KR20230136044A - 환경 형성 장치 - Google Patents

Abstract

환경 형성 장치는, 소정의 환경을 생성하기 위한 공간을 갖는 장치 본체와, 문과, 상기 공간을 개폐하도록 문을 장치 본체에 대해서 슬라이드 가능하게 하는 슬라이드 기구를 구비한다. 슬라이드 기구는, 문에 고정된 가늘고 긴 형상의 연장 부재와, 장치 본체에 배치되고, 연장 부재를 슬라이드 가능하게 유지하는 유지부를 갖는다. 문이 상기 공간을 닫은 상태에 있어서 상기 공간 내에 시료가 배치되도록 시료의 받이부가 문에 배치된다. 연장 부재는, 받이부보다 아래에 위치하고 있다.

Description

환경 형성 장치{ENVIRONMENT FORMING APPARATUS}

본 발명은, 환경 형성 장치에 관한 것이다.

종래, 일본국 특허공개 평11-344432호 공보에 개시되어 있는 바와 같이, 소정의 온도 환경을 생성하기 위한 공간을 갖는 장치 본체와, 이 공간을 개폐하는 슬라이드식의 문을 구비한 환경 형성 장치가 알려져 있다. 일본국 특허공개 평11-344432호 공보에 개시된 환경 형성 장치에서는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 문(81)의 좌우 양단에 연장 부재(82)가 각각 고정되어 있어, 한 쌍의 연장 부재(82)는, 장치 본체(83)에 설치된 슬라이드 레일(84)을 따라서 슬라이드한다. 문(81)에는, 시료를 얹기 위한 시료대(85)가 고정되어 있고, 문(81)을 장치 본체(83)로부터 인출하면, 시료대(85)도 장치 본체(83) 내의 공간으로부터 인출된다. 따라서, 프린트 기판 등의 시료에 결선하는 작업 등은, 문(81)이 장치 본체(83)로부터 인출된 상태이면, 시료가 시료대(85)에 재치(載置)된 상태에서 행할 수 있다.

일본국 특허공개 평11-344432호 공보에 개시된 환경 형성 장치에서는, 장치 본체(83)에 대해서 슬라이드하는 문(81)에 시료대(85)가 장착되어 있다. 이 때문에, 문(81)이 장치 본체(83)로부터 인출된 상태이면, 시료가 시료대(85)에 재치된 상태에서 결선 등의 작업을 행할 수 있다. 그러나, 문(81)의 좌우 양단에는 각각 연장 부재(82)가 배치되어 있고, 이 연장 부재(82)는, 상하 방향으로 소정의 폭을 가질 뿐만 아니라, 시료대(85)와 같은 높이에 위치하고 있기 때문에, 예를 들면 환경 형성 장치의 옆으로부터 시료에 액세스하는 경우에는, 연장 부재(82)가 작업의 방해가 된다는 문제가 있다.

본 발명의 목적은, 슬라이드식의 문을 갖는 환경 형성 장치에 있어서, 문에 고정된 연장 부재가 시료에 대한 액세스 시에 방해가 되지 않게 하는 것이다.

본 발명의 일 국면에 따른 환경 형성 장치는, 소정의 환경을 생성하기 위한 공간을 갖는 장치 본체와, 문과, 상기 공간을 개폐하도록 상기 문을 상기 장치 본체에 대해서 슬라이드 가능하게 하는 슬라이드 기구를 구비한다. 상기 슬라이드 기구는, 상기 문에 고정된 가늘고 긴 형상의 연장 부재와, 상기 장치 본체에 배치되고, 상기 연장 부재를 슬라이드 가능하게 유지하는 유지부를 갖는다. 상기 환경 형성 장치는, 상기 문이 상기 공간을 닫은 상태에 있어서 상기 공간 내에 시료가 배치되도록 상기 문에 배치되어, 상기 시료를 받는 받이부를 추가로 구비하고 있다. 상기 연장 부재는, 상기 받이부보다 아래에 위치하고 있다.

도 1a는, 본 실시형태에 따른 환경 형성 장치의 정면도이며, 도 1b는, 동 환경 형성 장치의 측면도이다.
도 2는, 상기 환경 형성 장치의 내부 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은, 상기 환경 형성 장치에 이용되는 샘플 홀더를 나타낸 도면이다.
도 4는, 상기 환경 형성 장치의 내부에 있어서의 취출구(吹出口), 흡입구 및 받이부의 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 5a는, 그 외의 실시형태에 따른 환경 형성 장치의 정면도이며, 도 5b는, 동 환경 형성 장치의 측면도이다.
도 6a는, 그 외의 실시형태에 따른 환경 형성 장치의 정면도이며, 도 6b는, 동 환경 형성 장치의 측면도이다.
도 7a는, 그 외의 실시형태에 따른 환경 형성 장치의 정면도이며, 도 7b는, 동 환경 형성 장치의 측면도이다.
도 8a는, 그 외의 실시형태에 따른 환경 형성 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 8b는, 동 환경 형성 장치의 내부를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는, 그 외의 실시형태에 따른 환경 형성 장치의 측면도이다.
도 10은, 그 외의 실시형태에 따른 환경 형성 장치의 측면도이다.
도 11은, 종래의 환경 형성 장치를 나타낸 도면이다.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해서 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

본 실시형태에 따른 환경 형성 장치는, 시료를 소정의 온도 환경에 노출시키켜, 당해 시료에 열부하를 가하기 위한 항온조 등의 환경 시험 장치로서 구성되어 있다. 또한, 환경 형성 장치는, 항온조 등의 환경 시험 장치에 한정되는 것은 아니며, 시료를 소정의 온도 습도 환경에 노출시키는 항온항습조로서 구성되어도 되고, 혹은, 고온 환경 하에서 전자 디바이스 등의 시료에 전기적 스트레스(전원 전압, 신호 등)를 부가하는 번 인 장치로서 구성되어 있어도 된다. 즉, 환경 형성 장치는, 시료의 주위 환경을 소정의 온도 환경으로 조정하고, 시료에 열부하를 가하는 장치이면 된다.

도 1a 및 도 1b에 나타내는 바와 같이, 환경 형성 장치(10)는, 일 방향으로 개방된 공간(시험 공간(S1), 도 2 참조)을 갖는 장치 본체(12)와, 시험 공간(S1)의 개방단을 개폐 가능한 문(14)을 구비하고 있다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 장치 본체(12)에는, 시험 공간(S1)에 더하여, 시험 공간(S1)에 연통하는 공조 공간(S2)도 형성되어 있다. 시험 공간(S1)과 공조 공간(S2)은 칸막이벽(16)에 의해서 서로 구획되어 있다. 시험 공간(S1)은 전방을 향하여 개방되어 있고, 공조 공간(S2)은 시험 공간(S1)에 대해서 후방, 즉, 개방단과는 반대 측에 위치하고 있다.

공조 공간(S2)에는, 공조기(18)가 배치되어 있다. 공조기(18)에는, 공기를 냉각하는 냉각기(18a)와, 공기를 가열하는 가열기(18b)와, 공기를 가습하는 가습기(18c)가 포함된다. 냉각기(18a)는, 공기를 냉각하도록 구성되어 있기 때문에, 공기의 제습기로서 이용할 수도 있다. 또한, 시험 공간(S1) 내의 공기의 습도를 조정할 필요가 없는 경우에는, 가습기(18c)를 생략할 수 있다.

공조기(18)에 의해서 공조된 공기는, 송풍기(20)에 의해서 시험 공간(S1)에 취출된다. 칸막이벽(16)에는, 송풍기(20)로부터 취출된 공조 공기를 시험 공간(S1)에 도입시키는 취출구(21)와, 시험 공간(S1) 내의 공기를 공조 공간(S2)으로 되돌리기 위한 흡입구(22)가 형성되어 있다. 취출구(21)는 높이 방향의 중앙에 위치하고, 한 쌍의 흡입구(22)가 취출구(21)에 대해서 상하로 위치하고 있다. 따라서, 송풍기(20)에 의해서 높이 방향의 중앙으로부터 전방을 향하여 시험 공간(S1)에 취출된 공기는, 그 일부가 상방으로 방향을 바꾸어 후방으로 흐르고, 잔부가 하방으로 방향을 바꾸어 후방으로 흐른다. 그리고, 시험 공간(S1) 내의 공기는, 상하 한 쌍의 흡입구(22)로부터 공조 공간(S2) 내로 흘러든다. 또한, 장치 본체(12)는 이 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 취출구(21)가 칸막이벽(16)의 상단에 형성되고, 흡입구(22)가 칸막이벽(16)의 하단에 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 송풍기(20)에 의해서 칸막이벽(16)의 상단으로부터 전방을 향하여 시험 공간(S1)에 취출된 공기는 점차 하방으로 방향을 바꾸면서 흐르고, 시험 공간(S1)의 바닥판(후술하는 바닥 패널부(25))을 따라서 후방으로 흘러, 하단의 흡입구(22)를 통해 공조 공간(S2) 내로 흘러든다. 또한, 취출구(21)가 하단에 위치하고, 흡입구(22)가 상단에 위치하는 구성이어도 된다.

장치 본체(12)는, 한쪽이 개구된 상자형이다. 본 실시형태에서는, 장치 본체(12)는, 한쪽이 개구된 상자형의 외장과, 외장의 안에 배치된 한쪽이 개구된 상자형의 내장과, 외장과 내장 사이의 공간에 배치된 단열재를 구비한 구성이다.

장치 본체(12)는, 바닥 패널부(25)와, 바닥 패널부(25)의 좌측(전방에서 볼 때 우측)의 가장자리부로부터 올라가는 좌측 패널부(26)와, 바닥 패널부(25)의 우측(전방에서 볼 때 좌측)의 가장자리부로부터 올라가는 우측 패널부(27)와, 바닥 패널부(25)의 후측의 가장자리부로부터 올라가는 배면 패널부(28)와, 좌측 패널부(26), 우측 패널부(27) 및 배면 패널부(28)의 상측 가장자리를 접속하는 천정 패널부(29)를 구비하고 있다. 칸막이벽(16)은 배면 패널부(28)보다 전방에 배치되어 있고, 칸막이벽(16)의 전측의 공간이 시험 공간(S1)으로서 기능하며, 칸막이벽(16)과 배면 패널부(28) 사이의 공간이 공조 공간(S2)으로 되어 있다.

바닥 패널부(25)는, 외장의 바닥면을 구성하는 바닥 패널과, 내장의 바닥면을 구성하는 바닥 패널과, 양 바닥 패널 사이에 위치하는 단열재를 갖는다. 좌측 패널부(26)는, 외장의 좌측면(전방에서 볼 때 우측면)을 구성하는 좌측 패널과, 내장의 좌측면(전방에서 볼 때 우측면)을 구성하는 좌측 패널과, 양 좌측 패널 사이에 위치하는 단열재를 갖는다. 우측 패널부(27)는, 외장의 우측면(전방에서 볼 때 좌측면)을 구성하는 우측 패널과, 내장의 우측면(전방에서 볼 때 좌측면)을 구성하는 우측 패널과, 양 우측 패널 사이에 위치하는 단열재를 갖는다. 배면 패널부(28)는, 외장의 배면을 구성하는 배면 패널과, 내장의 배면을 구성하는 배면 패널과, 양 배면 패널 사이에 위치하는 단열재를 갖는다. 천정 패널부(29)는, 외장의 천정을 구성하는 천정 패널과, 내장의 천정을 구성하는 천정 패널과, 양 천정 패널 사이에 위치하는 단열재를 갖는다. 즉, 장치 본체(12)는, 독립된 복수의 단열 패널(외장 패널과 단열재와 내장 패널로 이루어진다)을, 한쪽이 개방된 상자형으로 장착한 구성이어도 된다. 혹은, 장치 본체(12)는, 한쪽이 개방된 상자형의 외장과, 한쪽이 개구된 상자형이고 또한 외장의 내측에 배치된 내장과, 외장 및 내장 사이에 배치된 단열재에 의해서 구성되어 있어도 된다.

문(14)은, 직사각형의 환상으로 형성된 문 본체(14a)와, 문 본체(14a)의 내측에 삽입되어 문 본체(14a)의 내공을 막는 폐색부(14b)를 갖는다. 문 본체(14a)는, 단열 패널에 의해서 구성되어 있다. 이 단열 패널도, 금속제의 외장 패널로 구성된 중공의 외장체와, 외장체 내에 수용된 단열재를 갖는 구조이다.

폐색부(14b)는, 외장체와, 외장체 내에 수용된 단열재를 포함한다. 폐색부(14b)는, 문 본체(14a)와는 별체이며, 문 본체(14a)에 대해서 착탈 가능하게 되어 있다. 즉, 폐색부(14b)는, 문 본체(14a)의 내공의 형상 및 크기에 대응한 형상 및 크기를 가지고 있다.

폐색부(14b)에는, 고정구(31)가 설치되어 있고, 폐색부(14b)가 문 본체(14a)의 내측에 삽입된 상태에서 고정구(31)를 조작함으로써, 폐색부(14b)는 문 본체(14a)에 고정된다. 폐색부(14b)에는 손잡이(32)가 설치되어 있으며, 고정구(31)를 느슨하게 한 상태에서 손잡이(32)를 잡아당김으로써, 폐색부(14b)를 문 본체(14a)로부터 떼어낼 수 있다.

폐색부(14b)는, 시료(W)를 문(14)에 고정하기 위한 샘플 홀더(34)의 일부이다. 도 1a에서는, 복수(3개)의 샘플 홀더(34)가 설치된 예를 나타내고 있는데, 샘플 홀더(34)는 1개 이상이면 된다. 즉, 폐색부(14b)도 복수(3개)에 한정되는 것은 아니며, 1개 이상이면 된다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 샘플 홀더(34)는, 폐색부(14b)와, 폐색부(14b)에 고정되고 또한 시료(W)를 유지하기 위한 받이부(35)를 포함한다. 폐색부(14b)는, 한 쌍의 협지 부재(14c)를 가지고 있으며, 이들 협지 부재(14c)는 힌지(14d)에 의해서 개폐 가능하게 되어 있다. 또 협지 부재(14c)에는, 한 쌍의 협지 부재(14c)를 닫은 상태에서 로크하는 로크 기구(33)도 설치되어 있다.

한 쌍의 협지 부재(14c)에는, 시료(W)에 접속된 케이블(38)(도 3에서는, 플랫 케이블(38))을 통과시키기 위한 절결부(14e)가 형성되어 있다. 한 쌍의 협지 부재(14c)가 열린 상태에서 케이블(38)을 절결부(14e)를 따르게 하고, 이 상태에서 한 쌍의 협지 부재(14c)를 닫으면, 케이블(38)은 한 쌍의 협지 부재(14c)의 절결부(14e)에 삽입 통과된 상태가 된다. 또한, 절결부(14e)에는 완충재가 배치되어도 된다.

받이부(35)는, 폐색부(14b)의 내면(또는, 문 본체(14a)에 장착된 상태에서 시험 공간(S1)에 면하는 면)에 고정되어 있다. 그리고, 문(14)이 닫힌 상태에서는, 받이부(35)는, 문 본체(14a)로부터 시험 공간(S1) 내로 연장되어 있다.

받이부(35)는, 직사각형 틀 형상으로 형성된 틀부(35a)와, 틀부(35a)에 고정되어 시료(W)를 유지하기 위한 유지 부재(35b)를 갖는다. 유지 부재(35b)는, 망목 형상 또는 다공 형상이며, 공기를 통과시킬 수 있다. 시료(W)는, 유지 부재(35b)를 따르도록 배치되며, 예를 들면 끈 형상의 고정 부재에 의해서 유지 부재(35b)에 장착된다.

도 1a에 나타내는 바와 같이, 문(14)에는, 복수의 샘플 홀더(34)가 고정된다. 샘플 홀더(34)는, 각 받이부(35)가 수직 자세가 되고, 또한 복수의 받이부(35)가 좌우 방향으로 늘어서도록 배치된다. 도 2 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 송풍기(20)는, 문(14)에 대향하도록 배치되어 있으며, 문(14)을 향하여 송풍한다. 각 받이부(35)는, 송풍기(20)와 문(14)을 잇는 방향으로 연장되는 자세로 배치되어 있다. 이 때문에, 송풍기(20)에 의해서 시험 공간(S1)에 취출된 공기는, 받이부(35)를 따라서 문(14) 방향으로 흐른다. 그리고, 문(14) 부근에 있어서, 상방 또는 하방으로 방향을 바꾸어 후방으로 흐른다. 각 받이부(35)의 유지 부재(35b)는, 공기를 통과시키는 구성으로 되어 있다. 이 때문에, 송풍기(20)로부터 취출된 공기는, 받이부(35)를 따라서 흐를 뿐만 아니라, 유지 부재(35b)를 좌우 방향으로 통과하는 것이 가능하게 되어 있다.

도 1a 및 도 1b에 나타내는 바와 같이, 문(14)은, 슬라이드 기구(40)에 의해서 장치 본체(12)에 대해서 슬라이드 가능하게 되어 있다. 슬라이드 기구(40)는, 문(14)에 고정된 가늘고 긴 형상의 연장 부재(40a)와, 연장 부재(40a)를 슬라이드 가능하게 유지하는 유지부(40b)를 갖는다.

연장 부재(40a)는, 일 단부가 문(14)(문 본체(14a))의 측면에 고정되어 있다. 즉, 연장 부재(40a)는, 문(14)에 대해서 폭 방향으로 돌출된 위치에 배치되어 있다. 그리고, 연장 부재(40a)는, 문(14)으로부터 후방을 향하여 수평으로 직선적으로 연장되어 있다. 도면 예에서는, 한 쌍의 연장 부재(40a)가, 문(14)의 좌우 양측으로 나누어져 배치된 구성으로 되어 있다. 좌측의 연장 부재(40a)는, 장치 본체(12)를 구성하는 좌측 패널부(26)의 외측(좌측)에 위치하고 있고, 우측의 연장 부재(40a)는, 우측 패널부(27)의 외측(우측)에 위치하고 있다. 즉, 연장 부재(40a)는, 장치 본체(12)에 설치된 단열재보다 외측(공조 공간(S2)과 반대 측)에 위치하고 있다.

유지부(40b)는, 연장 부재(40a)를 슬라이드 이동 가능하게 유지하는 것이며, 장치 본체(12)에 배치되어 있다. 유지부(40b)는, 장치 본체(12)의 측면의 외면과의 사이에 전후 방향으로 연장되는 공간을 형성하는 커버(40c)와, 커버(40c) 내에 배치된 복수의 전동체(도시 생략)를 갖는다. 연장 부재(40a)는, 커버(40c)와 장치 본체(12)의 측면에 의해서 구획된 공간 내에 삽입된다. 도면 예에서는, 좌우 한 쌍의 연장 부재(40a)가 설치되어 있기 때문에, 유지부(40b)도 장치 본체(12)의 좌우에 각각 설치되어 있다. 좌측의 유지부(40b)는, 좌측 패널부(26)의 외면(외장의 좌측면)에 장착되어 있고, 우측의 유지부(40b)는, 우측 패널부(27)의 외면(외장의 우측면)에 장착되어 있다.

또한, 유지부(40b)는, 전동체를 갖지 않고, 전후 방향으로 연장되는 커버(40c)만으로 구성되어도 되고, 혹은, 커버(40c)가 생략되고, 전후 방향으로 간격을 두고 배치된 복수의 전동체에 의해서 구성되어도 된다.

연장 부재(40a)는, 도 1b에 나타내는 바와 같이, 문(14)에 배치된 받이부(35)보다 아래에 위치하고 있다. 즉, 연장 부재(40a)의 상단은 받이부(35)의 하단보다 아래에 위치하고 있다. 따라서, 받이부(35)에 유지된 시료(W)에 옆으로부터 액세스할 때에, 연장 부재(40a)가 시료(W)에 대한 작업의 방해가 되는 일은 없다. 예를 들면, 도 1b에 있어서의 지면 앞쪽에 사용자가 서서, 시료(W)의 확인 작업 등을 할 때에, 앞쪽에 위치하는 연장 부재(40a)가 작업의 방해가 되는 일은 없다.

또, 연장 부재(40a)는, 문(14)의 높이 방향 중심(C)보다 아래에 위치하고 있다. 유지부(40b)는, 연장 부재(40a)가 이 위치가 되도록 연장 부재(40a)를 유지하고 있다. 따라서, 받이부(35)에 시료(W)가 유지되어 문(14)이 무거워져 있을 때에도, 유지부(40b)는 문(14)을 안정적으로 슬라이드시킬 수 있다. 또한, 연장 부재(40a)는, 받이부(35)보다 아래에 위치하고 있으면, 문(14)의 높이 방향 중심(C)과 같은 높이 위치, 혹은 문(14)의 높이 방향 중심(C)보다 위에 위치하고 있어도 된다.

장치 본체(12)에는, 문(14)을 장치 본체(12)에 로크하기 위한 로크부(42)가 설치되어 있다. 로크부(42)는, 문(14)이 장치 본체(12)에 접촉한 상태에서 문(14)을 그 위치에서 고정하기 위한 것이다. 로크부(42)에 의해서 문(14)이 로크되면, 장치 본체(12)와 문(14) 사이가 기밀 형상으로 시일된다.

로크부(42)는, 문(14)의 높이 방향 중심(C)보다 위에 위치하고 있다. 보다 구체적으로는, 로크부(42)와 연장 부재(40a)는, 측방에서 볼 때, 문(14)의 높이 방향 중심(C)에 대해서 서로 대칭이 되는 위치에 배치되어 있다. 또한, 로크부(42)는, 문(14)의 높이 방향 중심(C)보다 위에 위치하고 있으면, 로크부(42)와 연장 부재(40a)가, 문(14)의 높이 방향 중심(C)에 대해서 서로 대칭이 되는 위치에 배치되어 있지 않아도 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 문(14)을 장치 본체(12)에 대해서 슬라이드시킴으로써, 장치 본체(12)의 시험 공간(S1)이 개폐된다. 이 때, 문(14)에 배치된 받이부(35)도 문(14)과 일체가 되어 이동한다. 따라서, 문(14)이 장치 본체(12)로부터 인출되면, 받이부(35)도 장치 본체(12)의 시험 공간(S1)으로부터 인출된다. 이 상태에서 받이부(35)에 배치된 시료(W)에 대한 액세스가 가능해진다. 이 때, 문(14)에 고정된 장척 형상의 연장 부재(40a)가 받이부(35)보다 아래에 위치하고 있다. 이 때문에, 사용자가 환경 형성 장치(10)의 옆에 서서, 받이부(35)로 유지된 시료(W)에 옆으로부터 액세스하는 경우여도, 연장 부재(40a)가 작업의 방해가 되지 않는다.

또 본 실시형태에서는, 연장 부재(40a)가 문(14)의 높이 방향 중심(C)보다 아래에 위치하고 있다. 이 때문에, 받이부(35)에 시료(W)가 배치되어 받이부(35) 및 연장 부재(40a)에 하중이 가해지는 경우에도, 문(14)을 안정적으로 지지할 수 있다.

또 본 실시형태에서는, 로크부(42)가 문(14)의 높이 방향 중심(C)보다 위에 위치하고 있다. 이 때문에, 문(14)이 닫혀 있을 때에는, 문(14)의 높이 방향 중심(C)보다 아래에 위치하는 연장 부재(40a)와, 문(14)의 높이 방향 중심(C)보다 위에 위치하는 로크부(42)에 의해, 문(14)이 장치 본체(12)에 대해서 지지되게 된다. 이 때문에, 문(14)의 지지를 안정시킬 수 있다.

또 본 실시형태에서는, 유지부(40b)가, 연장 부재(40a)가 장치 본체(12)에 수용된 단열재보다 외측에 위치한 상태에서 연장 부재(40a)를 유지한다. 이 때문에, 시험 공간(S1)이 고온으로 가열되었을 때에도, 연장 부재(40a)는 그 영향을 받기 어렵다. 따라서, 문(14)이 장치 본체(12)로부터 인출된 상태에서, 사용자가 시료(W)에 액세스할 때에, 사용자의 신체의 일부가 연장 부재(40a)에 닿는 일이 있어도, 화상을 입을 가능성은 낮다.

또 본 실시형태에서는, 받이부(35)가, 문(14)의 폐색부(14b)에 고정됨과 더불어, 시험 공간(S1) 내로 연장되도록 배치되어 있다. 따라서, 받이부(35)가 고정된 폐색부(14b)를 문 본체(14a)로부터 떼어냄으로써, 받이부(35)도 문 본체(14a)로부터 떼어낼 수 있다. 따라서, 문 본체(14a)로부터 떼어내진 받이부(35)에 시료(W)를 배치할 수 있다. 또, 폐색부(14b)가 문 본체(14a)에 장착된 상태에서 받이부(35)에 유지된 시료(W)에 액세스하는 것도 가능하다.

또한, 이번에 개시된 실시형태는, 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명은, 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 그 취지를 벗어나지 않는 범위에서 여러 가지 변경, 개량 등이 가능하다. 예를 들면, 상기 실시형태에서는, 문(14)이 환상으로 형성된 문 본체(14a)와 문 본체(14a)의 내측에 삽입되는 폐색부(14b)를 갖는다. 그러나, 문(14)은, 샘플 홀더(34)를 설치하기 위한 내공이 형성된 문 본체(14a)를 갖는 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 도 5a 및 도 5b에 나타내는 바와 같이, 받이부(35)는 문(14)의 내면에 고정되고, 문(14)에는, 받이부(35)에 배치된 시료에 접속된 도시 생략된 케이블을 통과시키기 위한 관통공(14f)이 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 관통공(14f)을 막는 마개 부재(44)가 설치되어도 된다. 이 구성에서도, 받이부(35)는 연장 부재(40a)보다 위에 위치한다. 또 관통공(14f)도 연장 부재(40a)보다 위에 위치한다. 복수의 받이부(35)가 설치되어도 되고, 이 경우, 가장 아래에 위치하는 받이부(35)도 연장 부재(40a)보다 위에 위치한다.

또한, 관통공(14f)은, 도 1a 및 도 1b에 나타내는 형태에 있어서 형성되어도 된다. 즉, 문(14)이, 환상으로 형성된 문 본체(14a)와 문 본체(14a)의 내측에 삽입되는 폐색부(14b)를 갖는 형태에 있어서, 관통공(14f)이 형성되어도 된다. 이 경우, 관통공(14f)은, 문 본체(14a)에 형성되어도 되고, 폐색부(14b)에 형성되어도 된다.

또, 도 6a, 도 6b, 도 7a 및 도 7b에 나타내는 바와 같이, 문(14)에 커넥터(46, 47)가 설치되어 있어도 된다. 도 6a 및 도 6b는, 카드 에지 커넥터(46)가 문(14)에 설치됨과 더불어, 케이블을 통과시키기 위한 관통공(14f)이 문(14)에 형성된 예를 나타낸다. 문(14)의 외면에 설치된 카드 에지 커넥터(46)는, 외부의 계측기, 테스터 등에 접속되는 도시 생략된 케이블을 접속할 수 있다. 이 카드 에지 커넥터(46)에는, 받이부(35)에 배치된 시료에 접속된 도시 생략된 케이블이 접속된다. 관통공(14f)에는, 외부의 계측기 등과 시료를 연결하는 도시 생략된 케이블을 통과시킬 수 있다. 받이부(35)는 카드 에지 커넥터(46) 및 관통공(14f)보다 아래에 위치한다. 또한, 도 6a 및 도 6b에 나타내는 형태에 있어서, 관통공(14f)을 생략할 수 있다.

도 7a 및 도 7b는, 복수의 BNC 커넥터(47)가 문(14)에 설치된 예를 나타낸다. 문(14)의 외면에 설치된 BNC 커넥터(47)에는, 외부의 계측기, 애널라이저 등에 접속되는 도시 생략된 케이블을 접속할 수 있다. 문(14)의 내면에 설치된 BNC 커넥터(47)에는, 받이부(35)에 배치된 시료에 접속된 도시 생략된 케이블을 접속할 수 있다. 연장 부재(40a)는 받이부(35)보다 아래에 위치하고, 받이부(35)는 BNC 커넥터(47)보다 아래에 위치한다. 또한, 시료(W)가 BNC 커넥터(47)에, 케이블을 개재하지 않고 직접 접속되어도 된다. 또, 관통공(14f)이 형성되어도 된다.

카드 에지 커넥터(46) 또는 BNC 커넥터(47)는, 도 1a 및 도 1b에 나타내는 형태로 설치되어도 된다. 즉, 문(14)이, 환상으로 형성된 문 본체(14a)와 문 본체(14a)의 내측에 삽입되는 폐색부(14b)를 갖는 형태에 있어서, 카드 에지 커넥터(46) 또는 BNC 커넥터(47)가 설치되어도 된다. 예를 들면 문(14)의 절반이 환상의 문 본체(14a) 및 폐색부(14b)를 갖고, 다른 절반에 커넥터(46, 47)가 설치되는 형태로 해도 된다. 이 구성에 있어서, 추가로 관통공(14f)이 형성되어도 된다.

상기 실시형태에서는, 한 쌍의 연장 부재(40a)가, 문(14)의 좌우 양측으로 나누어져 배치되고, 문(14)의 측면에 있어서의 하부에 고정되어 있는데, 이 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 도 8a 및 도 8b에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 연장 부재(40a)가 문(14)의 바닥면에 있어서의 좌우 양단 근방에 고정되어 있어도 된다. 이 경우, 바닥 패널부(25)의 하측에 설치된 유지부(40b)에 연장 부재(40a)가 삽입되는 구성으로 해도 된다. 또, 폭넓게 형성된 1개의 연장 부재(40a)가 문(14)의 바닥면에 있어서의 중앙에 고정된 구성이어도 된다. 이 경우, 연장 부재(40a)가 문(14)의 하면 또는 내면에 있어서의 하단부에 고정된다. 또, 장치 본체(12)의 아래에는, 도시 생략된 냉동기 등이 배치되는 기계실(48)이 설치되어도 된다. 또, 배면 패널부(28)의 후측에도 기계실(49)이 설치되어도 된다.

도 9에 나타내는 바와 같이, 문(14)에는, 계측기(51)를 유지하는 재치부(52)가 설치되어 있어도 된다. 계측기(51)에는, 시료(W)에 접속된 케이블(38)이 접속된다. 재치부(52)는, 문(14)의 상면에 고정되어 있고, 계측기(51)를 재치하는 재치면(52a)을 가지고 있다. 도 9에서는, 재치부(52)의 내단이 문(14)의 내면보다 장치 본체(12) 측으로 돌출되어 있기 때문에, 장치 본체(12)에는 재치부(52)와 간섭하지 않도록 도시 생략된 오목부가 형성되어 있다. 또한, 재치부(52)는, 문(14)을 닫았을 때에 장치 본체(12)의 상측에 위치해도 된다. 이 구성의 경우, 장치 본체(12)에 오목부를 형성할 필요는 없다. 또, 재치부(52)는, 내단이 문(14)의 내면으로부터 장치 본체(12) 측으로 돌출하지 않는 구성으로 해도 된다. 예를 들면, 재치부(52)는 문(14)의 외면에 고정되어도 된다.

문(14)에는, 재치부(52)에 재치된 계측기(51)와 받이부(35)에 배치된 시료(W)를 접속하는 케이블(38)을 통과시키기 위한 관통공(14f)이 형성되어 있다.

이 구성에서는, 계측기(51)가 문(14)에 유지되게 되므로, 문(14)을 슬라이드시킬 때에는, 시료(W)뿐만 아니라 계측기(51)도 함께 이동한다. 따라서, 문(14)의 슬라이드 시에 있어서도 시료(W)와 계측기(51)의 상대적인 위치 관계는 변하지 않는다. 따라서, 문(14)의 슬라이드 이동에 의해서 케이블(38)이 끌어당겨져 버리는 등의 사태를 회피할 수 있다. 또한, 계측기(51)의 재치부(52)는, 도 1a, 도 5a~도 7b의 어느 문(14)에나 채용할 수 있다.

문(14)에는, 바닥을 따라서 전동함으로써 문(14)의 슬라이드 이동을 보조하는 롤러(54)가 설치되어 있다. 이 구성에 의해, 시료(W)가 받이부(35)에 배치됨으로써, 문(14)이 무거워졌을 경우여도, 장치 본체(12)에 대한 문(14)의 슬라이드를 원활하게 행할 수 있다.

문(14)의 슬라이드 이동을 보조하는 롤러(54)는, 도 10에 나타내는 바와 같이, 계측기(51)의 재치부(52)가 설치되어 있지 않은 문(14)에도 채용할 수 있다. 즉, 롤러(54)는, 도 1a, 도 1b, 도 5a~도 7b의 어느 문(14)에도 채용할 수 있다. 문(14)에 시료(W)의 받이부(35)가 설치되어 있기 때문에, 받이부(35)에 시료(W)가 재치됨으로써, 문(14)이 무거워질 수 있기 때문이다.

여기서, 상기 실시형태에 대해서 개략 설명한다.

(1) 상기 실시형태에 따른 환경 형성 장치는, 소정의 환경을 생성하기 위한 공간을 갖는 장치 본체와, 문과, 상기 공간을 개폐하도록 상기 문을 상기 장치 본체에 대해서 슬라이드 가능하게 하는 슬라이드 기구를 구비한다. 상기 슬라이드 기구는, 상기 문에 고정된 가늘고 긴 형상의 연장 부재와, 상기 장치 본체에 배치되고, 상기 연장 부재를 슬라이드 가능하게 유지하는 유지부를 갖는다. 상기 환경 형성 장치는, 상기 문이 상기 공간을 닫은 상태에 있어서 상기 공간 내에 시료가 배치되도록 상기 문에 배치되어, 상기 시료를 받는 받이부를 추가로 구비하고 있다. 상기 연장 부재는, 상기 받이부보다 아래에 위치하고 있다.

상기 실시형태에 따른 환경 형성 장치에서는, 문을 장치 본체에 대해서 슬라이드시킴으로써, 문에 의해서 장치 본체 내의 공간이 개폐된다. 이 때, 문에 배치된 시료의 받이부도 문과 일체가 되어 이동한다. 따라서, 문이 장치 본체로부터 인출되면, 문에 배치된 받이부도 장치 본체의 공간으로부터 인출된다. 이 상태에서 받이부에 배치된 시료에 대한 액세스가 가능해진다. 이 때, 문에 고정된 장척 형상의 연장 부재가 시료의 받이부보다 아래에 위치하고 있기 때문에, 사용자가 환경 형성 장치의 옆에 서서, 받이부의 시료에 옆으로부터 액세스하는 경우여도, 연장 부재가 작업의 방해가 되지 않는다.

(2) 상기 연장 부재는, 상기 문의 높이 방향 중심보다 아래에 위치하고 있어도 된다. 이 양태에서는, 받이부에 시료가 배치되고 받이부 및 연장 부재에 하중이 가해지는 경우에도, 문을 안정적으로 지지할 수 있다.

(3) 상기 환경 형성 장치는, 상기 문을 상기 장치 본체에 로크하기 위한 로크부를 추가로 구비해도 된다. 이 경우, 상기 로크부는, 상기 문의 높이 방향 중심보다 위에 위치하고 있어도 된다. 이 양태에서는, 문이 공간을 닫은 상태에 있을 때에는, 문의 높이 방향 중심보다 아래에 위치하는 연장 부재와, 문의 높이 방향 중심보다 위에 위치하는 로크부에 의해, 문이 장치 본체에 대해서 지지되게 된다. 이 때문에, 문의 지지를 안정시킬 수 있다.

(4) 상기 로크부와 상기 연장 부재는, 상기 문의 높이 방향 중심에 대해서 서로 대칭이 되는 위치에 배치되어 있어도 된다. 이 양태에서는, 문의 지지를 보다 안정시킬 수 있다.

(5) 상기 장치 본체는, 외장과, 내장과, 상기 외장 및 상기 내장 사이에 배치된 단열재를 갖고, 한쪽이 개구되는 상자형이어도 된다. 이 경우, 상기 유지부는, 상기 연장 부재가 상기 단열재보다 외측에 위치한 상태에서 상기 연장 부재를 유지해도 된다.

이 양태에서는, 연장 부재가 장치 본체에 설치된 단열재보다 외측에 위치한다. 즉, 단열재에 대해서 장치 본체 내의 공간과는 반대 측에 연장 부재가 위치한다. 이 때문에, 장치 본체 내의 공간이 고온으로 가열되었을 때에도, 연장 부재가 그 영향을 받기 어렵다. 따라서, 문이 장치 본체로부터 인출된 상태에서, 사용자가 시료에 액세스할 때에, 사용자의 신체의 일부가 연장 부재에 닿는 일이 있어도, 화상을 입을 가능성은 낮다.

(6) 상기 문에는, 바닥을 따라서 전동함으로써 상기 문의 슬라이드 이동을 보조하는 롤러가 설치되어 있어도 된다. 이 양태에서는, 롤러가 문의 슬라이드 이동을 보조하기 때문에, 시료가 받이부에 배치됨으로써 문이 무거워졌을 경우여도, 장치 본체에 대한 문의 슬라이드를 원활하게 행할 수 있다.

(7) 상기 문은, 환상으로 형성된 문 본체와, 상기 문 본체에 대해서 착탈 가능하고 또한 상기 문 본체의 내측에 삽입되어 상기 문 본체의 내공을 막는 폐색부를 가져도 된다. 이 경우, 상기 받이부는, 상기 폐색부에 고정됨과 더불어 상기 공간 내로 연장되도록 배치되어도 된다.

이 양태에서는, 받이부가 고정된 폐색부를 문 본체로부터 떼어냄으로써, 받이부 자체를 문 본체로부터 떼어낼 수 있다. 따라서, 문 본체로부터 떼어내진 받이부에 시료를 배치할 수 있다. 또, 폐색부가 문 본체에 장착된 상태에서 받이부의 시료에 액세스하는 것도 가능하다.

(8) 상기 문에는, 상기 시료에 접속하는 케이블을 통과시키기 위한 관통공이 형성되어 있어도 된다. 이 양태에서는, 문의 관통공에 케이블을 삽입 통과시키고, 이 케이블을 받이부에 배치된 시료에 접속할 수 있다. 이 접속 작업은, 문이 장치 본체로부터 인출된 상태에서 행할 수 있다. 이 때문에, 받이부에 배치된 시료에 대한 케이블의 접속 작업이 번잡해지는 것을 회피할 수 있다.

(9) 상기 문에는, 상기 시료 자체 또는 시료에 접속된 케이블을 접속하기 위한 커넥터가 설치되어 있어도 된다. 이 양태에서는, 문이 장치 본체로부터 인출된 상태에서, 문의 커넥터에 시료 자체를 접속할 수 있고, 또는 시료에 접속된 케이블을 커넥터에 접속할 수 있다.

(10) 상기 문에는, 상기 시료에 접속된 케이블이 접속되는 계측기를 재치하는 재치부가 설치되어 있어도 된다. 이 양태에서는, 계측기가 문에 유지되게 되므로, 문을 슬라이드시킬 때에는, 시료뿐만 아니라 계측기도 함께 이동한다. 따라서, 문의 슬라이드 시에 있어서도 시료와 계측기의 상대적인 위치 관계는 변하지 않는다. 따라서, 문의 슬라이드 이동에 의해서 케이블이 끌어당겨져 버리는 등의 사태를 회피할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 슬라이드식의 문을 갖는 환경 형성 장치에 있어서, 문에 고정된 레일이 시료에 대한 액세스 시에 방해가 되지 않는다.

본 출원은 2022년 3월 17일에 출원된 일본 특허출원 제2022-42146호에 기초한 것이며, 그 내용은 본원에 참조로 포함된다.

본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 예로서 충분히 기재되었지만, 다양한 변화 및 수정이 당업자에게 명백할 것임을 이해해야 한다. 따라서, 이러한 변화 및 수정이 이하에 규정된 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한, 그들은 본원에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (10)

1. 환경 형성 장치로서,
   소정의 환경을 생성하기 위한 공간을 갖는 장치 본체와,
   문과,
   상기 공간을 개폐하도록 상기 문을 상기 장치 본체에 대해서 슬라이드 가능하게 하는 슬라이드 기구를 구비하고,
   상기 슬라이드 기구는, 상기 문에 고정된 가늘고 긴 형상의 연장 부재와, 상기 장치 본체에 배치되고, 상기 연장 부재를 슬라이드 가능하게 유지하는 유지부를 갖고,
   상기 환경 형성 장치는,
   상기 문이 상기 공간을 닫은 상태에 있어서 상기 공간 내에 시료가 배치되도록 상기 문에 배치되어, 상기 시료를 받는 받이부를 추가로 구비하고,
   상기 연장 부재는, 상기 받이부보다 아래에 위치하고 있는, 환경 형성 장치.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 연장 부재는, 상기 문의 높이 방향 중심보다 아래에 위치하고 있는, 환경 형성 장치.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 문을 상기 장치 본체에 로크하기 위한 로크부를 추가로 구비하고,
   상기 로크부는, 상기 문의 높이 방향 중심보다 위에 위치하고 있는, 환경 형성 장치.
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 로크부와 상기 연장 부재는, 상기 문의 높이 방향 중심에 대해서 서로 대칭이 되는 위치에 배치되어 있는, 환경 형성 장치.
5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 장치 본체는, 외장과, 내장과, 상기 외장 및 상기 내장 사이에 배치된 단열재를 갖고, 한쪽이 개구되는 상자형이며,
   상기 유지부는, 상기 연장 부재가 상기 단열재보다 외측에 위치한 상태에서 상기 연장 부재를 유지하는, 환경 형성 장치.
6. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 문에는, 바닥을 따라서 전동함으로써 상기 문의 슬라이드 이동을 보조하는 롤러가 설치되어 있는, 환경 형성 장치.
7. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 문은, 환상으로 형성된 문 본체와, 상기 문 본체에 대해서 착탈 가능하고 또한 상기 문 본체의 내측에 삽입되어 상기 문 본체의 내공을 막는 폐색부를 갖고,
   상기 받이부는, 상기 폐색부에 고정됨과 더불어 상기 공간 내로 연장되도록 배치되는, 환경 형성 장치.
8. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 문에는, 상기 시료에 접속하는 케이블을 통과시키기 위한 관통공이 형성되어 있는, 환경 형성 장치.
9. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 문에는, 상기 시료 자체 또는 시료에 접속된 케이블을 접속하기 위한 커넥터가 설치되어 있는, 환경 형성 장치.
10. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 문에는, 상기 시료에 접속된 케이블이 접속되는 계측기를 재치(載置)하는 재치부가 설치되어 있는, 환경 형성 장치.