JP2023136463A - 環境形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】扉に固定された延出部材が試料へのアクセス時に邪魔にならないようにする。
【解決手段】環境形成装置１０は、所定の環境を生成するための空間を有する装置本体１２と、扉１４と、前記空間を開閉するように扉１４を装置本体１２に対してスライド可能にするスライド機構４０と、を備える。スライド機構４０は、扉１４に固定された細長い形状の延出部材４０ａと、装置本体１２に配置され、延出部材４０ａをスライド可能に保持する保持部４０ｂと、を有する。扉１４が前記空間を閉じた状態において前記空間内に試料が配置されるように試料の受け部３５が扉１４に配置される。延出部材４０ａは、受け部３５よりも下に位置している。
【選択図】図１

Description

本発明は、環境形成装置に関する。

従来、下記特許文献１に開示されているように、所定の温度環境を生成するための空間を有する装置本体と、この空間を開閉するスライド式の扉と、を備えた環境形成装置が知られている。下記特許文献１に開示された環境形成装置では、図１１に示すように、扉８１の左右両端に延出部材８２がそれぞれ固定されており、一対の延出部材８２は、装置本体８３に設けられたスライドレール８４に沿ってスライドする。扉８１には、試料を載せるための試料台８５が固定されていて、扉８１を装置本体８３から引き出すと、試料台８５も装置本体８３内の空間から引き出される。したがって、プリント基板等の試料に結線する作業等は、扉８１が装置本体８３から引き出された状態であれば、試料が試料台８５に載置された状態で行うことができる。

特開平１１－３４４４３２号公報

特許文献１に開示された環境形成装置では、装置本体８３に対してスライドする扉８１に試料台８５が取り付けられているため、扉８１が装置本体８３から引き出された状態であれば、試料が試料台８５に載置された状態で結線等の作業を行うことができる。しかしながら、扉８１の左右両端にはそれぞれ延出部材８２が配置されており、この延出部材８２は、上下方向に所定の幅を有するだけでなく、試料台８５と同じ高さに位置しているため、例えば環境形成装置の横から試料にアクセスする場合には、延出部材８２が作業の邪魔になるという問題がある。

そこで、本発明は、前記従来技術を鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、スライド式の扉を有する環境形成装置において、扉に固定された延出部材が試料へのアクセス時に邪魔にならないようにすることにある。

前記の目的を達成するため、本発明に係る環境形成装置は、所定の環境を生成するための空間を有する装置本体と、扉と、前記空間を開閉するように前記扉を前記装置本体に対してスライド可能にするスライド機構と、を備える。前記スライド機構は、前記扉に固定された細長い形状の延出部材と、前記装置本体に配置され、前記延出部材をスライド可能に保持する保持部と、を有する。前記扉が前記空間を閉じた状態において前記空間内に試料が配置されるように前記試料の受け部が前記扉に配置される。前記延出部材は、前記受け部よりも下に位置している。

本発明に係る環境形成装置では、扉を装置本体に対してスライドさせることにより、扉によって装置本体内の空間が開閉される。このとき、扉に配置された試料の受け部も扉と一体となって移動する。したがって、扉が装置本体から引き出されると、扉に配置された受け部も装置本体の空間から引き出される。この状態で受け部に配置された試料へのアクセスが可能となる。このとき、扉に固定された長尺状の延出部材が試料の受け部よりも下に位置しているため、使用者が環境形成装置の横に立って、受け部の試料に横からアクセスする場合であっても、延出部材が作業の邪魔にならない。

前記延出部材は、前記扉の高さ方向中心よりも下に位置していてもよい。この態様では、受け部に試料が配置されて受け部及び延出部材に荷重がかかる場合でも、扉を安定して支持することができる。

前記扉を前記装置本体にロックするためのロック部が設けられてもよい。この場合、前記ロック部は、前記扉の高さ方向中心よりも上に位置していてもよい。この態様では、扉が空間を閉じた状態にあるときには、扉の高さ方向中心よりも下に位置する延出部材と、扉の高さ方向中心よりも上に位置するロック部と、により、扉が装置本体に対して支持されることになる。このため、扉の支持を安定させることができる。

前記ロック部と前記延出部材とは、前記扉の高さ方向中心に対して互いに対称となる位置に配置されていてもよい。この態様では、扉の支持をより安定させることができる。

前記装置本体は、外装と内装と前記外装及び前記内装間に配置された断熱材とを有し、一方が開口する箱形であってもよい。この場合、前記保持部は、前記延出部材が前記断熱材よりも外側に位置した状態で前記延出部材を保持してもよい。

この態様では、延出部材が装置本体に設けられた断熱材よりも外側に位置する。つまり、断熱材に対して装置本体内の空間とは反対側に延出部材が位置する。このため、装置本体内の空間が高温に加熱されたときでも、延出部材がその影響を受け難い。したがって、扉が装置本体から引き出された状態で、使用者が試料にアクセスするときに、使用者の身体の一部が延出部材に触れることがあっても、火傷を負う可能性は低い。

前記扉には、床に沿って転動することにより前記扉のスライド移動を補助するローラーが設けられていてもよい。この態様では、ローラーが扉のスライド移動を補助するため、試料が受け部に配置されることによって扉が重くなった場合であっても、装置本体に対する扉のスライドをスムーズに行うことができる。

前記扉は、環状に形成された扉本体と、前記扉本体に対して着脱可能であり且つ前記扉本体の内側に挿入されて前記扉本体の内孔を塞ぐ閉塞部と、を有してもよい。この場合、前記受け部は、前記閉塞部に固定されるとともに前記空間内に延びるように配置されてもよい。

この態様では、受け部が固定された閉塞部を扉本体から外すことにより、受け部自体を扉本体から外すことができる。したがって、扉本体から取り外された受け部に試料を配置することができる。また、閉塞部が扉本体に装着された状態で受け部の試料にアクセスすることもできる。

前記扉には、前記試料に接続するケーブルを通すための貫通孔が設けられていてもよい。この態様では、扉の貫通孔にケーブルを挿通し、このケーブルを受け部に配置された試料に接続できる。この接続作業は、扉が装置本体から引き出された状態で行うことができる。このため、受け部に配置された試料へのケーブルの接続作業が繁雑になることを回避できる。

前記扉には、前記試料自体又は試料に接続されたケーブルを接続するためのコネクタが設けられていてもよい。この態様では、扉が装置本体から引き出された状態で、扉のコネクタに試料自体を接続することができ、又は試料に接続されたケーブルをコネクタに接続することができる。

前記扉には、前記試料に接続されたケーブルが接続される計測器を載置する載置部が設けられていてもよい。この態様では、計測器が扉に保持されることになるため、扉をスライドさせるときには、試料だけでなく計測器も一緒に移動する。したがって、扉のスライド時においても試料と計測器の相対的な位置関係は変わらない。よって、扉のスライド移動によってケーブルが引っ張られてしまう等の事態を回避できる。

以上説明したように、本発明によれば、スライド式の扉を有する環境形成装置において、扉に固定されたレールが試料へのアクセス時に邪魔にならない。

（ａ）本実施形態に係る環境形成装置の正面図であり、（ｂ）同環境形成装置の側面図である。 前記環境形成装置の内部構成を説明するための図である。 前記環境形成装置に用いられるサンプルホルダーを示す図である。 前記環境形成装置の内部における吹出口、吸込口及び受け部の関係を説明するための図である。 （ａ）その他の実施形態に係る環境形成装置の正面図であり、（ｂ）同環境形成装置の側面図である。 （ａ）その他の実施形態に係る環境形成装置の正面図であり、（ｂ）同環境形成装置の側面図である。 （ａ）その他の実施形態に係る環境形成装置の正面図であり、（ｂ）同環境形成装置の側面図である。 （ａ）その他の実施形態に係る環境形成装置を概略的に示す斜視図であり、（ｂ）同環境形成装置の内部を説明するための図である。 その他の実施形態に係る環境形成装置の側面図である。 その他の実施形態に係る環境形成装置の側面図である。 従来の環境形成装置を示す図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら詳細に説明する。

本実施形態に係る環境形成装置は、試料を所定の温度環境に曝して、当該試料に熱負荷をかけるための恒温槽等の環境試験装置として構成されている。なお、環境形成装置は、恒温恒湿槽等の環境試験装置に限られるものではなく、試料を所定の温度湿度環境に曝す恒温恒湿槽として構成されてもよく、あるいは、高温環境下で電子デバイス等の試料に電気的ストレス（電源電圧、信号等）を付加するバーンイン装置として構成されていてもよい。すなわち、環境形成装置は、試料の周囲環境を所定の温度環境に調整し、試料に熱負荷をかけるような装置であればよい。

図１（ａ）（ｂ）に示すように、環境形成装置１０は、一方向に開放された空間（試験空間Ｓ１、図２参照）を有する装置本体１２と、試験空間Ｓ１の開放端を開閉可能な扉１４と、を備えている。

図２に示すように、装置本体１２には、試験空間Ｓ１に加え、試験空間Ｓ１に連通する空調空間Ｓ２も形成されている。試験空間Ｓ１と空調空間Ｓ２とは仕切壁１６によって互いに仕切られている。試験空間Ｓ１は前方に向けて開放されており、空調空間Ｓ２は試験空間Ｓ１に対して後方すなわち、開放端とは反対側に位置している。

空調空間Ｓ２には、空調機１８が配置されている。空調機１８には、空気を冷却する冷却器１８ａと、空気を加熱する加熱器１８ｂと、空気を加湿する加湿器１８ｃと、が含まれる。冷却器１８ａは、空気を冷却するように構成されているため、空気の除湿器として用いることもできる。なお、試験空間Ｓ１内の空気の湿度を調整する必要がない場合には、加湿器１８ｃを省略することができる。

空調機１８によって空調された空気は、送風機２０によって試験空間Ｓ１に吹き出される。仕切壁１６には、送風機２０から吹き出された空調空気を試験空間Ｓ１に導入させる吹出口２１と、試験空間Ｓ１内の空気を空調空間Ｓ２に戻すための吸込口２２と、が設けられている。吹出口２１は高さ方向の中央に位置し、一対の吸込口２２が上下に位置している。したがって、送風機２０によって高さ方向の中央から前方に向けて試験空間Ｓ１に吹き出された空気は、その一部が上方に向きを変えて後方に流れ、残部が下方に向きを変えて後方に流れる。そして、試験空間Ｓ１内の空気は、上下一対の吸込口２２から空調空間Ｓ２内に流れ込む。なお、装置本体１２はこの構成に限られるものではなく、例えば、吹出口２１が仕切壁１６の上端に形成され、吸込口２２が仕切壁１６の下端に形成されていてもよい。この場合、送風機２０によって仕切壁１６の上端から前方に向けて試験空間Ｓ１に吹き出された空気は次第に下方に向きを変えながら流れ、試験空間Ｓ１の底板（後述する底パネル２５）に沿って後方に流れて、下端の吸込口２２を通して空調空間Ｓ２内に流れ込む。なお、吹出口２１が下端に位置し、吸込口２２が上端に位置する構成であってもよい。

装置本体１２は、一方が開口した箱形である。本実施形態では、装置本体１２は、一方が開口した箱形の外装の中に、一方が開口した箱形の内装が配置されるとともに、外装と内装との間の空間に断熱材が配置されている。

装置本体１２は、底パネル部２５と、底パネル部２５の左側（前方から見て右側）の縁部から立ち上がる左側パネル部２６と、底パネル部２５の右側（前方から見て左側）の縁部から立ち上がる右側パネル部２７と、底パネル部２５の後ろ側の縁部から立ち上がる背面パネル部２８と、左側パネル部２６、右側パネル部２７及び背面パネル部２８の上縁を接続する天井パネル部２９と、を備えている。仕切壁１６は背面パネル部２８よりも前方に配置されており、仕切壁１６の前側の空間が試験空間Ｓ１として機能し、仕切壁１６と背面パネル部２８との間の空間が空調空間Ｓ２となっている。

底パネル部２５は、外装の底面を構成する底パネルと、内装の底面を構成する底パネルと、両底パネル間に位置する断熱材と、を有する。左側パネル部２６は、外装の左側面（前方から見て右側面）を構成する左側パネルと、内装の左側面（前方を見て右側面）を構成する左側パネルと、両左側パネル間に位置する断熱材と、を有する。右側パネル部２７は、外装の右側面（前方から見て左側面）を構成する右側パネルと、内装の右側面（前方から見て左側面）を構成する右側パネルと、両右側パネル間に位置する断熱材と、を有する。背面パネル部２８は、外装の背面を構成する背面パネルと、内装の背面を構成する背面パネルと、両背面パネル間に位置する断熱材と、を有する。天井パネル部２９は、外装の天井を構成する天井パネルと、内装の天井を構成する天井パネルと、両天井パネル間に位置する断熱材と、を有する。すなわち、装置本体１２は、独立した複数の断熱パネル（外装パネルと断熱材と内装パネルとからなる）を、一方が開放した箱形に組み付けた構成であってもよい。あるいは、装置本体１２は、一方が開放した箱形の外装と、一方が開口した箱形で且つ外装の内側に配置された内装と、外装及び内装間に配置された断熱材と、によって構成されていてもよい。

扉１４は、矩形の環状に形成された扉本体１４ａと、扉本体１４ａの内側に挿入されて扉本体１４ａの内孔を塞ぐ閉塞部１４ｂと、を有する。扉本体１４ａは、断熱パネルによって構成されている。この断熱パネルも、金属製の外装パネルで構成された中空の外装体と、外装体内に収容された断熱材と、を有する構造である。

閉塞部１４ｂは、外装体と、外装体内に収容された断熱材とを含む。閉塞部１４ｂは、扉本体１４ａとは別体の構成であり、扉本体１４ａに対して着脱可能となっている。すなわち、閉塞部１４ｂは、扉本体１４ａの内孔の形状及び大きさに対応した形状及び大きさを有している。

閉塞部１４ｂには、固定具３１が設けられており、閉塞部１４ｂが扉本体１４ａの内側に挿入された状態で固定具３１を操作することにより、閉塞部１４ｂは扉本体１４ａに固定される。閉塞部１４ｂには取っ手３２が設けられており、固定具３１を緩めた状態で取っ手３２を引くことにより、閉塞部１４ｂを扉本体１４ａから取り外すことができる。

閉塞部１４ｂは、試料Ｗを扉１４に固定するためのサンプルホルダー３４の一部である。図１（ａ）では、複数（３つ）のサンプルホルダー３４が設けられているが、サンプルホルダー３４は１つ以上であればよい。つまり、閉塞部１４ｂも複数（３つ）に限られるものではなく、１つ以上であればよい。

図３に示すように、サンプルホルダー３４は、閉塞部１４ｂと、閉塞部１４ｂに固定され且つ試料Ｗを保持するための受け部３５と、を含む。閉塞部１４ｂは、一対の挟持部材１４ｃを有しており、これら挟持部材１４ｃはヒンジ１４ｄによって開閉可能となっている。また挟持部材１４ｃには、一対の挟持部材１４ｃを閉じた状態でロックするロック機構３３も設けられている。

一対の挟持部材１４ｃには、試料Ｗに接続されたケーブル３８（図３では、フラットケーブル３８）を通過させるための切欠き部１４ｅが形成されており、一対の挟持部材１４ｃが開いた状態でケーブル３８を切欠き部１４ｅに沿わせ、この状態で一対の挟持部材１４ｃを閉じると、ケーブル３８は一対の挟持部材１４ｃの切欠き部１４ｅに挿通された状態となる。なお、切欠き部１４ｅには緩衝材が配置されてもよい。

受け部３５は、閉塞部１４ｂの内面すなわち、扉本体１４ａに装着された状態で試験空間Ｓ１に面する面に固定されている。そして、扉１４が閉じられた状態では、受け部３５は、扉本体１４ａから試験空間Ｓ１内に延びている。

受け部３５は、矩形枠状に形成された枠部３５ａと、枠部３５ａに固定され試料Ｗを保持するための保持部材３５ｂと、を有する。保持部材３５ｂは、網目状又は多孔状であり、空気を通過させることができる。試料Ｗは、保持部材３５ｂに沿うように配置され、例えば紐状の固定部材によって保持部材３５ｂに取り付けられる。

図１（ａ）に示すように、扉１４には、複数のサンプルホルダー３４が固定されるが、サンプルホルダー３４は、各受け部３５が垂直姿勢になり、且つ複数の受け部３５が左右方向に並ぶように配置される。図２及び図４に示すように、送風機２０は、扉１４に対向するように配置されており、扉１４に向けて送風する。各受け部３５は、送風機２０と扉１４とを結ぶ方向に延びる姿勢で配置されている。このため、送風機２０によって試験空間Ｓ１に吹き出された空気は、受け部３５に沿って扉１４方向に流れる。そして、扉１４付近において、上方又は下方に向きを変えて後方に流れる。各受け部３５の保持部材３５ｂは、空気を通過させる構成となっている。このため、送風機２０から吹き出された空気は、受け部３５に沿って流れるだけでなく、保持部材３５ｂを左右方向に通過することが可能となっている。

図１（ａ）（ｂ）に示すように、扉１４は、スライド機構４０によって装置本体１２に対してスライド可能となっている。スライド機構４０は、扉１４に固定された細長い形状の延出部材４０ａと、延出部材４０ａをスライド可能に保持する保持部４０ｂと、を有する。

延出部材４０ａは、一端部が扉１４（扉本体１４ａ）の側面に固定されている。すなわち、延出部材４０ａは、扉１４に対して幅方向に出っ張った位置に配置されている。そして、延出部材４０ａは、扉１４から後方に向かって水平に直線的に延びている。図例では、一対の延出部材４０ａが、扉１４の左右両側に分かれて配置された構成となっている。左側の延出部材４０ａは、装置本体１２を構成する左側パネル部２６の外側（左側）に位置しており、右側の延出部材４０ａは、右側パネル部２７の外側（右側）に位置している。つまり、延出部材４０ａは、装置本体１２に設けられた断熱材よりも外側（空調空間Ｓ２と反対側）に位置している。

保持部４０ｂは、延出部材４０ａをスライド移動可能に保持するものであり、装置本体１２に配置されている。保持部４０ｂは、装置本体１２の側面の外面との間に前後方向に延びる空間を形成するカバー４０ｃと、カバー４０ｃ内に配置された複数の転動体（図示省略）と、を有する。延出部材４０ａは、カバー４０ｃと装置本体１２の側面とによって区画された空間内に挿入される。図例では、左右一対の延出部材４０ａが設けられているため、保持部４０ｂも装置本体１２の左右にそれぞれ設けられている。左側の保持部４０ｂは、左側パネル部２６の外面（外装の左側面）に取り付けられており、右側の保持部４０ｂは、右側パネル部２７の外面（外装の右側面）に取り付けられている。

なお、保持部４０ｂは、転動体を有さず、前後方向に延びるカバー４０ｃのみで構成されてもよく、あるいは、カバー４０ｃが省略されて、前後方向に間隔をおいて配置された複数の転動体によって構成されてもよい。

延出部材４０ａは、図１（ｂ）に示すように、扉１４に配置された受け部３５よりも下に位置している。すなわち、延出部材４０ａの上端は受け部３５の下端よりも下に位置している。したがって、受け部３５に保持された試料Ｗに横からアクセスするときに、延出部材４０ａが試料Ｗに対する作業の邪魔になることはない。例えば、図１（ｂ）における紙面手前側に使用者が立って、試料Ｗの確認作業等をするときに、手前側に位置する延出部材４０ａが作業の邪魔になることはない。

また、延出部材４０ａは、扉１４の高さ方向中心Ｃよりも下に位置している。保持部４０ｂは延出部材４０ａがこの位置になるように延出部材４０ａを保持している。したがって、受け部３５に試料Ｗが保持されて扉１４が重くなっているときでも、保持部４０ｂは、扉１４を安定してスライドさせることができる。なお、延出部材４０ａは、受け部３５よりも下に位置していれば、扉１４の高さ方向中心Ｃと同じ高さ位置、あるいは扉１４の高さ方向中心Ｃよりも上に位置していてもよい。

装置本体１２には、扉１４を装置本体１２にロックするためのロック部４２が設けられている。ロック部４２は、扉１４が装置本体１２に接触した状態で扉１４をその位置で固定するためのものであり、ロック部４２によって扉１４がロックされると、装置本体１２と扉１４との間が気密状にシールされる。

ロック部４２は、扉１４の高さ方向中心Ｃよりも上に位置している。より具体的には、ロック部４２と延出部材４０ａとは、側方から見て、扉１４の高さ方向中心Ｃに対して互いに対称となる位置に配置されている。なお、ロック部４２は、扉１４の高さ方向中心Ｃよりも上に位置していれば、ロック部４２と延出部材４０ａとが、扉１４の高さ方向中心Ｃに対して互いに対称となる位置に配置されていなくてもよい。

以上説明したように、本実施形態では、扉１４を装置本体１２に対してスライドさせることにより、装置本体１２の試験空間Ｓ１が開閉される。このとき、扉１４に配置された受け部３５も扉１４と一体となって移動する。したがって、扉１４が装置本体１２から引き出されると、受け部３５も装置本体１２の試験空間Ｓ１から引き出される。この状態で受け部３５に配置された試料Ｗへのアクセスが可能となる。このとき、扉１４に固定された長尺状の延出部材４０ａが受け部３５よりも下に位置しているため、使用者が環境形成装置１０の横に立って、受け部３５で保持された試料Ｗに横からアクセスする場合であっても、延出部材４０ａが作業の邪魔にならない。

また本実施形態では、延出部材４０ａが扉１４の高さ方向中心Ｃよりも下に位置しているため、受け部３５に試料Ｗが配置されて受け部３５及び延出部材４０ａに荷重がかかる場合でも、扉１４を安定して支持することができる。

また本実施形態では、ロック部４２が扉１４の高さ方向中心Ｃよりも上に位置している。このため、扉１４が閉じられているときには、扉１４の高さ方向中心Ｃよりも下に位置する延出部材４０ａと、扉１４の高さ方向中心Ｃよりも上に位置するロック部４２と、により、扉１４が装置本体１２に対して支持されることになる。このため、扉１４の支持を安定させることができる。

また本実施形態では、保持部４０ｂが、延出部材４０ａが装置本体１２に収容された断熱材よりも外側に位置した状態で延出部材４０ａを保持する。このため、試験空間Ｓ１が高温に加熱されたときでも、延出部材４０ａはその影響を受け難い。したがって、扉１４が装置本体１２から引き出された状態で、使用者が試料Ｗにアクセスするときに、使用者の身体の一部が延出部材４０ａに触れることがあっても、火傷を負う可能性は低い。

また本実施形態では、受け部３５が、扉１４の閉塞部１４ｂに固定されるとともに、試験空間Ｓ１内に延びるように配置されている。したがって、受け部３５が固定された閉塞部１４ｂを扉本体１４ａから外すことにより、受け部３５も扉本体１４ａから外すことができる。したがって、扉本体１４ａから取り外された受け部３５に試料Ｗを配置することができる。また、閉塞部１４ｂが扉本体１４ａに装着された状態で受け部３５に保持された試料Ｗにアクセスすることもできる。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明は、前記実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更、改良等が可能である。例えば、前記実施形態では、扉１４が環状に形成された扉本体１４ａと扉本体１４ａの内側に挿入される閉塞部１４ｂとを有するが、サンプルホルダー３４を設けるための内孔が形成された扉本体１４ａを有する構成に限られるものではない。例えば、図５（ａ）（ｂ）に示すように、受け部３５は扉１４の内面に固定され、扉１４には、受け部３５に配置された試料に接続された図略のケーブルを通すための貫通孔１４ｆが形成されていてもよい。この場合、貫通孔１４ｆを塞ぐ栓部材４４が設けられてもよい。この構成でも、受け部３５は延出部材４０ａよりも上に位置する。また貫通孔１４ｆも延出部材４０ａよりも上に位置する。複数の受け部３５が設けられてもよく、この場合、最も下に位置する受け部３５も延出部材４０ａよりも上に位置する。

なお、貫通孔１４ｆは、図１（ａ）（ｂ）の形態、すなわち、扉１４が、環状に形成された扉本体１４ａと扉本体１４ａの内側に挿入される閉塞部１４ｂとを有する形態において設けられてもよい。この場合、貫通孔１４ｆは、扉本体１４ａに形成されても、閉塞部１４ｂに形成されてもよい。

また、図６（ａ）（ｂ）及び図７（ａ）（ｂ）に示すように、扉１４にコネクタが設けられていてもよい。図６（ａ）（ｂ）は、カードエッジコネクタ４６が扉１４に設けられるとともに、ケーブルを通すための貫通孔１４ｆが扉１４に形成された例を示す。扉１４の外面に設けられたカードエッジコネクタ４６は、外部の計測器、テスターなどに接続される図略のケーブルを接続でき、このカードエッジコネクタ４６には、受け部３５に配置された試料に接続された図略のケーブルが接続される。貫通孔１４ｆには、外部の計測器等と試料とを繋ぐ図略のケーブルを通すことができる。受け部３５はカードエッジコネクタ４６及び貫通孔１４ｆよりも下に位置する。なお、図６（ａ）（ｂ）の形態において、貫通孔１４ｆを省略することができる。

図７（ａ）（ｂ）は、複数のＢＮＣコネクタ４７が扉１４に設けられた例を示す。扉１４の外面に設けられたＢＮＣコネクタ４７には、外部の計測器、アナライザーなどに接続される図略のケーブルを接続でき、扉１４の内面に設けられたＢＮＣコネクタ４７には、受け部３５に配置された試料に接続された図略のケーブルを接続できる。延出部材４０ａは受け部３５よりも下に位置し、受け部３５はＢＮＣコネクタ４７よりも下に位置する。なお、試料ＷがＢＮＣコネクタ４７に、ケーブルを介することなく直接接続されてもよい。また、貫通孔１４ｆが設けられてもよい。

カードエッジコネクタ４６、ＢＮＣコネクタ４７は、図１（ａ）（ｂ）の形態、すなわち、扉１４が環状に形成された扉本体１４ａと扉本体１４ａの内側に挿入される閉塞部１４ｂとを有する形態において設けられてもよい。例えば扉１４の半分が環状の扉本体１４ａ及び閉塞部１４ｂを有し、他の半分にコネクタ４６，４７が設けられる形態としてもよい。この構成において、さらに貫通孔１４ｆが設けられてもよい。

前記実施形態では、一対の延出部材４０ａが、扉１４の左右両側に分かれて配置されて、扉１４の側面における下部に固定されているが、この構成に限られるものではない。例えば、図８（ａ）（ｂ）に示すように、一対の延出部材４０ａが扉１４の底面における左右両端近傍に固定されていてもよい。この場合、底パネル部２５の下側に設けられた保持部４０ｂに延出部材４０ａが挿入される構成としてもよい。また、幅広に形成された１つの延出部材４０ａが扉１４の底面における中央に固定された構成であってもよい。この場合、延出部材４０ａが扉１４の下面または内面における下端部に固定される。また、装置本体１２の下には、図略の冷凍機等が配置される機械室４８が設けられてもよい。また、背面パネル部２８の後ろ側にも機械室４９が設けられてもよい。

図９に示すように、扉１４には、試料Ｗに接続されたケーブル３８が接続される計測器５１を保持する載置部５２が設けられていてもよい。載置部５２は、扉１４の上面に固定されており、計測器５１を載置する載置面５２ａを有している。図９では、載置部５２の内端が扉１４の内面よりも装置本体１２側に張り出しているため、装置本体１２には載置部５２と干渉しないように図略の凹部が形成されている。なお、載置部５２は、扉１４を閉じたときに装置本体１２の上側に位置してもよい。この構成の場合、装置本体１２に凹部を設ける必要は無い。また、載置部５２は、内端が扉１４の内面から装置本体１２側に張り出さない構成としてもよい。例えば、載置部５２は扉１４の外面に固定されてもよい。

扉１４には、載置部５２に載置された計測器５１と受け部３５に配置された試料Ｗとを接続するケーブル３８を通すための貫通孔１４ｆが形成されている。

この構成では、計測器５１が扉１４に保持されることになるため、扉１４をスライドさせるときには、試料Ｗだけでなく計測器５１も一緒に移動する。したがって、扉１４のスライド時においても試料Ｗと計測器５１の相対的な位置関係は変わらない。よって、扉１４のスライド移動によってケーブル３８が引っ張られてしまう等の事態を回避できる。なお、計測器５１の載置部５２は、図１（ａ）、図５（ａ）～図７（ａ）の何れの扉１４にも採用できる。

扉１４には、床に沿って転動することにより扉１４のスライド移動を補助するローラー５４が設けられている。この構成により、試料Ｗが受け部３５に配置されることによって、扉１４が重くなった場合であっても、装置本体１２に対する扉１４のスライドをスムーズに行うことができる。

扉１４のスライド移動を補助するローラー５４は、図１０に示すように、計測器５１の載置部５２が設けられていない扉１４にも採用することができる。つまり、ローラー５４は、図１（ａ）（ｂ）、図５（ａ）～図７（ｂ）の何れの扉１４にも採用することができる。扉１４に試料Ｗの受け部３５が設けられているため、受け部３５に試料Ｗが載置されることにより、扉１４が重くなることがあり得るからである。

１０ ：環境形成装置
１２ ：装置本体
１４ ：扉
１４ａ ：扉本体
１４ｂ ：閉塞部
１４ｆ ：貫通孔
３５ ：受け部
４０ ：スライド機構
４０ａ ：延出部材
４０ｂ ：保持部
４２ ：ロック部
５１ ：計測器
５２ ：載置部
５４ ：ローラー

Claims (10)

1. 所定の環境を生成するための空間を有する装置本体と、
   扉と、
   前記空間を開閉するように前記扉を前記装置本体に対してスライド可能にするスライド機構と、を備え、
   前記スライド機構は、前記扉に固定された細長い形状の延出部材と、前記装置本体に配置され、前記延出部材をスライド可能に保持する保持部と、を有し、
   前記扉が前記空間を閉じた状態において前記空間内に試料が配置されるように前記試料の受け部が前記扉に配置され、
   前記延出部材は、前記受け部よりも下に位置している、環境形成装置。
2. 前記延出部材は、前記扉の高さ方向中心よりも下に位置している、請求項１に記載の環境形成装置。
3. 前記扉を前記装置本体にロックするためのロック部が設けられ、
   前記ロック部は、前記扉の高さ方向中心よりも上に位置している、請求項２に記載の環境形成装置。
4. 前記ロック部と前記延出部材とは、前記扉の高さ方向中心に対して互いに対称となる位置に配置されている、請求項３に記載の環境形成装置。
5. 前記装置本体は、外装と内装と前記外装及び前記内装間に配置された断熱材とを有し、一方が開口する箱形であり、
   前記保持部は、前記延出部材が前記断熱材よりも外側に位置した状態で前記延出部材を保持する、請求項１から４の何れか１項に記載の環境形成装置。
6. 前記扉には、床に沿って転動することにより前記扉のスライド移動を補助するローラーが設けられている、請求項１から５の何れか１項に記載の環境形成装置。
7. 前記扉は、環状に形成された扉本体と、前記扉本体に対して着脱可能であり且つ前記扉本体の内側に挿入されて前記扉本体の内孔を塞ぐ閉塞部と、を有し、
   前記受け部は、前記閉塞部に固定されるとともに前記空間内に延びるように配置される、請求項１から６の何れか１項に記載の環境形成装置。
8. 前記扉には、前記試料に接続するケーブルを通すための貫通孔が設けられている、請求項１から７の何れか１項に記載の環境形成装置。
9. 前記扉には、前記試料自体又は試料に接続されたケーブルを接続するためのコネクタが設けられている、請求項１から８の何れか１項に記載の環境形成装置。
10. 前記扉には、前記試料に接続されたケーブルが接続される計測器を載置する載置部が設けられている、請求項１から９の何れか１項に記載の環境形成装置。

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