JP2023166319A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 液体成分とキャリアガスとを加熱し、液体成分が気化した成分ガスとキャリアガスとの混合ガスを生成する蒸発器、及び
   蒸発器で生成された混合ガスを冷却し、過飽和分を凝縮分離させた成分ガスとキャリアガスとの混合ガスを供給する冷却器
   を備えた混合ガス供給装置であって、
   蒸発器は、軸を水平方向に向けた筒型の胴を有し、胴内に軸方向に伸びた熱媒体用チューブを有するシェルアンドチューブ型加熱機構を備え、
   蒸発器の胴内には、キャリアガスのバブリング用の孔が複数箇所に開いたキャリアガス用チューブが筒型の胴の一方の端部から他方の端部に向かって伸びており、
   蒸発器の胴の下部には液体成分供給口が設けられ、
   蒸発器の胴の上部には、液体成分が気化した成分ガスとキャリアガスとの混合ガスを送出する送出口が設けられ、
   冷却器の下部が蒸発器の送出口と配管で連続すると共に、液体成分供給口と配管で連続し、冷却器で形成された凝縮液が、液体成分供給口から蒸発器の胴内に戻る混合ガス供給装置。
2. キャリアガス用チューブが、蒸発器の胴の軸方向の一方の管板から対向する管板に向かって伸びている請求項１記載の混合ガス供給装置。
3. キャリアガス用チューブは、キャリアガスのバブリング用孔として下向きに開口した孔を有する請求項１記載の混合ガス供給装置。
4. 複数本のキャリアガス用チューブが、胴内の下部で並列しており、隣り合うキャリアガス用チューブのバブリング用孔が蒸発器の胴の軸方向に互い違いに形成されている請求項３記載の混合ガス供給装置。
5. 蒸発器の送出口の開口径が、胴の内径の５０％以上である請求項１～４のいずれかに記載の混合ガス供給装置。
6. 熱媒体用チューブを流れる熱媒体が胴内に導入されてから排出されるまでに胴の両端の管板の間を複数回往復する請求項１～４のいずれかに記載の混合ガス供給装置。
7. 蒸発器の送出口と冷却器下部から伸びた配管との接続部分に、蒸発器の胴内の観察用窓が設けられている請求項１～４のいずれかに記載の混合ガス供給装置。
8. 液体成分が液体トリクロロシランであり、キャリアガスが水素ガスである請求項１～４のいずれかに記載の混合ガス供給装置。