JP2024046615A - ポリエステルフィルム - Google Patents

Abstract

【課題】粒子の凝集を抑えることで、フィルム表面の微細な凹凸形成の精密制御が可能な、ポリエステルフィルムを提供することにある。【解決手段】一方の表面（Ａ）が、少なくとも粒子（ａ１）及び粒子（ａ２）を含み、前記粒子（ａ１）が、アルミナ粒子であり、前記粒子（ａ２）が、前記粒子（ａ１）以外の粒子であり、前記表面（Ａ）が、以下の（１）及び（２）の要件を全て満足する、ポリエステルフィルムである。（１）算術平均高さ（Ｓａ）が１～１５ｎｍであること。（２）最大山高さ（Ｓｐ）が１５０ｎｍ以下であること。【選択図】なし

Description

本発明は、積層セラミックコンデンサーの製造工程において使用される工程用離型フィルムの支持体に好適なポリエステルフィルムに関する。

近年、自動車の電装化やスマートフォンの高機能化等に伴い、積層セラミックコンデンサー（Ｍｕｌｔｉ－Ｌａｙｅｒｅｄ－Ｃｅｒａｍｉｃ－Ｃａｐａｃｉｔｏｒ；ＭＬＣＣ）の小型化及び高容量化が進んでいる。
積層セラミックコンデンサーは、次のようにして製造される。
まず、離型フィルム上に、セラミック成分及びバインダー樹脂を含むセラミックスラリーを塗工し、乾燥することでセラミックグリーンシート（誘電体シート）を作製し、これに電極をスクリーン印刷法等により印刷して内部電極とし、乾燥した後に印刷済のセラミックグリーンシートを離型フィルムから剥離し、このようなグリーンシートを多数積層させる。積層させたグリーンシートをプレスして一体化させた後、個々のチップに切断する。
その後、焼成炉で内部電極及び誘電体層を焼結させ、積層セラミックコンデンサーが製造される。

積層セラミックコンデンサーの小型及び高容量化に際して、セラミックグリーンシートの薄膜化が進んでいる。セラミックグリーンシートの薄膜化が０．５μｍ（乾燥後の厚み）以下と更に進行するとキャリアフィルムとしての離型フィルムの表面に微小な突起があれば、これに起因して、セラミックグリーンシートにピンホール等が発生する。このため当該離型フィルムには、更に高度な表面平滑性が求められている。

従来、この種の離型フィルムの支持体として、特許文献１には、第１の面と第２の面とを有する基材と、前記基材の前記第１の面側に設けられた平滑化層と、前記平滑化層の前記基材と反対の面側に設けられた剥離剤層とを有し、前記平滑化層は、重量平均分子量が９５０以下の熱硬化性化合物を含む平滑化層形成用組成物を加熱して硬化させることにより形成されており、前記剥離剤層の外表面の算術平均粗さＲａ_１が８ｎｍ以下であり、かつ、前記剥離剤層の外表面の最大突起高さＲｐ_１が５０ｎｍ以下であることを特徴とするセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムが開示されている。

また、特許文献２には、表面の平滑性に優れ、特にフィルム表面の微細な欠点が少ない離型用ポリエステルフィルムとして、深さ０．５μｍ以上の窪み欠点数が５個／ｍ^２以下であり、少なくとも片面の表面の中心線平均粗さＳＲａが１５～３５ｎｍ、十点平均粗さＳＲｚが１０００ｎｍ以下である離型用ポリエステルフィルムが開示されている。

また、特許文献３には、ポリエステルフィルムを巻き取ってなるポリエステルフィルムロールであって、前記ポリエステルフィルムに存在するスラック欠点が、１００ｍ^２あたり５個未満である、ポリエステルフィルムが開示されている。

特開２０１４－１７７０９３号公報 特開２０１３－７０５４号公報 特開２０１８－９０８０３号公報

しかしながら、本発明者の検討結果より、ポリエステルフィルム製造工程において、溶融押出工程のポリエステル原料中の粒子が凝集する場合があることがわかった。特に有機粒子を用いた場合、粒子の凝集傾向が顕著に見られ、溶融押出工程前のポリエステル原料中の粒子の分散状態を維持しないことがわかった。粒子が凝集した場合には、粗大突起が発生し、ハジキやピンホールなどの欠陥の発生に繋がる可能性が高く、支持体においては粒子の凝集を抑制する必要がある。

また、従来、フィルムの表面設計においては、使用する粒子の種類や平均粒径、含有量等を調整することで、フィルム表面の微細な凹凸形成を制御していたが、セラミックグリーンシートの薄膜化に伴い、更に精密な凹凸制御が要求されている。

そこで、本発明の目的は、粒子の凝集を抑えることで、フィルム表面の微細な凹凸形成の精密制御が可能な、ポリエステルフィルムを提供することにある。

本発明者は、上記実情に鑑み、鋭意検討を重ねた結果、特定の構成からなるポリエステルフィルムを用いれば、上記課題を容易に解決できることを知見し、本発明を完成させるに至った。すなわち、本発明は、以下の［１］～［１８］を提供するものである。

［１］一方の表面（Ａ）が、少なくとも粒子（ａ１）及び粒子（ａ２）を含み、前記粒子（ａ１）が、アルミナ粒子であり、前記粒子（ａ２）が、前記粒子（ａ１）以外の粒子であり、前記表面（Ａ）が、以下の（１）及び（２）の要件を満足する、ポリエステルフィルム。
（１）算術平均高さ（Ｓａ）が１～１５ｎｍであること。
（２）最大山高さ（Ｓｐ）が１５０ｎｍ以下であること。
［２］一方の表面（Ａ）が、少なくとも粒子（ａ１）及び粒子（ａ２）を含み、前記表面（Ａ）が、以下の（１）及び（２）の要件を満足し、前記粒子（ａ１）及び（ａ２）のｐＨ７におけるゼータ電位が、以下の（３）又は（４）の要件を満足する、ポリエステルフィルム。
（１）算術平均高さ（Ｓａ）が１～１５ｎｍであること。
（２）最大山高さ（Ｓｐ）が１５０ｎｍ以下であること。
（３）前記粒子（ａ１）が正の値であり、前記粒子（ａ２）が負の値であること。
（４）前記粒子（ａ１）が負の値であり、前記粒子（ａ２）が正の値であること。
［３］前記粒子（ａ１）の平均粒径が、前記粒子（ａ２）の平均粒径よりも小さい、上記［１］又は［２］に記載のポリエステルフィルム。
［４］前記粒子（ａ１）がアルミナ粒子である、上記［１］～［３］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［５］前記粒子（ａ１）の平均粒径が０．０１～１μｍである、上記［１］～［４］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［６］前記粒子（ａ２）の平均粒径が、０．０５～１μｍである、上記［１］～［５］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［７］前記粒子（ａ２）が、有機粒子又はシリカ粒子のいずれかである、上記［１］～［６］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［８］前記粒子（ａ１）及び前記粒子（ａ２）の合計含有量が、含有させる層に対して、質量割合で１０００～１００００ｐｐｍである、上記［１］～［７］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［９］前記粒子（ａ１）の含有量が、含有させる層に対して、質量割合で１００～５０００ｐｐｍである、上記［１］～［８］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［１０］前記粒子（ａ２）の含有量が、含有させる層に対して、質量割合で１００～８０００ｐｐｍである、上記［１］～［９］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［１１］前記表面（Ａ）の最大山高さ（Ｓｐ）と算術平均高さ（Ｓａ）の比（Ｓｐ／Ｓａ）が、２５以下である、上記［１］～［１０］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［１２］少なくとも２層からなる、上記［１］～［１１］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［１３］３層構成からなる、上記［１］～［１２］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［１４］前記３層構成の中間層が、実質的に粒子を含有しない、上記［１３］に記載のポリエステルフィルム。
［１５］前記表面（Ａ）の反対側の面に、表面層Ｃを有する、上記［１］～［１４］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［１６］少なくとも片面に離型層を有する、上記［１］～［１５］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［１７］前記離型層が、硬化型シリコーン樹脂を含有する、上記［１６］に記載のポリエステルフィルム。
［１８］積層セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体として用いられる、上記［１］～［１７］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
［１９］自動車セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体として用いられる、上記［１］～［１７］のいずれかに記載のポリエステルフィルム。

本発明によれば、粒子の凝集を抑えることで、フィルム表面の微細な凹凸形成の精密制御が可能な、ポリエステルフィルムを提供することができる。

また、本発明のポリエステルフィルムは、ポリエステルフィルムの一方の表面（Ａ）が、上記の（１）及び（２）を満足することから、例えば、セラミックグリーンシートの支持体として用いることで、ピンホールなどの欠陥の発生を抑制し、セラミックグリーンシートの薄膜化が可能となる利点を有する。

［ポリエステルフィルム］
本発明のポリエステルフィルム（以下「本フィルム」とも称する。）は、一方の表面（Ａ）が、少なくとも粒子（ａ１）及び粒子（ａ２）を含み、前記粒子（ａ１）が、アルミナ粒子であり、前記粒子（ａ２）が、前記粒子（ａ１）以外の粒子であり、前記表面（Ａ）が、以下の（１）及び（２）の要件を満足するフィルムである（以下、「態様Ａ」と記載することがある。）。
（１）算術平均高さ（Ｓａ）が１～１５ｎｍであること。
（２）最大山高さ（Ｓｐ）が１５０ｎｍ以下であること。
ここで、「表面（Ａ）が粒子を含む」とは、ポリエステルフィルムが単層フィルムの場合は、当該ポリエステルフィルムに粒子を含むことを意味し、積層（多層）フィルムの場合は、少なくとも、表面（Ａ）側を構成する表層に粒子を含むことを意味する。

本発明者は、表面（Ａ）を構成するポリエステル原料中に特定の平均粒径のアルミナ粒子を併用させることにより、溶融押出工程におけるポリエステル原料中の他の粒子の（再）凝集を抑制できることを見出した。
また、表面（Ａ）を構成するポリエステル原料中の他の粒子に関しては、その種類に関係なく、併用するアルミナ粒子によって（再）凝集を抑制する効果があり、その結果、ポリエステルフィルム表面に従来よりも更に微細な凹凸形状を形成できることを見出した。

そのため、本発明は、表面（Ａ）を構成するポリエステル原料中に、アルミナ粒子を分散剤として併用するという、フィルム表面の微細な凹凸形状を精密制御する、新たな要素技術に関するものであって、当該要素技術を用いることにより、特別な工夫を施した粒子を含むポリエステル原料を用いる必要がなくなるという優れた利点を有する。

また、近年、積層セラミックコンデンサーの小型化及び高容量化に際して、セラミックグリーンシートの薄膜化が進んでおり、支持体においては、セラミックグリーンシートを積層する面側の表面平滑性を高くすることが求められている。その一方で、表面平滑性を保ちつつ、滑り性や加工性を付与するために、セラミックグリーンシートを積層する面とは反対面側は、積層する面側よりも粗く設計されることがある。
本発明は、上述の通り、アルミナ粒子と併用して用いられる他の粒子の種類に関係なく（再）凝集を抑制できることから、当該他の粒子の選択によって、表面平滑性を高くすることも、適度に粗くすることも可能でありながら、それでいて、従来よりも微細な凹凸形状を形成できるという利点も有する。

以上のように、本発明は、ポリエステルフィルム表面の凹凸形状の制御において、従来から用いられていたアルミナ粒子の有する「分散性向上」という、異質な作用効果に着目し、新たな要素技術として組み合わせることで、より精密な凹凸制御を可能にするものである。特に、積層セラミックコンデンサーの製造において、厚み（乾燥後）が０．５μｍ以下のセラミックグリーンシート成形が必要となる場面においても、対応可能な、微細でありながら、それでいて精密な凹凸形状を有するフィルムを提案するものである。

なお、本発明において、ポリエステルフィルムの一方の表面（Ａ）とは、例えば、積層セラミックコンデンサーの製造工程において、セラミックグリーンシートの支持体として用いる際に、セラミックグリーンシートを積層する面側であってもよく、積層する面とは反対面側であってもよい。
前記表面（Ａ）が、セラミックグリーンシートを積層する面側である場合、フィルム表面の粗大突起を低減させることで、セラミックグリーンシート形成時に、ハジキやピンホールなどの欠陥の発生を抑制することができる。一方、前記表面（Ａ）が、セラミックグリーンシートを積層する面とは反対面側であった場合には、フィルム表面の粗大突起を低減させることで、セラミックグリーンシート成形後、ロール状に巻き取った状態でも、上記反対面側の凹凸転写がなく、ピンホールなどの欠陥の発生を抑制することができる。
すなわち、ポリエステルフィルムの一方の表面（Ａ）が、上記（１）及び（２）を満たすことにより、積層セラミックコンデンサーの小型及び高容量化に際しても、積層セラミックコンデンサーを好適な状態で製造することができる。

また、前述の粒子（ａ１）として、アルミナ粒子を用いることで、他の粒子（粒子（ａ１）以外の粒子）の分散性が高くなる点について、さらに詳細に検討したところ、一方の表面（Ａ）が、少なくとも粒子（ａ１）及び粒子（ａ２）を含み、粒子（ａ１）及び（ａ２）のｐＨ７におけるゼータ電位が、以下の（３）又は（４）を満足することが好ましく、粒子（ａ２）の分散性の向上に大きく影響することがわかった。
（３）前記粒子（ａ１）が正の値であり、前記粒子（ａ２）が負の値であること。
（４）前記粒子（ａ１）が負の値であり、前記粒子（ａ２）が正の値であること。
すなわち、ｐＨ７において、粒子（ａ１）と粒子（ａ２）の電荷が異なることで、粒子（ａ１）と粒子（ａ２）は電気的に引き付け合い、例えば、粒子（ａ２）の周囲に粒子（ａ１）が位置するような形態をとることができる。このような、粒子（ａ２）に粒子（ａ１）が電気的に位置した粒子（以下「複合粒子」と記載することがある。）は、外側に同じ電荷をもつ粒子（ａ１）が存在するために、複合粒子同士が互いに反発し、該複合粒子は凝集せずに分散性が高く維持されるものと考えられる。
このような複合粒子においては、外側に位置する粒子（ａ１）の平均粒径が、内側の粒子（ａ２）の平均粒径よりも小さいことが好ましい。すなわち、相対的に大きな粒子（ａ２）の周囲に、相対的に小さな粒子（ａ１）が覆うように位置する構造となり、複合粒子同士は電気的に反発するため、粒子（ａ２）の凝集が起こらず、分散性がより向上しやすくなると考えられる。

また、上記のような複合粒子が形成される場合には、粒子（ａ１）がアルミナではなくても同様の現象が起こり、上記（１）及び（２）の要件を満足することで、本発明の効果を奏すると考えられる。
すなわち、一方の表面（Ａ）が、少なくとも粒子（ａ１）及び粒子（ａ２）を含み、前記表面（Ａ）が、以下の（１）及び（２）の要件を満足し、前記粒子（ａ１）及び（ａ２）のｐＨ７におけるゼータ電位が、以下の（３）又は（４）の要件を満足する、ポリエステルフィルムも本発明の範囲である（以下、「態様Ｂ」と記載することがある。）。
（１）算術平均高さ（Ｓａ）が１～１５ｎｍであること。
（２）最大山高さ（Ｓｐ）が１５０ｎｍ以下であること。
（３）前記粒子（ａ１）が正の値であり、前記粒子（ａ２）が負の値であること。
（４）前記粒子（ａ１）が負の値であり、前記粒子（ａ２）が正の値であること。

なお、態様Ｂにおいて、粒子（ａ１）がアルミナである場合には、粒子（ａ１）のゼータ電位は正の値をとるため、粒子（ａ２）はゼータ電位が負の値をとるものが選択される。ゼータ電位が負の値をとる粒子としては、有機粒子又はシリカ粒子が好適に挙げられる。

（表面特性）
本発明において、ポリエステルフィルムの一方の表面（Ａ）が、以下の（１）及び（２）を満足することを特徴とする。
（１）算術平均高さ（Ｓａ）が１～１５ｎｍであること。
（２）最大山高さ（Ｓｐ）が１５０ｎｍ以下であること。

（１）算術平均高さ（Ｓａ）
本発明において、前記表面（Ａ）の算術平均高さ（Ｓａ）は、１～１５ｎｍであることを要する。
表面（Ａ）の算術平均高さ（Ｓａ）が１５ｎｍより大きくなると、フィルム表面の凹凸によって、ピンホール等の欠陥が生じやすくなり、セラミックグリーンシートの薄膜化に対応できない。一方で、算術平均高さ（Ｓａ）が１ｎｍより小さくなると、フィルム表面が極端に平坦化しすぎて、フィルムの滑り性が低下し、加工性が損なわれる。
本発明において、前記表面（Ａ）の算術平均高さ（Ｓａ）は、加工性の向上並びにセラミックグリーンシートの薄膜化対応の観点から、セラミックグリーンシートを積層する面側に用いる場合には、１～１０ｎｍが好ましく、より好ましくは１．４～５ｎｍ、更に好ましくは１．７～４ｎｍ、よりさらに好ましくは２～３ｎｍであり、セラミックグリーンシートを積層する面とは反対面側に用いる場合には、３～１５ｎｍが好ましく、より好ましくは４～１４．５ｎｍ、更に好ましくは５～１４ｎｍ、よりさらに好ましくは６～１３．５ｎｍである。

算術平均高さ（Ｓａ）とは、面粗さパラメーター（ＩＳＯ ２５１７８）の一つであり、二次元のＲａを三次元に拡張したもので、表面形状曲面と平均面で囲まれた部分の体積を測定面積で割ったものであり、以下の式（１）から求められる。
表面をＸＹ面，高さ方向をＺ軸とした時、Ａ：定義された領域（画像全体とする）、Ｚ（ｘ，ｙ）：画像点（ｘ，ｙ）の高さ０の面からの高さとすると、以下の式（１）のように表される。

（２）最大山高さ（Ｓｐ）
本発明において、前記表面（Ａ）の最大山高さ（Ｓｐ）は、１５０ｎｍ以下であることを要する。
表面（Ａ）の最大山高さ（Ｓｐ）が１５０ｎｍより大きくなると、フィルム表面の凹凸によってピンホール等の欠陥が生じやすくなり、セラミックグリーンシートの薄膜化に対応できない。
本発明において、前記表面（Ａ）の最大山高さ（Ｓｐ）は、セラミックグリーンシート薄膜化対応及びフィルムの取り扱い性の観点から、セラミックグリーンシートを積層する面側に用いる場合には、５～１００ｎｍが好ましく、より好ましくは１５～８０ｎｍ、更に好ましくは１０～６５ｎｍ、よりさらに好ましくは３０～５０ｎｍであり、セラミックグリーンシートを積層する面とは反対面側に用いる場合には、５０～１４５ｎｍが好ましく、より好ましくは８０～１４２ｎｍ、さらに好ましくは１００～１４０ｎｍである。

最大山高さ（Ｓｐ）とは、面粗さパラメーター（ＩＳＯ ２５１７８）の一つであり、表面の平均面からの高さの最大値を表し、以下の式（２）のように表される。

また、本発明において、前記表面（Ａ）の算術平均高さ（Ｓａ）と最大山高さ（Ｓｐ）との関係、より具体的には最大山高さ（Ｓｐ）と算術平均高さ（Ｓａ）の比（Ｓｐ／Ｓａ）は２５以下が好ましく、２４以下がより好ましく、２３以下が更に好ましく、２０以下がより更に好ましい。
算術平均高さ（Ｓａ）と最大山高さ（Ｓｐ）との関係Ｓｐ／Ｓａが２５以下であることにより、算術平均高さ（Ｓａ）を低い状態で、最大山高さ（Ｓｐ）を低い状態のバランスで調整でき、セラミックグリーンシートを薄膜化し易い。
また、算術平均高さ（Ｓａ）と最大山高さ（Ｓｐ）との関係Ｓｐ／Ｓａの下限については特に限定されないが、低Ｓａかつ低Ｓｐのバランスで調整する観点から、５以上が好ましく、６以上がより好ましく、７以上がさらに好ましく、８以上がよりさらに好ましい。

本発明において、前記表面（Ａ）の表面特性は、例えば、フィルム表面（Ａ）に含まれる粒子の種類、具体的には例えば、組成、平均粒径、粒度分布、硬度、含有させるポリエステルとの親和性等を鑑み、含有量を調節することによって調整することができる。また、含有させるポリエステルの種類、例えば、組成、粘度、分子量、熱特性、共重合成分の有無等を鑑み、粒子の種類や含有量を調節することも、表面特性の調整に有用である。粒子を２種類以上併用する場合は、使用する粒子やポリエステルの種類を鑑み、含有割合を調整することが好ましい。
積層ポリエステルフィルムである場合には、表面（ａ）側の層の厚みを調節したり、隣接する層（隣接層）に粒子を適宜含有させたりすることによっても表面（Ａ）の表面特性を調整することができる。隣接層に含有させる粒子の種類や含有量については、上記の思想に基づき設定すればよい。
また、ポリエステルフィルム製造時において、表面（Ａ）のポリエステル原料の吐出量を制御したりすることで、調整することができる。フィルムが配向（延伸）フィルムである場合には、延伸倍率（二軸延伸の場合は縦横の延伸倍率）、延伸温度、熱処理温度と処理時間（二軸延伸の場合は特に横延伸後の熱処理温度と処理時間）等の制御も効果的である。

＜ポリエステルフィルム（態様Ａ）＞
本発明の態様Ａのポリエステルフィルムは、一方の表面（Ａ）が、少なくとも粒子（ａ１）及び粒子（ａ２）を含み、前記粒子（ａ１）がアルミナ粒子であり、前記粒子（ａ２）が前記粒子（ａ１）以外の粒子であることを特徴とする。
前記粒子（ａ１）及び前記粒子（ａ２）を併用することにより、フィルムの滑り性及び表面平滑性を両立することができる。より具体的には、ポリエステルフィルムの一方の表面（Ａ）に微細な凹凸が形成されていることにより、算術平均高さ（Ｓａ）は小さく、それでいて、従来よりも更に最大山高さ（Ｓｐ）も小さくすることが可能となる。

（粒子（ａ１））
本発明の態様Ａに用いる粒子（ａ１）は、アルミナ粒子であり、好ましくは平均粒径０．０１～１μｍのアルミナ粒子である。粒子（ａ１）の平均粒径は、より好ましくは０．０２～０．８μｍ、さらに好ましくは０．０３～０．５μｍ、よりさらに好ましくは０．０３５～０．３μｍ、特に好ましくは０．０４～０．１μｍである。粒子（ａ１）の平均粒径が上記下限値以上であると、アルミナ粒子の有する分散性向上効果が十分に発揮され、粒子の凝集を抑えることが容易となる。一方、粒子（ａ１）の平均粒径が上記上限値以下であると、微細な凹凸表面形状を形成することが容易となる。
なお、粒子（ａ１）の平均粒径は、遠心沈降式粒度分布測定装置を用いて測定した等価球形分布における積算体積分率５０％の粒径（ｄ５０）を平均粒径とすることができる。

粒子（ａ１）の形状に関しては、特に限定されるわけではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等のいずれを用いてもよいが、表面（Ａ）の表面特性の観点から、球状であることが好ましい。
また、その硬度、比重、色等についても特に制限はなく、必要に応じて２種類以上を併用してもよい。

粒子（ａ１）の含有量は、含有させる層に対して、質量割合で、１００～５０００ｐｐｍであることが好ましい。粒子（ａ１）の含有量が、前記範囲であれば、粒子（ａ１）の有する分散性向上効果が十分となり、粒子の凝集が抑えられ、フィルム表面に微細な凹凸が形成された結果、表面（Ａ）が上記（１）及び（２）を満足しやすくなる。
本発明において、表面（Ａ）を、セラミックグリーンシートを積層する面側に用いる場合には、表面平滑性を向上させる観点から、粒子含有量は比較的少なく、アルミナ粒子の分散度合いを考慮すると、粒子（ａ１）の含有量は質量割合で１５０～３０００ｐｐｍがより好ましく、１８０～１０００ｐｐｍが更に好ましく、２００～８００ｐｐｍがよりさらに好ましく、２５０～５００ｐｐｍが特に好ましい。
また、表面（Ａ）を、セラミックグリーンシートを積層する面とは反対面側に用いる場合には、滑り性を向上させる観点から、積層する面側に比べて粒子含有量は多く、粒子（ａ１）の分散度合いを考慮すると、粒子（ａ１）の含有量は質量割合で５００～５０００ｐｐｍがより好ましく、１０００～４５００ｐｐｍが更に好ましく、２０００～４０００ｐｐｍがより更に好ましい。

アルミナ粒子の製造方法としては、特に限定されないが、例えば熱分解法、すなわち無水塩化アルミニウムを原料として火焔加水分解させる方法、或いはアンモニウム明礬熱分解法、すなわち水酸化アルミニウムを原料として硫酸と反応させて硫酸アルミニウムとした後、硫酸アンモニウムと反応させてアンモニウム明礬として焼成する方法等を挙げることができる。

（粒子（ａ２））
態様Ａにおいて、本発明に用いる粒子（ａ２）は、粒子（ａ１）以外の粒子である。粒子（ａ２）としては、易滑性を付与可能な粒子であれば特に限定されるものではなく、例えばシリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン及び酸化チタン等の無機粒子、架橋シリコーン樹脂粒子、架橋アクリル樹脂粒子、架橋スチレン－アクリル樹脂粒子、架橋ポリエステル粒子等の架橋高分子並びにシュウ酸カルシウム及びイオン交換樹脂等の有機粒子を挙げることができる。これらの中では、ポリエステル原料との親和性、あるいは粒子の単分散性制御の観点から、有機粒子又はシリカ粒子のいずれかが好ましい。

粒子（ａ２）の形状に関しても、特に限定されるわけではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等のいずれを用いてもよい。
また、その硬度、比重、色等についても特に制限はない。これら一連の粒子は、必要に応じて２種類以上を併用してもよい。

また、粒子（ａ２）の平均粒径は、０．０５～１μｍが好ましく、より好ましくは０．０７～０．８μｍ、更に好ましくは０．０８～０．８μｍ、よりさらに好ましくは０．１～０．５μｍである。粒子（ａ２）の平均粒径が、前記範囲を満足することにより、表面平滑性を確保しつつ、フィルムに滑り性を付与することで加工性をも担保することができる。
更に、粒子（ａ１）の平均粒径と、粒子（ａ２）の平均粒径との関係は、粒子（ａ１）の平均粒径が、粒子（ａ２）の平均粒径よりも小さいことが好ましい。係る関係とすることで、アルミナ粒子による他の粒子の（再）凝集を抑制しやすくなる。
なお、粒子（ａ２）の平均粒径は、遠心沈降式粒度分布測定装置を用いて測定した等価球形分布における積算体積分率５０％の粒径（ｄ５０）を平均粒径とすることができる。

粒子（ａ２）の含有量は、含有させる層に対して、質量割合で、１００～８０００ｐｐｍであることが好ましい。粒子（ａ２）の含有量が、前記範囲であれば、粒子（ａ１）による粒子の凝集が抑えられ、フィルム表面に微細な凹凸が形成された結果、表面（Ａ）が上記（１）及び（２）を満足しやすくなる。
本発明において、表面（Ａ）を、セラミックグリーンシートを積層する面側に用いる場合には、表面平滑性を向上させる観点から、粒子含有量は比較的少ない方が好ましく、凝集抑制効果も考慮すると、粒子（ａ２）の含有量は質量割合で２５０～３０００ｐｐｍがより好ましく、５００～２５００ｐｐｍがさらに好ましく、７００～２０００ｐｐｍがより更に好ましい。また、表面（Ａ）を、セラミックグリーンシートを積層する面とは反対面側に用いる場合には、滑り性を向上させる観点から、積層する面側に比べて粒子含有量は多い方が好ましく、凝集抑制効果も考慮すると、粒子（ａ２）の含有量は質量割合で１０００～８０００ｐｐｍがより好ましく、１５００～７０００ｐｐｍがさらに好ましく、２０００～６０００ｐｐｍがよりさらに好ましく、２５００～５５００ｐｐｍが特に好ましく、３０００～５０００ｐｐｍが殊に好ましい。
更に、粒子（ａ１）の含有量と、粒子（ａ２）の含有量との関係は、粒子（ａ２）の含有量が、粒子（ａ１）の含有量以上であることが好ましい。係る関係とすることで、粒子（ａ２）等の他の粒子によって表面（Ａ）の粗さを調整しながら、粒子（ａ１）による他の粒子の（再）凝集抑制効果が十分に発揮される。

また、粒子（ａ１）及び粒子（ａ２）の合計含有量は、含有させる層に対して、質量割合で、３００～１００００ｐｐｍであることが好ましい。合計含有量が、前記範囲であれば、フィルム表面に微細な凹凸が形成され、表面（Ａ）が上記（１）及び（２）を満足しやすくなる。
本発明において、表面（Ａ）を、セラミックグリーンシートを積層する面側に用いる場合には、表面平滑性を向上させる観点から、粒子含有量は比較的少ない方が好ましく、合計含有量は質量割合で４００～３０００ｐｐｍがより好ましく、１０００～２５００ｐｐｍが更に好ましい。
また、表面（Ａ）を、セラミックグリーンシートを積層する面とは反対面側に用いる場合には、滑り性を向上させる観点から、積層する面側に比べて粒子含有量は多い方が好ましく、合計含有量は質量割合で３０００～１００００ｐｐｍがより好ましく、４０００～９５００ｐｐｍが更に好ましく、５０００～９０００ｐｐｍがより更に好ましい。

（その他の粒子）
本フィルムに含有させる「その他の粒子」とは、粒子（ａ１）及び粒子（ａ２）以外の粒子を意味し、その他の粒子の種類は、易滑性を付与可能な粒子であれば、特に限定されず、例えば粒子（ａ２）に例示されている粒子や、アルミナ粒子を挙げることができる。
なお、その他の粒子は、表面（Ａ）に含有されていてもよく、表面（Ａ）以外に含有されていてもよい。

その他の粒子の形状、硬度、比重、色等についても特に制限はなく、これら一連の粒子は、必要に応じて２種類以上を併用してもよい。
また、その他の粒子の平均粒径、含有量についても特に制限はないが、好ましい形態は、後述の通りである。

＜ポリエステルフィルム（態様Ｂ）＞
本発明の態様Ｂのポリエステルフィルムは、一方の表面（Ａ）が、少なくとも粒子（ａ１）及び粒子（ａ２）を含み、前記表面（Ａ）が、以下の（１）及び（２）の要件を満足し、前記粒子（ａ１）及び（ａ２）のｐＨ７におけるゼータ電位が、以下の（３）又は（４）の要件を満足する、ポリエステルフィルムである。
（１）算術平均高さ（Ｓａ）が１～１５ｎｍであること。
（２）最大山高さ（Ｓｐ）が１５０ｎｍ以下であること。
（３）前記粒子（ａ１）が正の値であり、前記粒子（ａ２）が負の値であること。
（４）前記粒子（ａ１）が負の値であり、前記粒子（ａ２）が正の値であること。

態様Ｂのポリエステルフィルムにおいては、粒子（ａ１）及び粒子（ａ２）のｐＨ７におけるゼータ電位の一方が正であり、他方が負であることが好ましい。このような態様とすることで、上記したような粒子（ａ１）と粒子（ａ２）が電気的に結びつきやすく、例えば粒子（ａ２）の周囲に粒子（ａ１）が位置する形で結びつき、複合粒子を形成する。該複合粒子の外側表面は互いに同電荷であることから反発し、凝集が抑制される。
なお、上記態様Ａにおける粒子（ａ１）であるアルミナは、ｐＨ７におけるゼータ電位は正の値を示し、粒子（ａ２）である有機粒子及びシリカはｐＨ７におけるゼータ電位は負の値を示す。
態様Ｂでは、粒子（ａ１）及び粒子（ａ２）が、上記（３）の要件又は（４）の要件を満足するものであれば、特に限定されず、したがって粒子（ａ１）はアルミナには限定されない。一方、アルミナは粒子（ａ１）として最も好ましい態様の一つであり、効果の点で最も好ましい。
なお、ゼータ電位は、電気泳動光散乱法により測定することができる。

ｐＨ７におけるゼータ電位が正の値である粒子としては、例えば、アルミナ、カチオン変性シリカや、３フッ化イッテルビウム、フッ化イットリウム、フッ化ランタン、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化イッテルビウム等の希土類化合物等が挙げられ、これらのうちアルミナが好ましい。ｐＨ７におけるゼータ電位が負の値である粒子としては、例えば、シリカ、酸化チタン、セリア、酸化ジルコニウム、酸化バリウム、酸化クロム、酸化鉄、酸化タングステン等の金属酸化物、シリカ－酸化ジルコニウム、シリカ－酸化チタン、シリカ－酸化チタン－酸化バリウム、シリカ－酸化チタン－酸化ジルコニウム、ホウ珪酸ガラス、アルミノシリケートガラス、フルオロアルミノシリケートガラス等の複合酸化物等の無機粒子、カルボキシ基、スルホン酸基を有する有機粒子等が挙げられ、有機粒子、シリカが好ましい。

粒子（ａ１）及び粒子（ａ２）のｐＨ７におけるゼータ電位は、粒子そのものが有するゼータ電位であってもよいが、表面処理剤等により粒子表面を改質することによって調整することもできる。表面処理剤としては、例えば、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニル－トリス（β－メトキシエトキシ）シラン、γ－メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、κ－メタクリロイルオキシドデシルトリメトキシシラン、β－（３,４－エポキシシクロヘキシル）－エチルトリメトキシシラン、γ－グリシドキシプロピル－トリメトキシシラン、Ｎ－β－（アミノエチル）－γ－アミノプロピル－トリメトキシシラン、γ－ウレイドプロピル－トリエトキシシラン、γ－クロロプロピルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン等のシランカップリング剤やチタネート系カップリング剤等が挙げられ、所望のゼータ電位となるように処理剤の種類や処理量を適宜調整すればよい。
表面処理剤の表面処理量は、通常、粒子１００質量部に対して、１～３０質量部であり、３～１５質量部が好ましい。
表面処理剤による処理方法は特に限定されるものではなく、公知の方法が採用できる。例えば、粒子と表面処理剤とを適当な溶媒中でボールミル等を用いて分散混合し、エバポレーターや風乾で乾燥した後、５０～１５０℃に加熱する方法、粒子と表面処理剤とをアルコール等の溶剤中で数時間程度加熱還留する方法、粒子表面に表面処理剤をグラフト重合させる方法等が挙げられる。

態様Ｂにおける粒子（ａ１）、粒子（ａ２）の平均粒径、形状、含有量等の好ましい範囲は、態様Ａにおけるのと同様である。
すなわち、粒子（ａ１）の平均粒径は０．０１～１μｍであることが好ましく、より好ましくは０．０２～０．８μｍ、さらに好ましくは０．０３～０．５μｍ、よりさらに好ましくは０．０３５～０．３μｍ、特に好ましくは０．０４～０．１μｍである。粒子（ａ１）の平均粒径が上記下限値以上であると、粒子（ａ１）の有する分散性向上効果が十分に発揮され、粒子の凝集を抑えることが容易となる。一方、粒子（ａ１）の平均粒径が上記上限値以下であると、微細な凹凸表面形状を形成することが容易となる。
また、粒子（ａ１）の形状に関しては、特に限定されるわけではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等のいずれを用いてもよいが、表面（Ａ）の表面特性の観点から、球状であることが好ましい。
また、粒子（ａ２）の平均粒径は、０．０５～１μｍが好ましく、より好ましくは０．０７～０．８μｍ、更に好ましくは０．０８～０．８μｍ、よりさらに好ましくは０．１～０．５μｍである。粒子（ａ２）の平均粒径が、前記範囲を満足することにより、表面平滑性を確保しつつ、フィルムに滑り性を付与することで加工性をも担保することができる。
また、粒子（ａ１）、粒子（ａ２）の硬度、比重、色等についても特に制限はなく、必要に応じて２種類以上を併用してもよい。

本フィルム中に粒子（粒子（ａ１）、粒子（ａ２）及びその他の粒子）を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、ポリエステルフィルムが積層構成であれば、各層を構成するポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、エステル化又はエステル交換反応終了後、添加するのが好ましい。

（ポリエステル）
本発明において、ポリエステルとは、ポリエステルフィルムの原料となるポリエステルのことをいい、主鎖に連続してエステル結合を有する高分子化合物をいう。本発明においてポリエステルは、ホモポリエステルであってもよく、共重合ポリエステルであってもよく、具体的には、ジカルボン酸成分とジオール成分とを重縮合反応させることによって得られるポリエステルを挙げることができる。

なお、本発明においては、ジカルボン酸成分を１００モル％としたとき、芳香族ジカルボン酸又は脂肪族ジカルボン酸を５０モル％よりも多く含有するポリエステルを使用することが好ましい。

前記ジカルボン酸成分としては、例えばテレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、１，４－ナフタレンジカルボン酸、１，５－ナフタレンジカルボン酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸、４，４’－ジフェニルジカルボン酸、４，４’－ジフェニルエーテルジカルボン酸及び４，４’－ジフェニルスルホンジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸や、例えばアジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ダイマー酸、ドデカンジオン酸、シクロヘキサンジカルボン酸及びこれらのエステル誘導体等の脂肪族ジカルボン酸を挙げることができる。

前記ジオール成分としては、例えばエチレングリコール、１，２－プロパンジオール、１，３－プロパンジオール、ネオペンチルグリコール、１，３－ブタンジオール、１，４－ブタンジオール、１，５－ペンタンジオール、１，６－ヘキサンジオール、１，２－シクロヘキサンジメタノール、１，３－シクロヘキサンジメタノール、１，４－ヘキサンジメタノール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリアルキレングリコール、２，２－ビス（４－ヒドロキシエトキシフェニル）プロパン、イソソルベート及びスピログリコール等を挙げることができる。

上記ポリエステルがホモポリエステルからなる場合、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られるものが好ましい。
前記芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸等を挙げることができ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール及び１，４－シクロヘキサンジメタノール等を挙げることができる。
代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン－２，６－ナフタレンジカルボキシレート（ＰＥＮ）等を例示することができる。

一方、上記ポリエステルが共重合ポリエステルの場合は、３０モル％以下の第三成分を含有した共重合体であることが好ましい。第三成分とは、ポリエステルを構成するジカルボン酸成分の主成分となる化合物と、ジオール成分の主成分となる化合物以外の成分であり、ポリエチレンテレフタレートではテレフタル酸及びエチレングリコール以外の成分である。
共重合ポリエステルのジカルボン酸成分としては、例えばイソフタル酸、フタル酸、テレフタル酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸及びオキシカルボン酸等の一種又は二種以上を挙げることができる。
共重合ポリエステルのグリコール成分としては、例えばエチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、１，４－シクロヘキサンジメタノール及びネオペンチルグリコール等の一種又は二種以上を挙げることができる。

また、上記ポリエステルとしては、８０モル％以上、好ましくは９０モル％以上が、エチレンテレフタレート単位であるポリエチレンテレフタレートや、エチレン－２，６－ナフタレート単位であるポリエチレン－２，６－ナフタレート等が好ましい。

なお、通常、エチレングリコールを原料の１つとしてポリエステルを製造（重縮合）する場合、エチレングリコールからジエチレングリコールが副生する。本明細書においては、このジエチレングリコールを副生ジエチレングリコールと称する。エチレングリコールからのジエチレングリコールの副生量は、重縮合の様式等によっても異なるが、エチレングリコールのうち５モル％以下程度である。本発明においては、５モル％以下のジエチレングリコールを副生ジエチレングリコールとした上で、前記副生ジエチレングリコールもエチレングリコールに包含されるものとし、共重合成分とは区別される。
一方、ジエチレングリコールの含有量によっては、より具体的にはジエチレングリコールが５モル％を超えて含有されている場合には、ジエチレングリコールは副生ジエチレングリコールとしてではなく、共重合成分として扱う。

≪ポリエステル重縮合触媒≫
上記ポリエステルを重縮合する際の重縮合触媒としては、アンチモン化合物、ゲルマニウム化合物、アルミニウム化合物、チタン化合物等が挙げられる。これらの中では、アンチモン化合物及びチタン化合物の少なくともいずれかが好ましく、とりわけ、チタン化合物を用いて得られるポリエステルを使用することが好ましい。
したがって、本フィルムは、アンチモン化合物及びチタン化合物の少なくともいずれかを含むことが好ましく、本フィルムは、チタン化合物を含むことがより好ましい。
前記チタン化合物を使用することで、フィルム中に当該チタン化合物に由来する金属含有凝集体、いわゆる粗大異物の個数を低減化することができ、高い表面平滑性、とりわけ、少なくとも片面の最大山高さ（Ｓｐ）が小さい本フィルムを得ることができる。

本フィルムの最外層（「表面層」ともいう、例えば離型層が積層される表面層）を構成するポリエステルは、その重縮合触媒としてチタン化合物を使用することが好ましい。
当該最外層中に当該チタン化合物に由来するチタン元素含有量が質量割合で１ｐｐｍ以上４０ｐｐｍ以下であることが好ましく、２ｐｐｍ以上３５ｐｐｍ以下であることがより好ましい。
上記範囲内であれば、ポリエステルの製造効率を低下させることなく、触媒起因の異物を低減化することができる。
また、ポリエステルフィルムが積層構成の場合、生産性の観点から、後述の中間層を構成するポリエステルは、その重縮合触媒としてチタン化合物を使用しないことが好ましい。
また、同様の観点から、本フィルムの最外層中のアンチモン化合物の含有量は１００ｐｐｍ以下であることが好ましい。

≪ポリエステルの極限粘度（ＩＶ）≫
本フィルムを構成するポリエステルの極限粘度（ＩＶ）は、０．５０ｄＬ／ｇ以上であることが好ましく、０．５５ｄＬ／ｇ以上であることがより好ましく、０．６０ｄＬ／ｇ以上であることが更に好ましい。
本発明において、ポリエステルフィルムを構成するポリエステルとして、極限粘度（ＩＶ）が０．５０ｄＬ／ｇ以上のポリエステルを使用することで、ポリエステルを混練中のせん断応力が増大し、ポリエステル樹脂中の粒子が高分散し易く、ポリエステルフィルムの一方の表面（Ａ）の表面特性を、上記の範囲にし易くすることができる。また、ポリエステルの極限粘度（ＩＶ）の上限は、粒子の流動性の観点から、１．００ｄＬ／ｇ以下が好ましく、０．８５ｄＬ／ｇ以下がより好ましく、０．７５ｄＬ／ｇ以下が更に好ましい。

なお、「本フィルムを構成するポリエステルの極限粘度（ＩＶ）」とは、極限粘度（ＩＶ）が異なる２種以上のポリエステルを使用する場合には、これら混合樹脂の極限粘度（ＩＶ）を意味するものとする。

（ポリエステルフィルムの構成）
本発明において、ポリエステルフィルムは、単層のポリエステルフィルムでもよく、２以上の層を有する積層構成のポリエステルフィルムでもよい。
本発明において、ポリエステルフィルムは、一方の表面（Ａ）の表面特性を上記範囲に制御し易い観点や、積層セラミックコンデンサーの製造工程において使用される工程用離型フィルムの支持体として好適に使用する観点から、少なくとも２層からなるポリエステルフィルムが好ましく、３層構成からなるポリエステルフィルムがより好ましい。
なお、本フィルムは、一方のみが表面（Ａ）であっても、両方が表面（Ａ）であってもよい。両方が表面（Ａ）である場合には、表面（Ａ）に含まれる粒子や表面特性が条件を満たしていればよく、互いに同一であっても同一でなくてもよい。

より詳細には、本発明において、本フィルムが２以上の層を有する積層構成の場合、中間層Ｂと表面層Ａ及び表面層Ｃから構成されるＡ／Ｂ／Ｃ構成又は中間層Ｂと表面層Ａから構成されるＡ／Ｂ／Ａ構成の３層構成が好ましく、Ａ／Ｂ／Ｃ構成の３層構成がより好ましい。
ここで、表面層Ａは、本発明におけるポリエステルフィルムの一方の表面（Ａ）を形成する表面層である。本フィルムは、上述の通り、両方の面が表面（Ａ）を形成する表面層Ａであってもよいし、一方の面が表面（Ａ）を形成する表面層Ａで、他方の面が後述する表面層Ｃであってもよいが、他方の面が表面層Ｃである構成が好ましい。すなわち、本フィルムは、表面（Ａ）の反対側の面に、表面層Ｃを有することが好ましい。

上記中間層Ｂは、最も厚みの厚い主層として機能させることが好ましく、コストダウンするために、粒子を実質的に含まないことが好ましい。
中間層Ｂに用いられる粒子としては、上述の「その他の粒子」と同様の物が挙げられ、好ましい範囲も同様である。
なお、「実質的に含有しない」とは、意図して含有しないという意味であり、具体的には、粒子の含有量（粒子濃度）が質量割合で２００ｐｐｍ以下、より好ましくは１５０ｐｐｍ以下のことを指す。

本発明において、本フィルムの中間層Ｂは、再生ポリエステル原料を含有してもよく、係る場合には、５０質量％以上含有することが好ましく、７０質量％以上含有することが好ましく、９０質量％以上含有することが更に好ましく、１００質量％であることがより更に好ましい。中間層Ｂが再生ポリエステル原料を上記範囲で含有することにより、例えばＣＯ_２排出量を削減することができ、環境への負荷低減に寄与することができる。

また、表面層Ａ及び表面層Ｃそれぞれにおいて、チタン化合物を触媒として重縮合されたポリエステルを使用することで触媒起因の異物を低減化することができ、高い表面平滑性を具備させることができる。

≪好ましい態様１≫
本フィルムの好ましい態様１は、本発明のポリエステルフィルムの表面（Ａ）を、セラミックグリーンシートを積層する面とは反対面側に用いる場合に関する。係る場合、一方の表面（Ａ）を形成する表面層Ａ、中間層Ｂ、他方の面を形成する表面層ＣのＡ／Ｂ／Ｃからなる３層構成において、表面層Ａが表面平滑性を保ちつつ、滑り性や加工性を付与するために粗く設計される層（粗面側）であり、表面層Ｃは表面平滑性が高くなるように設計される層（平坦側）となる。ここで、表面層Ｃの算術平均高さ（Ｓａ）及び最大山高さ（Ｓｐ）については、特に制限はないが、平滑性を高くする観点から、算術平均高さ（Ｓａ）は０．２～１０ｎｍの範囲であることが好ましく、０．３～７ｎｍの範囲であることがより好ましく、０．４～５ｎｍの範囲であることがさらに好ましい。また、最大山高さ（Ｓｐ）は５～１００ｎｍの範囲であることが好ましく、１５～７５ｎｍの範囲であることがより好ましく、２０～６０ｎｍの範囲であることがさらに好ましい。

好ましい態様１においては、表面層Ａは、アンチモン化合物及びチタン化合物の少なくともいずれかを含み、表面層Ａにおけるアンチモン化合物の含有量が質量割合で２００ｐｐｍ以下であることが好ましい。この際、表面層Ａはアンチモン化合物を含有しなくてもよい。すなわち、表面層Ａにおけるアンチモン化合物の含有量の下限値は、０ｐｐｍであるとよい。

好ましい態様１においては、表面層Ｃを構成するポリエステルの極限粘度（ＩＶ）は、０．５ｄＬ／ｇ以上であることが好ましく、０．５５ｄＬ／ｇ以上であることがより好ましく、０．６ｄＬ／ｇ以上であることが更に好ましい。また、表面層Ｃを構成するポリエステルの極限粘度（ＩＶ）の上限は、粒子の流動性の観点から、１ｄＬ／ｇ以下が好ましく、０．８５ｄＬ／ｇ以下がより好ましく、０．７５ｄＬ／ｇ以下が更に好ましい。

好ましい態様１においては、表面層Ｃは、粒子を含有してもよく、又は粒子を実質的に含有しなくてもよい。粒子の種類としては、特に制限はなく、例えば粒子（ａ２）に例示されている粒子や、アルミナ粒子を挙げることができる。
粒子を含有する場合には、粒子の含有量は、表面平滑性の観点から、質量割合で１０００ｐｐｍ以下が好ましく、９００ｐｐｍ以下がより好ましく、８００ｐｐｍ以下が更に好ましい。

≪好ましい態様２≫
本フィルムの好ましい態様２は、本発明のポリエステルフィルムの表面（Ａ）を、セラミックグリーンシートを積層する面側に用いる場合に関する。係る場合、一方の表面（Ａ）を形成する表面層Ａ、中間層Ｂ、他方の面を形成する表面層ＣのＡ／Ｂ／Ｃからなる３層構成において、表面層Ａは表面平滑性が高くなるように設計される層（平坦側）であり、表面層Ｃは表面平滑性を保ちつつ、滑り性や加工性を付与するために粗く設計される層（粗面側）となる。

好ましい態様２においては、表面層Ｃが少なくとも１つの無機粒子を含有することが好ましく、フィルムの滑り性を付与する観点から、当該無機粒子の平均粒径は０．１～１．５μｍが好ましく、０．３～１．２μｍがより好ましく、０．５～１μｍが更に好ましい。
無機粒子の種類としては、特に制限はなく、例えばシリカ、アルミナ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン及び酸化チタン等の無機粒子が挙げられる。

また、粒子は、粒度分布が狭い略均一な平均粒径を有する（いわゆる単分散性を有する）粒子であることが特に好ましい。
粒度分布が狭い略均一な平均粒径を有する粒子としては、該粒子の粒度分布において、累積個数が１０％となる粒子径をＤ１０、累積個数が５０％となる粒子径をＤ５０、累積個数が９０％となる粒子径をＤ９０としたときに、（Ｄ９０－Ｄ１０）／Ｄ５０が０．４以下となる粒子が好ましく、０．２以下となる粒子が特に好ましい。
係る関係式（Ｄ９０－Ｄ１０）／Ｄ５０は、Ｄ５０を基準とした粒子径のバラツキを示すものであり、（Ｄ９０－Ｄ１０）／Ｄ５０が０．４以下の粒子は、Ｄ９０とＤ１０との差が小さいシャープな粒度分布を有するものであり、本フィルムに対して、優れた取り扱い性を維持しながら、極めて高い平滑性を付与することがでる。
前記粒子の粒度分布は、レーザー回折式測定装置によって測定される。より具体的には、粒子にフェノール／テトラクロロエタン＝２／３の混合溶剤を添加した固形分０．０３ｇ／ｍＬの分散液を調製し、当該分散液について、マイクロトラックベル社製「ＭＴ３３００ＥＸII」を用いてレーザー回折散乱法により、累積個数が１０％となる粒子径Ｄ１０、累積個数が５０％となる粒子径Ｄ５０及び累積個数が９０％となる粒子径Ｄ９０を測定し、（Ｄ９０－Ｄ１０）／Ｄ５０を算出する。

好ましい態様２においては、表面層Ｃは、本フィルムの取り扱い性を向上させる観点から、平均粒径の異なる２種類以上の粒子を含むことが好ましい。
係る場合には、平均粒径の異なる２種類以上の粒子の平均粒径の差の最大値は、凹凸によるピンホール発生を抑制する観点から、１．５μｍ以下が好ましく、１μｍ以下がより好ましく、０．５μｍ以下が更に好ましい。なお、下限値は、０．１μｍ以上が好ましい。平均粒径の差が０．１μｍ以上であることで、ポリエステルフィルム表面の滑り性を向上し易く、本フィルムの取り扱い性を向上し易くできる。

好ましい態様２においては、表面層Ｃに含まれる粒子の含有量は、表面平滑性を保ちつつ、滑り性や加工性を付与する観点から、質量割合で３０００～８０００ｐｐｍが好ましく、４０００～７５００ｐｐｍがより好ましく、５０００～７０００ｐｐｍがさらに好ましい。

（ポリエステルフィルムの製造方法）
以下、本フィルムの製造方法の一例を示す。
まず、公知の方法により、原料、例えばポリエステルチップを押出機に供給し、それぞれのポリマーの融点以上に加熱し、溶融ポリマーをダイから押し出し、回転冷却ドラム上でポリマーのガラス転移点以下の温度となるように冷却固化し、実質的に非晶状態の未配向シートを得るようにすればよい。

次に、当該未配向シートを、一方向にロール又はテンター方式の延伸機により延伸する。この際、延伸温度は、通常２５～１２０℃、好ましくは３５～１００℃であり、延伸倍率は通常２．５～７倍、好ましくは２．８～６倍である。

次いで、一段目の延伸方向と直交する方向に延伸する。この際、延伸温度は通常５０～１４０℃であり、延伸倍率は通常３～７倍、好ましくは４倍以上であり、より好ましくは４．５～５倍である。

そして、引き続き１８０～２２０℃の温度で緊張下又は３０％以内の弛緩下で熱固定処理を行い、二軸配向フィルムとしての本フィルムを得ることができる。この熱固定処理は、温度の異なる２段以上の工程で行ってもよい。
また、熱固定処理の後に冷却ゾーンにて冷却を行ってもよい。冷却温度は、ポリエステルフィルムを構成するポリエステル樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）より高い温度であることが好ましく、より具体的には、１００～１６０℃の範囲であることが好ましい。この冷却は、温度の異なる２段以上の工程で行ってもよい。
なお、前記の延伸においては、一方向の延伸を２段階以上で行う方法を採用することもできる。

本フィルムの厚さは、好ましくは１５μｍ以上３８μｍ以下、より好ましくは１９μｍ以上３２μｍ以下である。本フィルムの厚さが前記範囲であれば、積層セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体として好適に用いられる。

＜離型層＞
本フィルムは、少なくとも片面に離型層を有する形態で使用することが可能である。
当該離型層は、表面（Ａ）を、セラミックグリーンシートを積層する面側に用いる場合には、表面（Ａ）上に積層されていることが好ましい。一方、表面（Ａ）を、セラミックグリーンシートを積層する面とは反対面側に用いる場合には、当該離型層は、表面（Ａ）とは反対面上に積層されていることが好ましい。

前記離型層は、直接又は他の層を介してポリエステルフィルムに積層される。
他の層としては、例えば、本フィルムへの密着性を改良するための易接着コート層の他、帯電防止層やブロッキング防止層等を挙げることができる。

前記離型層は、離型剤を含む離型剤組成物から形成されるが、良好な離型性能を得る観点から、とりわけ、該離型剤組成物中にシリコーン樹脂を含有することが好ましい。具体的には、硬化型シリコーン樹脂を主成分とするタイプや、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂等の有機樹脂とのグラフト重合等による変性シリコーンタイプ、或いはフルオロシリコーン樹脂等を含有することが好ましい。中でも、前記離型層が、硬化型シリコーン樹脂を含有することがより好ましい。

前記硬化型シリコーン樹脂としては、付加型、縮合型等の熱硬化型や紫外線硬化型等の電子線硬化型等、既存のいずれの硬化反応タイプでも用いることができ、また複数種類の硬化型シリコーン樹脂を併用して使用してもよい。
また、離型層を形成する際の硬化型シリコーン樹脂の塗工形態にも特に制限はなく、有機溶剤に溶解している形態、水系エマルジョンの形態、無溶剤の形態のいずれであってもよい。

前記離型層を形成する離型剤組成物には、その他にも、必要に応じてバインダー、消泡剤、塗布性改良剤、増粘剤、無機系粒子、有機系粒子、有機系潤滑剤、帯電防止剤、導電剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、発泡剤、染料及び顔料等が含有されてもよい。

離型層の形成は、本フィルムに離型剤組成物をコーティングすることにより設けられ、フィルム製膜工程内で行うインラインコーティング、或いは、一旦製造したフィルム上に系外で塗布する、いわゆるオフラインコーティングのいずれを採用してもよい。

本フィルム上に離型層を設ける方法としては、リバースグラビアコート、ダイレクトグラビアコート、ロールコート、ダイコート、バーコート、カーテンコート等、従来公知の塗工方式を挙げることができる。

離型層を形成する際の硬化条件に関しては、特に限定されるわけではなく、オフラインコーティングにより離型層を設ける場合、通常、８０℃以上で１０秒間以上、好ましくは１００～２００℃で３～４０秒間、より好ましくは１２０～１８０℃で３～４０秒間を目安として熱処理を行うのがよい。

また、必要に応じて熱処理と紫外線照射等の活性エネルギー線照射とを併用してもよい。
なお、活性エネルギー線照射による硬化のためのエネルギー源としては、公知の装置、エネルギー源を用いることができる。

離型層の塗工量（乾燥後）は塗工性の面から、通常、０．００５～５ｇ／ｍ^２、好ましくは０．００５～１ｇ／ｍ^２、より好ましくは０．００５～０．１ｇ／ｍ^２の範囲である。塗工量（乾燥後）が０．００５ｇ／ｍ^２以上であると塗工性が良く安定性が良好となり、均一な塗膜を得やすい。一方、５ｇ／ｍ^２以下であると、離型層自体の塗膜密着性、硬化性等が低下することがない。
なお、塗工量は、塗布した時間あたりの液質量（乾燥前）、塗工液不揮発分濃度、塗布幅、延伸倍率、ライン速度等から計算で求める。

＜用途＞
本フィルムは、各種の離型用途に好適に用いることができる。
例えばドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）用、多層回路基板用、積層セラミックコンデンサーのセラミックグリーンシート製造用等の各種離型・工程用途として使用できる。本フィルムは、離型用途、工程用途では、例えば支持体として使用され、例えば支持体上にセラミックスラリー等の様々な材料が塗布、積層等されるとよい。

とりわけ、本フィルムは、前述したように、粒子の凝集が抑えられ、フィルム表面に精密制御された微細な凹凸が形成されており、ピンホールなどの欠陥の発生も抑えられ、セラミックグリーンシートの薄膜化へ対応できることから、積層セラミックコンデンサーの製造工程において、セラミックグリーンシートの支持体として好適に用いることができる。

また、今後、電装化が進む自動車向け積層セラミックコンデンサーにおいては、とりわけ、当該コンデンサーの小型化・高容量化に伴い、使用するセラミックグリーンシートの薄膜化が進行していくと予測される。
したがって、とりわけ、本フィルムは、自動車向け積層セラミックコンデンサーに用いるセラミックグリーンシート用支持体として好適に用いることができる。

［語句の説明］
本発明においては、「フィルム」と称する場合でも「シート」を含むものとし、「シート」と称する場合でも「フィルム」を含むものとする。
本発明において、「Ｘ～Ｙ」（Ｘ、Ｙは任意の数字）と記載した場合、特にことわらない限り「Ｘ以上Ｙ以下」の意と共に、「好ましくはＸより大きい」或いは「好ましくはＹより小さい」の意も包含するものである。
また、「Ｘ以上」（Ｘは任意の数字）と記載した場合、特にことわらない限り「好ましくはＸより大きい」の意を包含し、「Ｙ以下」（Ｙは任意の数字）と記載した場合、特にことわらない限り「好ましくはＹより小さい」の意も包含するものである。

以下、実施例及び比較例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。また、「ｐｐｍ」は「質量ｐｐｍ」である。

＜ポリエステル原料＞
本発明で用いたポリエステル原料を表１に示す。表１に記載のポリエステル原料Ａ～Ｉは、いずれもホモポリエチレンテレフタレートである。なお、表１～３中「ｐｐｍ」は「質量ｐｐｍ」である。

＜第１態様＞
第１態様（上記好ましい態様１）においては、本発明のポリエステルフィルムの表面（Ａ）を、セラミックグリーンシートを積層する面とは反対面側に用いる場合に関する。

（実施例１－１）
ポリエステルＢを３０％、ポリエステルＣを４０％及びポリエステルＤを３０％の質量割合でブレンドした原料を表面層Ａの原料とし、ポリエステルＢが１００％の原料を中間層Ｂの原料とし、ポリエステルＢが１００％の原料を表面層Ｃの原料として、ベント付き押出機に供給し、２８０℃で溶融押出した後、表面層Ａ、Ｃの原料を最外層（表面層）、中間層Ｂを中間層とする３種３層（Ａ／Ｂ／Ｃ）の層構成で、押出条件で厚み構成比がＡ／Ｂ／Ｃ＝１／１８／２となるよう共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を２０℃に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得た。
次いで、ロール周速差を利用してフィルム温度８６℃で縦方向に、すなわちＭＤ方向に３．５倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちＴＤ方向に１０５℃で４．５倍延伸し、テンター内の熱処理（固定）ゾーン１、２、３、冷却ゾーン４において、それぞれ１７０℃、２３０℃、２３０℃、１４０℃で熱処理を行い、厚さ２１μｍのポリエステルフィルムを得た。

（実施例１－２）
ポリエステルＢを４０％、ポリエステルＣを１０％及びポリエステルＦを５０％の質量割合でブレンドした原料を表面層Ａの原料とし、ポリエステルＢが１００％の原料を中間層Ｂの原料とし、ポリエステルＢを９０％及びポリエステルＣを１０％の質量割合でブレンドした原料を表面層Ｃの原料として、ベント付き押出機に供給し、２８０℃で溶融押出した後、表面層Ａ、Ｃの原料を最外層（表面層）、中間層Ｂを中間層とする３種３層（Ａ／Ｂ／Ｃ）の層構成で、押出条件で厚み構成比がＡ／Ｂ／Ｃ＝２／２７／２となるよう共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を２０℃に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得た。
次いで、ロール周速差を利用してフィルム温度８６℃で縦方向に、すなわちＭＤ方向に３．５倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちＴＤ方向に１０５℃で４．５倍延伸し、テンター内の熱処理（固定）ゾーン１、２、３、冷却ゾーン４において、それぞれ１７０℃、２３０℃、２３０℃、１４０℃で熱処理を行い、厚さ３１μｍのポリエステルフィルムを得た。

（実施例１－３～１－４）
実施例１－２において、アルミナ粒子の含有量を変更する以外は、実施例１－２と同様にして製造し、厚さ３１μｍのポリエステルフィルムを得た。

（比較例１－１）
実施例１－１において、アルミナ粒子を併用しない以外は、実施例１－１と同様にして製造し、厚さ２１μｍのポリエステルフィルムを得た。

（比較例１－２）
実施例１－１において、アルミナ粒子を球状シリカ粒子に変更する以外は、実施例１－１と同様にして製造し、厚さ２１μｍのポリエステルフィルムを得た。

（比較例１－３）
実施例１－２において、アルミナ粒子を併用しない以外は、実施例１－２と同様にして製造し、厚さ３１μｍのポリエステルフィルムを得た。

＜第２態様＞
第２態様（上記好ましい態様２）においては、本発明のポリエステルフィルムの表面（Ａ）を、セラミックグリーンシートを積層する面に用いる場合に関する。

（実施例２－１）
ポリエステルＢを７８％、ポリエステルＣを４％及びポリエステルＥを１８％の質量割合でブレンドした原料を表面層Ａの原料とし、ポリエステルＡが１００％の原料を中間層Ｂの原料とし、ポリエステルＡを２８％、ポリエステルＧを５０％及びポリエステルＨを２２％の質量割合でブレンドした原料を表面層Ｃの原料として、ベント付き押出機に供給し、２８０℃で溶融押出した後、表面層Ａ、Ｃの原料を最外層（表面層）、中間層Ｂを中間層とする３種３層（Ａ／Ｂ／Ｃ）の層構成で、押出条件で厚み構成比がＡ／Ｂ／Ｃ＝４／２５／２となるよう共押出し、静電印加密着法を用いて表面温度を２０℃に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得た。
次いで、ロール周速差を利用してフィルム温度８６℃で縦方向に、すなわちＭＤ方向に３．５倍延伸した後、この縦延伸フィルムをテンターに導き、横方向、すなわちＴＤ方向に１０５℃で４．５倍延伸し、テンター内の熱処理（固定）ゾーン１、２、３、冷却ゾーン４において、それぞれ１７０℃、２３０℃、２３０℃、１４０℃で熱処理を行い、厚さ３１μｍのポリエステルフィルムを得た。

（比較例２－１）
実施例２－１において、アルミナ粒子を併用しない以外は、実施例１－２と同様にして製造し、厚さ３１μｍのポリエステルフィルムを得た。

（実施例２－２）
実施例２－１において、表面層Ａのポリエステル原料を表３に記載のとおりとし、中間層Ｂのポリエステル原料として、ポリエステルＡ５０質量％及び再生原料５０質量％のブレンド物を使用し、粒子（ａ２）であるシリカ粒子の含有量を９００ｐｐｍとしたこと以外は、実施例２－２と同様にして厚さ３１μｍのポリエステルフィルムを得た。なお、中間層Ｂに使用した再生原料は下記の通りである。

＜再生原料＞
実施例２－１において、粒子（ａ２）であるシリカ粒子の含有量を９００ｐｐｍとしたこと以外は実施例２－１と同様にして製造したポリエステルフィルムの、端材を回収・再原料化した再生原料である。

（実施例２－３）
実施例２－１において、表面層Ａのポリエステル原料を表３に記載のとおりとし、粒子（ａ１）であるアルミナ粒子の含有量を６００ｐｐｍとし、粒子（ａ２）であるシリカ粒子の含有量を６００ｐｐｍとしたこと以外は、実施例２－１と同様にして厚さ３１μｍのポリエステルフィルムを得た。

（実施例２－４）
実施例２－１において、表面層Ａのポリエステル原料を表３に記載のとおりとし、粒子（ａ２）であるシリカ粒子の平均粒径を０．３μｍ、含有量を３００ｐｐｍとしたこと以外は、実施例２－１と同様にして厚さ３１μｍのポリエステルフィルムを得た。

（比較例２－２）
実施例２－４において、表面層Ａのポリエステル原料を表３に記載のとおりとし、粒子（ａ１）であるアルミナ粒子を用いなかったこと以外は、実施例２－４と同様にして厚さ３１μｍのポリエステルフィルムを得た。

（比較例２－３）
実施例２－２において、表面層Ａのポリエステル原料を表３に記載のとおりとし、粒子（ａ１）であるアルミナ粒子を用いなかったこと、粒子（ａ２）であるシリカ粒子の含有量を６００ｐｐｍとしたこと以外は、実施例２－２と同様にして厚さ３１μｍのポリエステルフィルムを得た。

＜測定及び評価方法＞
実施例及び比較例で用いた測定及び評価方法は、次の通りである。
第１態様についての測定及び評価結果は、表２にまとめた。
第２態様についての測定及び評価結果は、表３にまとめた。

（１）極限粘度（ＩＶ）
ポリエステル１ｇを精秤し、フェノール／テトラクロロエタン＝５０／５０（質量比）の混合溶媒１００ｍＬを加えて溶解させ、粘度（ＩＶ）測定装置（離合社製「ＶＭＳ－０２２ＵＰＣ・Ｆ１０」）を用いて、３０℃で測定した。

（２）粒子の平均粒径及び粒度分布
ポリエステルに含有される粒子の平均粒径については、株式会社島津製作所製の遠心沈降式粒度分布測定装置（ＳＡ－ＣＰ４）を用いて測定した等価球形分布における積算体積分率５０％の粒径を平均粒径ｄ５０とした。

（３）算術平均高さ（Ｓａ）、最大山高さ（Ｓｐ）、クルトシス（Ｓｋｕ）、及びスキューネス（Ｓｓｋ）
表面粗さ測定器（アメテック株式会社製、「ＮｅｗＶｉｅｗ」（登録商標））を用いて実施例及び比較例のフィルムの表面層Ａの表面、及び表面層Ｃの表面を測定し、得られた表面のプロファイル曲線より、算術平均高さ（Ｓａ）、最大山高さ（Ｓｐ）を求めた。
また、各実施例及び比較例のフィルムの表面層Ａについては、得られた表面のプロファイル曲線より、クルトシス（Ｓｋｕ）及びスキューネス（Ｓｓｋ）を求めた。なお、クルトシス（Ｓｋｕ）及びスキューネス（Ｓｓｋ）とは、面粗さパラメーター（ＩＳＯ ２５１７８）の一つである。

表２及び表３の結果より、本発明のポリエステルフィルムは、特定の粒子を併用することにより、粒子の凝集を抑えることで、フィルム表面に形成される微細な凹凸がより精密に制御されている。
より具体的には、算術平均高さ（Ｓａ）を維持した状態で、最大山高さ（Ｓｐ）が小さい状態であることから、粗大突起の発生が抑制できており、例えば、セラミックグリーンシートの支持体として用いることで、ピンホールなどの欠陥の発生を抑制し、セラミックグリーンシートの薄膜化が可能となる利点を有する。

また、実施例及び比較例のフィルムを比較すると、特定の粒子を併用することで、表面（Ａ）のクルトシス（Ｓｋｕ）やスキューネス（Ｓｓｋ）が低減傾向にある。これは、粒子（ａ１）の分散性向上効果により凝集が抑制されて、粗大突起が少なくなったことにより、尖度や偏りがならされた、従来よりも微細な凹凸が形成されたフィルムになったためだと考えている。

一方、比較例のフィルムは、粒子（ａ１）を併用していないため、分散性が低下したことにより、最大山高さ（Ｓｐ）を低減しきれておらず、セラミックグリーンシートの製造に用いることが難しいことが確認された。

本発明のポリエステルフィルムは、粒子の凝集を抑えることで、フィルム表面の微細な凹凸形成の精密制御が可能である利点を有する。更に、積層セラミックコンデンサーの製造工程において、セラミックグリーンシートの支持体として用いれば、均一な薄膜の誘電体層を形成することができる。とりわけ、自動車向け積層セラミックコンデンサーに用いるセラミックグリーンシート用支持体として好適に用いることができる。

Claims (19)

1. 一方の表面（Ａ）が、少なくとも粒子（ａ１）及び粒子（ａ２）を含み、
   前記粒子（ａ１）が、アルミナ粒子であり、
   前記粒子（ａ２）が、前記粒子（ａ１）以外の粒子であり、
   前記表面（Ａ）が、以下の（１）及び（２）の要件を満足する、ポリエステルフィルム。
   （１）算術平均高さ（Ｓａ）が１～１５ｎｍであること。
   （２）最大山高さ（Ｓｐ）が１５０ｎｍ以下であること。
2. 一方の表面（Ａ）が、少なくとも粒子（ａ１）及び粒子（ａ２）を含み、
   前記表面（Ａ）が、以下の（１）及び（２）の要件を満足し、
   前記粒子（ａ１）及び（ａ２）のｐＨ７におけるゼータ電位が、以下の（３）又は（４）の要件を満足する、ポリエステルフィルム。
   （１）算術平均高さ（Ｓａ）が１～１５ｎｍであること。
   （２）最大山高さ（Ｓｐ）が１５０ｎｍ以下であること。
   （３）前記粒子（ａ１）が正の値であり、前記粒子（ａ２）が負の値であること。
   （４）前記粒子（ａ１）が負の値であり、前記粒子（ａ２）が正の値であること。
3. 前記粒子（ａ１）の平均粒径が、前記粒子（ａ２）の平均粒径よりも小さい、請求項１又は２に記載のポリエステルフィルム。
4. 前記粒子（ａ１）がアルミナ粒子である、請求項１又は２に記載のポリエステルフィルム。
5. 前記粒子（ａ１）の平均粒径が０．０１～１μｍである、請求項１又は２に記載のポリエステルフィルム。
6. 前記粒子（ａ２）の平均粒径が、０．０５～１μｍである、請求項１又は２に記載のポリエステルフィルム。
7. 前記粒子（ａ２）が、有機粒子又はシリカ粒子のいずれかである、請求項１又は２に記載のポリエステルフィルム。
8. 前記粒子（ａ１）及び前記粒子（ａ２）の合計含有量が、含有させる層に対して、質量割合で３００～１００００ｐｐｍである、請求項１又は２に記載のポリエステルフィルム。
9. 前記粒子（ａ１）の含有量が、含有させる層に対して、質量割合で１００～５０００ｐｐｍである、請求項１又は２に記載のポリエステルフィルム。
10. 前記粒子（ａ２）の含有量が、含有させる層に対して、質量割合で１００～８０００ｐｐｍである、請求項１又は２に記載のポリエステルフィルム。
11. 前記表面（Ａ）の最大山高さ（Ｓｐ）と算術平均高さ（Ｓａ）の比（Ｓｐ／Ｓａ）が、２５以下である、請求項１又は２に記載のポリエステルフィルム。
12. 少なくとも２層からなる、請求項１又は２に記載のポリエステルフィルム。
13. ３層構成からなる、請求項１又は２に記載のポリエステルフィルム。
14. 前記３層構成の中間層が、実質的に粒子を含有しない、請求項１３に記載のポリエステルフィルム。
15. 前記表面（Ａ）の反対側の面に、表面層Ｃを有する、請求項１又は２に記載のポリエステルフィルム。
16. 少なくとも片面に離型層を有する、請求項１又は２に記載のポリエステルフィルム。
17. 前記離型層が、硬化型シリコーン樹脂を含有する、請求項１６に記載のポリエステルフィルム。
18. 積層セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体として用いられる、請求項１又は２に記載のポリエステルフィルム。
19. 自動車セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体として用いられる、請求項１又は２に記載のポリエステルフィルム。