JP2501781B2 - 導電性研磨用部材 - Google Patents
導電性研磨用部材Info
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- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
- B24D3/34—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents characterised by additives enhancing special physical properties, e.g. wear resistance, electric conductivity, self-cleaning properties
- B24D3/342—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents characterised by additives enhancing special physical properties, e.g. wear resistance, electric conductivity, self-cleaning properties incorporated in the bonding agent
- B24D3/344—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents characterised by additives enhancing special physical properties, e.g. wear resistance, electric conductivity, self-cleaning properties incorporated in the bonding agent the bonding agent being organic
Description
【発明の詳細な説明】 この発明は磁気ヘツドなどの精密仕上げの用に供され
る導電性研磨用部材に関するものである。
る導電性研磨用部材に関するものである。
電気，電子産業のめざましい発展の中で精密化がさけ
ばれ、そこで用いられる超精密部品の仕上げ，ラツピン
グ，面出し，傷取り，クリーニング作業が必要となり、
研磨が行なわれている。超精密研磨材料としてシリコン
ウエハ，磁気ヘツド，レンズ，精密モータ部品などあげ
られるが、これらの研磨においては、一つの小さな傷も
許されない。たとえば、オーデイオやビデオで用いられ
ている磁気ヘツドの傷は音や画面を荒す原因となる。
ばれ、そこで用いられる超精密部品の仕上げ，ラツピン
グ，面出し，傷取り，クリーニング作業が必要となり、
研磨が行なわれている。超精密研磨材料としてシリコン
ウエハ，磁気ヘツド，レンズ，精密モータ部品などあげ
られるが、これらの研磨においては、一つの小さな傷も
許されない。たとえば、オーデイオやビデオで用いられ
ている磁気ヘツドの傷は音や画面を荒す原因となる。
このような磁気ヘツドは、従来オーデイオ関連商品を
中心に著しく発展して来たが、最近ではビデオテレビあ
るいはコンピユータ関連に使用されるに至り、高い品質
が要求される様になつてきた。特にヘツド部の表面精度
は、これら関連商品の生命を左右するだけに、ヘツドの
仕上げ工程では細心の注意が払われている。高い記録密
度の要求されるビデオテレビの場合、磁気ヘツド部の仕
上げ状態が悪いと、録画量及び再生量にむらが生じ均一
な良質の画像を得る事ができなくなる。また誤動装作の
許されないコンピユータの場合も同様で光学鏡面仕上げ
された信頼性のある磁気ヘツドが要求される。
中心に著しく発展して来たが、最近ではビデオテレビあ
るいはコンピユータ関連に使用されるに至り、高い品質
が要求される様になつてきた。特にヘツド部の表面精度
は、これら関連商品の生命を左右するだけに、ヘツドの
仕上げ工程では細心の注意が払われている。高い記録密
度の要求されるビデオテレビの場合、磁気ヘツド部の仕
上げ状態が悪いと、録画量及び再生量にむらが生じ均一
な良質の画像を得る事ができなくなる。また誤動装作の
許されないコンピユータの場合も同様で光学鏡面仕上げ
された信頼性のある磁気ヘツドが要求される。
磁気ヘツドの研磨工程は、大きく２つの段階にわかれ
る。第１段階は荒削りで、金型あるいは加工等成型時の
バリ取り、あるいは面出し工程である。次の第２段階
は、仕上げ研磨で、用途に応じた精度、形状に仕上げる
もので、多くは0.1ミクロン以下の表面精度にまたコン
ピユータ，ビデオテレビ等更に高級な磁気ヘツドでは0.
05ミクロン以下の光学鏡面に仕上げられる。第１段階で
は、精度的要求が低い為、場合によつては砥石が用いら
れる事があるが、第２段階では、仕上げの面精度及び仕
上げ形状から、信頼性の高い柔軟性のあるポリエステル
基材の研磨用シート、つまりポリエステル基材上に砥粒
をバインダで結着固定した研磨層を設けてなるものが用
いられる事が多い。
る。第１段階は荒削りで、金型あるいは加工等成型時の
バリ取り、あるいは面出し工程である。次の第２段階
は、仕上げ研磨で、用途に応じた精度、形状に仕上げる
もので、多くは0.1ミクロン以下の表面精度にまたコン
ピユータ，ビデオテレビ等更に高級な磁気ヘツドでは0.
05ミクロン以下の光学鏡面に仕上げられる。第１段階で
は、精度的要求が低い為、場合によつては砥石が用いら
れる事があるが、第２段階では、仕上げの面精度及び仕
上げ形状から、信頼性の高い柔軟性のあるポリエステル
基材の研磨用シート、つまりポリエステル基材上に砥粒
をバインダで結着固定した研磨層を設けてなるものが用
いられる事が多い。
従来、研磨時における最大の課題は、いかにして傷の
ない均一な光学鏡面を得るかであつた。研磨によるムラ
や傷の発生は研磨用シートに用いられる砥粒の粒径分布
状態と研磨用シートへのゴミの混入による事が多い。前
者は砥粒の精製のレベルを向上させる事で容易に対処す
る事ができる。しかしながら、後者の場合、研磨環境の
クリーンレベルを高くする事によって、あるいは研磨部
分に吸引機を設置する事によつて等種々の物理的手法に
よる無ジン化の検討がなされているが、研磨作業そのも
のが研磨クズを発生させる工程である事から本質的にゴ
ミを無くす事は難しく、一方研磨用シートへのゴミの付
着は研磨用シートの剥離帯電あるいは摩擦帯電等静電気
による帯電が原因となつているため、現状の研磨用シー
トを用いて、ゴミの付着を防止したり、一度付着したゴ
ミを物理的手法を用いて除去する事は難しい。
ない均一な光学鏡面を得るかであつた。研磨によるムラ
や傷の発生は研磨用シートに用いられる砥粒の粒径分布
状態と研磨用シートへのゴミの混入による事が多い。前
者は砥粒の精製のレベルを向上させる事で容易に対処す
る事ができる。しかしながら、後者の場合、研磨環境の
クリーンレベルを高くする事によって、あるいは研磨部
分に吸引機を設置する事によつて等種々の物理的手法に
よる無ジン化の検討がなされているが、研磨作業そのも
のが研磨クズを発生させる工程である事から本質的にゴ
ミを無くす事は難しく、一方研磨用シートへのゴミの付
着は研磨用シートの剥離帯電あるいは摩擦帯電等静電気
による帯電が原因となつているため、現状の研磨用シー
トを用いて、ゴミの付着を防止したり、一度付着したゴ
ミを物理的手法を用いて除去する事は難しい。
今日まで、精密研磨用部材に関する検討は、主に研磨
砥粒の粒径分布と砥粒の形状に関する研削能力を中心に
したものであつた。しかしながら、精密研磨用シートに
おいて重要な事は、傷の無い研磨面を与える事である。
にもかかわらず、この種の報告はほとんどなされていな
い。
砥粒の粒径分布と砥粒の形状に関する研削能力を中心に
したものであつた。しかしながら、精密研磨用シートに
おいて重要な事は、傷の無い研磨面を与える事である。
にもかかわらず、この種の報告はほとんどなされていな
い。
この発明者らは、上記の事情に鑑み鋭意検討した結
果、従来の精密研磨用のシートと同程度の研削能力を与
え、しかもゴミ，異物の付着が防がれて研削ムラや傷の
発生がみられない研磨面を与えることができる新規かつ
有用な導電性研磨用部材を見い出し、この発明を完成す
るに至つたものである。
果、従来の精密研磨用のシートと同程度の研削能力を与
え、しかもゴミ，異物の付着が防がれて研削ムラや傷の
発生がみられない研磨面を与えることができる新規かつ
有用な導電性研磨用部材を見い出し、この発明を完成す
るに至つたものである。
すなわち、この発明は、砥粒をバインダで結着固定し
た研磨層を可撓性ベース上に設けてなるシート状，テー
プ状などの研磨用部材において、上記の研磨層中に平均
粒径20〜50nmのカーボン粉末を上記バインダ100重量部
に対して１〜20重量部の割合で含有させたことを特徴と
する導電性研磨用部材に係るものである。
た研磨層を可撓性ベース上に設けてなるシート状，テー
プ状などの研磨用部材において、上記の研磨層中に平均
粒径20〜50nmのカーボン粉末を上記バインダ100重量部
に対して１〜20重量部の割合で含有させたことを特徴と
する導電性研磨用部材に係るものである。
図面は、この発明の導電性研磨用シートの一例を示し
たものであり、ベース１上に砥粒２がバインダ３によつ
て結着固定された研磨層４が設けられており、この研磨
層４中にはカーボン粉末５が均一に分散結着されてい
る。
たものであり、ベース１上に砥粒２がバインダ３によつ
て結着固定された研磨層４が設けられており、この研磨
層４中にはカーボン粉末５が均一に分散結着されてい
る。
ベース１としては可撓性を有するポリエチレンテレフ
タレートフイルムの如きポリエステルフイルムが好適に
用いられ、その厚さは用途目的に応じて適宜選択され
る。砥粒２としては、酸化アルミニウム粉，シリコンカ
ーバイト粉，酸化クロム粉，酸化鉄粉，ダイヤモンド粉
などが用いられ、表面の仕上げ精度に応じてその粒径が
選択されるが、一般には平均粒径が0.3〜30ミクロン程
度のものが用いられる。バインダ３としては、尿素−ホ
ルムアルデヒド樹脂、フエノール−ホルムアルデヒド樹
脂、ウレタン樹脂やポリエステル樹脂の如き耐熱性でか
つ耐摩耗性にすぐれる樹脂が好ましく用いられる。研磨
層４の厚みとしては、一般に５〜40ミクロン程度であ
る。
タレートフイルムの如きポリエステルフイルムが好適に
用いられ、その厚さは用途目的に応じて適宜選択され
る。砥粒２としては、酸化アルミニウム粉，シリコンカ
ーバイト粉，酸化クロム粉，酸化鉄粉，ダイヤモンド粉
などが用いられ、表面の仕上げ精度に応じてその粒径が
選択されるが、一般には平均粒径が0.3〜30ミクロン程
度のものが用いられる。バインダ３としては、尿素−ホ
ルムアルデヒド樹脂、フエノール−ホルムアルデヒド樹
脂、ウレタン樹脂やポリエステル樹脂の如き耐熱性でか
つ耐摩耗性にすぐれる樹脂が好ましく用いられる。研磨
層４の厚みとしては、一般に５〜40ミクロン程度であ
る。
カーボン粉末５は、この発明の研磨用シートの要部を
なすものであり、その平均粒径が20〜50nmの範囲にある
ものが用いられ、研磨層４中の含有量としては、バイン
ダ100重量部に対して１〜20重量部、好適には５〜15重
量部の範囲に設定されている。
なすものであり、その平均粒径が20〜50nmの範囲にある
ものが用いられ、研磨層４中の含有量としては、バイン
ダ100重量部に対して１〜20重量部、好適には５〜15重
量部の範囲に設定されている。
このように、この発明の研磨用シートは、研磨層４中
にカーボン粉末５を含ませるようにしたから、この粉末
５によつて上記研磨層４に良好な導電性を付与でき、こ
れによつて帯電によるゴミ，異物の付着が抑止されるた
め、研磨面への研磨ムラや傷の発生が減少する。しか
も、上記カーボン付着５は、金属粉末などに較べてすぐ
れた導電機能を有しているため、バインダに対する含有
量を前記少量にしても充分なる帯電防止機能を発揮させ
ることができ、このため研磨層４本来の機能、つまり研
磨能力になんら悪影響をおよぼさず、また砥粒２のバイ
ンダ３に対する結着固定性を阻害するおそれもない。
にカーボン粉末５を含ませるようにしたから、この粉末
５によつて上記研磨層４に良好な導電性を付与でき、こ
れによつて帯電によるゴミ，異物の付着が抑止されるた
め、研磨面への研磨ムラや傷の発生が減少する。しか
も、上記カーボン付着５は、金属粉末などに較べてすぐ
れた導電機能を有しているため、バインダに対する含有
量を前記少量にしても充分なる帯電防止機能を発揮させ
ることができ、このため研磨層４本来の機能、つまり研
磨能力になんら悪影響をおよぼさず、また砥粒２のバイ
ンダ３に対する結着固定性を阻害するおそれもない。
これに対して、たとえば上述の金属粉末では、バイン
ダ100重量部に対して20重量部以上、好ましくは30重量
部以上含有させなければ、ゴミなどの付着を防止するに
充分な帯電防止効果が得られず、かかる多量配合では、
砥粒の配合比率がそれだけ低下して研磨能力を損ない、
しかもバインダに対する砥粒の結着固定性が悪くなつて
研磨時に脱落しやすくなる。
ダ100重量部に対して20重量部以上、好ましくは30重量
部以上含有させなければ、ゴミなどの付着を防止するに
充分な帯電防止効果が得られず、かかる多量配合では、
砥粒の配合比率がそれだけ低下して研磨能力を損ない、
しかもバインダに対する砥粒の結着固定性が悪くなつて
研磨時に脱落しやすくなる。
上記カーボン粉末５の粒径は、これが小さいほど導電
機能上望ましいものであるが、あまり小さくなりすぎる
と、研磨層４の柔軟性，ベース１に対する接着性および
砥粒２の結着性などに悪い影響をおよぼすおそれがあ
る。また粒径が大きくなると、導電機能の低下ととも
に、研磨層４の柔軟性なども低下しやすい。カーボン粉
末５の平均粒径を、前記20〜50nmの範囲に設定したの
は、上記理由に基づくものであり、この範囲に設定する
ことによつて研磨層本来の機能などをなんら損なうこと
なく良好な導電性を付与することができる。
機能上望ましいものであるが、あまり小さくなりすぎる
と、研磨層４の柔軟性，ベース１に対する接着性および
砥粒２の結着性などに悪い影響をおよぼすおそれがあ
る。また粒径が大きくなると、導電機能の低下ととも
に、研磨層４の柔軟性なども低下しやすい。カーボン粉
末５の平均粒径を、前記20〜50nmの範囲に設定したの
は、上記理由に基づくものであり、この範囲に設定する
ことによつて研磨層本来の機能などをなんら損なうこと
なく良好な導電性を付与することができる。
まお、前記の金属粉末などではかかる粒子径のものを
得難く、一般にその粒径が大となるため、これが研磨層
の特性を損なう原因ともなり、また研磨面に表面傷を与
える直接の原因ともなる。
得難く、一般にその粒径が大となるため、これが研磨層
の特性を損なう原因ともなり、また研磨面に表面傷を与
える直接の原因ともなる。
以上詳述したとおり、この発明によれば、研磨層に特
定のカーボン粉末を特定量含有させるという簡単な構成
によつて、従来得ることができなかつた磁気ヘツドなど
の精密仕上げ用としてきわめて有用な導電性研磨用部材
を提供することができる。
定のカーボン粉末を特定量含有させるという簡単な構成
によつて、従来得ることができなかつた磁気ヘツドなど
の精密仕上げ用としてきわめて有用な導電性研磨用部材
を提供することができる。
つぎに、この発明に実施例につき説明する。以下にお
いて、部とあるは重量部を意味するものとする。
いて、部とあるは重量部を意味するものとする。
実施例１ 25ミクロン厚のポリエステルベースフイルム上に、平
均粒径５ミクロンの酸化アルミニウム粉300部とポリエ
ステル系ウレタン樹脂80部と脂肪族イソシアネート化合
物20部との混合物にさらにフアーネスブラツク（平均粒
径20〜35nm）５部を添加したものを塗布し、150℃で２
分間加熱乾燥して、全厚40ミクロンの導電性研磨用シー
トを得た。
均粒径５ミクロンの酸化アルミニウム粉300部とポリエ
ステル系ウレタン樹脂80部と脂肪族イソシアネート化合
物20部との混合物にさらにフアーネスブラツク（平均粒
径20〜35nm）５部を添加したものを塗布し、150℃で２
分間加熱乾燥して、全厚40ミクロンの導電性研磨用シー
トを得た。
実施例２ 38ミクロン厚のポリエステルベースフイルム上に、平
均粒径５ミクロンのシリコンカーバイド粉250部とポリ
エステル系ウレタン樹脂80部と芳香族イソシアネート20
部との混合物にさらにフアーネスブラツク（平均粒径20
〜40nm）15部を添加したものを塗布し、150℃で２分間
加熱乾燥して、全厚53ミクロンの導電性研磨用シートを
得た。
均粒径５ミクロンのシリコンカーバイド粉250部とポリ
エステル系ウレタン樹脂80部と芳香族イソシアネート20
部との混合物にさらにフアーネスブラツク（平均粒径20
〜40nm）15部を添加したものを塗布し、150℃で２分間
加熱乾燥して、全厚53ミクロンの導電性研磨用シートを
得た。
実施例３ 75ミクロン厚のポリエステルベースフイルム上に、平
均粒径５ミクロンのシリコンカーバイド粉300部とポリ
エステル樹脂100部との混合物にさらにフアーネスブラ
ツク（平均粒径30〜45nm）30部を添加したものを塗布
し、100℃で２分間加熱乾燥して、全厚90ミクロンの導
電性研磨用シートを得た。
均粒径５ミクロンのシリコンカーバイド粉300部とポリ
エステル樹脂100部との混合物にさらにフアーネスブラ
ツク（平均粒径30〜45nm）30部を添加したものを塗布
し、100℃で２分間加熱乾燥して、全厚90ミクロンの導
電性研磨用シートを得た。
参考例 25ミクロン厚のポリエステルベースフイルム上に、実
施例１と同様の酸化アルミニウム粉300部と、ポリエス
テル系ウレタン樹脂80部と脂肪族イソシアネート化合物
20部との混合物を塗布し、150℃で２分間加熱乾燥し
て、全厚40ミクロンの研磨用シートを得た。
施例１と同様の酸化アルミニウム粉300部と、ポリエス
テル系ウレタン樹脂80部と脂肪族イソシアネート化合物
20部との混合物を塗布し、150℃で２分間加熱乾燥し
て、全厚40ミクロンの研磨用シートを得た。
上記の実施例１〜３および参考例の各研磨用シートに
つき、電気抵抗を測定し、また剥離帯電によるゴミ（こ
こでは100メツシユの鉄粉）の付着率を調べた。さらに
その後ステンレス板の研磨を行なつて、研磨傷の発生程
度および研磨能力を調べた。これらの結果は、つぎの表
に示されるとおりであつた。
つき、電気抵抗を測定し、また剥離帯電によるゴミ（こ
こでは100メツシユの鉄粉）の付着率を調べた。さらに
その後ステンレス板の研磨を行なつて、研磨傷の発生程
度および研磨能力を調べた。これらの結果は、つぎの表
に示されるとおりであつた。
上表から明らかなように、この発明の導電性研磨用シ
ートによれば、研磨傷の発生を防止できる一方充分な研
磨能力を発揮でき、磁気ヘツドなどの精密部品の研磨用
としてきわめて好適であることがわかる。
ートによれば、研磨傷の発生を防止できる一方充分な研
磨能力を発揮でき、磁気ヘツドなどの精密部品の研磨用
としてきわめて好適であることがわかる。
図面はこの発明の導電性研磨用部材の一例を示す断面図
である。 １…ベース、２…砥粒、３…バインダ、４…研磨層、５
…カーボン粉末。
である。 １…ベース、２…砥粒、３…バインダ、４…研磨層、５
…カーボン粉末。
フロントページの続き (72)発明者 伊地知 市郎 茨木市下穂積１丁目１番２号 日東電気 工業株式会社内 (72)発明者 山本 義明 茨木市丑寅一丁目１番88号 日立マクセ ル株式会社内 (56)参考文献 特公 昭53−36195（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (1)
- 【請求項１】砥粒をバインダで結着固定した研磨層を可
撓性ベース上に設けてなるシート状，テープ状などの研
磨用部材において、上記の研磨層中に平均粒径20〜50nm
のカーボン粉末を上記バインダ100重量部に対して１〜2
0重量部の割合で含有させたことを特徴とする導電性研
磨用部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57051952A JP2501781B2 (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 導電性研磨用部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57051952A JP2501781B2 (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 導電性研磨用部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58171264A JPS58171264A (ja) | 1983-10-07 |
| JP2501781B2 true JP2501781B2 (ja) | 1996-05-29 |
Family
ID=12901206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57051952A Expired - Lifetime JP2501781B2 (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 導電性研磨用部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2501781B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6099569A (ja) * | 1983-11-02 | 1985-06-03 | Mitsubishi Metal Corp | 研削砥石 |
| US5108463B1 (en) * | 1989-08-21 | 1996-08-13 | Minnesota Mining & Mfg | Conductive coated abrasives |
| US5137542A (en) * | 1990-08-08 | 1992-08-11 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive printed with an electrically conductive ink |
| WO1993015879A1 (en) * | 1992-02-12 | 1993-08-19 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | A coated abrasive article containing an electrically conductive backing |
| US5203884A (en) * | 1992-06-04 | 1993-04-20 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article having vanadium oxide incorporated therein |
| US6979248B2 (en) * | 2002-05-07 | 2005-12-27 | Applied Materials, Inc. | Conductive polishing article for electrochemical mechanical polishing |
| US20020146963A1 (en) | 2001-02-08 | 2002-10-10 | 3M Innovative Properties Company | Composition containing graphite |
| JP4937700B2 (ja) * | 2006-11-07 | 2012-05-23 | 株式会社ディスコ | 乾式研磨装置 |
| CN102967632B (zh) * | 2012-11-30 | 2016-01-20 | 淄博包钢灵芝稀土高科技股份有限公司 | 用电导率指导抛光粉生产和产品质量控制的方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5336195A (en) * | 1976-09-16 | 1978-04-04 | Citizen Watch Co Ltd | Electronic display device |
-
1982
- 1982-03-30 JP JP57051952A patent/JP2501781B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58171264A (ja) | 1983-10-07 |
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