JP5584885B2 - ガス発生装置用熱交換器及びガス発生装置 - Google Patents
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Description
しかしながら、このようなガス発生装置においては、有機塩素系溶剤に対する耐食性を確保するためにホウ珪酸ガラスやPTFEなどにより構成部品を形成する必要があり、また、加圧条件下で使用される場合がある。それゆえ、図4に示す従来のガス発生装置では、蒸発缶110が、ホウ珪酸ガラスやPTFEにより形成されると共に、加圧条件下で使用可能な肉厚かつ小型の形状に制約されてしまうため、熱交換効率が悪く、また、大容量のガスを発生させることができないものである。
これに対し、本実施形態に係るガス発生装置1は、以下のような効果を奏することができる。
Claims (4)
- 液体試料を収容可能な試料収容室、及び前記試料収容室の上方に設けられると共に、仕切り板によって前記試料収容室と仕切られ、液体試料を加熱して気化させることが可能な熱媒を収容可能な加熱室を備える外管と、
上端が前記外管の加熱室より上方に位置し、下端が前記外管の試料収容室の液体試料に浸されるように前記外管内に設けられ、前記外管の加熱室に対応する位置において気化された気体試料が上昇可能な少なくとも1つの上昇管と、
前記上昇管内に向けて空気を噴射することにより該上昇管内に液体試料によって膜が形成された気泡を形成可能な気泡形成機構とを備え、
前記気泡は、前記気泡の表面が前記上昇管の内面と接するように形成されるものであることを特徴とするガス発生装置用熱交換器。 - 前記外管は、前記加熱室の上方に設けられると共に、仕切り板によって前記加熱室と仕切られた気液分離室を更に備え、
前記上昇管は、上端が前記外管の気液分離室内に位置するように設けられ、
前記外管の気液分離室は、前記上昇管内を上昇して該気液分離室に到達した試料のうち、気体試料と液体試料とを分離可能なように構成されていることを特徴とする請求項1記載のガス発生装置用熱交換器。 - 上端が前記外管の気液分離室内に位置し、下端が前記外管の試料収容室内に位置するように、前記外管内に設けられ、前記外管の気液分離室において分離された液体試料を前記外管の試料収容室に流下させるように構成された少なくとも1つの降下管を更に備えることを特徴とする請求項2記載のガス発生装置用熱交換器。
- 請求項1〜3いずれか1項記載のガス発生装置用熱交換器と、
前記熱交換器により発生された前記気体試料を冷却して飽和蒸気を生成する冷却器と、
前記熱交換器及び前記冷却器にそれぞれ空気を供給可能な空気供給源と、
消費した液体試料を補充するための補助タンクとを備える
ことを特徴とするガス発生装置。
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