JP2025041254A - 電磁波シールドシート - Google Patents

Abstract

【課題】電磁波シールド性に優れた電磁波シールドシートを提供する。
【解決手段】第１導電層と第２導電層と磁性体層とを備えた電磁波シールドシートであって、前記電磁波シールドシートの一方の主面が第１導電層であり、他方の主面が第２導電層であり、前記第１導電層と前記第２導電層との間に磁性体層を有し、前記第１導電層及び前記第２導電層はいずれも導電性材料を含み、前記磁性体層は磁性材料を含むことを特徴とする電磁波シールドシート。
【選択図】なし

Description

本発明は電磁波シールドシートに関する。

プリント配線基板、電子部品、アンテナ等の各種機器から発生する電磁波は互いに干渉するため、他の電気回路や電子部品に影響を与えて誤動作等を引き起こす場合がある。したがって、電磁波シールドシートを用いて各種機器の電磁波シールド性を高めることにより、各種機器の誤作動を防ぐことが求められている。

電磁波シールドシートとして、例えば、特許文献１には、低周波電磁波を遮蔽するための多層材料が開示されており、前記多層材料は、複数の反復する材料交互層セットを含んでおり、各々の反復する交互層セットが導電層と磁性層とを含む多層材料であることが開示されている。また、特許文献２には、アルミニウム箔層と、接着剤層と、基材層とを含む不燃性電磁波シールド積層体が開示されており、前記アルミニウム箔層は、前記不燃性電磁波シールド積層体の片面または両面の最表層であり、前記接着剤層は、アルミニウム箔層を接着する層であり、前記基材層がスパンボンド層を含むことが開示されている。

特開２０２２－７５６４５号公報 特開２０１９－１７９７８６号公報

しかし、特許文献１では、約１ＭＨｚ未満の周波数を有する電磁波を遮蔽することに特化する旨の記載がされており、多層材料の具体例として挙げられている図２～図４には導電層と磁性層との交互層セットが複数備えられた多層材料しか開示されておらず、このような積層構造では周波数１０～１００ＭＨｚ程度での電磁波シールド性が不十分であるという問題があった。また、特許文献２は電磁波シールド積層体に関する発明ではあるもののスパンボンド層を含むことにより耐熱性を高めることを目的としており、電磁波シールド性については改善の余地があった。

本発明は、電磁波シールド性に優れた電磁波シールドシートを提供することを目的とする。

すなわち、本発明は、以下の発明を含む。
［１］第１導電層と第２導電層と磁性体層とを備えた電磁波シールドシートであって、前記電磁波シールドシートの一方の主面が前記第１導電層であり、他方の主面が前記第２導電層であり、前記第１導電層と前記第２導電層との間に前記磁性体層を有し、前記第１導電層及び前記第２導電層はいずれも導電性材料を含み、前記磁性体層は磁性材料を含むことを特徴とする電磁波シールドシート。
［２］前記導電性材料は導電性高分子、金属、金属酸化物、及び炭素系材料からなる群より選択される少なくとも１種を含む前記［１］に記載の電磁波シールドシート。
［３］前記磁性材料は軟磁性材料である前記［１］又は［２］に記載の電磁波シールドシート。
［４］中間層としてさらに不織布層を含む前記［１］～［３］のいずれかに記載の電磁波シールドシート。
［５］前記不織布層はポリエステル樹脂を含む前記［４］に記載の電磁波シールドシート。
［６］厚さが９００μｍ以下であり、ＫＥＣ法で測定される１００ＭＨｚでの磁界シールド性が８０ｄＢ以上であり、１０ＭＨｚでの電界シールド性が６０ｄＢ以上である前記［１］～［５］のいずれかに記載の電磁波シールドシート。

本発明の電磁波シールドシートは、所定の層構成とすることにより、非常に薄いシートとした場合であっても電磁波シールド性に優れている。

本発明の電磁波シールドシートは、第１導電層と第２導電層と磁性体層とを備えており、一方の主面が第１導電層であり、他方の主面が第２導電層であり、前記第１導電層と前記第２導電層との間に磁性体層を有する。なお、主面とは電磁波シールドシートの積層方向（厚さ方向）に垂直な表面のことを指す。

＜導電層＞
第１導電層及び第２導電層はいずれも導電性材料を含む。本発明の電磁波シールドシートには、第１導電層及び第２導電層の他に導電層を含む（中間層として導電層を含む）ことが好ましい。第１導電層及び第２導電層の他に導電層を含む場合、本発明の電磁波シールドシートに備えられた全ての導電層において導電性材料を含む。

導電性材料は、特に限定されないが、導電性高分子、金属、金属酸化物、及び炭素系材料からなる群より選択される少なくとも１種を含むことが好ましく、金属であることがより好ましい。導電性材料は、１種のみであってもよく、２種以上であってもよい。

導電性高分子としては、例えば、ポリアセチレン、ポリピロール、ポリ（３，４－エチレンジオキシチオフェン）、ポリ（３，４－エチレンジオキシチオフェン）／ポリスチレンスルホネート、ポリチオフェン、ポリアニリン、ポリ（ｐ－フェニレン）、ポリフルオレン、ポリカルバゾール、ポリシランなどが挙げられる。

金属としては、例えば、金、銀、銅、アルミニウム等の単体金属；１種又は２種以上のこれら単体金属を含む合金等が挙げられ、中でもアルミニウムであることが好ましい。

金属酸化物としては、例えばスズドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）、アンチモンドープ酸化スズ（ＡＴＯ）、フッ素ドープ酸化スズ（ＦＴＯ）などが挙げられる。

炭素系材料としては、例えば、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、ＣＮナノチューブ、ＣＮナノファイバー、ＢＣＮナノチューブ、ＢＣＮナノファイバー、グラフェン、カーボンマイクロコイル、カーボンナノコイル、カーボンナノホーン、カーボンナノウォール、カーボンブラック等の炭素骨格を有する化合物が挙げられる。

導電層は、導電性材料が９０質量％以上であることが好ましく、９５質量％以上であることがより好ましく、９８質量％以上であることがさらに好ましく、１００質量％である（導電層は導電性材料のみからなる）ことが特に好ましい。

全ての導電層の厚さの合計は、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であることがより好ましく、１００μｍ以下であることがさらに好ましく、８０μｍ以下であることが特に好ましい。本発明では電磁波シールドシートを所定の層構成とすることにより、導電層の厚さが２００μｍ以下という非常に薄い電磁波シールドシートであっても優れた電磁波シールド性を有する。厚さの下限は特に限定されないが、例えば１０μｍ以上であり、２０μｍ以上であることが好ましい。

全ての導電層の目付の合計は、２０～２００ｇ／ｍ^２であることが好ましく、３０～１５０ｇ／ｍ^２であることがより好ましく、４０～１００ｇ／ｍ^２であることがさらに好ましい。本発明では電磁波シールドシートを所定の層構成とすることにより、導電層が２００ｇ／ｍ^２以下という低い目付であっても優れた電磁波シールド性を有する。

＜磁性体層＞
磁性体層は、磁性材料を含む。磁性材料としては、金属及び金属酸化物からなる群より選択される少なくとも１種を含むことが好ましく、金属であることがより好ましい。上記金属としては、例えば、鉄、ニッケル、コバルト等の単体金属；センダスト（Ｆｅ－Ｓｉ－Ａｌ合金）、ケイ素鋼（Ｆｅ－Ｓｉ合金）、Ｆｅ－Ａｌ合金、パーマロイ（Ｆｅ－Ｎｉ合金）、磁性ステンレス（Ｆｅ－Ｃｒ－Ａｌ－Ｓｉ合金）、ケイ素銅（Ｆｅ－Ｃｕ－Ｓｉ合金）、Ｆｅ－Ｓｉ－Ｃｒ合金、Ｆｅ－Ｓｉ－Ａｌ－Ｎｉ系合金、Ｆｅ－Ｎｉ－Ｓｉ－Ｃｏ系合金、Ｆｅ－Ｎｉ－Ｓｉ－Ｃｏ－Ｃｒ系合金、Ｆｅ系アモルファス合金、Ｆｅ系ナノ結晶合金等の合金；が挙げられ、上記金属酸化物としては、ＡＦｅ_２Ｏ_４（Ａは、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、又はＺｎ）で表されるフェライト；などが挙げられる。中でも、鉄、センダスト、Ｆｅ－Ｓｉ合金、パーマロイ、磁性ステンレス、ケイ素銅等の軟磁性材料であることが好ましく、センダストであることがより好ましい。

磁性体層は、磁性材料の他に樹脂を含むことが好ましい。磁性体層に樹脂を含む場合、磁性体層中における磁性材料１００質量部に対する樹脂の含有率は３０～２００質量部であることが好ましく、４０～１６０質量部であることがより好ましく、５０～１２０質量部であることがさらに好ましい。

磁性体層を構成する樹脂は、熱可塑性樹脂が好ましく、具体的には、ポリエステル系樹脂、ポリエステルウレタン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、フェノキシ系樹脂、オレフィン系樹脂、及びアクリル系樹脂よりなる群から選択される少なくとも１種が好ましく、ポリエステル系樹脂がより好ましい。

磁性体層を構成する樹脂は、熱可塑性樹脂が架橋剤によって架橋された架橋熱可塑性樹脂であってもよく、ポリエステル系樹脂が架橋剤によって架橋された架橋ポリエステル系樹脂であることが好ましい。架橋剤としては、特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、イソシアネート系架橋剤、メラミン系架橋剤、エポキシ系架橋剤などが挙げられ、イソシアネート系架橋剤であることが好ましい。また、架橋剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、イソシアネート系架橋剤として、ミリオネート（登録商標）Ｎ、コロネート（登録商標）Ｔ、コロネート（登録商標）ＨＬ、コロネート（登録商標）２０３０、スプラセック（登録商標）３３４０、ダルトセック１３５０、ダルトセック２１７０、ダルトセック２２８０（以上、日本ポリウレタン工業株式会社製）等が挙げられ、メラミン系架橋剤として、ニカラック（登録商標）ＭＳ－１１、ニカラック（登録商標）ＭＳ２１（以上、株式会社三和ケミカル製）、スーパーベッカミン（登録商標）Ｌ－１０５－６０、スーパーベッカミン（登録商標）Ｊ－８２０－６０（以上、ＤＩＣ株式会社製）等が挙げられ、エポキシ系架橋剤として、ハードナーＨＹ９５１、ハードナーＨＹ９５７（以上、ＢＡＳＦ製）、スミキュアーＤＴＡ、スミキュアーＴＴＡ（以上、住友化学株式会社製）等が挙げられる。中でも、多官能性イソシアネート化合物であることがより好ましく、市販品として、トリメチロールプロパンとヘキサメチレンジイソシアネートの三量体付加物である東ソー社製コロネート（登録商標）ＨＬが挙げられる。

磁性体層の厚さは、３０～５００μｍであることが好ましく、５０～４００μｍであることがより好ましく、７０～３５０μｍであることがさらに好ましく、１００～３００μｍであることが特に好ましい。本発明では電磁波シールドシートを所定の層構成とすることにより、磁性体層の厚さが６００μｍ以下という非常に薄い電磁波シールドシートであっても優れた電磁波シールド性を有する。なお、本発明の電磁波シールドシートは、磁性体層を少なくとも１層備えているが、磁性体層を１層のみ備えていても２層以上備えていてもよく、電磁波シールドシートに複数の磁性体層が設けられている場合、上述の磁性体層の厚さは電磁波シールドシートに設けられている全ての磁性体層の厚さの合計を指す。

磁性体層の目付は、５０～７００ｇ／ｍ^２であることが好ましく、１００～５００ｇ／ｍ^２であることがより好ましく、１５０～４００ｇ／ｍ^２であることがさらに好ましい。本発明では電磁波シールドシートを所定の層構成とすることにより、磁性体層が７００ｇ／ｍ^２以下という低い目付であっても優れた電磁波シールド性を有する。なお、電磁波シールドシートに複数の磁性体層が設けられている場合、上述の磁性体層の目付は電磁波シールドシートに設けられている全ての磁性体層の目付の合計を指す。

本発明の電磁波シールドシートにおいて、磁性材料のみの目付が３０～５００ｇ／ｍ^２であることが好ましく、５０～４００ｇ／ｍ^２であることがより好ましく、７０～３００ｇ／ｍ^２であることがさらに好ましい。本発明では電磁波シールドシートを所定の層構成とすることにより、シート全体で５００ｇ／ｍ^２以下という少量の磁性材料であっても優れた電磁波シールド性を有する。なお、電磁波シールドシートに複数の磁性体層が設けられている場合、上述の磁性体層のみの目付は電磁波シールドシートに設けられている全ての磁性体層における磁性材料のみの目付の合計を指す。

＜不織布層＞
本発明の電磁波シールドシートは、中間層としてさらに不織布層を含んでもよい。すなわち、第１導電層と第２導電層との間に磁性体層のみならず不織布層も含んでもよい。不織布層を含むことにより、厚さ方向のクッション性と弾発性が向上し、凹凸のある箇所や屈曲した箇所への設置が容易になる。本発明の電磁波シールドシートは、不織布層を１層のみ含んでいてもよく２層以上含んでいてもよい。

不織布層を構成する不織布は、特に限定されず、例えば、ポリエステル不織布、ポリプロピレン不織布、ポリアミド不織布、ポリウレタン不織布などが挙げられるが、不織布層はポリエステル樹脂を含むことが好ましく、不織布層を構成する不織布はポリエステル不織布であることがより好ましい。

不織布層を構成する不織布は、乾式法、湿式法、スパンボンド法、メルトブロー法、フラッシュ紡糸法、サーマルボンド法、ケミカルボンド法、ニードルパンチ法、スパンレース法、スチームジェット法等の公知の方法により得られたものを用いることができる。また、不織布層を構成する不織布は、市販品を用いてもよい。

不織布層の厚さは、７００μｍ以下であることが好ましく、６００μｍ以下であることがより好ましく、５００μｍ以下であることがさらに好ましい。厚さの下限は特に限定されないが、例えば１００μｍ以上であり、２００μｍ以上であることが好ましい。なお、電磁波シールドシートに複数の不織布層が設けられている場合、上述の不織布層の厚さは電磁波シールドシートに設けられている全ての不織布層の厚さの合計を指す。

不織布層の目付は、２０～３００ｇ／ｍ^２であることが好ましく、４０～２００ｇ／ｍ^２であることがより好ましく、６０～１５０ｇ／ｍ^２であることがさらに好ましい。なお、電磁波シールドシートに複数の不織布層が設けられている場合、上述の不織布層の目付は電磁波シールドシートに設けられている全ての不織布層の目付の合計を指す。

＜バインダー層＞
導電層と磁性体層との積層、導電層と不織布層との積層、磁性体層と不織布層との積層においては、必要に応じて、バインダー層を介して積層してもよい。

バインダー層は樹脂組成物から形成される。バインダー層を構成する樹脂は、熱可塑性樹脂が好ましく、具体的には、ポリエステル系樹脂、ポリエステルウレタン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、フェノキシ系樹脂、オレフィン系樹脂、及びアクリル系樹脂よりなる群から選択される少なくとも１種が好ましく、ポリエステル系樹脂がより好ましい。

バインダー層形成用樹脂組成物は樹脂の他に架橋剤を含んでもよい。バインダー層は、熱可塑性樹脂を架橋した架橋熱可塑性樹脂を含んでもよく、ポリエステル系樹脂を架橋した架橋ポリエステル系樹脂を含むことが好ましい。架橋剤としては、特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、イソシアネート系架橋剤、メラミン系架橋剤、エポキシ系架橋剤などが挙げられ、イソシアネート系架橋剤であることが好ましい。また、架橋剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、イソシアネート系架橋剤として、ミリオネート（登録商標）Ｎ、コロネート（登録商標）Ｔ、コロネート（登録商標）ＨＬ、コロネート（登録商標）２０３０、スプラセック（登録商標）３３４０、ダルトセック１３５０、ダルトセック２１７０、ダルトセック２２８０（以上、日本ポリウレタン工業株式会社製）等が挙げられ、メラミン系架橋剤として、ニカラック（登録商標）ＭＳ－１１、ニカラック（登録商標）ＭＳ２１（以上、株式会社三和ケミカル製）、スーパーベッカミン（登録商標）Ｌ－１０５－６０、スーパーベッカミン（登録商標）Ｊ－８２０－６０（以上、ＤＩＣ株式会社製）等が挙げられ、エポキシ系架橋剤として、ハードナーＨＹ９５１、ハードナーＨＹ９５７（以上、ＢＡＳＦ製）、スミキュアーＤＴＡ、スミキュアーＴＴＡ（以上、住友化学株式会社製）等が挙げられる。中でも、多官能性イソシアネート化合物であることがより好ましく、市販品として、トリメチロールプロパンとヘキサメチレンジイソシアネートの三量体付加物である東ソー社製コロネートＨＬが挙げられる。

＜電磁波シールドシートの物性及び層構成＞
本発明の電磁波シールドシートは、厚さが９００μｍ以下であることが好ましく、８００μｍ以下であることがより好ましく、７００μｍ以下であることがさらに好ましく、６００μｍ以下であることが特に好ましく、５００μｍ以下であることが最も好ましい。本発明では電磁波シールドシートを所定の層構成とすることにより、厚さが９００μｍ以下という非常に薄い電磁波シールドシートであっても優れた電磁波シールド性を有する。厚さの下限は特に限定されないが、例えば５０μｍ以上であり、１００μｍ以上であることが好ましい。

本発明の電磁波シールドシートは、目付が２０００ｇ／ｍ^２以下であることが好ましく、１５００ｇ／ｍ^２以下であることがより好ましく、１０００ｇ／ｍ^２以下であることがさらに好ましく、７００ｇ／ｍ^２以下であることが特に好ましく、５００ｇ／ｍ^２以下であることが最も好ましい。目付が２０００ｇ／ｍ^２以下という低い目付であっても優れた電磁波シールド性を有する。目付の下限は特に限定されないが、例えば１００ｇ／ｍ^２以上であり、２００ｇ／ｍ^２以上であることが好ましい。

本発明の電磁波シールドシートは、ＫＥＣ法で測定される１００ＭＨｚでの磁界シールド性は２５ｄＢ以上であることが好ましく、４０ｄＢ以上であることがより好ましく、６０ｄＢ以上であることがさらに好ましく、８０ｄＢ以上であることが特に好ましく、９０ｄＢ以上であることが最も好ましい。上記磁界シールド性の上限は特に限定されないが、例えば９９ｄＢ以下である。

本発明の電磁波シールドシートは、ＫＥＣ法で測定される１０ＭＨｚでの電界シールド性は６０ｄＢ以上であることが好ましく、７０ｄＢ以上であることがより好ましく、７５ｄＢ以上であることがさらに好ましい。上記電界シールド性の上限は特に限定されないが、例えば９９ｄＢ以下である。

ＫＥＣ法で測定される１００ＭＨｚでの磁界シールド性及びＫＥＣ法で１０ＭＨｚでの電界シールド性の詳細な測定方法は後述する。本発明では、厚さが９００μｍ以下という非常に薄い電磁波シールドシートにおいて、ＫＥＣ法で測定される１００ＭＨｚでの磁界シールド性が８０ｄＢ以上であり、１０ＭＨｚでの電界シールド性が６０ｄＢ以上であることが好ましい。本発明では電磁波シールドシートを所定の層構成とすることにより、厚さが９００μｍ以下と非常に薄くても優れた電磁波シールド性を有する。

本発明の電磁波シールドシートは、一方の主面が第１導電層であり、他方の主面が第２導電層であり、前記第１導電層と前記第２導電層との間に磁性体層を有する層構成であれば、特に限定されない。例えば、導電層／磁性体層／導電層、導電層／磁性体層／導電層／磁性体層／導電層、導電層／磁性体層／導電層／磁性体層／導電層／磁性体層／導電層、導電層／磁性体層／導電層／磁性体層／不織布層／導電層、導電層／磁性体層／不織布層／導電層／磁性体層／導電層、導電層／磁性体層／不織布層／導電層／磁性体層／不織布層／導電層、導電層／磁性体層／バインダー層／導電層、導電層／磁性体層／バインダー層／導電層／磁性体層／バインダー層／導電層、導電層／磁性体層／バインダー層／導電層／磁性体層／バインダー層／導電層／磁性体層／バインダー層／導電層、導電層／磁性体層／バインダー層／導電層／磁性体層／バインダー層／不織布層／バインダー層／導電層、導電層／磁性体層／バインダー層／不織布層／バインダー層／導電層／磁性体層／導電層、導電層／磁性体層／バインダー層／不織布層／バインダー層／導電層／磁性体層／バインダー層／不織布層／バインダー層／導電層などの層構成が挙げられる。

＜電磁波シールドシートの製造方法＞
電磁波シールドシートの製造方法は特に限定されず、公知の方法で製造することができるが、以下では、導電層及び不織布層は市販品（完成品）を用いる一方で磁性体層は市販品を用いず磁性体層用樹脂組成物を用いて形成する場合の製造方法を説明する。

導電層の表面に磁性体層を形成する場合、導電層の表面に磁性体層用樹脂組成物をコーティング、蒸着、スパッタリング等の方法で塗布し、その後、乾燥を行うことにより、導電層／磁性体層の順に積層された積層体が得られる。なお、本明細書では「表面」は電磁波シールドシートの積層方向（厚さ方向）に垂直な面を指す。

導電層の表面に不織布層を形成する場合、若しくは、磁性体層又は不織布層の表面に他の層を形成する場合にはバインダー層を介して積層することができる。例えば、導電層の表面に不織布層を形成する場合、導電層の表面にコーティング等の方法でバインダー層用樹脂組成物を塗布した後にバインダー層用樹脂組成物の表面に不織布を貼り合わせ、その後、乾燥、熱圧着を行うことにより、導電層／バインダー層／不織布層の順に積層された積層体が得られる。乾燥及び熱圧着は、公知の方法でよく、例えば、１００～１５０℃の温度で１～２０Ｎ／ｃｍ^２の圧力で熱プレスすることにより行うことができる。

以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はもとよりこれらの実施例に限定されるものではない。なお、各実施例および比較例において用いた評価方法は以下の通りである。

（目付の測定）
ＪＩＳ Ｌ １９１３（２０１０）の６．２の「単位面積当たりの質量」に基づき、目付を測定した。

（厚さの測定）
ＪＩＳ Ｌ １９１３（２０１０）の６．１に基づき、サンプル（積層シート）の厚さを測定した。また、アルミ箔の厚さはＪＩＳ Ｈ ４１６０に基づいて測定し、磁性体層とバインダー層の厚さは、積層シートを垂直方向に切断し、切断面を電子顕微鏡にて拡大写真を撮って測定した。

（周波数１００ＭＨｚでの磁界シールド性の測定）
縦１５０ｍｍ、横１５０ｍｍのサンプル（積層シート）を用意し、関西電子工業振興センター（ＫＥＣ）で開発された電磁波シールド効果測定装置を用いて周波数１００ＭＨｚでのサンプルがない空間の磁界強度Ｍ（Ａ／ｍ）及びサンプルを配置したときの磁界強度Ｍ’（Ａ／ｍ）を測定し、下記の式に基づき周波数１００ＭＨｚでの磁界シールド性能を算出した。
磁界シールド性能（ｄＢ）＝２０・ｌｏｇ₁₀（Ｍ／Ｍ’）

（周波数１０ＭＨｚでの電界シールド性の測定）
縦１５０ｍｍ、横１５０ｍｍのサンプル（積層シート）を用意し、関西電子工業振興センター（ＫＥＣ）で開発された電磁波シールド効果測定装置を用いて周波数１０ＭＨｚでのサンプルがない空間の電界強度Ｅ（Ｖ／ｍ）及びサンプルを配置したときの電界強度Ｅ’（Ｖ／ｍ）を測定し、下記の式に基づき周波数１０ＭＨｚでの電界シールド性能を算出した。
電界シールド性能（ｄＢ）＝２０・ｌｏｇ₁₀（Ｅ／Ｅ’）

＜磁性体層用樹脂組成物の製造方法＞
樹脂（東洋紡社製バイロンＢＸ－１００１）１００部、磁性材料（キンセイマティック社製のセンダスト）、及び溶媒２５０部（メチルエチルケトン１５０部、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド１００部）を混合してから３０℃まで加熱した。なお、磁性材料の配合量は磁性体層中の樹脂に対する磁性材料の割合に応じており、例えば、磁性体層の目付を１５０ｇ／ｍ^２、磁性体層における樹脂の目付を５０ｇ／ｍ^２、磁性材料の目付を１００ｇ／ｍ^２としたい場合、磁性材料を樹脂と後述の架橋剤との合計の２倍となる２２８部添加した。次に、攪拌機で樹脂を溶解し、その後、溶解液に架橋剤（東ソー社製コロネートＨＬ）を１４部添加し、磁性体層用樹脂組成物を得た。なお、実施例１－３、１－４、２－３、及び２－４では磁性材料としてセンダストに代えてフェライトを用いており、上記フェライトには、マグネタイトが１３質量％、マンガンフェライトが５８質量％、亜鉛フェライトが２９質量％含まれている。

＜バインダー層用樹脂組成物の製造方法＞
樹脂（東洋紡社製バイロンＢＸ－１００１）１００部と溶剤（メチルエチルケトン）２００部とを混合してから３０℃まで加熱した。次に、攪拌機で樹脂を溶解し、その後、溶解液に架橋剤（東ソー社製コロネートＨＬ）を１４部添加し、バインダー層用樹脂組成物を得た。なお、以下の実施例及び比較例で形成されるバインダー層はいずれも厚さ１０μｍ、目付３０ｇ／ｍ^２である。

＜アルミ箔及びポリエステル不織布＞
以下の実施例及び比較例で用いるアルミ箔として、特段の記載がない限り、厚さ２０μｍ、目付２８ｇ／ｍ^２の東洋アルミ社製アルミ箔を準備した。また、以下の実施例及び比較例で用いるポリエステル不織布として、厚さ２１５μｍ、目付は４２ｇ／ｍ^２の東洋紡社製ポリエステルスパンボンド不織布（型番：６４０１Ｎ）を準備した。ただし、比較例２－６では、ポリエステル不織布として、厚さ３８５μｍ、目付は６０ｇ／ｍ^２の東洋紡社製ポリエステル不織布（型番：６５５１Ｎ）を用いた。

［実施例１－１］
アルミ箔（導電層）Ａ１、磁性体層Ｃ１、バインダー層Ｂ１、アルミ箔（導電層）Ａ２、磁性体層Ｃ２、バインダー層Ｂ２、アルミ箔（導電層）Ａ３の順に積層された積層シートの製造方法を以下に説明する。
アルミ箔Ａ２に上記磁性体層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり１５０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、その後、乾燥機を用いて１５０℃で３分間乾燥させ、アルミ箔Ａ２と磁性体層Ｃ２を備えた積層体Ｌ１を得た。次に、アルミ箔Ａ３の一方の面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、塗布されたバインダー層用樹脂組成物の表面に積層体Ｌ１の磁性体層Ｃ２側の面を貼り合わせ、その後、１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置して、アルミ箔Ａ２、磁性体層Ｃ２、バインダー層Ｂ２、アルミ箔Ａ３の順に積層された積層体Ｌ２を得た。
続いて、アルミ箔Ａ１に上記磁性体層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり１５０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、その後、乾燥機を用いて１５０℃で３分間乾燥させ、アルミ箔Ａ１の表面に磁性体層Ｃ１を形成した。次に、磁性体層Ｃ１の表面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、塗布されたバインダー層用樹脂組成物の表面に積層体Ｌ２のアルミ箔Ａ２側の面を貼り合わせ、その後、１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置して、積層シートを得た。なお、磁性体層Ｃ１の目付は１５０ｇ／ｍ^２、磁性体層Ｃ１における磁性材料であるセンダストの目付は１００ｇ／ｍ^２であり、磁性体層Ｃ２も同様であった。

［実施例１－２～１－４］
磁性体層用樹脂組成物の組成、塗布量を変更し、磁性体層Ｃ１及びＣ２の磁性材料、厚さ、目付を表１に記載の内容に変更した以外は、実施例１－１と同様にアルミ箔Ａ１、磁性体層Ｃ１、バインダー層Ｂ１、アルミ箔Ａ２、磁性体層Ｃ２、バインダー層Ｂ２、アルミ箔Ａ３の順に積層された積層シートを作製した。

［実施例１－５］
アルミ箔Ａ１に上記磁性体層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり２５０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、その後、乾燥機を用いて１５０℃で３分間乾燥させ、アルミ箔Ａ１の表面に磁性体層Ｃ１を形成した。次に、磁性体層Ｃ１の表面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、塗布されたバインダー層用樹脂組成物の表面にアルミ箔Ａ２を貼り合わせ、その後、１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置して、アルミ箔Ａ１、磁性体層Ｃ１、バインダー層Ｂ１、アルミ箔Ａ２の順に積層された積層シートを得た。

［比較例１－１］
バインダー層Ｂ２及びアルミ箔Ａ３を設けない以外は実施例１－１と同様に積層シートを作製した。

［比較例１－２］
磁性体層Ｃ１及びＣ２の厚さを１８５μｍに変更した以外は比較例１－１と同様に積層シートを作製した。

［比較例１－３］
比較例１－１の積層シートのアルミ箔Ａ１側の面に上記磁性体層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり１５０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、その後、乾燥機を用いて１５０℃で３分間乾燥させ、アルミ箔Ａ１側の表面に磁性体層Ｃ０を形成した積層シートを得た。

［比較例１－４～１－６］
アルミ箔Ａ１に上記磁性体層用樹脂組成物をコンマコーターにて塗布し、その後、乾燥機を用いて１５０℃で３分間乾燥させ、アルミ箔Ａ１の表面に磁性体層Ｃ１を形成し、積層シートを得た。なお、磁性体層用樹脂組成物の組成、塗布量は、磁性体層Ｃ１の厚さ、目付を表１に記載の内容となるように調整した。また、比較例１－５ではアルミ箔Ａ１に代えて、厚さ２０μｍ、目付２８ｇ／ｍ^２の東洋アルミ社製アルミ箔を２枚重ねた厚さ４０μｍ、目付５８ｇ／ｍ^２のアルミ箔を用いた。また、比較例１－６ではアルミ箔Ａ１に代えて、厚さ１２μｍ、目付２０ｇ／ｍ^２の東洋紡社製ポリエステルフィルムを用いた。

［比較例１－７］
アルミ箔Ａ１の表面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、塗布されたバインダー層用樹脂組成物の表面にアルミ箔Ａ２を貼り合わせ、その後、１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置した。次に、アルミ箔Ａ２の表面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、塗布されたバインダー層用樹脂組成物の表面にアルミ箔Ａ３を貼り合わせ、その後、１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置して、アルミ箔Ａ１、バインダー層Ｂ１、アルミ箔Ａ２、バインダー層Ｂ２、アルミ箔Ａ３の順に積層された積層シートを得た。

表１に実施例及び比較例における積層シートの層構成及び各層の物性、並びに積層シートのシールド性を記載した。なお、磁性体層の目付の欄において、括弧書きの数値は樹脂を含まない磁性材料のみの目付である。

［実施例２－１］
アルミ箔（導電層）Ａ１、磁性体層Ｃ１、バインダー層Ｂ１、不織布層Ｎ１、バインダー層Ｂ２、アルミ箔（導電層）Ａ２、磁性体層Ｃ２、バインダー層Ｂ３、不織布層Ｎ２、バインダー層Ｂ４、アルミ箔（導電層）Ａ３の順に積層された積層シートの製造方法を以下に説明する。
アルミ箔Ａ３の表面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、バインダー層用樹脂組成物の上にポリエステル不織布を貼り合わせ、その後、１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置して、不織布層Ｎ２、バインダー層Ｂ４、アルミ箔Ａ３の順に積層された積層体Ｌ１を得た。
アルミ箔Ａ２の表面に上記磁性体層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり１５０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、その後、乾燥機を用いて１５０℃で３分間乾燥させ、アルミ箔Ａ２の表面に磁性体層Ｃ２を形成し、積層体Ｌ２を得た。なお、磁性体層Ｃ２の目付は１５０ｇ／ｍ^２、磁性材料であるセンダストの目付は１００ｇ／ｍ^２であった。
積層体Ｌ２の磁性体層Ｃ２側の表面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、塗布されたバインダー層用樹脂組成物の上に積層体Ｌ１の不織布層Ｎ２側の面を貼り合わせ、その後、１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置して、アルミ箔Ａ２、磁性体層Ｃ２、バインダー層Ｂ３、不織布層Ｎ２、バインダー層Ｂ４、アルミ箔Ａ３の順に積層された積層体Ｌ３を得た。
アルミ箔Ａ１の表面に上記磁性体層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり１５０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、その後、乾燥機を用いて１５０℃で３分間乾燥させ、アルミ箔Ａ１の表面に磁性体層Ｃ１を形成した。次に、磁性体層Ｃ１の表面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、塗布されたバインダー層用樹脂組成物の表面にポリエステル不織布を貼り合わせ、その後、１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置して、アルミ箔Ａ１、磁性体層Ｃ１、バインダー層Ｂ１、不織布層Ｎ１の順に積層された積層体Ｌ４を得た。なお、磁性体層Ｃ１の目付は１５０ｇ／ｍ^２、磁性材料であるセンダストの目付は１００ｇ／ｍ^２であった。
積層体Ｌ３のアルミ箔Ａ２側の表面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布した後に、積層体Ｌ４の不織布層Ｎ１側の面を積層体Ｌ３に塗布されたバインダー層用樹脂組成物の上に積層した。最後に１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置して、積層シートを得た。

［実施例２－２～２－４、比較例２－３］
磁性体層Ｃ１及びＣ２の磁性材料、厚さ、目付を表２に記載の内容に変更した以外は、実施例２－１と同様にアルミ箔Ａ１、磁性体層Ｃ１、バインダー層Ｂ１、不織布層Ｎ１、バインダー層Ｂ２、アルミ箔Ａ２、磁性体層Ｃ２、バインダー層Ｂ３、不織布層Ｎ２、バインダー層Ｂ４、磁性体層Ｃ３の順に積層された積層シートを作製した。

［比較例２－１］
アルミ箔Ａ１の一方の表面に上記磁性体層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり１５０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、その後、乾燥機を用いて１５０℃で３分間乾燥させ、アルミ箔Ａ１の表面に磁性体層Ｃ０を形成した。次に、アルミ箔Ａ１の他方の表面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、塗布されたバインダー層用樹脂組成物の表面にポリエステル不織布を貼り合わせ、その後、１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置して、磁性体層Ｃ０、アルミ箔Ａ１、バインダー層Ｂ１、不織布層Ｎ１の順に積層された積層体Ｌ１を得た。また、積層体Ｌ１と同様の製造方法で磁性体層Ｃ２、アルミ箔Ａ３、バインダー層Ｂ５、不織布層Ｎ３の順に積層された積層体Ｌ２を得た。積層体Ｌ１の不織布層Ｎ１側の表面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、塗布されたバインダー層用樹脂組成物の表面に積層体Ｌ２の磁性体層Ｃ２側の面を貼り合わせ、その後、１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置して、磁性体層Ｃ０、アルミ箔Ａ１、バインダー層Ｂ１、不織布層Ｎ１、バインダー層Ｂ２、磁性体層Ｃ２、アルミ箔Ａ３、バインダー層Ｂ５、不織布層Ｎ３の順に積層された積層体Ｌ３を得た。最後に積層体Ｌ３の不織布層Ｎ３側の表面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、塗布されたバインダー層用樹脂組成物の表面にアルミ箔Ａ４を貼り合わせ、その後、１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置して、磁性体層Ｃ０、アルミ箔Ａ１、バインダー層Ｂ１、不織布層Ｎ１、バインダー層Ｂ２、磁性体層Ｃ２、アルミ箔Ａ３、バインダー層Ｂ５、不織布層Ｎ３、バインダー層Ｂ６、アルミ箔Ａ４の順に積層された積層シートを得た。磁性体層Ｃ０及びアルミ箔Ａ４（表２中の（＊）を記した層）の厚さ、目付は、それぞれ磁性体層Ｃ１、アルミ箔Ａ１と同じであった。

［比較例２－２］
比較例２－１と同様に積層体Ｌ３を作製した。積層体Ｌ３の不織布層Ｎ３側の表面に上記磁性体層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり１５０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、その後、乾燥機を用いて１５０℃で３分間乾燥させ、磁性体層Ｃ０、アルミ箔Ａ１、バインダー層Ｂ１、不織布層Ｎ１、バインダー層Ｂ２、磁性体層Ｃ２、アルミ箔Ａ３、バインダー層Ｂ５、不織布層Ｎ３、磁性体層Ｃ３の順に積層された積層シートを得た。なお、磁性体層Ｃ０及びＣ３（表２中の（＊）を記した層）の厚さ、目付は磁性体層Ｃ１と同じであった。

［比較例２－４］
積層体Ｌ１を作製しないこと、積層体Ｌ３に代えて、積層体Ｌ２の磁性体層Ｃ２側の表面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、塗布されたバインダー層用樹脂組成物の上にポリエステル不織布を貼り合わせ、その後、１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置して、アルミ箔Ａ２、磁性体層Ｃ２、バインダー層Ｂ３、不織布層Ｎ２の順に積層された積層体Ｌ３’を作製して用いたこと以外は実施例２－１と同様に積層体を作製し、アルミ箔Ａ１、磁性体層Ｃ１、バインダー層Ｂ１、不織布層Ｎ１、バインダー層Ｂ２、アルミ箔Ａ２、磁性体層Ｃ２、バインダー層Ｂ３、不織布層Ｎ２の順に積層された積層シートを得た。

［比較例２－５］
実施例２－１と同様に積層体Ｌ４を作製し、積層体Ｌ４の不織布層Ｎ１側の表面に上記磁性体層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり１６０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、その後、乾燥機を用いて１５０℃で３分間乾燥させ、不織布層Ｎ１の表面に磁性体層Ｃ２を形成して、アルミ箔Ａ１、磁性体層Ｃ１、バインダー層Ｂ１、不織布層Ｎ１、磁性体層Ｃ２の順に積層された積層シートを得た。

［比較例２－６］
アルミ箔Ａ１の一方の表面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、塗布されたバインダー層用樹脂組成物の表面にポリエステル不織布を貼り合わせ、その後、１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置して、アルミ箔Ａ１、バインダー層Ｂ１、不織布層Ｎ１の順に積層された積層体を得た。その後、上記積層体のアルミ箔Ａ１とは反対側に位置する面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、塗布されたバインダー層用樹脂組成物の表面にポリエステル不織布又はアルミ箔を貼り合わせ、１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置することを繰り返すことにより、アルミ箔Ａ１、バインダー層Ｂ１、不織布層Ｎ１、バインダー層Ｂ２、アルミ箔Ａ２、バインダー層Ｂ３、不織布層Ｎ２、バインダー層Ｂ４、アルミ箔Ａ３の順に積層された積層体を得た。

［比較例２－７］
ポリエステル不織布の表面に上記磁性体層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり１８０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、その後、乾燥機を用いて１５０℃で３分間乾燥させ、磁性体層Ｃ１と不織布層Ｎ１との積層体Ｌ１を得た。次に、上記ポリエステル不織布とは別のポリエステル不織布の表面に上記磁性体層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり１８０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、その後、乾燥機を用いて１５０℃で３分間乾燥させ、磁性体層Ｃ２と不織布層Ｎ２との積層体Ｌ２を得た。最後に、積層体Ｌ１の不織布層Ｎ１側の表面に上記バインダー層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり３０ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、塗布されたバインダー層用樹脂組成物の表面に積層体Ｌ２の磁性体層Ｃ２側の面を貼り合わせ、その後、１２０℃の乾燥機で１分間乾燥した後、６０℃、１０Ｎ／ｃｍ^２の圧力条件で熱圧着し、常温にて４８時間放置して、磁性体層Ｃ１、不織布層Ｎ１、バインダー層Ｂ２、磁性体層Ｃ２、不織布層Ｎ２の順に積層された積層シートを得た。

［比較例２－８］
実施例２－１と同様に積層体Ｌ１を作製し、積層体Ｌ１の不織布層Ｎ２側の表面に上記磁性体層用樹脂組成物をコンマコーターにて１平方メートルあたり５９５ｇ（乾燥重量）となるように塗布し、その後、乾燥機を用いて１５０℃で３分間乾燥させ、アルミ箔Ａ２の表面に磁性体層Ｃ２を形成して積層シートを得た。

［比較例２－９］
磁性体層Ｃ１及びＣ２の磁性材料、厚さ、目付を表２に記載の内容に変更し、上記ポリエステル不織布を２枚重ねて不織布層Ｎ１とした以外は、実施例２－１と同様に積層体Ｌ４を作製して積層シートとした。

表２に実施例及び比較例における積層シートの層構成及び各層の物性、並びに積層シートのシールド性を記載した。なお、磁性体層の目付の欄において、括弧書きの数値は樹脂を含まない磁性材料のみの目付である。

実施例１－１～１－５及び実施例２－１～２－４では積層シートが所定の層構成であるため、電磁波シールド性に優れている。

Claims (6)

1. 第１導電層と第２導電層と磁性体層とを備えた電磁波シールドシートであって、
   前記電磁波シールドシートの一方の主面が前記第１導電層であり、他方の主面が前記第２導電層であり、前記第１導電層と前記第２導電層との間に前記磁性体層を有し、
   前記第１導電層及び前記第２導電層はいずれも導電性材料を含み、前記磁性体層は磁性材料を含むことを特徴とする電磁波シールドシート。
2. 前記導電性材料は導電性高分子、金属、金属酸化物、及び炭素系材料からなる群より選択される少なくとも１種を含む請求項１に記載の電磁波シールドシート。
3. 前記磁性材料は軟磁性材料である請求項１に記載の電磁波シールドシート。
4. 中間層としてさらに不織布層を含む請求項１に記載の電磁波シールドシート。
5. 前記不織布層はポリエステル樹脂を含む請求項４に記載の電磁波シールドシート。
6. 厚さが９００μｍ以下であり、ＫＥＣ法で測定される１００ＭＨｚでの磁界シールド性が８０ｄＢ以上であり、１０ＭＨｚでの電界シールド性が６０ｄＢ以上である請求項１～５のいずれか１項に記載の電磁波シールドシート。