JP2024028096A - 半導体工程用反応副産物捕集装置の迅速交換による工程停止ロス減縮システム - Google Patents
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Abstract
Description
また、洗浄のために撤去された捕集装置は、内部に設置された内部収集タワーを分離した後、内部収集タワーと捕集装置ハウジングの内部に捕集又は固着された反応副産物を綺麗に洗浄し、洗浄された捕集装置は、再び前段のプロセスチャンバー及び後段の真空ポンプに連結して再装着する工程を経る。
このような工程中断は、半導体生産工程において多くの時間がかかるため、結果として半導体生産コストが上がるという構造的な問題点がある。
排気ガスまたは不活性ガスの流路を切り換える方向切換バルブと、
方向切換バルブの流路切換に応じて排気ガスの供給を受けて反応副産物を捕集する内部捕集装置が備えられた捕集装置と、
方向切換バルブの流路切換に応じて不活性ガスの供給を受けて排気配管へ供給するバイパス配管と、
開閉作動によって捕集装置から排気ガスまたは不活性ガスのうちのいずれか一つの供給を受けて、後段の真空ポンプに連結された排気配管へ供給するか或いは遮断するヒーティングゲートバルブと、
前記方向切換バルブの流路方向設定及びヒーティングゲートバルブの開閉を制御する捕集システム制御部と、を含むことを特徴とする、半導体工程用反応副産物捕集装置の迅速交換による工程停止ロス減縮システムを提供する。
また、捕集装置2の交換の際には、方向切換バルブ1に対して流路が閉鎖されて排気ガス12の供給が遮断される。
例えば、捕集装置を構成するハウジングの内部に、様々な捕集プレート間の組み合わせからなる構造のうちのいずれか一つを有する内部捕集タワーのうちのいずれか一つが備えられ、排気ガス12中に含まれている反応副産物を捕集することが可能な構造であればよく、排気ガスの温度を維持して捕集装置(Trap)引き込み部の詰まりを防止するとともに反応副産物を捕集するための適切な温度設定の役目をするヒーターは、状況に応じて備えられた捕集装置を使用してもよく、使用しなくてもよい。また、選択的にハウジングまたは内部捕集装置に冷却手段を備えて内部温度を調節することが可能な手段を備えてもよい。
このような捕集システム制御部5の流路制御によって、捕集装置2は迅速に交換される。
(A)プロセスチャンバーで半導体製造工程を行うステップと、
(B)プロセスチャンバー圧力検知ステップと、
(C)半導体製造工程のアイドリング状態切換後、不活性ガスをプロセスチャンバーに供給するステップと、
(D)捕集制御部が方向切換バルブの切換及びヒーティングゲートバルブの遮断制御によってバイパス配管へ不活性ガスを供給するステップと、
(E)捕集装置交換ステップと、
(F)捕集制御部が方向切換バルブの切換及びヒーティングゲートバルブの開放制御を介して捕集装置へ不活性ガスを供給するステップと、
(G)プロセスチャンバーへのプロセスガスの投入によって半導体製造工程を行うステップと、
(H)捕集装置がプロセスチャンバーからの排気ガスの中から反応副産物の捕集を続行するステップと、を経る。
2 捕集装置
3 バイパス配管
4 ヒーティングゲートバルブ
5 捕集システム制御部
6 プロセスチャンバー
7 プロセスチャンバー設備制御部
8 真空ポンプ
9 スクラバー
10 プロセスガス
11 不活性ガス
12 排気ガス
21 排気配管
Claims (8)
- 半導体工程のプロセスチャンバーから排出された排気ガスの中から反応副産物を捕集する捕集装置を含む工程停止ロス減縮システムであって、
排気ガスまたは不活性ガスの流路を切り換える方向切換バルブと、
方向切換バルブの流路切換に応じて排気ガスの供給を受けて反応副産物を捕集する内部捕集装置が備えられた捕集装置と、
方向切換バルブの流路切換に応じて不活性ガスの供給を受けて排気配管へ供給するバイパス配管と、
開閉作動によって前記捕集装置から排気ガスまたは不活性ガスのうちのいずれか一つの供給を受けて、後段の真空ポンプに連結された前記排気配管へ供給するか或いは遮断するヒーティングゲートバルブと、
前記方向切換バルブの流路方向設定及び前記ヒーティングゲートバルブの開閉を制御する捕集システム制御部と、を含むことを特徴とする、半導体工程用反応副産物捕集装置の迅速交換による工程停止ロス減縮システム。 - 前記方向切換バルブは、前記捕集システム制御部によって流路が自動的に切り換えられるように構成され、供給される排気ガスを前記捕集装置に供給するか、或いは供給される不活性ガスを前記捕集装置または前記バイパス配管へ供給するように構成されたことを特徴とする、請求項1に記載の半導体工程用反応副産物捕集装置の迅速交換による工程停止ロス減縮システム。
- 前記捕集装置は、交換後に前記方向切換バルブの流路切換に応じて前記プロセスチャンバーから不活性ガスの供給を受けた後、排気ガスの供給を受けて反応副産物を捕集するように構成されたことを特徴とする、請求項1に記載の半導体工程用反応副産物捕集装置の迅速交換による工程停止ロス減縮システム。
- 前記バイパス配管は、前記ヒーティングゲートバルブの下部の前記排気配管に連結されるように構成されたことを特徴とする、請求項1に記載の半導体工程用反応副産物捕集装置の迅速交換による工程停止ロス減縮システム。
- 前記ヒーティングゲートバルブは、平常時には温度を上げて、前記ヒーティングゲートバルブに反応副産物が形成されることを防止することにより、前記工程停止ロス減縮システムの動作をスムーズにするように構成されたことを特徴とする、請求項1に記載の半導体工程用反応副産物捕集装置の迅速交換による工程停止ロス減縮システム。
- 前記捕集システム制御部は、平常時には前記方向切換バルブ及び前記ヒーティングゲートバルブの流路が捕集装置と連通するように制御し、プロセスチャンバー設備制御部が前記捕集装置または前記プロセスチャンバーの圧力変動を検知した後、不活性ガスを前記プロセスチャンバーにプロセスガスの代わりに供給すると、前記プロセスチャンバー設備制御部と信号が連動した前記捕集システム制御部は、前記方向切換バルブの流路を前記捕集装置から前記バイパス配管に切り換え、前記ヒーティングゲートバルブの流路を遮断して不活性ガスが前記バイパス配管を介して前記ヒーティングゲートバルブの下部の前記排気配管へ供給するように制御することにより、前記捕集装置が交換できるように構成されたことを特徴とする、請求項1に記載の半導体工程用反応副産物捕集装置の迅速交換による工程停止ロス減縮システム。
- 前記捕集システム制御部は、前記捕集装置の交換が終了すると、遮断されていた前記ヒーティングゲートバルブが前記捕集装置に連結されて流路流れが開放されるように制御し、前記方向切換バルブの流路を前記バイパス配管から前記捕集装置側へ切り換えられるように制御して、前記プロセスチャンバーから排出される不活性ガスを前記捕集装置を介して後段の前記真空ポンプ側へ排出させ、以後、前記プロセスチャンバーが半導体を生産する工程を再開して、前記捕集装置が排気ガスの供給を受けて反応副産物を捕集した後、残りの排気ガスを排出すると、後段の前記真空ポンプ側へ排出させるように構成したことを特徴とする、請求項1に記載の半導体工程用反応副産物捕集装置の迅速交換による工程停止ロス減縮システム。
- 前記半導体工程用反応副産物捕集装置の迅速交換による工程停止ロス減縮システムは、前記プロセスチャンバーの設備の稼働を中止することなく製造中の前記プロセスチャンバー内の半導体ウエハー製造工程環境を維持した(idle)状態で前記捕集装置が交換されるように構成されたことを特徴とする、請求項1に記載の半導体工程用反応副産物捕集装置の迅速交換による工程停止ロス減縮システム。
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