JP2024092647A5 - - Google Patents
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Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022208734A JP2024092647A (ja) | 2022-12-26 | 2022-12-26 | 研磨方法、研磨装置、およびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
| KR1020257022495A KR20250132481A (ko) | 2022-12-26 | 2023-11-14 | 연마 방법, 연마 장치 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 |
| EP23911415.0A EP4644043A1 (en) | 2022-12-26 | 2023-11-14 | Polishing method, polishing device, and computer-readable recording medium |
| PCT/JP2023/040890 WO2024142632A1 (ja) | 2022-12-26 | 2023-11-14 | 研磨方法、研磨装置、およびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
| CN202380088869.3A CN120500399A (zh) | 2022-12-26 | 2023-11-14 | 研磨方法、研磨装置及计算机可读取记录介质 |
| TW112149903A TW202440270A (zh) | 2022-12-26 | 2023-12-21 | 研磨方法、研磨裝置、及電腦可讀取記錄媒體 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022208734A JP2024092647A (ja) | 2022-12-26 | 2022-12-26 | 研磨方法、研磨装置、およびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2024092647A JP2024092647A (ja) | 2024-07-08 |
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Family
ID=91717295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022208734A Pending JP2024092647A (ja) | 2022-12-26 | 2022-12-26 | 研磨方法、研磨装置、およびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
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Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5340795B2 (ja) | 2009-04-27 | 2013-11-13 | 株式会社荏原製作所 | 研磨方法及び研磨装置 |
| JP2021028099A (ja) * | 2019-08-09 | 2021-02-25 | 株式会社荏原製作所 | 終点検知装置、終点検知方法 |
| JP2021194748A (ja) * | 2020-06-17 | 2021-12-27 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置及びプログラム |
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-
2022
- 2022-12-26 JP JP2022208734A patent/JP2024092647A/ja active Pending
-
2023
- 2023-11-14 WO PCT/JP2023/040890 patent/WO2024142632A1/ja not_active Ceased
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- 2023-11-14 KR KR1020257022495A patent/KR20250132481A/ko active Pending
- 2023-11-14 CN CN202380088869.3A patent/CN120500399A/zh active Pending
- 2023-12-21 TW TW112149903A patent/TW202440270A/zh unknown
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