JP2023552481A - 酸化イットリウムで被覆された耐熱金属部品 - Google Patents
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 10
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 title description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 9
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 51
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 51
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 16
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 15
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 claims description 13
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000007581 slurry coating method Methods 0.000 claims description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 5
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 claims description 2
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 16
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 13
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 11
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 10
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 8
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 5
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 5
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 5
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 4
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 4
- 238000012864 cross contamination Methods 0.000 description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 2
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 2
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010067482 No adverse event Diseases 0.000 description 1
- 208000034809 Product contamination Diseases 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CAVCGVPGBKGDTG-UHFFFAOYSA-N alumanylidynemethyl(alumanylidynemethylalumanylidenemethylidene)alumane Chemical compound [Al]#C[Al]=C=[Al]C#[Al] CAVCGVPGBKGDTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJKRCWUQJZIWQB-UHFFFAOYSA-N azane;chromium Chemical compound N.[Cr] SJKRCWUQJZIWQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LGLOITKZTDVGOE-UHFFFAOYSA-N boranylidynemolybdenum Chemical compound [Mo]#B LGLOITKZTDVGOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 1
- 229910000421 cerium(III) oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- UFGZSIPAQKLCGR-UHFFFAOYSA-N chromium carbide Chemical compound [Cr]#C[Cr]C#[Cr] UFGZSIPAQKLCGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000000383 hazardous chemical Substances 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003470 tongbaite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C24/00—Coating starting from inorganic powder
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C24/00—Coating starting from inorganic powder
- C23C24/02—Coating starting from inorganic powder by application of pressure only
- C23C24/04—Impact or kinetic deposition of particles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C2/00—Hot-dipping or immersion processes for applying the coating material in the molten state without affecting the shape; Apparatus therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/14—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on silica
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C24/00—Coating starting from inorganic powder
- C23C24/08—Coating starting from inorganic powder by application of heat or pressure and heat
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C26/00—Coating not provided for in groups C23C2/00 - C23C24/00
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/40—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using liquids, e.g. salt baths, liquid suspensions
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M8/00—Fuel cells; Manufacture thereof
- H01M8/04—Auxiliary arrangements, e.g. for control of pressure or for circulation of fluids
- H01M8/04082—Arrangements for control of reactant parameters, e.g. pressure or concentration
- H01M8/04089—Arrangements for control of reactant parameters, e.g. pressure or concentration of gaseous reactants
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- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M8/00—Fuel cells; Manufacture thereof
- H01M8/10—Fuel cells with solid electrolytes
- H01M8/12—Fuel cells with solid electrolytes operating at high temperature, e.g. with stabilised ZrO2 electrolyte
- H01M2008/1293—Fuel cells with solid oxide electrolytes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M8/00—Fuel cells; Manufacture thereof
- H01M8/06—Combination of fuel cells with means for production of reactants or for treatment of residues
- H01M8/0662—Treatment of gaseous reactants or gaseous residues, e.g. cleaning
- H01M8/0675—Removal of sulfur
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
本発明は、耐熱金属からなる部品であって、その表面が、少なくとも部分的に、Y2O3からなる層で被覆されていることを特徴とする部品、前記被覆された部品の製造、及び、高温適用での剥離剤としてのY2O3の使用、に関する。
Description
本発明は、耐熱金属からなる部品であって、その表面が少なくとも部分的にY2O3の層で被覆されていることを特徴とする、部品に関する。
本発明は、更に、前記被覆された部品の製造及び高温用途における剥離剤としてのY2O3の使用に関する。
高温設備、例えば、焼結炉、熱処理設備及び石英溶融設備では、又は照明設備及び蒸発設備でも、複数回の温度負荷及び応力負荷の後でも取り外し可能である必要のある部品が使用される。1000℃~1400℃の範囲の高温に曝された後のそのような部品の取り外し性は、特に課題となる。というのは、典型的な金属製部品は、その接触面と対向接触面で焼結する傾向、即ち、焼き付き現象の傾向、があるためである。もし、例えば、ねじ接続の場合等のように、接触面が圧力にも曝されると、接触面同士の冶金学的結合が更に促進される。その後は、接触面同士は、もはや破壊せずに互いに分離することができなくなり、分離によって、少なくとも1つの部品の損失がもたらされる。
この問題を回避するために、異なる材料の組み合わせ又はスリーブ若しくは塗布されたペースト分離層などの補助手段及び分離手段が使用される。しかしながら、これらの方法は、極端な条件下では直ぐにそれらの限界に達する。例えば、一部の補助手段及び分離手段は、それらの成分が蒸発するリスクがあるため、真空中では使用できず、及び/又は、分解を理由にそれらの使用温度が限定されている。現在、炉の建設には、例えば、Al2O3、ZrO2又は窒化ホウ素のスプレー又は粉末が使用されている。しかしながら、これらの変形例は、部品と補助手段及び分離手段との間の相互汚染が特に問題となるため、1400℃前後の温度での適用には不適切である。
粗粒で耐クリープ性のモリブデン製装填鋼板(Chargierblechen)の製造では、1700℃~1900℃の温度での再結晶アニールが必要であり、そこでは、鋼板がスタック中で部分的に焼結するため、アニール後に、最早、分離可能ではなくなる。これまでは、タングステン製薄鋼板が分離補助手段として使用されてきた。しかしながら、タングステン製薄鋼板は一度しか使用することができないため、それによって、装填鋼板の製造コストが著しく高くなる要因となることが欠点である。
特許文献1は、雄ねじを有するねじと雌ナットねじを有する部品とを備えた真空適用のためのねじ接続であって、部品若しくはねじのいずれか一方又は両方が防錆オーステナイト鋼から形成されており、基材とは異なる被覆材料で部品/ねじを被覆することによって異なる接触面対が作製され、それによって、真空を損なう潤滑剤なしで相互に滑動することを可能にする、ねじ接続に関する。
特許文献2では、第2の要素を選択的に係合するのに適切な第1の要素であって、被覆を有し、第1の要素の少なくとも係合部分がこの被覆内に被覆されており、この被覆が蒸着によって形成されていて、800℃までの温度に対して熱化学的に安定した層を提供するものである、第1の要素が提供されている。被覆は、チタン、クロム又はアルミニウムの1種以上の窒化物、酸化物又は炭化物を含み得る。例えば、被覆は、窒化チタン、窒化クロム、窒化アルミニウム、酸化チタン、酸化クロム、酸化アルミニウム、炭化チタン、炭化クロム又は炭化アルミニウムのうちの1種以上を含み得る。
高温処理の分野では、1400℃~1900℃の特に高い温度の使用がますます求められている。同時に、処理された製品の純度に対する要件もますます厳しくなっている。
従って、本発明の課題は、1000℃~1400℃、特に1900℃まで、の範囲の温度での使用後でも取り外し可能であり、他の部品若しくは処理された製品との相互汚染が生じない、被覆された部品を提供することである。
この課題は、その表面がY2O3の層で少なくとも部分的に被覆されている、耐熱金属からなる請求項1に記載の部品、その製造、及び高温適用における分離手段としてのY2O3の使用によって、解決される。本発明の有利な構成は従属請求項の対象であり、これらは互いに自由に組み合わせることができる。
Y2O3層の使用によって、相互汚染又は分解を計算する必要なく、水素又は真空中等の様々な雰囲気における部品の使用が可能になる。これらの層の塗布は、更に、部品を破壊せずに交換すること及び破壊せずに開けることをも保証する。それによって、個別部品の焼結を防止することができ、従って、これらが取り外し可能なままであることが保証される。Y2O3層によって、不純物汚染リスク/有害物質汚染リスク又は焼き付きなしで、1000℃~1400℃、特に1900℃まで、の温度適用範囲をカバーすることができ、部品/機械要素の取り外しを達成することが可能になった。
本発明によると、互いに直接接触している部品の表面を、部品を損傷することなく、再び互いに分離することができる場合は、接続は取り外し可能であり、接触している表面を再び互いに分離するために、部品を少なくとも部分的に破壊する必要がある場合は、接続は取り外し可能ではない。
本発明による被覆された部品は、特に高温適用、即ち、1000℃~2000℃、ここでは特に1400℃~1900℃の温度に適切である。
これらの温度に耐えるために、本発明の部品は耐熱金属からなる。
本発明の文脈において、耐熱金属とは、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングステン及びレニウムからなる群から選択される金属、並びに、本明細書では耐熱金属合金とも呼ばれる上記金属の合金である。耐熱金属合金は、上述の金属のうちの1種以上を、少なくとも50原子%、好ましくは少なくとも70原子%、更に好ましくは少なくとも90原子%、なおも更に好ましくは少なくとも95原子%、有する合金を意味する。
上で定義した耐熱金属の融点は、部品が使用目的の温度に適するように、選択されることは言うまでもない。好適には、耐熱金属は、1400℃超、更に好ましくは1800℃超、更に好ましくは2000℃超、の融点を有する。
一実施形態では、部品は、不可避的不純物を伴うモリブデンを、又はモリブデン合金を、含有する。
一実施形態では、合金が、モリブデンのみならず、30重量%までの上述の更なる耐熱金属元素を含有することが更に好ましい。
更なる実施形態では、モリブデンのほか、以下の重量パーセントで記載されている比率の元素からなる組成物が好ましい:
0.5重量%のTi及び0.08重量%のZr並びに0.01重量%~0.04重量%のC。1.2重量%のHf及び0.01重量%~0.04重量%のC。0.3重量%のLa2O3。0.7重量%のLa2O3。0.47重量%のY2O3及び0.08%のCe2O3。0.005~0.1重量%のK及び0.005~0.1重量%のSi並びに0.01~0.2重量%のO。5重量%のRe又は41重量%のRe。30重量%のW。更に、ここに記載されている比率が10%まで逸脱している組成も含まれる。
0.5重量%のTi及び0.08重量%のZr並びに0.01重量%~0.04重量%のC。1.2重量%のHf及び0.01重量%~0.04重量%のC。0.3重量%のLa2O3。0.7重量%のLa2O3。0.47重量%のY2O3及び0.08%のCe2O3。0.005~0.1重量%のK及び0.005~0.1重量%のSi並びに0.01~0.2重量%のO。5重量%のRe又は41重量%のRe。30重量%のW。更に、ここに記載されている比率が10%まで逸脱している組成も含まれる。
比率の記載及びデータは、それがモリブデン基材中に元素形態で存在するか結合形態で存在するかに関係なく、その都度参照される元素(例えば、Mo、C又はW)に関連する。様々な元素の比率は化学分析によって決定される。
本発明の意味合いにおける部品という用語は、個別部品(機械要素、部品)、特に、機械要素の交換又は可逆的な固定及び緩めに適切な構築手段、並びに個別部品から構成されるアセンブリを含む。適切な個別部品としては、特に、ねじ、ナット、ピン、ノックピン、ワッシャー、ボルト、鋼板、クランプ、パイプ、ロッド及びUレールが挙げられる。アセンブリとしては、特に、ガス入口パイプ、ヒーター懸架体(Heizungsaufhaengungen)並びに装填ラック等の溶接及びリベット留めされた部品が挙げられる。本発明の意味合いにおける部品という用語は、切削工具の切断部品を明示的に除外する。
製造補助手段としての好ましい部品は、分離鋼板及びワッシャー等の接触部品である。
ねじ又はナット等の、ねじ山を有する部品が構築補助手段として特に好ましい。ねじが特に好ましい。
本発明によると、部品の被覆はY2O3からなる。Y2O3層は、典型的には、Y2O3懸濁液を刷毛塗り、噴霧、印刷又は浸漬することによって部品に塗布され、その後、乾燥させられる。好適には、Y2O3懸濁液は、エタノールベースの懸濁液である。
好ましくは、Y2O3懸濁液は、水素雰囲気中、約1800℃で2~6時間かけて部品上に焼結される。これによって、初期層接着性が改善される。
被覆された部品は、10μm~150μm、好ましくは20μm~110μm、更に好ましくは40μm~80μm、尚も好ましくは50μm~70μmの範囲の厚さを有するY2O3層を有する。層の厚さは、被覆された部品の断面の横方向でのREM測定によって決定することができる。部品は、典型的には、他の材料からなる更なる層を有しない。例えば促進するために追加の層が存在する場合、Y2O3層は、被覆された部品の最外層である。
典型的には、この層は、他の部品と接触する、被覆された部品の表面に完全に被覆されている。部品の改善された取り外し性を達成するためには、この層を、被覆された部品の、他の部品と接触する表面に部分的にだけ適用すれば、既に十分である。
他の部品と接触する、被覆された部品の表面の20~100%、更に好ましくは50~100%、が、この層で被覆されていることが好ましい。
本発明は、高温領域で部品が使用された後に、その部品の他の部品からの良好な取り外し性が要求される場合には、どこででも、使用することができる。従って、高温適用における部品の取り外し性を改善するための分離手段としてのY2O3の使用も同様に本発明の対象である。好適には、酸化イットリウムは、好適には耐熱金属からなる部品上で、スラリーコーティングによって塗布された層の形態で使用される。
本発明の更なる利点は、実施例の以下の説明に基づいて明らかとなる。
[実施例1:ねじ接続]
TZMプレート(0.5のTi及び0.08のZr並びに0.01~0.04のCの重量分率を有するモリブデン)140×80×9mm、M6ねじ山を有するフライス加工した長さ9mmの貫通穴
モリブデンワッシャー:18×6、4×1.5mm
モリブデンねじ:M6×12mm
TZMプレート(0.5のTi及び0.08のZr並びに0.01~0.04のCの重量分率を有するモリブデン)140×80×9mm、M6ねじ山を有するフライス加工した長さ9mmの貫通穴
モリブデンワッシャー:18×6、4×1.5mm
モリブデンねじ:M6×12mm
複数のねじを、Y2O3懸濁液(本発明によるもの)、ZrO2懸濁液、TaC懸濁液又はZrC懸濁液でスラリーコーティングによって被覆し、その後、乾燥させた。これらの層は、50~70μmの範囲の厚さを有していた。
下表に記載されているように、様々な条件下で、Y2O3層を比較層と比べて評価するために、複数の試験を実施した。この目的のために、ワッシャーを有するそれぞれ3本のねじ(S1~S3)を選択し、12Nmの締め付けトルクでプレートにねじ込んだ。400℃~1400℃の温度(T(℃))及び様々な雰囲気(A)(水素(H)、真空10-6mbar(V))で、2時間の保持時間を掛けて、高温処理を実施した。高温処理後に開放トルク(L(Nm))を測定し、ねじ山を目視で焼き付き(F)について検査し、必要に応じてねじの破壊(B)を確認した。
上表に基づいて明らかなように、ZrO2で被覆されたねじ及びTaCで被覆されたねじは、400℃以降の比較的低い温度で既に焼き付きを示し、従って、高温適用には不適切である。ZrC被覆されたねじは、1000℃から焼き付きを示し、従って、同様に、高温適用に適切ではない。
対照的に、本発明によるY2O3被覆では、ねじ接続の焼き付きは生じない。そのため、コーティングは、接触する耐熱金属部品の取り外し性を達成することができる。更に、部品間の相互汚染は確認することができなかった。
[実施例2:被覆された分離鋼板の製造及び評価]
鋼板のスタックアニールのための可能な分離手段として、様々な製品を試験し評価した。この目的のために、様々な分離手段を鋼板の間に導入した。噴霧又は懸濁液を厚さ1mmのモリブデン鋼板(面積約40×20mm)の片面に塗布した。塗布された層は、50~70μmの厚さを有していた。25枚の鋼板をスタックにして水素雰囲気において1900℃で1時間かけてアニールした。
鋼板のスタックアニールのための可能な分離手段として、様々な製品を試験し評価した。この目的のために、様々な分離手段を鋼板の間に導入した。噴霧又は懸濁液を厚さ1mmのモリブデン鋼板(面積約40×20mm)の片面に塗布した。塗布された層は、50~70μmの厚さを有していた。25枚の鋼板をスタックにして水素雰囲気において1900℃で1時間かけてアニールした。
評価結果は、以下に要約されている:
ポンプ噴霧としての腐食実験室(ISTO)経由でのZrO2スラリー:分離は工具によってのみ可能;スラリーが鋼板上で「焼き入れられる」;不適切。
腐食実験室(ISTO)経由でのAl2O3固形物、セラミック、純度99.7%:分離は工具によってのみ可能;部分的に鋼板のエッジ痕を有するセラミックス;不適切。
窒化ホウ素の噴霧(スプレー:Henze HeBoCoat 21E):
鋼板はアニール後に分離可能であるが、アニール中に厚さ10~20μmのホウ化モリブデン層が形成される;不適切。
鋼板はアニール後に分離可能であるが、アニール中に厚さ10~20μmのホウ化モリブデン層が形成される;不適切。
ZrO2の噴霧(ZYP Coatings Inc.のスプレー:98%のZrO2、0.7%のMgO、1.2%のSiO2):
鋼板はアニール後に分離可能ではあるものの、噴霧層は鋼板において主に緩んでいるだけである。ZrO2噴霧層の剥離による設備の汚染;不適切。
鋼板はアニール後に分離可能ではあるものの、噴霧層は鋼板において主に緩んでいるだけである。ZrO2噴霧層の剥離による設備の汚染;不適切。
CeramTec 3YSZのZrO2固形物80μmセラミック:
固体が鋼板に貼り付いており、鋼板は抵抗なしに分離することができない;固形物は、取り除くのが非常に困難であり、部分的には、もはや完全には取り除くことができない;不適切。
固体が鋼板に貼り付いており、鋼板は抵抗なしに分離することができない;固形物は、取り除くのが非常に困難であり、部分的には、もはや完全には取り除くことができない;不適切。
CeramTec 5YSZのZrO2固形物300μmセラミック:
固形物が鋼板に貼り付いており、鋼板は抵抗なしに分離することができない。固形物は、取り除くのが非常に困難であり、部分的には、もはや完全には取り除くことができず、固形物の痕が反対側に見られる;不適切。
固形物が鋼板に貼り付いており、鋼板は抵抗なしに分離することができない。固形物は、取り除くのが非常に困難であり、部分的には、もはや完全には取り除くことができず、固形物の痕が反対側に見られる;不適切。
Sindlhauser MaterialsのタイプZr-W-37のZrO2懸濁液:
懸濁液は、刷毛塗布方法において、鋼板への濡れが不良である。鋼板は、アニール後にサンドイッチ状に強固に貼り付いており、層は、塗られた鋼板から取り除くことはできない。部分的に、非塗布鋼板側に層の残留物が存在する;不適切。
懸濁液は、刷毛塗布方法において、鋼板への濡れが不良である。鋼板は、アニール後にサンドイッチ状に強固に貼り付いており、層は、塗られた鋼板から取り除くことはできない。部分的に、非塗布鋼板側に層の残留物が存在する;不適切。
Sindlhauser MaterialsのタイプY-E-32のY2O3懸濁液:
懸濁液は、刷毛塗布方法において、鋼板に良好な濡れを示す。鋼板は、アニール後に良好に分離することができる。非塗布鋼板側には層の残留物は存在しない。追加的な断面分析によって、鋼板への表面拡散が起こらないことが分かった;適切。
懸濁液は、刷毛塗布方法において、鋼板に良好な濡れを示す。鋼板は、アニール後に良好に分離することができる。非塗布鋼板側には層の残留物は存在しない。追加的な断面分析によって、鋼板への表面拡散が起こらないことが分かった;適切。
上記評価から分かるように、いくつかの製品は、高温適用での分離手段としては適切でない。ZrO2の噴霧及び窒化ホウ素の噴霧は、鋼板の取り外し性を維持することができるが、高温使用後のZrO2噴霧層の剥離には焼結設備での特別な洗浄が必要であり、窒化ホウ素の噴霧はアニールされた材料の表面をホウ化するため、装置及び製品の汚染が生じる。更に、連続生産を伴う製造環境では、噴霧の使用は、限定的にしか適切ではない。
対照的に、Y2O3懸濁液を用いて塗布された層の使用によって、1900℃でアニールされたMo鋼板の容易な分離が可能になる。層は鋼板から剥離せず、鋼板の表面への拡散もない。従って、Y2O3は、高温適用での分離手段として非常に適切である。
更なる一連の試験では、1mmのモリブデン製鋼板(面積265mm×265mm)の両面をY2O3懸濁液で塗布し、モリブデン製装填鋼板(それぞれ隣接して対になっている;2mm×130mm×260mm)間の分離鋼板として、水素雰囲気における1850℃での6時間の複数回のスタックアニールに使用した。スタックに際して、Mo-Y2O3分離鋼板の次に、隣接して配置された2枚の装填鋼板が続き、その次に分離鋼板が続き、これが繰り返される。装填鋼板層を交互に90°回転させて、交差層構造が生じるようにした。スタックは、20~25層の装填鋼板層を含んでいた。分離鋼板は、13回の適用後も依然として使用可能であった。
Y2O3層のおかげで、装填鋼板の焼結は生じない。ここでも、スタックされた鋼板は、アニール後に問題なく再び分離することができた。Y2O3層は、複数回の適用後も分離鋼板上に安定して接着している。熱処理後に、鋼板は、常に容易に互いに分離することができる。更に、汚染による基材及び焼結炉への悪影響は確認されなかった。より薄いY2O3層を両面に有するMo担体鋼板は、装填鋼板の高温処理に非常に良好に適切であることが示される。特に、そのようなY2O3被覆されたモリブデン製分離鋼板の複数回の使用可能性によって、タングステン製薄鋼板と比較して、かなりの経済的及び環境的な利点が生じる。
Claims (12)
- 耐熱金属からなる部品であって、その表面が、少なくとも部分的に、Y2O3からなる層で被覆されていることを特徴とする、部品。
- 前記耐熱金属が、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングステン及びレニウム並びにこれらの金属の合金からなる群から選択される金属である、請求項2に記載の部品。
- 前記耐熱金属が少なくとも70重量%のモリブデンからなる、請求項1又は2に記載の部品。
- 前記部品が、ねじ、ナット、ピン、ノックピン、ワッシャー、ボルト、鋼板、クランプ、パイプ、ロッド又はUレールである、請求項1~3のいずれか1項に記載の部品。
- 前記部品が、溶接及び/又はリベット留めされた個別部品からのアセンブリである、請求項1~3のいずれか1項に記載の部品。
- 前記Y2O3層が10μm~150μmの範囲の厚さを有する、請求項1~5のいずれか1項に記載の部品。
- 前記部品の前記表面が完全に被覆されている、請求項1~6のいずれか1項に記載の部品。
- 前記部品の前記表面が部分的に被覆されている、請求項1~6のいずれか1項に記載の部品。
- 前記層が、スラリーコーティングによって塗布されたY2O3からなることを特徴とする、請求項1~8のいずれか1項に記載の部品。
- 高温適用のための部品のための剥離剤としてのY2O3の使用。
- 以下のステップを含む、被覆された部品を製造するための方法。
- 耐熱金属からなる部品を提供するステップ
- スラリーコーティングによってY2O3からなる層を前記部品の表面の少なくとも一部に塗布するステップ - 前記スラリーコーティングのためにエタノールベースのY2O3スラリーを使用する、請求項11に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
ATGM50251/2020U AT17485U1 (de) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | Yttriumoxid beschichtetes bauteil aus refraktärmetall |
ATGM50251/2020 | 2020-12-15 | ||
PCT/AT2021/060447 WO2022126158A1 (de) | 2020-12-15 | 2021-11-25 | Yttriumoxid beschichtetes bauteil aus refraktärmetall |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023552481A true JP2023552481A (ja) | 2023-12-15 |
JPWO2022126158A5 JPWO2022126158A5 (ja) | 2024-08-06 |
Family
ID=81535419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023535585A Pending JP2023552481A (ja) | 2020-12-15 | 2021-11-25 | 酸化イットリウムで被覆された耐熱金属部品 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20240117496A1 (ja) |
EP (1) | EP4263903A1 (ja) |
JP (1) | JP2023552481A (ja) |
CN (1) | CN116601330A (ja) |
AT (1) | AT17485U1 (ja) |
WO (1) | WO2022126158A1 (ja) |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2294040B (en) * | 1989-05-10 | 1996-07-03 | Remet Corp | Ceramic shell molds and cores for casting of reactive metals |
WO1993020026A1 (en) * | 1992-04-01 | 1993-10-14 | Moltech Invent Sa | Prevention of oxidation of carbonaceous and other materials at high temperatures |
US5769918A (en) * | 1996-10-24 | 1998-06-23 | Corning Incorporated | Method of preventing glass adherence |
EP1049817B1 (en) * | 1998-01-20 | 2006-11-02 | MOLTECH Invent S.A. | Slurry for coating non-carbon metal-based anodes for aluminium production cells |
AT4408U1 (de) * | 2000-05-18 | 2001-06-25 | Plansee Ag | Verfahren zur herstellung einer elektrischen lampe |
AT5322U1 (de) * | 2001-05-11 | 2002-05-27 | Plansee Ag | Verfahren zur herstellung einer hochdruck-entladungslampe |
DE102006038821A1 (de) * | 2005-08-25 | 2007-03-08 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Stromdurchführungssystem für eine Lampe |
EP1992430A1 (en) * | 2007-05-15 | 2008-11-19 | Treibacher Industrie AG | Yttria-based refractory composition |
DE102013213503A1 (de) | 2013-07-10 | 2014-08-07 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Schraubverbindung für vakuumanwendungen |
CN109277518B (zh) * | 2017-07-21 | 2020-09-18 | 中国科学院金属研究所 | 一种TiAl合金精密铸造用耐火材料的制备方法 |
CN108585897B (zh) * | 2018-05-16 | 2020-10-02 | 中南大学 | 一种难熔金属高温抗氧化Si-Mo-YSZ涂层及其制备方法 |
-
2020
- 2020-12-15 AT ATGM50251/2020U patent/AT17485U1/de unknown
-
2021
- 2021-11-25 CN CN202180081827.8A patent/CN116601330A/zh active Pending
- 2021-11-25 EP EP21843577.4A patent/EP4263903A1/de active Pending
- 2021-11-25 US US18/257,646 patent/US20240117496A1/en active Pending
- 2021-11-25 JP JP2023535585A patent/JP2023552481A/ja active Pending
- 2021-11-25 WO PCT/AT2021/060447 patent/WO2022126158A1/de active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20240117496A1 (en) | 2024-04-11 |
EP4263903A1 (de) | 2023-10-25 |
AT17485U1 (de) | 2022-05-15 |
CN116601330A (zh) | 2023-08-15 |
WO2022126158A1 (de) | 2022-06-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A621 | Written request for application examination |
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