JP2025166084A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7728062B2 (ja) * 2020-10-26 2025-08-22 東京エレクトロン株式会社 処理システム及び搬送方法
KR102649714B1 (ko) * 2020-10-27 2024-03-21 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 기판 반송 방법
KR20250106280A (ko) * 2022-10-31 2025-07-09 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 처리 시스템 및 반송 방법
KR102824299B1 (ko) * 2022-11-21 2025-06-25 (주)아이씨디 플라즈마 처리 시스템 및 이의 반송 방법
KR20250142391A (ko) * 2023-02-09 2025-09-30 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 처리 장치
JP7483118B1 (ja) * 2023-12-22 2024-05-14 Sppテクノロジーズ株式会社 基板処理装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5650935B2 (ja) 2009-08-07 2015-01-07 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び位置決め方法並びにフォーカスリング配置方法
JP6003011B2 (ja) 2011-03-31 2016-10-05 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
KR101697500B1 (ko) * 2015-06-12 2017-02-01 세메스 주식회사 티칭 방법, 그리고 이를 이용한 기판 처리 장치
US10062599B2 (en) * 2015-10-22 2018-08-28 Lam Research Corporation Automated replacement of consumable parts using interfacing chambers
US9881820B2 (en) * 2015-10-22 2018-01-30 Lam Research Corporation Front opening ring pod
US10124492B2 (en) * 2015-10-22 2018-11-13 Lam Research Corporation Automated replacement of consumable parts using end effectors interfacing with plasma processing system
JP6635888B2 (ja) 2016-07-14 2020-01-29 東京エレクトロン株式会社 プラズマ処理システム
US11662373B2 (en) * 2018-05-24 2023-05-30 Sinfonia Technology Co., Ltd. Substrate storage container management system, load port, and substrate storage container management method
US12444632B2 (en) * 2018-12-12 2025-10-14 Tokyo Electron Limited System of processing substrate, transfer method, transfer program, and holder
JP7357453B2 (ja) * 2019-03-07 2023-10-06 東京エレクトロン株式会社 基板処理システムおよび基板の搬送方法
KR102946972B1 (ko) * 2019-06-06 2026-04-01 램 리써치 코포레이션 회전 정렬이 필요한 에지 링의 자동화된 이송
JP7519822B2 (ja) * 2020-06-19 2024-07-22 東京エレクトロン株式会社 収納モジュール、基板処理システムおよび消耗部材の搬送方法
JP7728062B2 (ja) * 2020-10-26 2025-08-22 東京エレクトロン株式会社 処理システム及び搬送方法
CN114765115A (zh) * 2021-01-15 2022-07-19 东京毅力科创株式会社 基片处理装置
JP7769186B2 (ja) * 2021-08-05 2025-11-13 シンフォニアテクノロジー株式会社 ロードポート

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