JP2024503763A - 窒化物系双方向スイッチング装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図2は本発明の幾つかの実施例に係る窒化物系双方向スイッチング装置を示す等価回路図である。
図3Aは本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す配置図である。
図3Bと図3Cは図3A中の双方向スイッチング装置の線I-I'及び線II-II'に沿う横断面図である。
図4Aは図3Cに示す区域を示す拡大図である。
図4Bは図3Cに示す区域を示す拡大図である。
図5は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図6は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図7は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図8は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図9は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図10は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図11は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図12は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図13は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図14は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図15A乃至図15Lは本発明の幾つかの実施例に係る半導体装置の製造方法を示す異なる工程図である。
図2は本発明の幾つかの実施例に係る窒化物系双方向スイッチング装置を示す等価回路図である。
図3Aは本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す配置図である。
図3Bと図3Cは図3A中の双方向スイッチング装置の線I-I'及び線II-II'に沿う横断面図である。
図4Aは図3Cに示す区域を示す拡大図である。
図4Bは図3Cに示す区域を示す拡大図である。
図5は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図6は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図7は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図8は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図9は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図10は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図11は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図12は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図13は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図14は本発明の幾つかの実施例に係る双方向スイッチング装置を示す横断面図である。
図15A乃至図15Lは本発明の幾つかの実施例に係る半導体装置の製造方法を示す異なる工程図である。
Claims (25)
- バッテリー保護制御器と共に稼働し、前記バッテリー保護制御器は、電源入力端子と、過電流放電保護(discharge over-current protection、 DO)端子と、過電流充電保護(charge over-current protection、 CO)端子と、電圧監視端子(voltage monitoring、 VM)と、接地端子と、を有している窒化物系双方向スイッチング装置であって、
基板上に設置されている窒化物系活性層と、
前記窒化物系活性層上に設置され、且つ前記窒化物系活性層のバンドギャップより大きいバンドギャップを有している窒化物系バリア層と、
前記窒化物系バリア層の上に設置され、且つ少なくとも第一スペーサー層及び第二スペーサー層を含み、前記第一スペーサー層及び前記第二スペーサー層は前記第一スペーサー層の上に位置している複数のスペーサー層と、
デュアルゲートトランジスタと、を備え
前記デュアルゲートトランジスタは、
前記複数のスペーサー層上に設置されている第一及び第二ソース電極であって、前記第一ソース電極は前記バッテリー保護制御器の接地端子に電気的に接続されるように配置され、且つ前記第二ソース電極は電圧監視抵抗器を介して前記制御器の前記VM端子に接続されるように配置されている第一及び第二ソース電極と、
前記窒化物系バリア層上に設置されていると共に前記第一及び前記第二ソース電極の間に横方向に位置している第一及び第二ゲート構造であって、前記第一ゲート構造は第一ゲート電極及び第二ゲート電極を含み、前記第一ゲート電極は前記バッテリー保護制御器の前記DO端子に電気的に接続されるように配置され、前記第二ゲート電極は前記バッテリー保護制御器の前記CO端子に電気的に接続されるように配置されている第一及び第二ゲート構造と、を含むことを特徴とする窒化物系双方向スイッチング装置。 - 前記第一スペーサー層上に設置され、前記第一ゲート構造と分離していると共に前記第一ゲート構造の少なくとも一部分及び領域を横方向に跨ぎ、前記第一ゲート構造に直接隣接していると共に前記第一ゲート構造及び前記第二ゲート構造の間に位置している第一下部フィールドプレートと、
前記第一スペーサー層上に設置され、前記第二ゲート構造と分離していると共に前記第二ゲート構造の少なくとも一部分及び領域を横方向に跨ぎ、前記領域は前記第二ゲート構造に直接隣接していると共に前記第一ゲート構造及び前記第二ゲート構造の間に位置し、前記第一及び前記第二下部フィールドプレートは相互に横方向に間隔を空けている第二下部フィールドプレートと、を更に備えむことを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。 - 前記第二スペーサー層上に設置され、前記第一下部フィールドプレートと分離していると共に前記第一下部フィールドプレートの少なくとも一部分及び領域を横方向に跨ぎ、前記領域は前記第一下部フィールドプレートに直接隣接していると共に前記第一及び第二下部フィールドプレートの間に位置している第一上部フィールドプレートと、
前記第二スペーサー層上に設置され、前記第二下部フィールドプレートと分離していると共に前記第二下部フィールドプレートの少なくとも一部分及び領域を横方向に跨ぎ、前記領域は前記第二下部フィールドプレートに直接隣接していると共に前記第一及び第二下部フィールドプレートの間に位置している第二上部フィールドプレートであって、前記第一及び第二上部フィールドプレートは相互に横方向に間隔を空けている第二上部フィールドプレートと、を更に備えていることを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。 - 前記第一下部フィールドプレートの側壁の輪郭は前記第一上部フィールドプレートの側壁の輪郭とは異なり、前記第二下部フィールドプレートの側壁の輪郭は前記第二上部フィールドプレートの側壁の輪郭とは異なることを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
- 前記第一及び第二下部フィールドプレートの側壁は前記第一スペーサー層から上向きに延伸されていると共に前記第二スペーサー層を受け止めるように内向きに凹設されていることを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
- 前記第一及び第二上部フィールドプレートは傾斜する側壁を有していることを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
- 前記第一及び第二下部フィールドプレートの厚さ及び前記第一及び第二上部フィールドプレートの厚さは略同じであることを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
- 前記第一及び第二下部フィールドプレートの側壁は第一表面粗度を有し、前記第一及び第二上部フィールドプレートの側壁の第二表面粗度は前記第一表面粗度より大きいことを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
- 前記第一下部フィールドプレート及び前記第一ゲート構造が横方向に重複している距離は前記第一ゲート構造の全長に等しく、前記第二下部フィールドプレート及び前記第二ゲート構造が横方向に重複している距離は前記第二ゲート構造の全長に等しいことを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
- 前記第一上部フィールドプレート及び前記第一下部フィールドプレートが横方向に重複している距離は前記第一下部フィールドプレートの全長に等しく、前記第二上部フィールドプレート及び前記第二下部フィールドプレートが横方向に重複している距離は前記第二下部フィールドプレートの全長に等しいことを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
- 前記第一上部フィールドプレート及び前記第一下部フィールドプレートが横方向に重複している距離は前記第一下部フィールドプレートの全長より短く、前記第二上部フィールドプレート及び前記第二下部フィールドプレートが横方向に重複している距離は前記第二下部フィールドプレートの全長より短いことを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
- 前記第一上部フィールドプレート及び前記第一ゲート構造は横方向に重複する、前記距離が前記第一ゲート構造の全長に等しく、前記第二上部フィールドプレート及び前記第二ゲート構造が横方向に重複している距離は前記第二ゲート構造の全長に等しいことを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
- 前記第一上部フィールドプレート及び前記第一ゲート構造が横方向に重複している距離は前記第一ゲート構造の全長より短く、前記第二上部フィールドプレート及び第二ゲート構造が横方向に重複している距離は前記第二ゲート構造の全長より短いことを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
- 前記第一下部フィールドプレート及び前記第一ゲート構造が横方向に重複している距離は前記第一ゲート構造の全長より短く、前記第二下部フィールドプレート及び前記第二ゲート構造が横方向に重複している距離は前記第二ゲート構造の全長より短いことを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
- 前記第一上部フィールドプレート及び前記第一ゲート構造が横方向に重複している距離は前記第一ゲート構造の全長より短く、前記第二上部フィールドプレート及び前記第二ゲート構造が横方向に重複している距離は前記第二ゲート構造の全長より短いことを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
- 基板上に窒化物系活性層を形成することと、
前記窒化物系活性層上に窒化物系バリア層を形成し、前記窒化物系バリア層が有しているバンドギャップは前記窒化物系活性層のバンドギャップより大きいことと、
前記窒化物系バリア層上方に第一及び第二ゲート電極を形成することと、
第二窒化物系半導体層上に第一不動態層を形成して前記第一及び第二ゲート電極を被覆することと、
前記第一不動態層上に下部ブランケットフィールドプレートを形成することと、
ウェットエッチングプロセスにより前記下部ブランケットフィールドプレートをパターン化し、前記第一ゲート電極及び前記第二ゲート電極上方に第一及び第二下部フィールドプレートをそれぞれ形成することと、
前記第一不動態層上に第二不動態層を形成して前記第一及び第二下部フィールドプレートを被覆することと、
前記第二不動態層上に上部ブランケットフィールドプレートを形成することと、
ドライエッチングプロセスを使用して前記上部ブランケットフィールドプレートをパターン化し、前記第一及び第二下部フィールドプレート上方に第一及び第二上部フィールドプレートをそれぞれ形成することと、を含むことを特徴とする窒化物系双方向スイッチング装置の製造方法。 - 第三不動態層を形成して前記第一及び第二上部フィールドプレートを被覆することと、を更に含むことを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置の製造方法。
- 前記窒化物系バリア層上方に1対の第一及び第二ソース電極を形成し、前記第一及び第二ゲート電極、前記第一及び第二下部フィールドプレート、並びに前記第一及び第二上部フィールドプレートを前記第一及び第二ソース電極の間に位置させることを更に含むことを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置の製造方法。
- 前記下部ブランケットフィールドプレートに対しパターン化を行うことにより、
前記第一下部フィールドプレートが前記第一ゲート構造の少なくとも一部分及び領域を横方向に跨ぎ、前記領域及び前記第一ゲート構造が直接隣接すると共に前記第一ゲート構造及び前記第二ゲート構造の間に位置し、
前記第二下部フィールドプレートが前記第二ゲート構造の少なくとも一部分及び領域を跨ぎ、前記領域及び前記第二ゲート構造が直接隣接すると共に前記第一ゲート構造及び前記第二ゲート構造の間に位置し
前記第一及び第二下部フィールドプレートが相互に横方向に間隔を空けていることを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置の製造方法。 - 前記上部ブランケットフィールドプレートに対しパターン化を行うことにより、
前記第一上部フィールドプレートが前記第一下部フィールドプレートの少なくとも一部分及び領域を跨ぎ、前記領域与前記第一下部フィールドプレートが直接隣接すると共に前記第一及び第二下部フィールドプレートの間に位置し、
前記第二上部フィールドプレートが前記第二下部フィールドプレートの少なくとも一部分及び領域を跨ぎ、前記領域及び前記第二下部フィールドプレートが直接隣接すると共に前記第一及び第二下部フィールドプレートとの間の領域に位置し、
前記第一及び第二上部フィールドプレートが相互に横方向に間隔を空けていることを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置の製造方法。 - バッテリー保護制御器と共に稼働し、前記バッテリー保護制御器は、電源入力端子と、過電流放電保護(discharge over-current protection、DO)端子と、過電流充電保護(charge over-current protection、CO)端子と、電圧監視端子(voltage monitoring、VM)と、接地端子と、を有している窒化物系双方向スイッチング装置であって、
窒化物系活性層と、
前記窒化物系活性層上に設置され、且つ前記窒化物系活性層のバンドギャップより大きいバンドギャップを有している窒化物系バリア層と、
デュアルゲートトランジスタと、を備え、
前記デュアルゲートトランジスタは、
前記バッテリー保護制御器の前記接地端子に電気的に接続されている第一ソース電極と、
電圧監視抵抗器を介して前記制御器の前記VM端子に接続されるように配置されている第二ソース電極と、
前記バッテリー保護制御器の前記DO端子に電気的に接続されるように配置されている第一ゲート電極と、
前記バッテリー保護制御器の前記CO端子に電気的に接続されるように配置されている第二ゲート電極と、
前記第一ゲート電極上方に設置されている第一下部フィールドプレートと、
前記第二ゲート電極上方に設置されている第二下部フィールドプレートと、
前記第一下部フィールドプレート上方に設置されている第一上部フィールドプレートと、
前記第二下部フィールドプレート上方に設置されている第二上部フィールドプレートであって、前記第一上部フィールドプレートから前記第二上部フィールドプレートまでの距離が前記第一下部フィールドプレートから前記第二下部フィールドプレートまでの距離より短い第二上部フィールドプレートと、を含むことを特徴とする窒化物系双方向スイッチング装置。 - 前記第一上部フィールドプレート及び前記第一下部フィールドプレートが横方向に重複している距離は前記第一下部フィールドプレートの全長に等しく、前記第二上部フィールドプレート及び前記第二下部フィールドプレートが横方向に重複している距離は前記第二下部フィールドプレートの全長に等しいことを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
- 前記第一上部フィールドプレート及び前記第一ゲート電極が横方向に重複している距離は前記第一ゲート電極の全長に等しく、前記第二上部フィールドプレート及び前記第二ゲートが横方向に重複している距離は前記第二ゲート電極の全長に等しいことを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
- 前記第一上部フィールドプレート及び前記第一下部フィールドプレートが横方向に重複している距離は前記第一下部フィールドプレートの全長より短く、前記第二上部フィールドプレート及び前記第二下部フィールドプレートが横方向に重複している距離は前記第二下部フィールドプレートの全長より短いことを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
- 前記第一上部フィールドプレート及び前記第一ゲート電極が横方向に重複している距離は前記第一ゲート電極の全長より短く、前記第二上部フィールドプレート及び前記第二ゲート電極が横方向に重複している距離は前記第二ゲート電極の全長より短いことを特徴とする前述の何れかの請求項に記載の窒化物系双方向スイッチング装置。
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