DE102006038821A1

DE102006038821A1 - Stromdurchführungssystem für eine Lampe

Info

Publication number: DE102006038821A1
Application number: DE102006038821A
Authority: DE
Inventors: Jürgen Becker; Ursus Dr. Krüger; Uwe Pyritz; Heike Schiewe
Original assignee: Patent Treuhand Gesellschaft fuer Elektrische Gluehlampen mbH
Current assignee: Osram GmbH
Priority date: 2005-08-25
Filing date: 2006-08-18
Publication date: 2007-03-08

Abstract

Offenbart ist ein Stromdurchführungssystem für eine Lampe, mit gasdicht in zumindest einem Endabschnitt der Lampe eingebetteten Molybdänfolien, an denen jeweils an zwei gegenüberliegenden Schmalseiten eine äußere Stromzuführung und eine Elektrode oder eine äußere Stromzuführung und eine innere Stromzuführung angeordnet sind. Erfindungsgemäß sind die Molybdänfolien, Stromzuführungen und/oder Elektroden zumindest abschnittsweise mit einer Beschichtung versehen, die derart ausgebildet ist, dass das Anglasungsverhalten im Beschichtungsbereich verbessert ist, wobei die Beschichtung durch Vakuumlichtbogen-Ionenimplantation (Arc-PVD) auf das Stromdurchführungssystem aufgebracht ist.

Description

Technisches Gebiet
Die Erfindung betrifft ein Stromdurchführungssystem für eine Lampe gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, ein Verfahren zur Herstellung eines Stromdurchführungssystems nach dem Patentanspruch 9 und eine mit einem derartigen Stromdurchführungssystem versehene Lampe gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 12.
Derartige Stromdurchführungssysteme werden beispielsweise für elektrische Stromzuführungen bei aus Quarz- oder Hartglas bestehenden Quetschdichtungen von Entladungslampen, Halogenglühlampen und dergleichen verwendet.

Da das Glas der Quetschdichtung einen wesentlich kleineren thermischen Ausdehnungskoeffizienten als die zur Versorgung eines innerhalb des Lampengefäßes angeordneten Leuchtmittels oder Elektrodensystems mit elektrischer Energie vorgesehenen Stromzuführungen aufweist, finden häufig dünne Molybdänfolien mit ausreichender Duktilität Verwendung, die trotz der unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Glas und Molybdän eine gasdichte elektrische Stromzuführung ermöglichen. Bei derartigen, beispielsweise aus der DE 197 09 928 A1 bekannten Lösungen, werden jeweils die beiden gegenüberliegenden Enden der Molybdänfolien mit einem inneren und einem äußeren Stromzuführungsdraht aus Molybdän oder einem äußeren Stromzuführungsdraht und einer Elektrode verschweißt und das entstandene Stromdurchführungssystem derart in dem Lampengefäßende positioniert, dass die inneren Stromzuführungen oder Elektroden in den Innenraum des Lampengefäßes hinein und die äußeren Stromzuführungen aus diesem herausragen. Anschließend wird das Glas am Lampengefäßende erhitzt und beispielsweise mittels Quetschbacken mit dem Stromdurchführungssystem gasdicht zu einer Quetschdichtung verquetscht. Die Molybdänfolien dienen einerseits zur Herstellung der elektrisch leitenden Verbindung zwischen dem innerhalb des Lampengefäßes angeordneten Leuchtmittel oder der Elektrode und den äußeren Stromzuführungen und gewährleisten andererseits einen gasdichten Verschluss des Lampengefäßes.

Nachteilig bei derartigen Stromdurchführungssystemen ist zum einen, dass es aufgrund von Verunreinigungen der Beschichtung durch das Sandstrahlmittel zu ei nem Leck in der Kontaktstelle von Lampenglas und Molybdänfolie, Stromzuführungen oder Elektroden und damit zum frühzeitigen Ausfall der Lampe kommen kann. Weiterhin nachteilig ist, dass die Haftung der Oxidpartikel auf dem Stromdurchführungssystem nach dem Sandstrahlen gering ist, so dass die Molybdänfolien einem aufwändigen Glühprozess unterzogen werden müssen und dadurch in der Herstellung teuer sind.

Darstellung der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Stromdurchführungssystem für eine Lampe, ein Verfahren zur Herstellung eines Stromdurchführungssystems sowie eine mit einem derartigen Stromdurchführungssystem ausgerüstete Lampe zu schaffen, bei denen gegenüber herkömmlichen Lösungen ein hochdichter Glas-Metallübergang im Bereich der Einbettung der Stromzuführungen bei minimalem vorrichtungstechnischem Aufwand ermöglicht ist.

Diese Aufgabe wird hinsichtlich des Stromzuführungssystems durch die Merkmalskombination des Anspruchs 1, hinsichtlich des Verfahrens durch die Merkmale des Anspruchs 9 und hinsichtlich der Lampe durch die Merkmale des Anspruchs 12 gelöst. Besonders vorteilhafte Ausführungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen beschrieben.

Das erfindungsgemäße Stromdurchführungssystem für eine Lampe hat gasdicht in zumindest einem Endabschnitt der Lampe eingebettete Molybdänfolien, an denen jeweils an zwei gegenüberliegenden Schmalseiten eine äußere Stromzuführung und eine Elektrode oder eine äußere Stromzuführung und eine innere Stromzuführung angeordnet sind. Erfindungsgemäß sind die Molybdänfolien, Stromzuführungen und/oder Elektroden zumindest abschnittsweise mit einer Beschichtung versehen, die derart ausgebildet ist, dass das Anglasungsverhalten im Beschichtungsbereich verbessert ist, wobei die Beschichtung durch Vakuumlichtbogen-Ionenimplantation (Arc-PVD) auf das Stromdurchführungssystem aufgebracht ist. Durch die Beschichtung wird die Haftung zwischen Stromdurchführungssystem und Lampenglas wesentlich verbessert. Aufgrund der Beschichtung im Vakuumlichtbogen-Ionenimplantationsverfahren wird ein großer Teil des verdampften Beschichtungsmaterials in Richtung des Substrats (Stromdurchführungssystem) beschleunigt und in dieses implantiert bzw. auf der Substratoberfläche abgeschieden. Die Ionen des Beschichtungsmaterials dringen hierbei aufgrund ihrer hohen kinetischen Energie in die obersten Atomlagen des Substrats ein und bilden dadurch eine eng mit dem Substrat verzahnte Schicht mit hoher Haftfestigkeit aus. Dabei ist vorteilhaft, dass der Vakuumbeschichtungsprozess kontinuierlich abläuft, d.h. keine Zwischenbelüftung der Vakuumkammer erfolgt und dadurch keine Verunreinigungen der Beschichtung auftreten, die zu einem Leck in der Kontaktstelle von Lampenglas und Molybdänfolien, Stromzuführungen bzw. Elektroden und damit zum frühzeitigen Ausfall der Lampe führen. Weiterhin kann aufgrund der hohen Haftung der Beschichtung auf dem Stromdurchführungssystem auf einen aufwendigen Glühprozess verzichtet werden.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung eines Stromdurchführungssystems für eine Lampe, mit gasdicht in zumindest einem Endabschnitt der Lampe eingebetteten Molybdänfolien, an denen jeweils an zwei gegenüberliegenden Schmalseiten eine äußere Stromzuführung und eine Elektrode oder eine äußere Stromzuführung und eine innere Stromzuführung angeordnet sind, wird durch Vakuumlichtbogen-Ionenimplantation zumindest abschnittsweise eine Beschichtung auf die Molybdänfolien, Stromzuführungen und/oder Elektroden aufgebracht, die derart ausgebildet ist, dass das Anglasungsverhalten im Beschichtungsbereich verbessert ist.

Hierbei wird die Beschichtung vorzugsweise unter einer elektrischen Vorspannung (BIAS) auf das Stromdurchführungssystem aufgebracht. Die elektrische Vorspannung beträgt vorzugsweise mehr als 1000 V. Durch die am Substrat angelegte BIAS-Spannung kann die kinetische Energie der im Plasma befindlichen Ionen weiter erhöht werden, so dass die Ionen des Beschichtungsmaterials tiefer in das Substrat eindringen und dadurch die Haftfestigkeit der Beschichtung weiter verbessert ist.

Gemäß einem erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel ist das Beschichtungsmaterial zumindest teilweise in die Oberfläche des Stromdurchführungssystems implantiert, so dass die beschichtete Oberfläche aus einer Mischung des Grundmaterials und des Beschichtungsmaterials besteht. Die entstehende Oberfläche ist sehr rau und verbessert dadurch den Verzahnungseffekt und die Dichtwirkung zwischen dem Metall des Stromzuführungssystems und dem Lampenglas, so dass die Abdichtung der Molybdänfolien in der Quetschdichtung weiter verbessert ist.

Als besonders vorteilhaft hat es sich erwiesen, wenn die Beschichtung im Wesentlichen eine Schichtdicke von etwa 10 bis 100 nm, vorzugsweise von 50 nm aufweist. Aufgrund dieser relativ dünnen Schichtdicke wird die Halterung und Dichtwirkung der Molybdänfolien in dem Glas des Lampengefäßes verbessert und dadurch die Lebensdauer der Lampe deutlich erhöht.

Bei einem erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel enthält die Beschichtung Ruthenium, eine Rutheniumlegierung oder ein Ruthenium-Molybdän-Eutektikum.

Gemäß einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel enthält die Beschichtung zumindest ein Oxid aus der Gruppe von Zirkonoxid, Yttriumoxid, Titanoxid oder ein entsprechendes Mischoxid.

Die Beschichtung bedeckt bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung mehr als 60% der Oberfläche des Stromzuführungssystems. Bei dieser Variante können einzelne Oberflächenbereiche des Stromzuführungssystems, beispielsweise um die Schweißbarkeit zu verbessern, freigehalten sein. Weiterhin können die lichtbogenseitigen Elektrodenspitzen zumindest abschnittsweise durch eine Maske frei von Beschichtungsmaterial gehalten oder die Beschichtung in diesem Bereich, beispielsweise mittels Laser oder chemischem Abtragen, nachträglich entfernt werden.

Vorzugsweise ist die Beschichtung im Wesentlichen flächendeckend auf der Oberfläche des Stromdurchführungssystems aufgebracht. Dadurch wird die hochdichte Anglasung der Molybdänfolie im Lampenglas weiter verbessert.

Die Beschichtung ist bei einer bevorzugten Ausführung der Erfindung mit unterschiedlichen Schichtdicken auf dem Stromdurchführungssystem aufgebracht. Beispielsweise können die Molybdänfolien einseitig im Bereich der Schweißverbindungen dünner beschichtet sein, um die Schweißbarkeit zu verbessern. Hierbei hat sich eine Schichtdicke von ungefähr 20 nm als besonders vorteilhaft erwiesen.

Die erfindungsgemäße Lampe, beispielsweise eine Hochdruckentladungslampe, hat zumindest ein Stromdurchführungssystem bei dem die Molybdänfolien, Stromzuführungen und/oder Elektroden zumindest abschnittsweise eine Beschichtung aufweisen, die derart ausgebildet ist, dass das Anglasungsverhalten im Beschichtungsbereich verbessert ist, wobei die Beschichtung durch Vakuumlichtbogen-Ionenimplantation (Arc-PVD) auf das Stromdurchführungssystem aufgebracht ist.

Kurze Beschreibung der Zeichnung
Nachstehend wird die Erfindung anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels näher erläutert. Die einzige Figur zeigt eine schematische Darstellung einer Hochdruckentladungslampe mit einem erfindungsgemäßen Stromdurchführungssystem.
Bevorzugte Ausführungen der Erfindung
Die Figur zeigt eine schematische Darstellung einer Hochdruckentladungslampe 1 mit einem erfindungsgemäßen Stromdurchführungssystem 2. Die Hochdruckentladungslampe 1 besitzt ein Entladungsgefäß 4 aus Quarzglas mit einem Innenraum 6 und zwei diametral angeordneten, abgedichteten Endabschnitten 8, 10 in denen jeweils eine Folie 12 aus dotiertem Molybdän zur gasdichten Stromdurchführung eingebettet ist. Die Molybdänfolien 12 sind an einer ersten Schmalseite 14 mit einer äußeren Stromzuführung 16 aus dotiertem Molybdän verbunden. In den Innenraum 6 des Entladungsgefäßes 4 ragen zwei diametral angeordnete Elektroden 18, 20 aus dotiertem Wolfram, die jeweils mit einer zweiten Schmalseite 22 der Molybdänfolien 12 verbunden sind und zwischen denen sich während des Lampenbetriebs eine Gasentladung ausbildet. In dem Innenraum 6 des Entladungsgefäßes 4 ist eine ionisierbare Füllung eingeschlossen, die aus hochreinem Xenongas und mehreren Metallhalogeniden sowie gegebenenfalls Quecksilber besteht. Das Entladungsgefäß 4 ist von einem Außenkolben 24 umgeben, der aus Quarzglas besteht, das mit Ultraviolettstrahlung absorbierenden Dotierstoffen versehen ist. Die Hochdruckentladungslampe 1 weist ferner einen Lampensockel 26 auf, der das Entladungsgefäß 4 und den Außenkolben 24 trägt. Der Lampensockel 26 hat ein abschnittsweise zylinderförmiges Sockelgehäuse 28 aus elektrisch isolierendem Kunststoff, das lampenseitig einen Befestigungsabschnitt 30 zur Aufnahme der Lampe 1 in dem Sockelgehäuse 28 aufweist. Der Befestigungsabschnitt 30 hat einen zumindest abschnittsweise ringförmigen Flansch 32 zur Befestigung der Hochdruckentladungslampe 1 in einer nicht dargestellten Lampenfassung. Die äußere Stromzuführung 16 des sockelfernen Endabschnitts 8 des Entladungsgefäßes 4 ist über eine von einer Isolierhülse 34 umgebene Stromrückführung 36 mit einem elektrischen Anschlussring 38 des Sockels 26 verbunden, während die sockelnahe äußere Stromzuführung 16 mit einem nicht dargestellten, inneren Kontaktstift der Hochdruckentladungslampe 1 verbunden ist.
Die verwendeten Molybdänfolien 12 besitzen jeweils eine etwa rechteckige Grundform, deren Rand von den einander gegenüberliegenden Schmalseiten 14, 22 und von zwei senkrecht zu den Schmalseiten 14, 22 verlaufenden Seitenkanten 40, 42 gebildet wird. Die Oberfläche 44 der Molybdänfolien 12 ist vorzugsweise konvex gewölbt, wobei ihre Dicke ausgehend von ihrer Längsachse zu den beiden Seitenkanten 40, 42 hin stetig abnimmt, so dass die Molybdänfolien 12 einen etwa lanzettförmigen Querschnitt ausbilden und dadurch einen homogenen Spannungsverlauf in den Endabschnitten 8, 10 der Hochdruckentladungslampe 1 ermöglichen. Erfindungsge mäß ist auf den Molybdänfolien 12 eine das Anglasungsverhalten verbessernde Beschichtung 46 aus Ruthenium mit einer Schichtdicke von etwa 50 nm aufgebracht. Aufgrund dieser relativ dünnen Schichtdicke wird die Haftung und Dichtwirkung der Molybdänfolien 12 in den Endabschnitten 8, 10 des Entladungsgefäßes 4 verbessert und dadurch die Lebensdauer der Lampe 1 deutlich erhöht. Bei einer nicht dargestellten Variante der Erfindung enthält die Beschichtung 46 eine Rutheniumlegierung, ein Ruthenium-Molybdän-Eutektikum oder zumindest ein Oxid aus der Gruppe von Zirkonoxid, Yttriumoxid, Titanoxid oder ein entsprechendes Mischoxid.
Die Beschichtung 46 ist erfindungsgemäß durch Vakuumlichtbogen-Ionenimplantation (Arc-PVD) auf die Molybdänfolien 12 aufgebracht. Grundprinzip der Vakuumlichtbogen-Ionenimplantation ist die Erzeugung eines kathodennahen kurzzeitigen Zündplasmas in einer Vakuumkammer (Rezipient) und die darauf folgende Auslösung einer stromstarken Bogenentladung (Vakuumlichtbogen) zwischen einer mit dem zu beschichtenden Substrat, d.h. den Molybdänfolien 12 verbundenen Anode und einer Kathode (Target), von der Beschichtungsmaterial abgetragen werden soll. Die Erzeugung des Zündplasmas erfolgt beispielsweise über einen elektrischen Hochspannungsimpuls auf der Kathodenoberfläche, der einen kleinen Teil des Kathodenmaterials verdampft und ionisiert. Das zur Aufrechterhaltung des Vakuumbogens notwendige hochgradig ionisierte Plasma (Ionisationsgrad > 95%) wird über die Bogenentladung und das dadurch verdampfte Kathodenmaterial produziert. Durch den Vakuumbogen kommt es zu einem Verdampfen des Kathodenmaterials, wobei ein großer Teil des verdampften Materials durch ein axiales Magnetfeld zwischen den Elektroden in Richtung des Substrats beschleunigt und in dieses implantiert bzw. auf der Substratoberfläche 44 abgeschieden wird. Mit anderen Worten, die Ionen des Beschichtungsmaterials dringen aufgrund ihrer hohen kinetischen Energie in die obersten Atomlagen der Molybdänfolien 12 ein und bilden dadurch eine eng mit diesen verzahnte Beschichtung 46 mit hoher Haftfestigkeit aus. Dabei ist vorteilhaft, dass der Vakuumbeschichtungsprozess kontinuierlich abläuft, d.h. keine Zwischenbelüftung der Vakuumkammer erfolgt und dadurch keine Verunreinigungen der Beschichtung, wie sie beispielsweise bei einer Beschichtung im Sandstrahlverfahren durch das Sandstrahlmittel entstehen, auftreten, die zu einem Leck in der Kontaktstelle von Lampenglas und Molybdänfolien 12 und damit zum frühzeitigen Ausfall der Lampe 1 führen. Weiterhin kann aufgrund der hohen Haftung der Beschichtung 46 auf den Molybdänfolien 12 auf einen aufwendigen Glühprozess verzichtet werden.
Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel der Erfindung ist die Beschichtung 46 unter einer elektrischen Vorspannung (BIAS) von etwa 1000 V auf die Molybdänfolien 12 aufgebracht. Durch die angelegte BIAS-Spannung kann die kinetische Energie der im Plasma befindlichen Ionen weiter erhöht werden, so dass die Ionen des Beschichtungsmaterials tiefer in die Oberfläche 44 der Molybdänfolien 12 eindringen und dadurch die Haftfestigkeit der Beschichtung 46 weiter verbessert ist.
Die Beschichtung 46 ist bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel flächendeckend auf der Oberfläche 44 der Molybdänfolien 12 aufgebracht und teilweise in diese implantiert. Dadurch wird in oberflächennahen Zonen der Molybdänfolien 12 eine Mischung aus Beschichtungsmaterial und Grundmaterial erzielt. Die entstehende Oberfläche 44 ist sehr rau und kann dadurch den Verzahnungseffekt zwischen dem Metall der Molybdänfolien 12 und dem Lampenglas verbessern und ermöglicht eine hochdichte Einbettung der Molybdänfolien 12 in den Endabschnitten 8, 10 der Hochdruckentladungslampe 1.
Bei einer nicht dargestellten Variante können einzelne Bereiche der Molybdänfolien 12, beispielsweise um die Schweißbarkeit zu verbessern, freigehalten sein. Weiterhin kann die Beschichtung 46 mit unterschiedlichen Schichtdicken auf den Molybdänfolien 12 aufgebracht sein. Beispielsweise können die Molybdänfolien 12 einseitig im Bereich der Schweißverbindungen dünner beschichtet sein. Hierbei hat sich eine Schichtdicke von ungefähr 20 nm als besonders vorteilhaft erwiesen.
Das erfindungsgemäße Stromdurchführungssystem 2 ist nicht auf die beschriebene Hochdruckentladungslampe 1 beschränkt, vielmehr kann das Stromzuführungssystem 2 bei unterschiedlichen aus dem Stand der Technik bekannten Lampentypen Verwendung finden. Erfindungswesentlich ist, dass die Molybdänfolien 12, Stromzuführungen 16 und/oder Elektroden 18, 20 zumindest abschnittsweise mit einer Beschichtung 46 versehen sind, die derart ausgebildet ist, dass das Anglasungsverhalten im Beschichtungsbereich verbessert ist, wobei die Beschichtung 46 durch Vakuumlichtbogen-Ionenimplantation auf das Stromdurchführungssystem 2 aufgebracht ist.
Offenbart ist ein Stromdurchführungssystem 2 für eine Lampe 1, mit gasdicht in zumindest einem Endabschnitt 8, 10 der Lampe 1 eingebetteten Molybdänfolien 12, an denen jeweils an zwei gegenüberliegenden Schmalseiten 14, 22 eine äußere Stromzuführung 16 und eine Elektrode 18, 20 oder eine äußere Stromzuführung 16 und eine innere Stromzuführung angeordnet sind. Erfindungsgemäß sind die Molyb dänfolien 12, Stromzuführungen 16 und/oder Elektroden 18, 20 zumindest abschnittsweise mit einer Beschichtung 46 versehen, die derart ausgebildet ist, dass das Anglasungsverhalten im Beschichtungsbereich verbessert ist, wobei die Beschichtung 46 durch Vakuumlichtbogen-Ionenimplantation (Arc-PVD) auf das Stromdurchführungssystem 2 aufgebracht ist.

Claims

Stromdurchführungssystem für eine Lampe (1), mit gasdicht in zumindest einem Endabschnitt (8, 10) der Lampe (1) eingebetteten Molybdänfolien (12), an denen jeweils an zwei gegenüberliegenden Schmalseiten (14, 22) eine äußere Stromzuführung (16) und eine Elektrode (18, 20) oder eine äußere Stromzuführung (16) und eine innere Stromzuführung angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Molybdänfolien (12), Stromzuführungen (16) und/oder Elektroden (18, 20) zumindest abschnittsweise eine Beschichtung (46) aufweisen, die derart ausgebildet ist, dass das Anglasungsverhalten im Beschichtungsbereich verbessert ist, wobei die Beschichtung (46) durch Vakuumlichtbogen-Ionenimplantation (Arc-PVD) auf das Stromdurchführungssystem (2) aufgebracht ist.
Stromdurchführungssystem nach Anspruch 1, wobei die Beschichtung (46) im Wesentlichen eine Schichtdicke von etwa 10 bis 100 nm, vorzugsweise von 50 nm aufweist.
Stromdurchführungssystem nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Beschichtung (46) Ruthenium, eine Rutheniumlegierung oder ein Ruthenium-Molybdän-Eutektikum enthält.
Stromdurchführungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Beschichtung (46) zumindest ein Oxid aus der Gruppe von Zirkonoxid, Yttriumoxid, Titanoxid oder ein Mischoxid aufweist.
Stromdurchführungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Beschichtung (46) mehr als 60% der Oberfläche (44) des Stromzuführungssystems (2) bedeckt.
Stromdurchführungssystem nach Anspruch 5, wobei die Beschichtung (46) im Wesentlichen flächendeckend auf der Oberfläche (44) des Stromdurchführungssystems (2) aufgebracht ist.
Stromdurchführungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Beschichtung (46) mit unterschiedlichen Schichtdicken auf dem Stromdurchführungssystem (2) aufgebracht ist.
Stromdurchführungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Beschichtungsmaterial zumindest teilweise in die Oberfläche (44) des Stromdurchführungssystems (2) implantiert ist.
Verfahren zur Herstellung eines Stromdurchführungssystems für eine Lampe (1), mit gasdicht in zumindest einem Endabschnitt (8, 10) der Lampe (1) eingebetteten Molybdänfolien (12), an denen jeweils an zwei gegenüberliegenden Schmalseiten (14, 22) eine äußere Stromzuführung (16) und eine Elektrode (18, 20) oder eine äußere Stromzuführung (16) und eine innere Stromzuführung angeordnet sind, wobei durch Vakuumlichtbogen-Ionenimplantation (Arc-PVD) zumindest abschnittsweise eine Beschichtung (46) auf die Molybdänfolien (12), Stromzuführungen (16) und/oder Elektroden (18, 20) aufgebracht wird, die derart ausgebildet ist, dass das Anglasungsverhalten im Beschichtungsbereich verbessert ist.
Verfahren nach Anspruch 9, wobei die Beschichtung (46) unter einer elektrischen Vorspannung (BIAS) auf das Stromdurchführungssystem (2) aufgebracht wird.
Verfahren nach Anspruch 10, wobei die elektrische Vorspannung mehr als 1000 V beträgt.
Lampe, insbesondere Hochdruckentladungslampe, mit zumindest einem Stromdurchführungssystem (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche.