JP2505534B2 - 工具検出装置 - Google Patents

工具検出装置

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、たとえば、プリント基板加工機などで、主
軸に保持されたドリルやエンドミル等の工具を検出する
工具検出装置に関するものである。
〔従来の技術〕
工作機械に使用される工具の位置検出は、一般に、検
出器の接触子を工具の先端に当てることにより行なわれ
ている。
また、プリント基板穴明機で使用するような小さな工
具の検出を行なう場合には、たとえば、特開昭62−9421
0号に示されるように、光学式の検出器を用いるものが
提案されている。
しかし、従来の検出装置は、いずれも、工具の先端位
置を検出するものであり、しかも、その検出精度も低か
った。
〔発明が解決しようとする課題〕
プリント基板の多様化に共ない、プリント基板に要求
される加工の種類も多くなり、しかも、高精度の加工が
要求されるようになつてきた。
たとえば、止り穴や溝加工では、深さ方向の精度が±
20μm程度の高精度が要求されている。
また、通し穴の加工径も、0.1mm〜6.3mmまで0.1mm毎
に多種類の径の加工が要求され、供給するドリルの管理
も繁雑になつている。
このため、主軸に供給された工具の先端位置や径、あ
るいは偏心量を、使用目的に合せて高精度に検出するこ
とが望まれるようになつてきた。
本発明の目的は、前記の課題に鑑み、工具の先端位置
や径、あるいは偏心量を高精度に検出できるようにした
工具検出装置を提供するにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記の目的を達成するため、本考案においては、光学
的に工具を検出し、電気信号に交換する第1の検出手段
と、この第1の検出手段の電気信号を処理して所要の検
出を行なう、第2,第3および第4の検出手段を設けた。
〔作 用〕
そして、第2の検出手段は、第1の検出手段の検出結
果と、工具を保持した主軸の位置から、工具の先端位置
を求める。また、第3の検出手段は第1の検出手段の検
出結果と、受光素子の配列ピツチから、工具の径を求め
る。また第4の検出手段は、第1の検出手段の検出結果
と工具の径から工具の偏心量を求める。
なお、第2,第3および第4の検出手段は、必要に応じ
て適宜選択して用いることができる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を、第1図に基づいて説明す
る。
同図において、1は検出器で、ランプ2と、ランプ2
の光を平行光にするためのレンズ3と、平行光を拡大す
るためのレンズ4と、このレンズ4を光過した光を受け
る受光素子(たとえば、電荷結合素子)5を備えてい
る。
10は第1の検出手段で、検出器1と、工具検出信号を
発振する発振回路11と、所定の間隔のパルスを発振する
パルス発振回路12と、検出信号が発振されている間だ
け、パルスを通過させるアンドゲート回路13と、パルス
が印加されたとき、受光素子5の出力を検出するスキヤ
ニング回路14と、スキヤニング回路14から印加される受
光素子5の出力を増幅し、予じめ設定された閾値と比較
して2値化信号に変換する2値化回路15と、2値化信号
を記憶し、更新するシフトレジスタ16とを備えている。
20は第2の検出手段で、シフトレジスタ16の記憶内容
を読取り、記憶内容が全て“1"(あるいは“0"、以下、
受光素子5が受光している状態を“1"として説明する)
の状態から、“0"の混る状態に変つた時。あるいは、記
憶内容に“0"が含まれた状態から、全て“1"に変つた時
を検出する検出回路21と、工具Tを保持した主軸の送り
モータに付設されたパネルエンコーダ22の出力をカウン
トして、主軸の現在位置を検出するカンウンタ23と、主
軸に保持された工具Tの先端が、検出位置にあるときの
主軸の原点からの移動量を設定する設定回路24と、検出
回路21の検出信号に基づき、カウンタ23のカウント数と
設定回路24の設定値を比較し、その差を補正値として出
力する演算回路25を備えている。
30は第3の検出手段で、工具Tが1回転する間、シフ
トレジスタ16の記憶内容を読取り、その中の“0"の数を
記憶、更新すると共に、最も多い“0"の数を保持するシ
フトレジスタ31と、シフトレジスタ31に保持された数と
受光素子5のピツチから、工具Tの直径を算出する演算
回路32と、予じめ、工具Tの直径を設定する設定回路33
と、演算回路32の出力と設定回路33の設定値を比較し、
その結果を出力する比較回路34を備えている。
40は第4の検出手段で、工具Tが少くとも1回転する
間、シフトレジスタ16の記憶内容を読取り、その中の
“1"から“0"に変る位置を検出して記憶すると共に、そ
の記憶を最上位の位置に更新するシフトレジスタ41と、
シフトレジスタ16の記憶内容を読取り、その中の“0"か
ら“1"に変る位置を検出して記憶すると共に、その記憶
を最下位の位置に更新するシフトレジスタ42と、シフト
レジスタ41とシフトレジスタ42に記憶された内容から、
工具Tの半径方向への移動量を求める演算回路43と、予
じめ、工具Tの直径を設定する設定回路44と、演算回路
43の出力を設定回路44の設定値を比較し、その結果を出
力する演算回路45を備えている。
50はNC装置で、演算回路25、比較回路34および比較回
路45に接続されている。
35は表示回路で、比較回路34の比較結果を表示する。
46は表示回路で、比較回路45の比較結果を表示する。
このような構成で、主軸に保持された工具Tを検出器
1のレンズ3とレンズ4の間に挿入し回転させる。同時
に、発振回路11から工具検査信号を発振させる。また、
ランプ2が点灯される。すると、工具Tの影が受光素子
5上に投影される。
一方、アンドゲート回路13からスキヤニング回路14に
検出信号が印加されるので、スキヤニング回路14は、受
光素子5の一端から他端に向けて、順次出力を検出す
る。この出力は、2値化回路に印加され、ランプ2の光
を受けている所は“1"、工具Tの影に対応する所は“0"
の2つのレベルに変換されて、シフトレジスタ16に印加
される。シフトレジスタ16は、印加された2値化信号
を、次の2値化信号が印加されるまで保持し、次の2値
化信号が印加されたとき、記憶内容を更新する。
シフトレジスタ31は、シフトレジスタ16の記憶内容を
読取り、その中に含まれる“0"の数を数えて、その数を
記憶する。そして、工具Tが1回転する間、シフトレジ
スタ16に記憶された2値化信号の中で、“0"の数の最も
多いときの“0"の数まで、記憶内容を更新し、その数を
保持する。
演算回路32は、シフトレジスタ31の出力に受光素子5
の配列ピツチを乗算して、工具Tの直径を求める。
一方、設定回路33には、NC装置50から予じめ工具径の
設定が行なわれている。
比較回路34は、演算回路32の出力と、設定回路33の設
定値を比較して、その結果をNC装置50と表示回路35に印
加する。
表示回路35は、比較結果の良否を、色の異なるランプ
等で表示する。一方、NC装置50は、比較結果が良の場
合、機械の運転を継続し、比較結果が否の場合には、工
具Tの交換をやり直すか、機械の運転を止めてアラーム
を出す。
一方、シフトレジスタ41は、シフトレジスタ16の記憶
内容を読取り、その中で“1"から“0"に変る位置を検出
し記憶する。そして、少くとも工具Tが1回転する間、
“1"から“0"に変る位置を順次上位のものに更新し、最
上位の位置を記憶、保持する。
同様に、シフトレジスタ42は、シフトレジスタ16の記
憶内容を読取り、その中で、“0"から“1"に変る位置を
検出し記憶する。そして、少くとも工具Tが1回転する
間、“0"から“1"に変る位置を順次下位のものに更新
し、最下位の位置を記憶、保持する。
そして、演算回路43は、シフトレジスタ41とシフトレ
ジスタ42の差を求め、工具Tの半径方向への移動量を求
める。
一方、設定回路44には、NC装置50から予じめ工具径の
設定が行なわれている。
演算回路45は、演算回路43で求められた移動量から設
定回路44に設定された工具径を減算し、工具Tの偏心量
を求め、NC装置50と表示回路46に印加する。
表示回路35は、工具Tの偏心量が許容値以下であるか
否かを、色の異なるランプ等で表示する。一方、NC装置
50は、工具Tの偏心量が許容値以下である場合は、機械
の運転を継続し、工具Tの偏心量が許容値より大きい場
合には、工具Tの交換をやり直すか、機械の運転を止め
てアラームを出す。
検出器1に挿入された工具Tが上昇し、その影が受光
素子5から外れると、シフトレジスタ16の記憶内容は全
て“1"になる。それを、検出回路21が検出すると、演算
回路25に作動信号が印加される。すると、演算回路25
は、カウンタ23の内容と設定回路24の設定値の差を求
め、その差を、加工時の主軸の移動量の補正値としてNC
装置に印加する。
このようにして、主軸に保持された工具の先端位置、
径、偏心量を求めることができる。
そして、受光素子5に、素子の配列間隔が7μmの電
荷結合素子を用い、工具Tの影を3.5倍に拡大して投影
すると、2μm単位での測定が可能になり、高精度の検
出を行なうことができる。
なお、前記実施例において、第2の検出手段20と、第
3の検出手段30および、第4の検出手段40は、必要に応
じて選択して使用すればよい。
また、設定回路33と設定回路44は、どちらか一方を共
用するようにしてもよい。また、設定回路44に、演算回
路32の算出結果を設定するようにしてもよい。
〔発明の効果〕
以上述べた如く、本発明の工具検出装置によれば、工
具の先端位置や径あるいは偏心量を高精度に測定するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明による工具検出装置を示すブロツク線
図である。 1……検出器、5……受光素子、10……第1の検出手
段、20……第2の検出手段、30……第3の検出手段、40
……第4の検出手段。

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光路中に置かれた工具の周囲を透過した光
    を受光する複数の受光素子と、所定の間隔で各受光素子
    の出力に対応する2値化信号の記憶、更新を行なう記憶
    回路を備えた第1の検出手段と、前記工具を保持する主
    軸の原点からの移動量を検出する検出回路と、前記記憶
    回路の記憶内容から検出タイミングを検知するタイミン
    グ回路を備え、検出時の主軸の位置から、加工時の主軸
    の移動量の補正値を求める第2の検出手段を請けたこと
    を特徴とする工具検出装置。
  2. 【請求項2】光路中に置かれた工具の周囲を透過した光
    を受光する複数の受光素子と、所定の間隔で各受光素子
    の出力に対応する2値化信号の記憶、更新を行なう記憶
    回路を備えた第1の検出手段と、前記工具が1回転する
    間に、工具の影で覆われた受光素子の数の最大値を保持
    する保持回路と、保持された数から工具の径を算出する
    演算回路を備えた第3の検出手段を設けたことを特徴と
    する工具検出装置。
  3. 【請求項3】光路中に置かれた工具の周囲を透過した光
    を受光する複数の受光素子と、所定の間隔で各受光素子
    の出力に対応する2値化信号の記憶、更新を行なう記憶
    回路を備えた第1の検出手段と、前記記憶回路に順次記
    憶された2値化信号のレベルの切替る位置の最上位と最
    下位を検出し、その差に基づいて、工具の偏心量を算出
    する演算回路を備えた第4の検出手段を設けたことを特
    徴とする工具検出装置。
  4. 【請求項4】光路中に置かれた工具の周囲を透過した光
    を受光する複数の受光素子と、所定の間隔で各受光素子
    の出力の対応する2値化信号の記憶、更新を行なう記憶
    回路を備えた第1の検出手段と前記工具を保持する主軸
    の原点からの移動量を検出する検出回路と、前記記憶回
    路の記憶内容から検出タイミングを検知するタイミング
    回路を備え、検出時の主軸の位置から、加工時の主軸の
    移動量の補正値を求める第2の検出手段と、前記工具が
    1回転する間に、工具の影で覆われた受光素子の数の最
    大値を保持する保持回路と、保持された数から工具の径
    を算出する演算回路を備えた第3の検出手段を設けたこ
    とを特徴とする工具検出装置。
  5. 【請求項5】光路中に置かれた工具の周囲を透過した光
    を受光する複数の受光素子と、所定の間隔で各受光素子
    の出力に対応する2値化信号の記憶、更新を行なう記憶
    回路を備えた第1の検出手段と、前記工具を保持する主
    軸の原点からの移動量を検出する検出回路と、前記記憶
    回路の記憶内容から検出タイミングを検知するタイミン
    グ回路を備え、検出時の主軸の位置から、加工時の主軸
    の移動量の補正値を求める第2の検出手段と前記記憶回
    路に順次記憶された2値化信号のレベルの切替る位置の
    最上位と最下位を検出し、その差に基づいて、工具の偏
    心量を算出する演算回路を備えた第4の検出手段を設け
    たことを特徴とする工具検出装置。
  6. 【請求項6】光路中に置かれた工具の周囲を透過した光
    を受光する複数の受光素子と、所定の間隔で各受光素子
    の出力に対応する2値化信号の記憶、更新を行なう記憶
    回路を備えた第1の検出手段と、前記工具が1回転する
    間に、工具の影で覆われた受光素子の数の最大値を保持
    する保持回路と、保持された数から工具の径を算出する
    演算回路を備えた第3の検出手段と、前記記憶回路に順
    次記憶された2値化信号のレベルの切替る位置の最上位
    と最下位を検出し、その差に基づいて、工具の偏心量を
    算出する演算回路を備えた第4の検出手段を設けたこと
    を特徴とする工具検出装置。
  7. 【請求項7】光路中に置かれた工具の周囲を透過した光
    を受光する複数の受光素子と、所定の間隔で各受光素子
    の出力に対応する2値化信号の記憶、更新を行なう記憶
    回路を備えた第1の検出手段と、前記工具を保持する主
    軸の原点からの移動量を検出する検出回路と、前記記憶
    回路の記憶内容から検出タイミングを検知するタイミン
    グ回路を備え、検出時の主軸の位置から、加工時の主軸
    の移動量の補正値を求める第2の検出手段と、前記工具
    が1回転する間に、工具の影で覆われた受光素子の数の
    最大値を保持する保持回路と、保持された数から工具の
    径を算出する演算回路を備えた第3の検出手段と、前記
    記憶回路に順次記憶された2値化信号のレベルの切替る
    位置の最上位と最下位を検出し、その差に基づいて工具
    の偏心量を算出する演算回路を備えた第4の検出手段を
    設けたことを特徴とする工具検出装置。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0516115U (ja) * 1991-08-05 1993-03-02 安藤電気株式会社 工具の外径測定器つきnc加工機
DE19641494A1 (de) * 1996-10-09 1998-04-23 Krauss Maffei Ag Maschine zur spanenden Bearbeitung von Werkstücken
JP2003117778A (ja) 2001-10-15 2003-04-23 Mori Seiki Co Ltd 工作機械の精度測定装置
JP2003211346A (ja) * 2002-01-15 2003-07-29 Mori Seiki Co Ltd 工作機械の精度解析装置
GB0404740D0 (en) * 2004-03-03 2004-04-07 Renishaw Plc Tool detection
DE102004024953A1 (de) * 2004-05-21 2005-12-08 Sick Ag Sicherungsverfahren und Sicherheitseinrichtung für eine Maschine, insbesondere eine Biegepresse

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4441205A (en) * 1981-05-18 1984-04-03 Kulicke & Soffa Industries, Inc. Pattern recognition system
EP0116636B1 (en) * 1982-09-01 1988-08-10 Rosemount Limited Position measuring apparatus
JPS5959397A (ja) * 1982-09-29 1984-04-05 オムロン株式会社 特徴点のラベリング装置
DE3501533A1 (de) * 1985-01-18 1986-07-24 K.A. Schmersal Gmbh & Co, 5600 Wuppertal Verfahren und vorrichtung zur werkzeugbruchueberwachung
US4658494A (en) * 1985-05-28 1987-04-21 Hitachi Seiko Ltd. Apparatus for drilling printed circuit boards

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KR900017728A (ko) 1990-12-19
JPH01306156A (ja) 1989-12-11
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DE3917933C2 (ja) 1993-07-22
KR0144862B1 (ko) 1998-07-01
US5029097A (en) 1991-07-02

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