JP2023145851A - 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 - Google Patents

Abstract

【課題】パーティクルの付着を抑制して生産物の品質向上を図ることができる、樹脂封止装置及び樹脂封止方法を提供する。【解決手段】樹脂封止装置は、ワーク収納部とテーブルとの間に設けられた第１クリーナ部であって、ワーク搬送ハンドが搬送するワークの裏面に対向した第１集塵口を有する第１クリーナ部と、ワーク搬送ハンドに設けられた第２クリーナ部であって、テーブルの載置面に対向した第２集塵口を有する第２クリーナ部とを備え、ワーク搬送ハンドがワーク収納部とテーブルとの間においてワークを搬送するとき、第１クリーナ部がテーブルの載置面に対してクリーニング動作を実行し、かつ、第２クリーナ部がワークの裏面に対してクリーニング動作を実行する。【選択図】 図１

Description

本発明は、樹脂封止装置及び樹脂封止方法に関する。

基材及び電子部品を含むワークの前記電子部品を樹脂封止する樹脂封止装置では、パーティクル（樹脂粉や異物等の塵埃）による汚染を防ぐため、クリーニング装置が設けられる場合がある。例えば、特許文献１には、ワーク及びモールド樹脂をクランプして樹脂封止するモールド金型を有するプレス部と、プレス部へ搬送されるワークの裏面をクリーニングするクリーニング装置と、を備える樹脂モールド装置が開示されている。

特開２０２１－１７８４１１号公報

しかしながら、パーティクルは、ワークに直接的に付着するのみならず、装置内のワークに接触する部分に一旦付着して、そこから間接的にワークに付着する可能性がある。また、パーティクルは、樹脂封止前のワークに付着し得るほか、樹脂封止後のワークにも付着し得る可能性がある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、パーティクルの付着を抑制して生産物の品質向上を図ることができる、樹脂封止装置及び樹脂封止方法を提供することにある。

本発明の一態様に係る樹脂封止装置は、基材及び電子部品を含むワークの電子部品を樹脂封止する樹脂封止装置であって、ワークを収納するためのワーク収納部と、ワークを載置するための載置面を有するテーブルと、ワーク収納部とテーブルとの間においてワークを搬送するワーク搬送ハンドと、ワーク収納部とテーブルとの間に設けられた第１クリーナ部であって、ワーク搬送ハンドが搬送するワークの裏面に対向した第１集塵口を有する第１クリーナ部と、ワーク搬送ハンドに設けられた第２クリーナ部であって、テーブルの載置面に対向した第２集塵口を有する第２クリーナ部とを備え、ワーク搬送ハンドがワーク収納部とテーブルとの間においてワークを搬送するとき、第１クリーナ部がワークの裏面に対してクリーニング動作を実行し、かつ、第２クリーナ部がテーブルの載置面に対してクリーニング動作を実行する。

この態様によれば、ワーク収納部とテーブルとの間でワークを搬送するときに、ワークの裏面と、ワークの裏面に接触するテーブルの載置面とを同時にクリーニングすることができる。したがって、ワークへのパーティクルの付着を効果的に抑制し、生産物の品質向上を図ることができる。

上記態様において、樹脂封止前のワークを供給するワーク供給ユニットをさらに備え、ワーク収納部は、ワーク供給ユニットにおいて樹脂封止前のワークを供給するための供給用収納部を含み、ワーク搬送ハンドは、供給用収納部から供給されたワークをテーブルの載置面に載置する第１ハンドを含んでもよい。

上記態様において、樹脂封止後のワークを回収するワーク回収ユニットをさらに備え、ワーク収納部は、ワーク回収ユニットにおいて樹脂封止後のワークを回収するための回収用収納部を含み、ワーク搬送ハンドは、回収用収納部に回収するためにワークをテーブルの載置面から取得する第２ハンドを含んでもよい。

上記態様において、樹脂封止前のワークを供給するワーク供給ユニットと、樹脂封止後のワークを回収するワーク回収ユニットと、ワーク供給ユニット及びワーク回収ユニットの間で移動可能に構成されたテーブルによってワークを搬送する搬送機構とをさらに備えてもよい。

上記態様において、搬送機構におけるテーブルの移動経路の上に設けられた第３クリーナ部であって、テーブルの載置面の側を向いている第３集塵口を有する第３クリーナ部をさらに備え、搬送機構によってテーブルが移動するとき、第３クリーナ部がテーブルの載置面に対してクリーニング動作を実行してもよい。

本発明の他の一態様に係る樹脂封止方法は、基材及び電子部品を含むワークの電子部品を樹脂封止する樹脂封止装置を用いた樹脂封止方法であって、樹脂封止装置は、ワークを収納するためのワーク収納部と、ワークを載置するための載置面を有するテーブルと、ワーク収納部とテーブルとの間においてワークを搬送するワーク搬送ハンドと、ワーク収納部とテーブルとの間に設けられた第１クリーナ部であって、ワーク搬送ハンドが搬送するワークの裏面に対向した第１集塵口を有する第１クリーナ部と、ワーク搬送ハンドに設けられた第２クリーナ部であって、テーブルの載置面に対向した第２集塵口を有する第２クリーナ部とを備え、樹脂封止方法は、ワーク搬送ハンドがワーク収納部とテーブルとの間においてワークを搬送するワーク搬送ステップと、ワーク搬送ステップにおいて、第１クリーナ部がワークの裏面に対してクリーニング動作を実行し、かつ、第２クリーナ部がテーブルの載置面に対してクリーニング動作を実行するクリーニングステップを含む。

この態様によれば、ワーク収納部とテーブルとの間でワークを搬送するときに、ワークの裏面と、ワークの裏面に接触するテーブルの載置面とを同時にクリーニングすることができる。したがって、ワークへのパーティクルの付着を効果的に抑制し、生産物の品質向上を図ることができる。

上記態様において、ワーク収納部は、ワーク供給ユニットにおいて樹脂封止前のワークを供給するための供給用収納部を含み、ワーク搬送ステップは、供給用収納部から供給されたワークをテーブルの載置面に載置することを含んでもよい。

上記態様において、ワーク収納部は、ワーク回収ユニットにおいて樹脂封止後のワークを回収するための回収用収納部を含み、ワーク搬送ステップは、回収用収納部に回収するためにワークをテーブルの載置面から取得することを含んでもよい。

上記態様において、ワーク供給ユニット及びワーク回収ユニットの間で移動可能に構成されたテーブルによってワークを搬送するステップをさらに含んでもよい。

本発明によれば、パーティクルの付着を抑制して生産物の品質向上を図ることができる、樹脂封止装置及び樹脂封止方法を提供することができる。

本発明の一実施形態に係る樹脂封止装置の平面図である。 図１のワーク供給ユニットの部分断面図である。 図１のワーク回収ユニットの部分断面図である。 本発明の一実施形態に係る樹脂封止方法の一部を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る樹脂封止方法の一部を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る樹脂封止方法を説明するための図である。 本発明の一実施形態に係る樹脂封止方法を説明するための図である。 本発明の一実施形態に係る樹脂封止方法を説明するための図である。

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。各実施形態の図面は例示であり、各部の寸法や形状は模式的なものであり、本願発明の技術的範囲を当該実施形態に限定して解するべきではない。

＜樹脂封止装置＞
図１及び図２を参照しつつ、本発明の一実施形態に係る樹脂封止装置１の構成について説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る樹脂封止装置の平面図である。また、図２は、図１のワーク供給ユニットの部分断面図であり、図３は、図１のワーク回収ユニットの部分断面図である。なお、図１～図３の各々の図面には、各々の図面相互の関係を明確にし、各部材の位置関係を理解する助けとするために、便宜的に前後左右上下の方向を付している。

樹脂封止装置１は、ワークＷに対して樹脂Ｒを成形して成形品Ｍを製造する造装置である。ワークＷは、基材Ｓ及び電子部品Ｐを含む。成形品Ｍは、電子部品Ｐが樹脂Ｒによって樹脂封止されたワークＷである。ワークＷは本発明に係る「樹脂封止前のワーク」の一例に相当し、成形品Ｍは本発明に係る「樹脂封止後のワーク」の一例に相当する。以下の説明において、ワークＷ及び成形品Ｍにおける裏面Ｗａとは、基板Ｓに対して電子部品Ｐが設けられている側とは反対側である。基材Ｓは、例えばインタポーザ基板であるがこれに限定されるものではなく、リードフレーム、粘着シート付きキャリアプレート又は半導体基板等であってもよい。電子部品Ｐは、例えばＩＣチップ等の半導体素子であるがこれに限定されるものではなく、各種の能動素子、受動素子又はＭＥＭＳデバイス等であってもよい。樹脂Ｒは、例えば顆粒状の熱硬化性樹脂であるがこれに限定されるものではなく、その態様は、粉末状、液状、タブレット状又はシート状等であってもよい。本実施形態では、一例として、ワークＷ及び機能部材Ｈに対して樹脂Ｒを成形する。機能部材Ｈは、例えば板状部材である。機能部材Ｈは、成形品Ｍの基材Ｓが露出する側とは反対側に露出するように設けられる。機能部材Ｈは、例えば、電子部品Ｐが発する熱を放出する放熱部材や電磁波を遮蔽する遮蔽部材としてもよいし、シート状の樹脂部材であってもよい。

本実施形態に係る樹脂封止装置１は、コンプレッション方式の樹脂封止装置（圧縮成形装置）である。図１に示すように、樹脂封止装置１は、ワーク供給ユニット１０と、樹脂成形ユニット２０，３０と、樹脂供給ユニット４０と、機能部材供給ユニット５０と、成形品回収ユニット９０と、第１搬送機構６０と、第２搬送機構７０とを備えている。

樹脂封止装置１の平面レイアウトは特に限定されるものではないが、図１に示す例では、ワーク供給ユニット１０、樹脂成形ユニット２０、樹脂供給ユニット４０、樹脂成形ユニット３０、及び、成形品回収ユニット９０は、図１の左から右に向かって第１搬送機構６０に沿ってこの順番に並んで配置されている。また、第１搬送機構６０を基準として、後側に樹脂供給部４１が配置され、前側に機能部材供給ユニット５０が配置されている。機能部材供給ユニット５０及び樹脂供給ユニット４０は、図１の前から後に向かって第２搬送機構７０に沿ってこの順に並んで配置されている。また、第２搬送機構７０を基準として、左側にワーク供給ユニット１０及び樹脂成形ユニット２０が配置され、右側に樹脂成形ユニット３０及び成形品回収ユニット９０が配置されている。

ワーク供給ユニット１０は、樹脂封止前のワークＷを供給する。ワーク供給ユニット１０は、ワーク収納部１１と、ワーク受渡部１３と、クリーナ部Ｃ１１，Ｃ１２と、ワーク予熱部１５と、ワーク供給コントロールパネル１９とを備えている。図１に示す平面レイアウトの例において、ワーク収納部１１及びワーク受渡部１３は第１搬送機構６０の前方に配置され、ワーク受渡部１３は前後方向におけるワーク収納部１１と第１搬送機構６０との間に配置されている。ワーク予熱部１５は、第１搬送機構６０に重なって配置されている。クリーナ部Ｃ１１は、前後方向におけるワーク収納部１１とワーク予熱部１５との間に配置されている。クリーナ部Ｃ１２は、ワーク受渡部１３に重なって配置されている。ワーク供給コントロールパネル１９は、ワーク供給ユニット１０の前面に配置されている。

ワーク収納部１１は、ワーク供給ユニット１０において樹脂封止前のワークＷを供給するための供給用収納部であり、本発明に係る「ワーク収納部」の一例に相当する。ワーク収納部１１は、複数のワークＷを収納し、ワークＷを順次送り出す。例えば、ワーク収納部１１は、複数のワークマガジンＷＭと、ワークエレベーションとを備えている。複数のワークマガジンＷＭのそれぞれには、複数のワークＷが重なるように収納される。ワークエレベーションは、複数のワークマガジンＷＭの位置を調整する。

ワーク受渡部１３は、ワーク収納部１１から受け取ったワークＷを、後述する第１テーブル６１に引き渡す。例えば、ワーク受渡部１３は、ワークインデックス部と、ピックアンドプレイスハンド１４（第１ハンド）とを備えている。ワークインデックス部は、ワーク収納部１１が送り出したワークＷを受け取って整列させる。ピックアンドプレイスハンド１４は、前後方向で移動可能に構成され、ワーク収納部１１と第１テーブル６１との間においてワークＷを搬送する。ピックアンドプレイスハンド１４は、本発明に係る「ワーク搬送ハンド」の一例に相当する。図２に示すように、ピックアンドプレイスハンド１４は、ワークインデックス部からワークＷを取得し、ワークＷを保持した状態で後方に移動し、ワークＷを第１テーブル６１の載置面６１ａに載置する。

クリーナ部Ｃ１１は、ピックアンドプレイスハンド１４がワーク収納部１１と第１テーブル６１との間においてワークＷを搬送するときにワークＷの裏面Ｗａに対してクリーニング動作を実行する。クリーナ部Ｃ１１は、ピックアンドプレイスハンド１４がワークＷを搬送するときの第１テーブル６１とワーク収納部１１との間に設けられている。言い換えると、クリーナ部Ｃ１１は、平面レイアウトにおいてピックアンドプレイスハンド１４の移動経路と重なるように配置されている。図２に示すように、クリーナ部Ｃ１１は、集塵口Ｄ１１（第１集塵口の一例）を有している。集塵口Ｄ１１は、ワークＷの裏面Ｗａの側を向いている。集塵口Ｄ１１は、ピックアンドプレイスハンド１４がワークＷを搬送するときにワークＷの裏面Ｗａに付着したパーティクルを吸引除去できるように構成されている。クリーナ部Ｃ１１は、本発明に係る「第１クリーナ部」の一例に相当する。

クリーナ部Ｃ１２は、ピックアンドプレイスハンド１４がワーク収納部１１と第１テーブル６１との間においてワークＷを搬送するときに第１テーブル６１の載置面６１ａに対してクリーニング動作を実行する。クリーナ部Ｃ１２は、ピックアンドプレイスハンド１４の前後方向における先端部に設けられており、ピックアンドプレイスハンド１４がワークＷを保持しているときにワークＷの後方に位置する。図２に示すように、クリーナ部Ｃ１２は、集塵口Ｄ１２（第２集塵口の一例）を有している。集塵口Ｄ１２は、第１テーブル６１の載置面６１ａの側を向いている。集塵口Ｄ１２は、ピックアンドプレイスハンド１４がワークＷを搬送するときに第１テーブル６１の載置面６１ａに付着したパーティクルを吸引除去できるように構成されている。クリーナ部Ｃ１２は、本発明に係る「第２クリーナ部」の一例に相当する。

ワーク予熱部１５は、ワーク受渡部１３から受け取ったワークＷを予熱する。樹脂成形ユニット２０，３０に搬送される前にワークＷを予熱することで、急激な温度変化によるワークＷの変形を抑制することができる。ワーク予熱部１５は、ステージ６１の載置面６１ａに載置されたワークＷを加熱する予熱用ヒータを備えている。予熱用ヒータは、例えば熱風ヒータ又は赤外線ヒータである。予熱用ヒータは、例えば、ワークＷを上方から加熱するように配置される。予熱用ヒータは上記に限定されるものではなく、ワークＷを前後方向又は左右方向から加熱してもよく、ステージ６１に内蔵されてもよい。予熱用ヒータをステージ６１に内蔵する場合、ワークＷの予熱は、第１搬送機構６０による搬送中に行われてもよい。予熱用ヒータが周囲の環境に与える影響を抑制し熱損失を低減する観点から、ワーク予熱部１５は、予熱用ヒータの周囲を覆うカバーを備えてもよい。なお、ワーク予熱部１５を設けずに、ワークＷを予熱しない構成としてもよい。この場合、ワークＷが樹脂成形ユニット２０、３０に搬送された後に、樹脂成形ユニット２０、３０への樹脂Ｒ及び機能部材Ｈの搬入開始または型閉め開始までの時間を制御してもよい。

ワーク供給コントロールパネル１９は、ワーク供給ユニット１０の動作を制御する。例えば、ワーク供給コントロールパネル１９は、ワーク供給ユニット１０の制御パラメータを表示する表示部と、ワーク供給ユニット１０の制御パラメータを入力する入力部とを備えている。また、例えば、ワーク供給コントロールパネル１９には、後述の成形品回収ユニット９０、樹脂供給ユニット４０、機能部材供給ユニット５０、第１搬送機構６０及び第２搬送機構７０のそれぞれの制御パラメータを表示する表示部と、当該制御パラメータを入力する入力部とが集約されてもよい。

なお、ワーク供給ユニット１０は、ワークＷの体積を測定する体積測定部や、ワークＷの外観を検査する外観検査部などをさらに備えてもよい。

成形品回収ユニット９０は、樹脂封止後のワークＷに相当する成形品Ｍを回収する。成形品回収ユニット９０は、本発明に係る「ワーク回収ユニット」の一例に相当する。成形品回収ユニット９０は、成形品除熱部９１と、成形品受渡部９３と、クリーナ部Ｃ９１，Ｃ９２と、成形品収納部９５とを備えている。図１に示す平面レイアウトの例において、成形品受渡部９３及び成形品収納部９５は第１搬送機構６０の前方に配置され、成形品受渡部９３は前後方向における成形品収納部９５と第１搬送機構６０との間に配置されている。成形品除熱部９１は、第１搬送機構６０に重なって配置されている。クリーナ部Ｃ９１は、前後方向における成形品収納部９５と成形品除熱部９１との間に配置されている。クリーナ部Ｃ９２は、成形品受渡部９３に重なって配置されている。

成形品除熱部９１は、成形品受渡部９３に引き渡す成形品Ｍを除熱する。成形品除熱部９１は、後述するステージ６２の載置面６２ａに載置された成形品Ｍを冷却する除熱用クーラを備えている。除熱用クーラは、例えば、空冷式冷却装置又はペルチェ式冷却装置である。除熱用クーラは、例えば、成形品Ｍを上方から冷却するように配置される。除熱用クーラは上記に限定されるものではなく、成形品Ｍを前後方向又は左右方向から冷却してもよく、ステージ６２に内蔵されてもよい。除熱用クーラをステージ６２に内蔵する場合、成形品Ｍの除熱は、第１搬送機構６０による搬送中に行われてもよい。なお、成形品除熱部９１を設けずに、自然冷却によって成形品Ｍを冷却してもよく、成形品Ｍを除熱しない構成としてもよい。

成形品受渡部９３は、成形品除熱部９１から受け取った成形品Ｍを成形品収納部９５に引き渡す。例えば、成形品受渡部９３は、ピックアンドプレイスハンド９４（第２ハンド）と、フィードアウト部とを備えている。ピックアンドプレイスハンド９４は、前後方向で移動可能に構成され、成形品収納部９５と第２テーブル６２との間において成形品Ｍを搬送する。ピックアンドプレイスハンド９４は、本発明に係る「ワーク搬送ハンド」の一例に相当する。図３に示すように、ピックアンドプレイスハンド９４は、第２テーブル６２の載置面６２ａから成形品Ｍを取得し、成形品Ｍを保持した状態で前方に移動し、成形品Ｍをフィードアウト部に載置する。フィードアウト部は、ピックアンドプレイスハンド９４から受け取った成形品Ｍを整列させ、成形品収納部９５に送り出す。

クリーナ部Ｃ９１は、ピックアンドプレイスハンド９４が成形品収納部９５と第２テーブル６２との間において成形品Ｍを搬送するときに成形品Ｍの裏面Ｗａに対してクリーニング動作を実行する。クリーナ部Ｃ９１は、ピックアンドプレイスハンド９４が成形品Ｍを搬送するときの第２テーブル６２と成形品収納部９５との間に設けられている。言い換えると、クリーナ部Ｃ９１は、平面レイアウトにおいてピックアンドプレイスハンド９４の移動経路と重なるように配置されている。図３に示すように、クリーナ部Ｃ９１は、集塵口Ｄ９１（第１集塵口の一例）を有している。集塵口Ｄ９２（第２集塵口の一例）は、成形品Ｍの裏面Ｗａの側を向いている。集塵口Ｄ９１は、ピックアンドプレイスハンド９４が成形品Ｍを搬送するときに成形品Ｍの裏面Ｗａに付着したパーティクルを吸引除去できるように構成されている。クリーナ部Ｃ９１は、本発明に係る「第１クリーナ部」の一例に相当する。

クリーナ部Ｃ９２は、ピックアンドプレイスハンド９４が成形品収納部９５と第２テーブル６２との間において成形品Ｍを搬送するときに第２テーブル６２の載置面６２ａに対してクリーニング動作を実行する。クリーナ部Ｃ９２は、ピックアンドプレイスハンド９４の前後方向における先端部に設けられており、ピックアンドプレイスハンド９４が成形品Ｍを保持しているときに成形品Ｍの後方に位置する。図３に示すように、クリーナ部Ｃ９２は、集塵口Ｄ９２を有している。集塵口Ｄ９２は、第２テーブル６２の載置面６２ａの側を向いている。集塵口Ｄ９２は、ピックアンドプレイスハンド９４が成形品Ｍを搬送するときに第２テーブル６２の載置面６２ａに付着したパーティクルを吸引除去できるように構成されている。クリーナ部Ｃ９２は、本発明に係る「第２クリーナ部」の一例に相当する。

成形品収納部９５は、成形品回収ユニット９０において樹脂封止後のワークＷを回収するための回収用収納部であり、本発明に係る「ワーク収納部」の一例に相当する。例えば、成形品収納部９５は、複数の成形品マガジンＭＭと、成形品エレベーションとを備えている。複数の成形品マガジンのそれぞれには、複数の成形品Ｍが重なるように収納される。成形品エレベーションは、成形品マガジンＭＭの位置を調整する。

なお、成形品回収ユニット９０は、成形品Ｍの体積を測定する体積測定部、及び、成形品Ｍの外観を検査する外観検査部等をさらに備えてもよい。

樹脂成形ユニット２０は、ワークＷ及び機能部材Ｈに対して樹脂Ｒを成形する。樹脂成形ユニット２０は、樹脂封止金型２１と、プレスローダ２３と、フィルムハンドラ２７と、樹脂成形コントロールパネル２９とを備えている。図１に示す平面レイアウトの例において、樹脂封止金型２１は第１搬送機構６０の前方に配置され、フィルムハンドラ２７は樹脂封止金型２１の左右に配置されている。樹脂成形コントロールパネル２９は、樹脂成形ユニット２０の前面に配置されている。

樹脂封止金型２１は、その内部のキャビティ２５において樹脂Ｒを加熱硬化させて電子部品Ｐを封止する、一対の開閉可能な下型及び上型を備えている。樹脂封止金型２１は、一例として、いわゆる上キャビティ可動構造の圧縮成形金型である。具体的には、下型は上型に対向する側にワークＷを載置する平坦な面を有し、上型は下型に対向する側にキャビティ２５を形成する凹状の面を有する。樹脂封止金型２１は、下キャビティ可動構造の圧縮成形金型であってもよい。

プレスローダ２３は、前後方向で移動可能に構成され、第１テーブル６１と樹脂封止金型２１との間においてワークＷを搬送し、第２テーブル６２と樹脂封止金型２１との間において成形品Ｍを搬送する。具体的には、プレスローダ２３は、第１テーブル６１からワークＷを取得し、ワークＷを保持した状態で前方に移動してワークＷを樹脂封止金型２１に搬入し、ワークＷを樹脂封止金型２１に引き渡し、後方に移動して樹脂封止金型２１から退出する。また、プレスローダ２３は、樹脂封止金型２１に後方から進入し、樹脂封止金型２１から成形品Ｍを取得し、成形品Ｍを保持した状態で後方に移動して樹脂封止金型２１から成形品Ｍを搬出し、第２テーブル６２に引き渡す。プレスローダ２３の移動経路は、第１搬送機構６０の移動経路と交差している。

フィルムハンドラ２７は、樹脂封止金型２１にフィルムを供給する。フィルムは、キャビティ２５の隙間に樹脂Ｒが侵入することを阻害するとともに、キャビティ２５からの成形品Ｍの剥離を容易にするための離型フィルムである。フィルムハンドラ２７は、例えばロール状のフィルムを扱うものであり、未使用のフィルムを供給する巻出部と、使用済みのフィルムを回収する巻取部とを備えている。なお、フィルムの材料として、耐熱性、剥離容易性、柔軟性、伸展性に優れた高分子材料を用いることができ、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＥＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン・エチレン共重合体）、ＦＥＰ（テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＰ（ポリプロピレン）及びＰＶＤＣ（ポリ塩化ビニリジン）等が挙げられる。フィルムの厚さは、材料の物性に応じて好適に選択され、一例として５０μｍ程度である。なお、フィルムの形状はロール状に限定されるものではなく、短冊状であってもよい。

樹脂成形コントロールパネル２９は、樹脂成形ユニット２０の動作を制御する。例えば、樹脂成形コントロールパネル２９は、樹脂成形ユニット２０の制御パラメータを表示する表示部と、樹脂成形ユニット２０の制御パラメータを入力する入力部とを備えている。

樹脂成形ユニット３０は、キャビティ３５が設けられた樹脂封止金型３１と、プレスローダ３３と、フィルムハンドラ３７と、樹脂成形コントロールパネル３９とを備えている。なお、以下の説明においては、、樹脂封止金型３１、プレスローダ３３、フィルムハンドラ３７及び樹脂成形コントロールパネル３９の詳細は省略するが、樹脂成形ユニット２０について説明した各構成と同様の構成を適用することができる。

なお、樹脂成形コントロールパネル２９，３９は、その機能の少なくとも一部がワーク供給コントロールパネル１９に集約されてもよい。例えば、樹脂成形ユニット２０，３０の制御パラメータはワーク供給コントロールパネル１９の表示部に表示されてもよく、樹脂成形ユニット２０，３０の制御パラメータはワーク供給コントロールパネル１９の入力部に入力されてもよい。各ユニットのコントロールパネルの機能が全てワーク供給コントロールパネル１９に集約される場合、樹脂成形コントロールパネル２９，３９は省略されてもよい。

樹脂供給ユニット４０は、樹脂Ｒを供給する。樹脂供給ユニット４０は、樹脂供給部４１を備えている。図１に示す平面レイアウトの例において、樹脂供給部４１は、第１搬送機構６０の後方に配置されている。

樹脂供給部４１は、後述するレジンローダ７１に樹脂Ｒを供給する。樹脂供給部４１は、例えば、ホッパと、フィーダと、流量調整弁とを備えている。ホッパは樹脂Ｒを貯留し、フィーダはホッパからレジンローダ７１へ樹脂Ｒを送り出し、流量調整弁はレジンローダ７１への樹脂Ｒの供給量を調整する。なお、樹脂が液状の場合、樹脂供給部は、樹脂を貯留するシリンジと、樹脂を押し出すピストンと、ピストンを駆動するサーボモータと、シリンジの先端を開閉するピンチバルブとを備えてもよい。

なお、樹脂供給ユニット４０は、樹脂Ｒの重量を測定する重量測定部、樹脂Ｒを予熱する樹脂予熱部、樹脂Ｒを囲む枠体として用いられるレジンガード、樹脂Ｒを振動によって分散させる加振部、及び、樹脂Ｒの分散の程度を検査する検査部等をさらに備えてもよい。

機能部材供給ユニット５０は、機能部材Ｈを供給する。機能部材供給ユニット５０は、機能部材収納部５１と、機能部材受渡部５３とを備えている。図１に示す平面レイアウトの例において、機能部材受渡部５３は機能部材収納部５１の後方に配置されている。

機能部材収納部５１は、レジンローダ７１に機能部材を供給する。機能部材収納部５１は、複数の機能部材Ｈを収納し、機能部材Ｈを順次送り出す。例えば、機能部材収納部５１は、複数の機能部材マガジンと、機能部材エレベーションとを備えている。複数の機能部材マガジンのそれぞれには、複数の機能部材が重なるように収納される。機能部材エレベーションは、複数の機能部材マガジンの位置を調整する。

機能部材受渡部５３は、機能部材収納部５１から受け取った機能部材Ｈをレジンローダ７１に引き渡す。例えば、機能部材受渡部５３は、機能部材インデックス部と、機能部材ピックアンドプレイスハンドとを備えている。機能部材インデックス部は、機能部材収納部５１が送り出した機能部材Ｈを受け取って整列させる。機能部材ピックアンドプレイスハンドは、前後方向で移動可能に構成され、機能部材収納部５１とレジンローダ７１との間においてワークＷを搬送する。機能部材ピックアンドプレイスハンドは、機能部材インデックス部から機能部材を取得し、機能部材を保持した状態で後方に移動し、機能部材をレジンローダ７１に載置する。

なお、機能部材供給ユニット５０は、機能部材Ｈの体積を測定する体積測定部、機能部材Ｈの外観を検査する外観検査部、及び、機能部材Ｈを予熱する機能部材予熱部などをさらに備えてもよい。

第１搬送機構６０は、ワークＷ又は成形品Ｍをユニット間で搬送する。第１搬送機構６０は、第１テーブル６１と、第２テーブル６２と、第１リニアコンベア６０Ｒと、クリーナ部Ｃ６１，６２とを備えている。

第１テーブル６１は、ワーク供給ユニット１０及びワーク回収ユニット９０の間で移動可能に構成されている。図１に示す平面レイアウトの例において、第１テーブル６１は、ワーク供給ユニット１０内の位置Ｐ１３と、樹脂成形ユニット３０内の位置Ｐ３３との間を移動する。第１テーブル６１はワークＷを載置するための載置面６１ａを有する。第１テーブル６１は、ワークＷをワーク供給ユニット１０から樹脂成形ユニット２０又は樹脂成形ユニット３０に搬送する。具体的には、第１テーブル６１は、ワーク供給ユニット１０内の位置Ｐ１３においてワークＷを受け取り、樹脂成形ユニット２０内の位置Ｐ２３又は樹脂成形ユニット３０内の位置Ｐ３３においてワークＷを引き渡す。

第２テーブル６２は、ワーク供給ユニット１０及びワーク回収ユニット９０の間で移動可能に構成されている。図１に示す平面レイアウトの例において、第２テーブル６２は、樹脂成形ユニット３０内の位置Ｐ３３と、ワーク回収ユニット９０内の位置Ｐ９３との間を移動する。第２テーブル６２は成形品Ｍを載置するための載置面６２ａを有する。第２テーブル６２は、成形品Ｍを樹脂成形ユニット２０又は樹脂成形ユニット３０から成形品回収ユニット９０に搬送する。具体的には、第２テーブル６２は、樹脂成形ユニット２０内の位置Ｐ２３又は樹脂成形ユニット３０内の位置Ｐ３３において成形品Ｍを置け取り、成形品回収ユニット９０内の位置Ｐ９３において成形品Ｍを引き渡す。

第１リニアコンベア６０Ｒは、第１テーブル６１及び第２テーブル６２を左右方向に移動させる。第１リニアコンベア６０Ｒは、ワーク供給ユニット１０、樹脂成形ユニット２０、樹脂供給ユニット４０、樹脂成形ユニット３０及び成形品回収ユニット９０にわたって左右方向に延在している。第１リニアコンベア６０Ｒは、第１テーブル６１及び第２テーブル６２の移動経路に相当する。

クリーナ部Ｃ６１は、第１搬送機構６０によって第１テーブル６１が移動するとき、第１テーブル６１の載置面６１ａに対してクリーニング動作を実行する。クリーナ部Ｃ６１は、第１搬送機構６０における第１テーブル６１の移動経路の上に設けられている。図１に示す平面レイアウトの例において、クリーナ部Ｃ６１は、位置Ｐ１３と位置Ｐ２３との間に設けられている。クリーナ部Ｃ６１は、ワークＷを引き渡したのちに次のワークＷを受け取るために移動中の第１テーブル６１の載置面６１ａを清掃する。図２に示すように、クリーナ部Ｃ６１は、集塵口Ｄ６１（第３集塵口）を有している。集塵口Ｄ６１は、第１テーブル６１の載置面６１ａの側を向いている。集塵口Ｄ６１は、第１テーブル６１が位置Ｐ２３又は位置Ｐ３３から位置Ｐ１３に移動するときに第１テーブル６１の載置面６１ａに付着したパーティクルを吸引除去できるように構成されている。クリーナ部Ｃ６１は、本発明に係る「第３クリーナ部」の一例に相当する。

なお、図１に示す平面レイアウトの例において、クリーナ部Ｃ６１はワーク供給ユニット１０内に設けられているが、位置Ｐ１３と位置Ｐ２３との間であれば樹脂成形ユニット２０内に設けられてもよいし、クリーナ部Ｃ６１は上下可動としてもよく、ワークＷ搬送時と空の時の第１テーブル６１の載置面６１ａとの隙間を調整して集塵効率を高めてもよい。さらに、ワークＷ搬送時にワークＷの上面を集塵してもよい。このとき第１テーブル６１の載置面６１ａにワークＷが吸着可能としてもよい。

クリーナ部Ｃ６２は、第１搬送機構６０によって第２テーブル６２が移動するとき、第２テーブル６２の載置面６２ａに対してクリーニング動作を実行する。クリーナ部Ｃ６２は、第１搬送機構６０における第２テーブル６２の移動経路の上に設けられている。図１に示す平面レイアウトの例において、クリーナ部Ｃ６２は、位置Ｐ３３と位置Ｐ９３との間に設けられている。クリーナ部Ｃ６２は、成形品Ｍを引き渡したのちに次の成形品Ｍの受け取るために移動中の第２テーブル６２の載置面６２ａを清掃する。図３に示すように、クリーナ部Ｃ６２は、集塵口Ｄ６２を有している。集塵口Ｄ６２は、第２テーブル６２の載置面６２ａの側を向いている。集塵口Ｄ６２は、第２テーブル６２が位置Ｐ９３から位置Ｐ２３又は位置Ｐ３３に移動するときに第２テーブル６２の載置面６２ａに付着したパーティクルを吸引除去できるように構成されている。クリーナ部Ｃ６２は、本発明に係る「第３クリーナ部」の一例に相当する。

なお、図１に示す平面レイアウトの例において、クリーナ部Ｃ６２は成形品回収ユニット９０内に設けられているが、位置Ｐ３３と位置Ｐ９３との間であれば樹脂成形ユニット３０内に設けられてもよいし、クリーナ部Ｃ６２は上下可動としてもよく、成形品Ｍ搬送時と空の時の第２テーブル６２の載置面６２ａとの隙間を調整して集塵効率を高めてもよい。さらに、成形品Ｍ搬送時に成形品Ｍの上面を集塵してもよい。このとき第２テーブル６２の載置面６２ａに成形品Ｍが吸着可能としてもよい。

第２搬送機構７０は、樹脂Ｒ及び樹脂供給部４１を搬送する。第２搬送機構７０は、レジンローダ７１と、第２リニアコンベア７０Ｒとを備えている。

レジンローダ７１は、樹脂供給ユニット４０及び機能部材供給ユニット５０の間で移動可能に構成されている。レジンローダ７１は、樹脂Ｒを樹脂供給ユニット４０から樹脂成形ユニット２０又は樹脂成形ユニット３０に搬送する。また、レジンローダ７１は、機能部材Ｈを機能部材供給ユニット５０から樹脂成形ユニット２０又は樹脂成形ユニット３０に搬送する。図示を省略しているが、レジンローダ７１は、樹脂Ｒ及び機能部材Ｈを保持する保持機構と、位置Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３の間を旋回させる旋回機構と、旋回の起点に対して進退させる進退機構とを備えている。

第２リニアコンベア７０Ｒは、レジンローダ７１を前後方向に移動させる。第２リニアコンベア７０Ｒは、樹脂供給ユニット４０及び機能部材供給ユニット５０にわたって前後方向に延在している。第２リニアコンベア７０Ｒは、レジンローダ７１の移動経路に相当する。

図１に示す平面レイアウトの例において、レジンローダ７１は、樹脂供給部４１で樹脂Ｒを受け取った後、第２リニアコンベア７０Ｒによって第１リニアコンベア６０Ｒの前方の位置Ｐ１に移動する。次に、レジンローダ７１は、旋回機構により機能部材受渡部５３の後方の位置Ｐ２に移動する。次に、レジンローダ７１は、進退機構により機能部材受渡部５３に移動し、機能部材Ｈを受け取った後、再び進退機構により位置Ｐ２に移動する。次に、レジンローダ７１は、旋回機構により樹脂封止金型２１の右方の位置Ｐ３に移動する。次に、レジンローダ７１は、進退機構により樹脂封止金型２１に進入し、樹脂封止金型２１に樹脂Ｒ及び機能部材Ｈを搬入する。樹脂Ｒ及び機能部材Ｈを樹脂封止金型２１に引き渡したレジンローダ７１は、進退機構により樹脂封止金型２１から退出し、再び位置Ｐ３に移動する。

樹脂成形ユニット３０の樹脂封止金型３１に対して、第２搬送機構７０は、樹脂成形ユニット２０の樹脂封止金型２１に対するのと同様に動作する。したがって、第１搬送機構６０及び第２搬送機構７０の樹脂封止金型３１に対する動作の説明は省略する。但し、第２搬送機構７０の樹脂封止金型３１に対する動作は、第２搬送機構７０の樹脂封止金型２１に対する動作とは左右反転した動作となる。
＜樹脂封止方法＞

次に、図４～図８を参照しつつ、樹脂封止装置１を用いた樹脂封止方法について説明する。図４及び図５は、本発明の一実施形態に係る樹脂封止方法の一部を示すフローチャートである。図６～図８は、本発明の一実施形態に係る樹脂封止方法を説明するための図である。なお、以下においては、樹脂成形ユニット２０において樹脂封止する場合の樹脂封止方法を例に挙げて説明する。樹脂成形ユニット３０において樹脂封止する場合の樹脂封止方法は、同様のため説明を省略する。

まず、第１テーブル６１をワーク供給ユニット１０に移動させる（Ｓ１１０）。載置面６１ａ上が空の第１テーブル６１を、リニアコンベア６０Ｒによって移動させ、位置Ｐ１３に停止させる。

次に、ワークＷを第１テーブル６１に搬送しつつクリーニング動作を実行する（Ｓ１２０）。すなわち、ステップＳ１２０は、同時に実施されるワーク搬送ステップ及びクリーニングステップを含む。図６に示すように、ステップＳ１２０におけるクリーニングステップにおいて、クリーナ部Ｃ１１がワークＷの裏面Ｗａに対してクリーニング動作を実行し、かつ、クリーナ部Ｃ１２が第１テーブル６１の載置面６１ａに対してクリーニング動作を実行する。具体的には、まず、ワーク収納部１１から取り出したワークＷをワーク受渡部１３のワークインデックス部に整列させる。次に、ピックアンドプレイスハンド１４によってワークインデックス部からワークＷを取得させ、第１テーブル６１に向かってピックアンドプレイスハンド１４を移動させる。ワークＷを保持したピックアンドプレイスハンド１４の移動中に、クリーナ部Ｃ１１の集塵口Ｄ１１は、クリーナ部Ｃ１１の上方を通過するワークＷの裏面Ｗａに付着したパーティクルを吸引除去し、クリーナ部Ｃ１２の集塵口Ｄ１２は、第１テーブル６１の上方を通過しつつ第１テーブル６１の載置面６１ａに付着したパーティクルを吸引除去する。

次に、ワークＷを第１テーブル６１に載置し（Ｓ１３０）、ワークＷを予熱する（Ｓ１４０）。ワークＷを保持したピックアンドプレイスハンド１４を第１テーブル６１の載置面６１ａ上まで移動させ、ピックアンドプレイスハンド１４からワークＷを解放させる。空になったピックアンドプレイスハンド１４は、第１テーブル６１の載置面６１ａ上からワーク収納部１１に向かって移動する。ワークＷは、第１テーブル６１の載置面６１ａ上で加熱される。

次に、第１テーブル６１を樹脂成形ユニット２０に移動させる（Ｓ１５０）。ワークＷを載せた第１テーブル６１を、リニアコンベア６０Ｒによって移動させ、位置Ｐ２３に停止させる。

次に、ワークＷを樹脂封止金型２１に搬入する（Ｓ１６０）。ます、プレスローダ２３によって、第１テーブル６１からワークＷを取得させる。次に、ワークＷを保持したプレスローダ２３を樹脂封止金型２１の内部に進入させる。次に、樹脂封止金型２１の内部でワークＷをプレスローダ２３から解放させ、空のプレスローダ２３を樹脂封止金型２１の内部から退出させる。

次に、ワークＷを樹脂封止する（Ｓ１７０）。まず、レジンローダ７１によって樹脂封止金型２１の内部に樹脂Ｒ及び機能部材Ｈを搬入する。次に、昇温した樹脂封止金型２１を型締めし、樹脂Ｒを加熱圧縮する。これにより、樹脂Ｒはキャビティ２５の形状に成形され、ワークＷの電子部品Ｐは樹脂封止される。

次に、第１テーブル６１を移動させつつクリーニング動作を実行する（Ｓ１８０）。まず、載置面６１ａが空の第１テーブル６１を、リニアコンベア６０Ｒによって移動させる。第１テーブル６１は、位置Ｐ２３から位置Ｐ１３に向けて移動する。図７に示すように、ステップＳ１８０におけるスリーニング動作において、クリーナ部Ｃ６１が第１テーブル６１の載置面６１ａに対してクリーニング動作を実行する。具体的には、載置面６１ａが空の第１テーブル６１の移動中に、クリーナ部Ｃ６１の集塵口Ｄ６１が、クリーナ部Ｃ６１の下方を通過する第１テーブル６１の載置面６１ａに付着したパーティクルを吸引除去する。

次に、第２テーブル６２を樹脂成形ユニット２０に移動させる（Ｓ２１０）。載置面６２ａ上が空の第２テーブル６２を、リニアコンベア６０Ｒによって移動させ、位置Ｐ２３に停止させる。

次に、成形品Ｍを樹脂封止金型２１から搬出して第２テーブル６２に載置する（Ｓ２２０）。まず、成形品Ｍが完成して型開きされた樹脂封止金型２１の内部に、プレスローダ２３を進入させる。次に、プレスローダ２３によって、樹脂封止金型２１から成形品Ｍを取得させる。次に、成形品Ｍを保持したプレスローダ２３を樹脂封止金型２１から退出させる。第２テーブル６２の載置面６２ａ上で、プレスローダ２３から成形品Ｍを解放させる。

次に、成形品回収ユニット９０に第２テーブル６２を移動させる（Ｓ２３０）。成形品Ｍを載せた第２テーブル６２を、リニアコンベア６０Ｒによって移動させ、位置Ｐ９３に停止させる。

次に、成形品Ｍを第２テーブル６２から取得する（Ｓ２４０）。まず、空のピックアンドプレイスハンド９４を第２テーブル６２の載置面６２ａ上に移動させる。次に、ピックアンドプレイスハンド９４によって、第２テーブル６２の載置面６２ａから成形品Ｍを取得させる。

次に、成形品Ｍを第２テーブル６２から搬送しつつクリーニング動作を実行する（Ｓ２５０）。すなわち、ステップＳ２５０は、同時に実施される成形品搬送ステップ及びクリーニングステップを含む。図８に示すように、ステップＳ２５０におけるクリーニングステップにおいて、クリーナ部Ｃ９１が成形品Ｍの裏面Ｗａに対してクリーニング動作を実行し、かつ、クリーナ部Ｃ９２が第２テーブル６２の載置面６２ａに対してクリーニング動作を実行する。具体的には、成形品Ｍを保持したピックアンドプレイスハンド９４の移動中に、クリーナ部Ｃ９１の集塵口Ｄ９１が、クリーナ部Ｃ９１の上方を通過する成形品Ｍの裏面Ｗａに付着したパーティクルを吸引除去し、クリーナ部Ｃ９２の集塵口Ｄ９２が、第２テーブル６２の上方を通過しつつ第２テーブル６２の載置面６２ａに付着したパーティクルを吸引除去する。

次に、成形品Ｍを成形品収納部９５に回収する（Ｓ２６０）。まず、成形品受渡部９３のフィードアウト部において、裏面Ｗａがクリーニングされた成形品Ｍをピックアンドプレイスハンド９４から解放させる。次に、フィードアウト部で整列させた成形品Ｍを、成形品収納部９５の成形品マガジンＭＭに収納する。

次に、第２テーブル６２を移動させつつクリーニング動作を実行する（Ｓ２７０）。ステップＳ１８０と同様、載置面６２ａが空の第２テーブル６２の移動中に、クリーナ部Ｃ６２が第２テーブル６２の載置面６２ａに対してクリーニング動作を実行する。具体的には、載置面６２ａが空の第２テーブル６２の移動中に、クリーナ部Ｃ６２の集塵口Ｄ６２が、クリーナ部Ｃ６２の下方を通過する第２テーブル６２の載置面６２ａに付着したパーティクルを吸引除去する。

以上のように、本発明の一態様に係る樹脂封止装置１は、ワークＷを収納するためのワーク収納部１１と、ワークＷを載置するための載置面６１ａを有する第１テーブル６１と、ワーク収納部１１と第１テーブル６１との間においてワークＷを搬送するピックアンドプレイスハンド１４と、ワーク収納部１１と第１テーブル６１との間に設けられたクリーナ部Ｃ１１であって、ピックアンドプレイスハンド１４が搬送するワークＷの裏面Ｗａに対向した集塵口Ｄ１１を有するクリーナ部Ｃ１１と、ピックアンドプレイスハンド１４に設けられたクリーナ部Ｃ１２であって、第１テーブル６１の載置面６１ａに対向した集塵口Ｄ１２を有するクリーナ部Ｃ１２とを備え、ピックアンドプレイスハンド１４がワーク収納部１１と第１テーブル６１との間においてワークＷを搬送するとき、クリーナ部Ｃ１１がワークＷの裏面Ｗａに対してクリーニング動作を実行し、かつ、クリーナ部Ｃ１２が第１テーブル６１の載置面６１ａに対してクリーニング動作を実行する。

これによれば、ワーク収納部１１と第１テーブル６１との間でワークＷを搬送するときに、ワークＷの裏面Ｗａと、ワークＷの裏面Ｗａに接触する第１テーブル６１の載置面６１ａとを同時にクリーニングすることができる。したがって、ワークＷへのパーティクルの付着を効果的に抑制し、生産物の品質向上を図ることができる。

また、樹脂封止装置１は、成形品Ｍを収納するための成形品収納部９５と、成形品Ｍを載置するための載置面６２ａを有する第２テーブル６２と、成形品収納部９５と第２テーブル６２との間において成形品Ｍを搬送するピックアンドプレイスハンド９４と、成形品収納部９５と第２テーブル６２との間に設けられたクリーナ部Ｃ９１であって、ピックアンドプレイスハンド９４が搬送する成形品Ｍの裏面Ｗａに対向した集塵口Ｄ９１を有するクリーナ部Ｃ９１と、ピックアンドプレイスハンド９４に設けられたクリーナ部Ｃ９２であって、第２テーブル６２の載置面６２ａに対向した集塵口Ｄ９２を有するクリーナ部Ｃ９２とを備え、ピックアンドプレイスハンド９４が成形品収納部９５と第２テーブル６２との間において成形品Ｍを搬送するとき、クリーナ部Ｃ９１が成形品Ｍの裏面Ｗａに対してクリーニング動作を実行し、かつ、クリーナ部Ｃ９２が第２テーブル６２の載置面６２ａに対してクリーニング動作を実行する。

これによれば、成形品収納部９５と第２テーブル６２との間で成形品Ｍを搬送するときに、成形品Ｍの裏面Ｗａと、成形品Ｍの裏面Ｗａに接触する第２テーブル６２の載置面６２ａとを同時にクリーニングすることができる。したがって、成形品Ｍへのパーティクルの付着を効果的に抑制し、生産物の品質向上を図ることができる。

上記の一態様として、樹脂封止装置１は、ワーク供給ユニット１０及び成形品回収ユニット９０の間で移動可能に構成された第１テーブル６１及び第２テーブル６２を有し、第１テーブル６１によってワークＷを搬送し、第２テーブル６２によって成形品Ｍを搬送する第１搬送機構６０をさらに備えてもよい。

上記の一態様として、樹脂封止装置１は、第１搬送機構６０における第１テーブル６１の移動経路の上に設けられたクリーナ部Ｃ６１であって、第１テーブル６１の載置面６１ａの側を向いている集塵口Ｄ６１を有するクリーナ部Ｃ６１をさらに備え、第１搬送機構６０によって第１テーブル６１が移動するとき、クリーナ部Ｃ６１が第１テーブル６１の載置面６１ａに対してクリーニング動作を実行してもよいし、更にクリーナ部Ｃ６１がワークＷの上面に対してクリーニング動作を実行してもよい。

これによれば、ワークＷへのパーティクルの付着をさらに抑制し、生産物のさらなる品質向上を図ることができる。

上記の一態様として、樹脂封止装置１は、第１搬送機構６０における第２テーブル６２の移動経路の上に設けられたクリーナ部Ｃ６２であって、第２テーブル６２の載置面６２ａの側を向いている集塵口Ｄ６２を有するクリーナ部Ｃ６２をさらに備え、第１搬送機構６０によって第２テーブル６２が移動するとき、クリーナ部Ｃ６２が第２テーブル６２の載置面６２ａに対してクリーニング動作を実行してもよいし、更にクリーナ部Ｃ６２が成形品Ｍの上面に対してクリーニング動作を実行してもよい。

これによれば、成形品Ｍへのパーティクルの付着をさらに抑制し、生産物のさらなる品質向上を図ることができる。

本発明の他の一態様に係る樹脂封止装置１を用いた樹脂封止方法は、ピックアンドプレイスハンド１４がワーク収納部１１と第１テーブル６１との間においてワークＷを搬送するワーク搬送ステップにおいて、クリーナ部Ｃ１１がワークＷの裏面Ｗａに対してクリーニング動作を実行し、かつ、クリーナ部Ｃ１２が第１テーブル６１の載置面６１ａに対してクリーニング動作を実行するクリーニングステップとを含む。

これによれば、ワーク収納部１１と第１テーブル６１との間でワークＷを搬送するときに、ワークＷの裏面Ｗａと、ワークＷの裏面Ｗａに接触する第１テーブル６１の載置面６１ａとを同時にクリーニングすることができる。したがって、ワークＷへのパーティクルの付着を効果的に抑制し、生産物の品質向上を図ることができる。

また、樹脂封止装置１を用いた樹脂封止方法は、ピックアンドプレイスハンド９４が成形品収納部９５と第２テーブル６２との間において成形品Ｍを搬送する成形品搬送ステップにおいて、クリーナ部Ｃ９１が成形品Ｍの裏面Ｗａに対してクリーニング動作を実行し、かつ、クリーナ部Ｃ９２が第２テーブル６２の載置面６２ａに対してクリーニング動作を実行するクリーニングステップとを含む。

これによれば、成形品収納部９５と第２テーブル６２との間で成形品Ｍを搬送するときに、成形品Ｍの裏面Ｗａと、第２テーブル６２の載置面６２ａとを同時にクリーニングすることができる。したがって、成形品Ｍへのパーティクルの付着を効果的に抑制し、生産物の品質向上を図ることができる。

上記の一態様として、樹脂封止方法は、ワーク供給ユニット１０及び成形品回収ユニット９０の間で移動可能に構成された第１テーブル６１によってワークＷを搬送するステップをさらに含んでもよく、ワーク供給ユニット１０及び成形品回収ユニット９０の間で移動可能に構成された第２テーブル６２によって成形品Ｍを搬送するステップをさらに含んでもよい。

なお、本実施形態において、樹脂封止装置１は、ワーク供給ユニット１０におけるワーク用クリーニング機構としてクリーナ部Ｃ１１，Ｃ１２を有し、成形品回収ユニット９０における成形品用クリーニング機構としてクリーナ部Ｃ９１，Ｃ９２を有しているが、クリーニング機構のいずれか一方は省略されてもよい。例えば、樹脂封止装置がワーク供給用クリーニング機構を有する場合、成形品用クリーニング機構は省略されてもよい。逆に、樹脂封止装置が成形品用クリーニング機構を有する場合、ワーク供給用クリーニング機構は省略されてもよい。但し、樹脂封止装置は、少なくともワーク供給用クリーニング機構を有することが望ましい。

樹脂封止装置は、第１搬送機構における第１テーブル及び第２テーブルの両方の移動経路の上、すなわち位置Ｐ２３と位置Ｐ３３との間にクリーナ部を備えてもよい。当該クリーナ部は、本実施形態に係るクリーナ部Ｃ６１，Ｃ６２と同様に構成される。当該クリーナ部は、第１テーブル及び第２テーブルの両方の載置面をクリーニングすることができる。

本実施形態において各々のクリーナ部は集塵口に加えて、ブラシ、除電用ブロア、エアブロア、又は、超音波を放射する放射部等をさらに備えてもよい。ブラシは、クリーニングしたい載置面６１ａ，６２ａ又は裏面Ｗａ（以下、「清掃面」とする。）に先端が接触するように設けられ、清掃面に付着したパーティクルを剥離できるように構成される。ブラシは、望ましくは静電気を除去可能な材料によって設けられた除電ブラシである。これによれば、清掃面に静電付着したパーティクルが除電されて剥離し易くなるとともに、清掃面が除電されてパーティクルが静電付着し難くなる。除電用ブロアは、清掃面にイオン風を吹き付け、静電気を除去できるように構成される。これによれば、除電ブラシと同様の効果が得られる。エアブロアは、清掃面にエアを吹き付け、パーティクルを吹き飛ばすことができるように構成される。また、例えば放射部より超音波を放射して塵埃を浮かせて除去してもよい。

本実施形態において、第１搬送機構６０はワーク供給用の第１テーブル６１と成形品回収用の第２テーブル６２とを備えているがこれに限定されるものではない。第１搬送機構は、ワーク供給と成形品回収とを兼任する１つのテーブルを備えてもよい。

本実施形態において、樹脂成形ユニット２０と樹脂成形ユニット３０との間に樹脂供給ユニット４０が設けられているが、樹脂成形ユニット２０及び樹脂成形ユニット３０のいずれか一方は省略されてもよい。すなわち、１つの樹脂供給ユニットが１つの樹脂成形ユニットに樹脂を供給する構成であってもよい。また、樹脂成形ユニットは３つ以上設けられてもよく、樹脂供給ユニットは２つ以上設けられてもよい。例えば、２つの樹脂成形ユニットと、当該２つの樹脂成形ユニットの間に設けられて当該２つの樹脂成形ユニットに樹脂を供給する樹脂供給ユニットとを１つのユニット群として、複数のユニット群が左右方向に並んで配置されてもよい。

本実施形態において、第２搬送機構７０は樹脂Ｒ及び機能部材Ｈの両方を同時に樹脂封止金型２１へ搬入するが、これに限定されるものではない。第２搬送機構は、樹脂及び機能部材の一方を搬入してから他方を搬入してもよい。また、第２搬送機構においてレジンローダを旋回させる機構は省略されてもよい。

本実施形態において、ユニット間における左右方向でのワークＷの搬送は第１テーブル６１によって実施され、樹脂成形ユニット２０，３０における前後方向でのワークＷの搬送はプレスローダ２３，３３によって実施されるが、これに限定されるものではない。例えば、第１搬送機構は第１テーブルの代わりにプレスローダをユニット間で移動可能に構成され、ワーク予熱部は固定された加熱用ステージを有してもよい。この場合、ワークは、プレスローダによってワーク予熱部から取得され、プレスローダによって樹脂成形ユニットに搬送され、樹脂成形ユニットにおいてプレスローダによって樹脂封止金型に搬入される。同様に、第１搬送機構は第２テーブルの代わりにプレスアンローダをユニット間で移動可能に構成されてもよい。

本実施形態に係る樹脂成形ユニット２０，３０は、キャビティ可動構造のコンプレッション方式の成形樹脂封止金型２１，３１を有するコンプレッション成形ユニットであるが、固定容量のキャビティに樹脂を加圧注入する機構が備えられたトランスファ方式の成形樹脂封止金型を有するトランスファ成形ユニットであってもよい。また、本実施形態は上キャビティ可動の圧縮成形装置を想定しての記載だが、下キャビティ可動の圧縮成形装置に適用してもよい。その場合は、図２及び図３の搬送は上下天地を逆にすれば可能である。

以上説明したように、本発明の一態様によれば、パーティクルの付着を抑制して生産物の品質向上を図ることができる、樹脂封止装置及び樹脂封止方法を提供することができる。

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。実施形態が備える各要素並びにその配置、材料、条件、形状及びサイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、異なる実施形態で示した構成同士を部分的に置換し又は組み合わせることが可能である。

１…樹脂封止装置
１０…ワーク供給ユニット
１１…ワーク収納部
１３…ワーク受渡部
１４…ピックアンドプレイスハンド
１５…ワーク予熱部
Ｃ１１，Ｃ１２…クリーナ部
Ｄ１１，Ｄ１２…集塵口
２０，３０…樹脂成形ユニット
２３，３３…プレスローダ
４０…樹脂供給ユニット
５０…機能部材供給ユニット
６０…第１搬送機構
６０Ｒ…リニアコンベア
６１…第１テーブル
６２…第２テーブル
６１ａ，６２ａ…載置面
Ｃ６１，Ｃ６２…クリーナ部
７０…第２搬送機構
７１…レジンローダ
９０…成形品回収ユニット
９１…成形品除熱部
９３…成形品受渡部
９４…ピックアンドプレイスハンド
９５…成形品収納部
Ｃ９１，Ｃ９２…クリーナ部
Ｄ９１，Ｄ９２…集塵口
Ｗ…ワーク
Ｗａ…裏面
Ｐ…電子部品
Ｓ…基材
Ｒ…樹脂
Ｈ…機能部材
Ｍ…成形品

Claims (9)

1. 基材及び電子部品を含むワークの前記電子部品を樹脂封止する樹脂封止装置であって、
   前記ワークを収納するためのワーク収納部と、
   前記ワークを載置するための載置面を有するテーブルと、
   前記ワーク収納部と前記テーブルとの間において前記ワークを搬送するワーク搬送ハンドと、
   前記ワーク収納部と前記テーブルとの間に設けられた第１クリーナ部であって、前記ワーク搬送ハンドが搬送する前記ワークの裏面に対向した第１集塵口を有する第１クリーナ部と、
   前記ワーク搬送ハンドに設けられた第２クリーナ部であって、前記テーブルの前記載置面に対向した第２集塵口を有する第２クリーナ部と
   を備え、
   前記ワーク搬送ハンドが前記ワーク収納部と前記テーブルとの間において前記ワークを搬送するとき、前記第１クリーナ部が前記ワークの前記裏面に対してクリーニング動作を実行し、かつ、前記第２クリーナ部が前記テーブルの前記載置面に対してクリーニング動作を実行する、樹脂封止装置。
2. 樹脂封止前の前記ワークを供給するワーク供給ユニットをさらに備え、
   前記ワーク収納部は、前記ワーク供給ユニットにおいて樹脂封止前の前記ワークを供給するための供給用収納部を含み、
   前記ワーク搬送ハンドは、前記供給用収納部から供給された前記ワークを前記テーブルの前記載置面に載置する第１ハンドを含む、
   請求項１に記載の樹脂封止装置。
3. 樹脂封止後の前記ワークを回収するワーク回収ユニットをさらに備え、
   前記ワーク収納部は、前記ワーク回収ユニットにおいて樹脂封止後の前記ワークを回収するための回収用収納部を含み、
   前記ワーク搬送ハンドは、前記回収用収納部に回収するために前記ワークを前記テーブルの前記載置面から取得する第２ハンドを含む、
   請求項１又は２に記載の樹脂封止装置。
4. 樹脂封止前の前記ワークを供給するワーク供給ユニットと、
   樹脂封止後の前記ワークを回収するワーク回収ユニットと、
   前記ワーク供給ユニット及び前記ワーク回収ユニットの間で移動可能に構成された前記テーブルによって前記ワークを搬送する搬送機構と
   をさらに備える、
   請求項１に記載の樹脂封止装置。
5. 前記搬送機構における前記テーブルの移動経路の上に設けられた第３クリーナ部であって、前記テーブルの前記載置面の側を向いている第３集塵口を有する第３クリーナ部をさらに備え、
   前記搬送機構によって前記テーブルが移動するとき、前記第３クリーナ部が前記テーブルの前記載置面に対してクリーニング動作を実行する、
   請求項４に記載の樹脂封止装置。
6. 基材及び電子部品を含むワークの前記電子部品を樹脂封止する樹脂封止装置を用いた樹脂封止方法であって、
   前記樹脂封止装置は、
   前記ワークを収納するためのワーク収納部と、
   前記ワークを載置するための載置面を有するテーブルと、
   前記ワーク収納部と前記テーブルとの間において前記ワークを搬送するワーク搬送ハンドと、
   前記ワーク収納部と前記テーブルとの間に設けられた第１クリーナ部であって、前記ワーク搬送ハンドが搬送する前記ワークの裏面に対向した第１集塵口を有する第１クリーナ部と、
   前記ワーク搬送ハンドに設けられた第２クリーナ部であって、前記テーブルの前記載置面に対向した第２集塵口を有する第２クリーナ部と
   を備え、
   前記樹脂封止方法は、
   前記ワーク搬送ハンドが前記ワーク収納部と前記テーブルとの間において前記ワークを搬送するワーク搬送ステップと、
   前記ワーク搬送ステップにおいて、前記第１クリーナ部が前記ワークの前記裏面に対してクリーニング動作を実行し、かつ、前記第２クリーナ部が前記テーブルの前記載置面に対してクリーニング動作を実行するクリーニングステップ
   を含む、樹脂封止方法。
7. 前記ワーク収納部は、ワーク供給ユニットにおいて樹脂封止前の前記ワークを供給するための供給用収納部を含み、
   前記ワーク搬送ステップは、前記供給用収納部から供給された前記ワークを前記テーブルの前記載置面に載置することを含む、
   請求項６に記載の樹脂封止方法。
8. 前記ワーク収納部は、ワーク回収ユニットにおいて樹脂封止後の前記ワークを回収するための回収用収納部を含み、
   前記ワーク搬送ステップは、前記回収用収納部に回収するために前記ワークを前記テーブルの前記載置面から取得することを含む、
   請求項６又は７に記載の樹脂封止方法。
9. ワーク供給ユニット及びワーク回収ユニットの間で移動可能に構成された前記テーブルによって前記ワークを搬送するステップをさらに含む、
   請求項６に記載の樹脂封止方法。
   

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