鑑みてなされたもので、その目的とするところはレ
ジスト膜を形成した基板や薄膜の試料の両面を同時に露
光することができるようにするとともに、該試料の片面
露光又は両面同時露光が可能な露光装置における試料保
持装置及び両面同時露光装置を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明に係る露光装置に
おける試料保持装置は、レジスト膜を形成した試料にホ
トマスクを密着させ、光を照射して露光する露光装置に
おいて、フレ−ムで保持された透明材の平板ホルダ−を
該フレ−ムに真空吸引固着するための第１溝を前記平板
ホルダ−の下面周縁に形成し、該平板ホルダ−の上面に
マスクフィルムを真空吸引固着するための第２溝を上記
平板ホルダ−の上面に形成するとともに、位置合せした
マスクフィルムとレジスト膜を形成した試料端部との間
の隙間をシ−ルするシ−ル材を設け、該シ−ルした試料
端部下面を真空吸引固着するための吸引穴を前記シ−ル
材、マスクフィルムおよび前記平板ホルダ−のそれぞれ
に連通して設けたものである。

【０００５】また、露光装置における試料保持装置は、
フレ−ムで保持された透明材の平板ホルダ−を該フレ−
ムに真空吸引固着するための第１溝を前記平板ホルダ−
の下面周縁に形成し、該平板ホルダ−の上面に透明フィ
ルムを真空吸引固着するための第２溝を上記平板ホルダ
−の上面に形成し、かつ該透明フィルム上に位置合せし
たマスクフィルムをシ−ル材で透明フィルム上に固定す
るとともに、位置合せしたマスクフィルムとレジスト膜
を形成した試料端部との間の隙間をシ−ル材でシ−ルし
た試料端部下面を真空吸引固着するための吸引穴を前記
シ−ル材、マスクフィルム、透明フィルムおよび前記平
板ホルダ−のそれぞれに連通して設けたものである。位
置合せしたマスクフィルムとレジスト膜を形成した試料
端部との間の隙間をシ−ルするシ−ル材は、マスクフィ
ルムとレジスト膜を形成した試料端部との間の隙間相当
の厚みを有する接着テ−プまたは粘着テ−プあるいはシ
−ル製材料からなる帯片などが使用される。

【０００６】また、本発明に係る両面同時露光装置は上
記いずれかの試料保持装置により試料を保持した状態で
水平方向に往復移動可能な水平移動機構と、該試料の上
面に位置合せされた上側マスクフィルムを保持した垂直
方向の昇降機構とを備えている。そして、両面同時露光
装置における垂直方向の昇降機構に上側マスクフィルム
を保持する手段は、上下動可能な金属製フレ−ムの下面
に弾性磁石パッキングを吸着させ、該弾性磁石パッキン
グに上側吸引穴と下側吸引穴を穿設し、弾性磁石パッキ
ングの下方に透明材で形成した上側平板ホルダ−を水平
方向に挿脱自在に取付け、該上側平板ホルダ−の上面周
縁に前記上側吸引穴と連通する上側吸引溝を形成して弾
性磁石パッキングで覆われた該上側吸引溝内の真空によ
り上側平板ホルダ−を水平方向に密着支持し、上側平板
ホルダ−の下面周縁に前記下側吸引穴と連通する下側吸
引溝を形成し、上側平板ホルダ−の下面に下側吸引溝内
の真空により上側マスクフィルムを密着する。

【０００７】シ−ル材を使用しない場合における本発明
に係る露光装置における試料保持装置は、レジスト膜を
形成した試料にホトマスクを密着させ、光を照射して露
光する露光装置において、フレ−ムで保持された透明材
の平板ホルダ−を該フレ−ムに真空吸引固着するための
第１溝を前記平板ホルダ−の下面周縁に形成し、該平板
ホルダ−の上面にマスクフィルムを真空吸引固着するた
めの第２溝を上記平板ホルダ−の上面に形成するととも
に、レジスト膜を形成した試料とマスクフィルムとを位
置合せ固定するために、前記レジスト膜周縁をマスクフ
ィルムに真空吸引固着する吸引穴を前記マスクフィルム
および前記平板ホルダ−のそれぞれに連通して設けたも
のである。

【０００８】また、シ−ル材を使用しない場合における
露光装置における試料保持装置は、レジスト膜を形成し
た試料にホトマスクを密着させ、光を照射して露光する
露光装置において、フレ−ムで保持された透明材の平板
ホルダ−を該フレ−ムに真空吸引固着するための第１溝
を前記平板ホルダ−の下面周縁に形成し、該平板ホルダ
−の上面に透明フィルムを真空吸引固着するための第２
溝を上記平板ホルダ−の上面に形成し、かつ該透明フィ
ルム上にレジスト膜を形成した試料とマスクフィルムと
を位置合せ固定するために、前記レジスト膜周縁をマス
クフィルムに真空吸引固着する吸引穴を前記マスクフィ
ルム、透明フィルムおよび前記平板ホルダ−のそれぞれ
に連通して設けたものである。

【０００９】シ−ル材を使用しない場合における両面同
時露光装置は上記シ−ル材を使用しない構造で、かつレ
ジスト膜を形成した試料とマスクフィルムとを位置合せ
固定するために、前記レジスト膜周縁をマスクフィルム
に真空吸引固着する構造とするか、あるいは透明フィル
ム上にレジスト膜を形成した試料とマスクフィルムとを
位置合せ固定するために、前記レジスト膜周縁をマスク
フィルムに真空吸引固着する構造とする点で相違する以
外は、上記シ−ル材を使用した場合の両面同時露光装置
の構成と同じである。また、シ−ル材を使用しない場合
における両面同時露光装置における垂直方向の昇降機構
に上側マスクフィルムを保持する手段も、上記シ−ル材
を使用しない構造で、かつレジスト膜を形成した試料と
マスクフィルムとを位置合せ固定するために、前記レジ
スト膜周縁をマスクフィルムに真空吸引固着する構造と
するか、あるいは透明フィルム上にレジスト膜を形成し
た試料とマスクフィルムとを位置合せ固定するために、
前記レジスト膜周縁をマスクフィルムに真空吸引固着す
る構造とする点で相違する以外は、上記シ−ル材を使用
した場合の両面同時露光装置おける垂直方向の昇降機構
に上側マスクフィルムを保持する手段と同じである。

【００１０】

【作用】本発明に係る露光装置における試料保持装置の
使用法について説明する。フレ−ムで保持された透明材
の平板ホルダ−の下面周縁に形成した第１溝内を真空吸
引し、該フレ−ムに平板ホルダ−の下面周縁を吸引固着
する。次に、平板ホルダ−の上面に載置したマスクフィ
ルムを位置合せした後、平板ホルダ−の上面に形成した
第２溝内を真空吸引し、平板ホルダ−上にマスクフィル
ムを固定する。次いで、マスクフィルムの周縁の一辺ま
たは二辺以上の周囲に、マスクフィルムとレジスト膜を
形成した試料端部との間の隙間相当の厚みを有する接着
テ−プ等のシ−ル材を貼る等してシ−ル固定する。マス
クフィルムの周縁をシ−ル固定後、シ−ル材にマスクフ
ィルムおよび前記平板ホルダ−のそれぞれに連通する吸
引穴を設ける。そして、マスクフィルムの上に、レジス
ト膜を形成した試料を載置し、位置合せをした状態でシ
−ルされた試料端部下面を前記吸引穴を介して真空吸引
し、試料周縁をシ−ル材の上に固定させる。こうして、
マスクフィルムと試料を位置合せした状態で下方から紫
外線を照射して露光を行う。

【００１１】上記の場合は、マスクフィルムを平板ホル
ダ−の上に直接固定する場合について説明したが、マス
クフィルムと平板ホルダ−の間に透明フィルムを介在さ
せるようにしてもよい。マスクフィルムと試料が小さい
場合に有効である。透明フィルムを使用する場合は、平
板ホルダ−の上面に形成した第２溝内を真空吸引し、平
板ホルダ−上に透明フィルムを固定する。次に、透明フ
ィルムの上面に載置したマスクフィルムを位置合せした
後、マスクフィルムの周縁の一辺または二辺以上の周囲
に、マスクフィルムとレジスト膜を形成した試料端部と
の間の隙間相当の厚みを有する接着テ−プ等のシ−ル材
を貼る等してシ−ル固定する。マスクフィルムの周縁を
シ−ル固定後、シ−ル材にマスクフィルム、透明フィル
ムおよび前記平板ホルダ−のそれぞれに連通する吸引穴
を設ける。そして、マスクフィルムの上に、レジスト膜
を形成した試料を載置し、位置合せをした状態でシ−ル
された試料端部下面を前記吸引穴を介して真空吸引し、
試料周縁をシ−ル材の上に固定させる。後は、上記同様
にして下方から紫外線を照射して露光を行う。

【００１２】上記露光装置における試料保持装置により
保持された試料は、手前側で試料保持作業を行った後、
該試料を水平移動機構により水平方向の奥側に移動させ
る。そして該試料の上面と予め位置合せした状態で保持
された上側マスクフィルムは垂直方向の昇降機構に保持
されており、該昇降機構を下降させて上側マスクフィル
ムを試料の上面にセットする。この状態で、試料の上方
および下方のそれぞれから同時に紫外線を照射して両面
露光を行う。

【００１３】垂直方向の昇降機構に保持する上側マスク
フィルムは、次のようにして保持される。即ち、上下動
可能な金属製フレ−ムの下面に、弾性磁石パッキングを
その磁石の吸引力を利用して吸着させる。弾性磁石パッ
キングに穿設した上側吸引穴と連通する透明材で形成し
た上側平板ホルダ−の上側吸引溝内を真空ポンプ等によ
り真空にし、弾性磁石パッキングの下面に上側平板ホル
ダ−を密着させる。また、上側平板ホルダ−の下面には
弾性磁石パッキングの下側吸引穴と連通する下側吸引溝
内を真空ポンプ等により真空にし、上側マスクフィルム
を密着させる。こうして、上側平板ホルダ−の下面に上
側マスクフィルムを密着させた後、該上側マスクフィル
ムを昇降機構により垂直方向に上下動させ、前記した試
料上面に上側マスクフィルムを重ね合わせる。こうし
て、試料の上面及び下面のそれぞれからマスクフィルム
を重ね、上下それぞれから紫外線を照射して両面同時露
光を行う。

【００１４】また、シ−ル材を使用しない場合は、マス
クフィルムとレジスト膜を形成した試料端部との間のレ
ジスト膜厚相当の隙間は、接着テ−プ等のシ−ル材を貼
る等することなくそのままの状態にしておき、試料に形
成したレジスト膜周縁のしろ部分をマスクフィルムに吸
引固着させるために、前記マスクフィルムおよび前記平
板ホルダ−のそれぞれに連通して設けた吸引穴または前
記マスクフィルム、透明フィルムおよび前記平板ホルダ
−のそれぞれに連通して設けた吸引穴を介して真空吸引
固着する。レジスト膜が試料の全面に形成されている場
合で、シ−ル材を使用しないときは、試料に形成したレ
ジスト膜周縁のしろ部分を前記したと同様の方法でマス
クフィルムに吸引固着させる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基いて説明
する。図１は本発明に係る両面露光装置の概略側面図、
図２は本発明に係る露光装置における試料保持装置の概
略平面図、図３は図２におけるＸ−Ｘ線断面図、図４は
図３におけるＹ−Ｙ線断面図である。本実施例では初め
に透明フィルムを使用した場合について説明し、後で透
明フィルムを使用しない場合について説明する。１は両
面露光装置で、試料２を挟んでその上方及び下方のそれ
ぞれに紫外線を照射する照射器３を備えている。断面Ｌ
字状をした平面矩形状のフレ−ム４の水平部４ａには真
空ポンプ（図示せず）に接続する第１貫通孔５、第２貫
通孔６および第３貫通孔７がそれぞれ所定間隔をおいて
穿設されている。ガラス等の透明材で形成された平板ホ
ルダ−８は、フレ−ム４に装着されて水平に保持され
る。フレ−ム４の水平部４ａに当接する平板ホルダ−８
の下面周縁に第１貫通孔５と連通する第１溝９を形成
し、該第１溝９内を真空状態にし平板ホルダ−８をフレ
−ム４に水平固定する。また、平板ホルダ−８の上面に
は、透明フィルム１０を真空吸引固着するための第２溝
１１を第２貫通孔６と連通させて縦方向およびまたは横
方向に沿って形成する。第２溝１１はその溝内の真空に
より透明フィルム１０を真空吸引固着する場合につて説
明したが、透明フィルム１０に代えて後述するマスクフ
ィルム１２を真空吸引固着する場合についても適用され
る。

【００１６】透明フィルム１０を平板ホルダ−８の上面
に真空吸引固着させた後、該透明フィルム１０の上面に
マスクフィルム１２を位置合せした状態で、マスクフィ
ルム１２の周縁の一辺または二辺以上の周囲に、接着テ
−プ等のシ−ル材１３を貼る等してシ−ル固定する。接
着テ−プ等のシ−ル材１３の厚みはマスクフィルム１２
とレジスト膜１５を形成した試料２端部（レジスト膜１
５が形成されていない部分）との間の隙間相当の厚みを
有することが重要である。試料２は銅張り積層板などの
基板又は薄板１４の片面または両面の周縁部を残してパ
タ−ンを形成するためのレジスト膜１５が形成されてい
る。マスクフィルム１２の一辺または二辺以上の周縁を
シ−ル材１３でシ−ル固定した後、シ−ル材１３に吸引
穴１６を設ける。この吸引穴１６はマスクフィルム１
２、透明フィルム１０および前記平板ホルダ−８のそれ
ぞれの穴１２ａ、１０ａ、および第３貫通孔７に連通す
るように形成する。第３貫通孔７の上部には細長い一連
の溝７ａが形成されており、図４に示すように吸引穴１
６、穴１２ａ、１０ａにそれぞれ連通している。

【００１７】次に、レジスト膜１５を形成した試料２を
マスクフィルム１２の上に載置し、位置合せをした状態
でシ−ルされた試料２の端部下面を前記吸引穴１６、穴
１２ａ、１０ａ、および第３貫通孔７を介して真空吸引
し、試料２の周縁をシ−ル材１３の上に固定させる（マ
スクフィルム１２は試料２より若干大きめである）。マ
スクフィルム１２と試料２を位置合せした状態で下方か
ら紫外線による照射器３で照射して露光を行う。試料２
の露光は片面露光でもよいが、両面同時露光も可能であ
る。両面同時露光の場合は、往復移動可能にガイドレ−
ル１７等に案内されて移動する水平移動機構１８を備え
たＸテ−ブル１９に、位置合せをしたマスクフィルム１
２と試料２を装着する。そして、試料２の上方にあらか
じめ位置合せされた上側マスクフィルム２０を保持した
垂直方向に昇降する昇降機構２１を備えたＺテ−ブル２
２が搭載されている。かくして、Ｘテ−ブル１９を図１
に示すように右側に移動させ、Ｚテ−ブル２２を下降さ
せて試料２上にあらかじめ位置合せした上側マスクフィ
ルム２０を重ね、上方および下方の照射器３、３を介し
て紫外線照射を行い、試料２の両面同時露光を行う。

【００１８】垂直方向の昇降機構２１に上側マスクフィ
ルム２０を保持する手段は、次の通りである。即ち、Ｚ
テ−ブル２２に装着した上下動可能な金属製フレ−ム２
３の下面に弾性磁石パッキング２４を吸着させる。この
弾性磁石パッキング２４には上側吸引穴２５と下側吸引
穴２６を穿設する。弾性磁石パッキング２４の下方には
透明材で形成した上側平板ホルダ−２７を水平方向に挿
脱自在に取付ける。また、上側平板ホルダ−２７の上面
周縁には前記上側吸引穴２５と連通する上側吸引溝２８
を形成して弾性磁石パッキング２４で覆われた上側吸引
溝２８内を真空吸引することにより上側平板ホルダ−２
７を水平方向に密着支持する。上側平板ホルダ−２７の
下面周縁には前記下側吸引穴２６と連通する下側吸引溝
２９を形成する。そして、下側吸引溝２９内を真空吸引
することにより上側平板ホルダ−２７の下面に上側マス
クフィルム２０を密着させる。本例では、透明フィルム
１０を用いてマスクフィルム１２と試料２を位置合せし
た場合について説明したが、図５に示すように平板ホル
ダ−８の上に直接、マスクフィルム１２を位置合せして
固定するようにしてもよい。

【００１９】図７（ａ）（ｂ）は本発明に係る露光装置
における試料保持装置の他の実施例を示す概略断面図
で、基板又は薄板１４の両面にその周縁を残してレジス
ト膜１５を形成した場合である。この場合は、マスクフ
ィルム１２とレジスト膜１５を形成した試料２の端部と
の間のレジスト膜厚相当の隙間は、接着テ−プ等のシ−
ル材１３を貼る等することなくそのままの状態にしてお
く。そして、試料２に形成したレジスト膜１５の周縁の
しろ部分（パタ−ンが形成されない余白部分）をマスク
フィルム１２に吸引固着させるために、前記マスクフィ
ルム１２および前記平板ホルダ−８のそれぞれに連通し
て設けた吸引穴１６を介して真空吸引するか、あるいは
また前記マスクフィルム１２、透明フィルム１０および
前記平板ホルダ−８のそれぞれに連通して設けた吸引穴
１６を介して真空吸引固着する。図８（ａ）（ｂ）に示
すように、レジスト膜１５が基板又は薄板１４の全面に
形成されている場合、シ−ル材１３を使用しないで、試
料２に形成したレジスト膜１５周縁のしろ部分（パタ−
ンが形成されない余白部分）を前記したと同様に吸引穴
１６を介してマスクフィルムに１２に真空吸引する。

【００２０】

【発明の効果】本発明は上記の説明から判るように、透
明材の平板ホルダ−をフレ−ムに真空吸引固着するとと
もに、平板ホルダ−の上面に透明フィルムを介してマス
クフィルムを位置合せして吸引固着するか、または透明
フィルムを介さずにマスクフィルムを直接載置し位置合
せして吸引固着し、試料端部にレジスト膜が形成されて
いない分の隙間をシ−ル材でシ−ルし、該シ−ルした試
料端部下面を真空吸引固着するための吸引穴を前記シ−
ル材、マスクフィルム（透明フィルムを使用する場合は
該透明フィルムも含む）および前記平板ホルダ−のそれ
ぞれに連通して設けたので、マスクフィルムと試料を位
置合せした状態で、吸引固着することがでる結果、レジ
スト膜を形成した基板や薄膜の試料の両面を同時に露光
することができる。また、試料の両面同時露光は勿論の
こと、片面露光も可能である。

【００２１】さらに、シ−ル材として、マスクフィルム
とレジスト膜を形成した試料端部との間の隙間相当の厚
みを有する接着テ−プを使用することにより、マスクフ
ィルムの固定と、試料端部の隙間のシ−ルが容易にで
き、しかも接着テ−プに真空吸引穴をあける作業も簡単
で位置合せ作業が容易になし得る。また、シ−ル材を用
いて試料をマスクフィルムに固定する場合と、シ−ル材
を用いずに試料をマスクフィルムに固定する場合のいず
れの場合においても、露光装置は試料を保持した状態で
水平方向に往復移動可能な水平移動機構と、該試料の上
面に位置合せされた上側マスクフィルムを保持した垂直
方向の昇降機構とを備えているので、試料の下面にマス
クフィルムをセットした状態で水平移動機構を介して一
方向端部に移動させ、上側マスクフィルムを昇降機構を
介して下降させ、試料の上面に上側マスクフィルムを重
ねた状態で、上下方向から同時に紫外線を照射させて両
面同時露光ができる。

【００２２】特に、垂直方向の昇降機構に上側マスクフ
ィルムを保持する手段は、上下動可能な金属製フレ−ム
の下面に弾性磁石パッキングを吸着させ、該弾性磁石パ
ッキングに上側吸引穴と下側吸引穴を穿設し、弾性磁石
パッキングの下方に透明材で形成した上側平板ホルダ−
を水平方向に挿脱自在に取付け、該上側平板ホルダ−の
上面周縁に前記上側吸引穴と連通する上側吸引溝を形成
して弾性磁石パッキングで覆われた該上側吸引溝内の真
空により上側平板ホルダ−を水平方向に密着支持し、上
側平板ホルダ−の下面周縁に前記下側吸引穴と連通する
下側吸引溝を形成し、上側平板ホルダ−の下面に下側吸
引溝内の真空により上側マスクフィルムを密着したの
で、上側マスクフィルムの保持が確実、かつ正確に保持
され、両面同時露光をする場合の上側マスクフィルムの
保持手段として、その効果を遺憾なく発揮することがで
きる。

【００２３】さらに、接着テ−プ等のシ−ル材を貼る等
することなく、試料に形成したレジスト膜の周縁のしろ
部分（パタ−ンが形成されない余白部分）を使用してマ
スクフィルムに吸引固着させることができるために、吸
引固着作業が容易、かつ迅速になされる上に、レジスト
膜を形成した基板や薄膜の試料の両面を同時に簡単に露
光することができる。また、試料の両面同時露光は勿論
のこと、片面露光も簡単、かつ高精度に露光できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る両面露光装置の概略側面図であ
る。

【図２】本発明に係る露光装置における試料保持装置の
概略平面図である。

【図３】図２におけるＸ−Ｘ線断面図である。

【図４】図３におけるＹ−Ｙ線断面図である。

【図５】本発明に係る露光装置における試料保持装置の
他の実施例を示す概略断面図である。

【図６】上側マスクフィルムの保持手段を示す概略斜視
図である。

【図７】（ａ）（ｂ）は本発明に係る露光装置における
試料保持装置の他の実施例を示す概略断面図である。

【図８】（ａ）（ｂ）は本発明に係る露光装置における
試料保持装置のさらに別の実施例を示す概略断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 両面露光装置 ２ 試料 ３ 照射器 ４ フレ−ム ５ 第１貫通孔 ６ 第２貫通孔 ７ 第３貫通孔 ８ 平板ホルダ− ９ 第１溝 １０ 透明フィルム １１ 第２溝 １２ マスクフィルム １３ シ−ル材 １４ 基板又は薄板 １５ レジスト膜 １６ 吸引穴 １８ 水平移動機構 ２１ 昇降機構 ２０ 上側マスクフィルム ２３ 金属フレ−ム ２４ 弾性磁石パッキング ２５ 上側吸引穴 ２６ 下側吸引穴 ２７ 上側平板ホルダ
− ２８ 上側吸引溝 ２９ 下側吸引溝

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レジスト膜を形成した試料にホトマスク
   を密着させ、光を照射して露光する露光装置において、
   フレ−ムで保持された透明材の平板ホルダ−を該フレ−
   ムに真空吸引固着するための第１溝を前記平板ホルダ−
   の下面周縁に形成し、該平板ホルダ−の上面にマスクフ
   ィルムを真空吸引固着するための第２溝を上記平板ホル
   ダ−の上面に形成するとともに、位置合せしたマスクフ
   ィルムとレジスト膜を形成した試料端部との間の隙間を
   シ−ルするシ−ル材を設け、該シ−ルした試料端部下面
   を真空吸引固着するための吸引穴を前記シ−ル材、マス
   クフィルムおよび前記平板ホルダ−のそれぞれに連通し
   て設けたことを特徴とする露光装置における試料保持装
   置。
2. 【請求項２】 レジスト膜を形成した試料にホトマスク
   を密着させ、光を照射して露光する露光装置において、
   フレ−ムで保持された透明材の平板ホルダ−を該フレ−
   ムに真空吸引固着するための第１溝を前記平板ホルダ−
   の下面周縁に形成し、該平板ホルダ−の上面に透明フィ
   ルムを真空吸引固着するための第２溝を上記平板ホルダ
   −の上面に形成し、かつ該透明フィルム上に位置合せし
   たマスクフィルムをシ−ル材で透明フィルム上に固定す
   るとともに、位置合せしたマスクフィルムとレジスト膜
   を形成した試料端部との間の隙間をシ−ル材でシ−ルし
   た試料端部下面を真空吸引固着するための吸引穴を前記
   シ−ル材、マスクフィルム、透明フィルムおよび前記平
   板ホルダ−のそれぞれに連通して設けたことを特徴とす
   る露光装置における試料保持装置。
3. 【請求項３】 シ−ル材はマスクフィルムとレジスト膜
   を形成した試料端部との間の隙間相当の厚みを有する接
   着テ−プであることを特徴とする請求項１又は２記載の
   露光装置における試料保持装置。
4. 【請求項４】 請求項１又は２記載の露光装置における
   試料保持装置により試料を保持した状態で水平方向に往
   復移動可能な水平移動機構と、該試料の上面に位置合せ
   された上側マスクフィルムを保持した垂直方向の昇降機
   構とを備えたことを特徴とする両面同時露光装置。
5. 【請求項５】 垂直方向の昇降機構に上側マスクフィル
   ムを保持する手段は、上下動可能な金属製フレ−ムの下
   面に弾性磁石パッキングを吸着させ、該弾性磁石パッキ
   ングに上側吸引穴と下側吸引穴を穿設し、弾性磁石パッ
   キングの下方に透明材で形成した上側平板ホルダ−を水
   平方向に挿脱自在に取付け、該上側平板ホルダ−の上面
   周縁に前記上側吸引穴と連通する上側吸引溝を形成して
   弾性磁石パッキングで覆われた該上側吸引溝内の真空に
   より上側平板ホルダ−を水平方向に密着支持し、上側平
   板ホルダ−の下面周縁に前記下側吸引穴と連通する下側
   吸引溝を形成し、上側平板ホルダ−の下面に下側吸引溝
   内の真空により上側マスクフィルムを密着したことを特
   徴とする請求項４記載の両面同時露光装置。
6. 【請求項６】 レジスト膜を形成した試料にホトマスク
   を密着させ、光を照射して露光する露光装置において、
   フレ−ムで保持された透明材の平板ホルダ−を該フレ−
   ムに真空吸引固着するための第１溝を前記平板ホルダ−
   の下面周縁に形成し、該平板ホルダ−の上面にマスクフ
   ィルムを真空吸引固着するための第２溝を上記平板ホル
   ダ−の上面に形成するとともに、レジスト膜を形成した
   試料とマスクフィルムとを位置合せ固定するために、前
   記レジスト膜周縁をマスクフィルムに真空吸引固着する
   吸引穴を前記マスクフィルムおよび前記平板ホルダ−の
   それぞれに連通して設けたことを特徴とする露光装置に
   おける試料保持装置。
7. 【請求項７】 レジスト膜を形成した試料にホトマスク
   を密着させ、光を照射して露光する露光装置において、
   フレ−ムで保持された透明材の平板ホルダ−を該フレ−
   ムに真空吸引固着するための第１溝を前記平板ホルダ−
   の下面周縁に形成し、該平板ホルダ−の上面に透明フィ
   ルムを真空吸引固着するための第２溝を上記平板ホルダ
   −の上面に形成し、かつ該透明フィルム上にレジスト膜
   を形成した試料とマスクフィルムとを位置合せ固定する
   ために、前記レジスト膜周縁をマスクフィルムに真空吸
   引固着する吸引穴を前記マスクフィルム、透明フィルム
   および前記平板ホルダ−のそれぞれに連通して設けたこ
   とを特徴とする露光装置における試料保持装置。
8. 【請求項８】 請求項６又は７記載の露光装置における
   試料保持装置により試料を保持した状態で水平方向に往
   復移動可能な水平移動機構と、該試料の上面に位置合せ
   された上側マスクフィルムを保持した垂直方向の昇降機
   構とを備えたことを特徴とする両面同時露光装置。
9. 【請求項９】 垂直方向の昇降機構に上側マスクフィル
   ムを保持する手段は、上下動可能な金属製フレ−ムの下
   面に弾性磁石パッキングを吸着させ、該弾性磁石パッキ
   ングに上側吸引穴と下側吸引穴を穿設し、弾性磁石パッ
   キングの下方に透明材で形成した上側平板ホルダ−を水
   平方向に挿脱自在に取付け、該上側平板ホルダ−の上面
   周縁に前記上側吸引穴と連通する上側吸引溝を形成して
   弾性磁石パッキングで覆われた該上側吸引溝内の真空に
   より上側平板ホルダ−を水平方向に密着支持し、上側平
   板ホルダ−の下面周縁に前記下側吸引穴と連通する下側
   吸引溝を形成し、上側平板ホルダ−の下面に下側吸引溝
   内の真空により上側マスクフィルムを密着したことを特
   徴とする請求項８記載の両面同時露光装置。