JP2023134301A - 半導体製造装置、塗布装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】塗布されたペーストの形状変化を低減させることが可能な技術を提供することにある。【解決手段】半導体製造装置は、ペーストが格納されるシリンジと、前記シリンジの先端に設けられるノズルと、を有する塗布装置と、半導体チップが実装された基板が載置される載置部と、前記載置部を冷却する冷却部と、を有するステージと、前記ノズルから前記ペーストを前記半導体チップ上に塗布し、前記塗布されたペーストを前記冷却部により冷却するよう構成される制御部と、を備える。【選択図】図6
Description
本開示は半導体製造装置に関し、例えば、ペーストを半導体チップの上に塗布する半導体製造装置に適用可能である。
ボンダ等の半導体製造装置は、接合材料を用いて、例えば、素子を基板または素子の上にボンド(載置して接着)する装置である。接合材料は、例えば、樹脂ペーストやはんだ等である。樹脂ペーストは液体状の接着剤であり、以下、単にペーストという。素子は、例えば、半導体チップやガラスチップ、シリコンチップ等である。半導体チップは、例えば、ロジックチップやメモリチップ、イメージセンサチップ等である。基板は、例えば、配線基板や金属薄板で形成されるリードフレーム、ガラス基板等である。
本開示の課題は、塗布されたペーストの形状変化を低減させることが可能な技術を提供することにある。その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本開示のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記の通りである。すなわち、半導体製造装置は、ペーストが格納されるシリンジと、前記シリンジの先端に設けられるノズルと、を有する塗布装置と、半導体チップが実装された基板が載置される載置部と、前記載置部を冷却する冷却部と、を有するステージと、前記ノズルから前記ペーストを前記半導体チップ上に塗布し、前記塗布されたペーストを前記冷却部により冷却するよう構成される制御部と、を備える。
本開示によれば、塗布されたペーストの形状変化を低減させることが可能になる。
以下、実施形態について、図面を用いて説明する。ただし、以下の説明において、同一構成要素には同一符号を付し繰り返しの説明を省略することがある。なお、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合がある。また、複数の図面の相互間においても、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は必ずしも一致していない。
半導体製造装置の一実施形態であるボンダの構成について図1から図4を用いて説明する。
図1に示すように、ボンダ10は、大別して、基板Sに実装するワークDGを供給するチップ供給部1と、プリフォーム部9と、ボンディング部4と、搬送部5と、基板供給部6と、基板搬出部7と、各部の動作を監視し制御する制御部(制御装置)8と、を有する。Y軸方向がボンダ10の前後方向であり、X軸方向が左右方向である。チップ供給部1がボンダ10の前側に配置され、ボンディング部4が後側に配置される。ここで、基板Sには、最終的に一つのパッケージとなる、複数の製品エリアに半導体チップDが実装されている。
図2に示すように、チップ供給部1は、ウエハ11を保持するウエハ保持台12と、ウエハ11からワークDGを突き上げる突上げユニット13と、を有する。ここで、ワークDGは例えばガラスチップや半導体チップである。ウエハ11は円盤状のガラス板または半導体ウエハにダイシングテープ16が貼付され、ダイシングされて複数のガラスチップまたは半導体チップに分割されている。ウエハ保持台12は、ウエハリング14を保持するエキスパンドリング15と、ウエハリング14に保持され複数のワークDGが接着されたダイシングテープ16を水平に位置決めする支持リング17と、を有する。突上げユニット13は支持リング17の内側に配置される。制御部8は、ウエハ保持台12を図示しない駆動手段によってX軸方向およびY軸方向に移動し、ピックアップするワークDGを突上げユニット13の位置(ピックアップ位置)に移動させる。
ウエハ保持台12は、ワークDGの突き上げ時に、ウエハリング14を保持しているエキスパンドリング15を下降させる。その結果、ウエハリング14に保持されているダイシングテープ16が引き伸ばされワークDGの間隔が広がり、突上げユニット13によりワークDG下方よりワークDGを突き上げ、ワークDGのピックアップ性を向上させている。
図3に示すように、プリフォーム部9は、シリンジ91と、シリンジ91をX軸方向、Y軸方向および上下方向に動かす駆動部(不図示)と、シリンジ91の塗布位置等を把握する撮像装置としてのプリフォームカメラ94と、を有する。プリフォーム部9は搬送部5により搬送されてきた基板Sに実装された半導体チップDにシリンジ91でペーストを塗布する。シリンジ91は内部にペーストが封入されており、空気圧によりペーストがノズル92の先端から基板Sに実装された半導体チップDに押し出されて塗布されるように構成されている。
図4に示すように、ボンディング部4は、ワークDGを先端に吸着保持するコレット42を備えるボンドヘッド41と、ボンドヘッド41をY軸方向に移動させるY駆動部(不図示)と、基板Sの位置認識マーク(不図示)を撮像し、ボンド位置を認識する基板認識カメラ44と、を有する。ボンディング部4は、チップ供給部1からワークDGをピックアップし、搬送されてくる基板Sに実装された、ペーストPAが塗布された半導体チップD上にボンドする。この際、ボンドヘッド41は、ウエハ認識カメラ24の撮像データに基づいてピックアップ位置・姿勢を補正し、ウエハ11からワークDGをピックアップし、基板認識カメラ44の撮像データに基づいて基板に実装されている半導体チップDの上にワークDGをボンディングする。
図1に示すように、搬送部5は、基板Sが移動する搬送路としての搬送レーン52を有する。このような構成によって、基板Sは、基板供給部6から搬送レーン52に沿って、塗布位置まで移動し、塗布後、ボンド位置まで移動し、ボンド後、基板搬出部7まで移動して、基板搬出部7に基板Sを渡す。
制御部8は、ボンダ10の上述した各部の動作を監視し制御するプログラム(ソフトウェア)を格納するメモリと、メモリに格納されたプログラムを実行する中央処理装置(CPU)と、を備える。
次に、実施形態におけるボンダを用いた半導体装置の製造方法について図5を用いて説明する。以下の説明において、ボンダ10を構成する各部の動作は制御部8により制御される。
(ウエハ搬入工程(工程S1))
ウエハリング14がボンダ10に搬入される。搬入されたウエハリング14がチップ供給部1に供給される。ここで、ウエハリング14にはウエハ11から分割されたワークDGが貼付されたダイシングテープ16が保持されている。
ウエハリング14がボンダ10に搬入される。搬入されたウエハリング14がチップ供給部1に供給される。ここで、ウエハリング14にはウエハ11から分割されたワークDGが貼付されたダイシングテープ16が保持されている。
(基板搬入工程(工程S2))
半導体チップDが実装された基板Sがボンダ10の基板供給部6に搬入される。搬入後、搬送部5により基板Sがプリフォームステージ95に搬送される。
半導体チップDが実装された基板Sがボンダ10の基板供給部6に搬入される。搬入後、搬送部5により基板Sがプリフォームステージ95に搬送される。
(プリフォーム工程(工程S3))
プリフォームカメラ94により塗布前の基板Sに実装された半導体チップDの表面の画像を取得してペーストPAを塗布すべき面を確認する。塗布すべき面に問題なければ、プリフォームステージ95により支持された基板Sのペーストが塗布される位置が確認されて位置決めされる。位置決めはボンディング部4と同様にパターンマッチングなどで行われる。
プリフォームカメラ94により塗布前の基板Sに実装された半導体チップDの表面の画像を取得してペーストPAを塗布すべき面を確認する。塗布すべき面に問題なければ、プリフォームステージ95により支持された基板Sのペーストが塗布される位置が確認されて位置決めされる。位置決めはボンディング部4と同様にパターンマッチングなどで行われる。
基板Sに実装された半導体チップDにシリンジ91の先端のノズル92からペーストPAが塗布される。ペーストPAは、例えば、UV(紫外線)硬化型接着剤である。塗布後、プリフォームカメラ94により塗布されたペーストPAが撮影される。撮影によって取得された画像に基づいてペーストPAが正確に塗布されているかどうかが確認されて、塗布されたペーストPAの検査(外観検査)が行われる。塗布に問題なければ、搬送部5により基板Sがボンドステージ45に搬送される。
(ボンド工程(工程S4))
工程S1後、所望するワークDGをウエハ11からピックアップできるようにウエハ保持台12が動かされる。ウエハ認識カメラ24によりワークDGが撮影され、撮影により取得され画像データに基づいてワークDGの位置決めおよび表面検査が行われる。画像データが画像処理されることによって、ボンダ10のワーク位置基準点からのウエハ保持台12上のワークDGのずれ量(X、Y、θ方向)が算出されて位置決めが行われる。なお、ワーク位置基準点は、予め、ウエハ保持台12の所定の位置を装置の初期設定として保持している。画像データが画像処理されることによって、ワークDGの表面検査が行われる。
工程S1後、所望するワークDGをウエハ11からピックアップできるようにウエハ保持台12が動かされる。ウエハ認識カメラ24によりワークDGが撮影され、撮影により取得され画像データに基づいてワークDGの位置決めおよび表面検査が行われる。画像データが画像処理されることによって、ボンダ10のワーク位置基準点からのウエハ保持台12上のワークDGのずれ量(X、Y、θ方向)が算出されて位置決めが行われる。なお、ワーク位置基準点は、予め、ウエハ保持台12の所定の位置を装置の初期設定として保持している。画像データが画像処理されることによって、ワークDGの表面検査が行われる。
工程S3後、ボンドステージ45上に載置された基板Sが基板認識カメラ44により撮影され、画像データが取得される。画像データが画像処理されることによって、ボンダ10の基板位置基準点からの基板Sのずれ量(X、Y、θ方向)が算出される。なお、基板位置基準点は、予め、ボンディング部4の所定の位置を装置の初期設定として保持している。
ボンドヘッド41をピックアップ対象のワークDGの直上まで平行移動および下降し、算出されたワークDGのずれ量からボンドヘッド41の吸着位置が補正されてワークDGがコレット42により真空吸着される。ウエハ11からワークDGを吸着したボンドヘッド41によりボンドステージ45上の基板Sに実装された半導体チップDの所定箇所にワークDGがボンドされる。基板認識カメラ44により半導体チップDにボンドされたワークDGが撮影され、撮影により取得された画像データに基づいてワークDGが所望の位置にボンドされたかどうか等の検査を行う。
(基板搬出工程(工程S5))
ワークDGがボンドされた基板Sが基板搬出部7に搬送される。基板搬出部7でワークDGがボンドされた基板Sを取り出す。ボンダ10から基板Sを搬出する。
ワークDGがボンドされた基板Sが基板搬出部7に搬送される。基板搬出部7でワークDGがボンドされた基板Sを取り出す。ボンダ10から基板Sを搬出する。
プリフォーム部9の詳細について図6を用いて説明する。
プリフォーム部9は、シリンジ91、ノズル92、ノズルホルダ93、上下アーム96およびプリフォームステージ95を備える。シリンジ91にはペーストが収容される。シリンジ91の下部にノズル92が設けられている。ノズル92はノズルホルダ93に保持される。ノズルホルダ93はヒータブロックの機能も有し、加熱部93aが嵌め込まれている。加熱部93aは、例えば、抵抗加熱の電気ヒータ(heater)で構成される。上下アーム96はノズルホルダ93に接続され、シリンジ91およびノズル92を上下動させる機構であり、図示しない駆動部により上下動される。
ノズルホルダ93にはノズル92の近傍に図示しない温度センサが設けられ、制御部8は温度センサの温度に基づいて加熱部93aを制御する。熱伝導によりノズルホルダ93を介して加熱部93aの熱がノズル92全体に伝わり、ノズル92内のペーストが加熱されて適温で維持される。
プリフォームステージ95はワークとしての半導体チップが実装された基板Sが載置される載置部95aと載置部95aを冷却する冷却部95bとを有する。冷却部95bは、例えば、ペルチェ素子で構成される。
プリフォームステージ95には載置部95aの近傍に図示しない温度センサが設けられ、制御部8は温度センサの温度に基づいて冷却部95bを制御する。熱伝導により半導体チップDに塗布されたペーストの熱が半導体チップD、基板Sを介して載置部95aから冷却部95bに放熱されて、半導体チップDに塗布されたペーストが適温で維持される。シリンジ91、ノズル92、ノズルホルダ93および上下アーム96は塗布装置を構成する。なお、塗布装置にプリフォームステージ95を含めてもよい。
ペーストを半導体チップDに塗布する際、シリンジ91にペーストを入れておいて、例えば、エアパルス方式のディスペンサ(不図示)から一定の時間、空気等の加圧気体をシリンジ91の上部から供給して、所定量のペーストを吐出させる。このとき、ノズル92は所定温度に加熱されている。所定温度はペーストを硬化させない温度であり、例えば、40~50℃である。塗布時には、ノズル92を半導体チップDに近接させた状態で、シリンジ91をXY平面内で2次元的に一筆書き走査(描画動作)する。
ペーストの塗布について図7、図8(a)および図8(b)を用いて説明する。
図7に示すように、基板Sには、最終的に一つのパッケージとなる、複数の製品エリア(以下、アタッチメント領域Pという。)が格子状に形成されている。また、各アタッチメント領域Pには半導体チップDが実装されている。なお、、以下では、アタッチメント領域Pは一列に四個、八列に配置される例について説明する。
格子状にアタッチメント領域Pが配列された基板Sの右上の一列目一行目(CN=1、RN=1)のアタッチメント領域Pから下方向に順次ペーストがシリンジ91により半導体チップDに塗布される。そして、右下の一列目四行目(CN=1、RN=4)のアタッチメント領域Pの半導体チップDへのペーストの塗布後、基板Sを動かし右から二列目に表面検査および位置決めを行う。その後、右から二列目の最上の位置(一行目)(CN=2、RN=1)から下方向に順次ペーストが塗布される。その後、同様に、三列目、四列目、・・・、八列目と塗布される。
ペーストの吐出プロセスについて説明する。ペーストはシリンジ91に収容されている。最初、上下アーム96が動かされてノズル92が、図8(a)に示す書き出しの位置WSの上方に位置する。上下アーム96が下げられることによって、ノズル92の先端は比較的高い位置から降下して吐出開始タイミングで基板Sの上面から所定の高さ(ノズル高さ)に達する。ノズル高さは、例えば100から200μmである。ここで、ディスペンサから圧縮空気が供給されると、シリンジ91内の空気圧が急速に上昇し、徐々に吐出が開始する。それに同期して、描画動作が開始する。すなわち、具体的には、上下アーム96が動かされることによってノズル92が2次元的に水平移動する。ノズル92は一般に書き出しの位置WSに戻っており、そこで描画動作を終了する。それに同期して、ディスペンサからの圧縮空気の供給が停止されると、シリンジ91内の空気圧は急速に降下するが、吐出は徐々に弱くなり停止する。吐出が停止するとほぼ同時に、上下アーム96がノズル92を上げる。このような動作により、例えば、図8(a)に示すように、ペーストPAが半導体チップDの上に環状に塗布される。
塗布が所定時間以上行われていない場合、チクソ性の影響で塗布開始時の塗布量が不安定となる現象が発生する。チクソ性(thixotropy)とは、一定の力を受け続けると粘度が次第に低下し液状となる。また静止し続けると粘度が上昇し固体状になる性質のことである。その結果、図8(b)に示すように、書き出しの位置WSにおけるペーストの量が不足して半導体チップDの上に塗布されない領域が存在することがある。そのため、最初のアタッチメント領域P(CN=1、RN=1)への塗布を行う前に、ペーストを捨て打ちする予備動作が行われることが一般的である。
UV硬化型接着剤に限られないが、ペーストはその素材によっては、例えば、各列の先頭行のアタッチメント領域Pへの塗布開始前に捨て打ちを行わないと、塗布量が安定しないことがある。言い換えると、予備動作の頻度を上げることで塗布開始時の塗布量を一定にすることが可能である。しかし、予備動作時間が増加して生産性が低下する。
本実施形態では、常時、ノズル92を所定温度に加熱することにより、ペーストの粘度を室温における粘度よりも低くする。ここで、熱硬化性特性を有するペーストがあるため、好ましくは、所定温度はペーストを硬化させない程度の温度、例えば、40~50℃である。これにより、ペーストの吐出量の変化が小さくなり塗布を安定させることができる。よって、ペーストの捨て打ちを最初のアタッチメント領域P(CN=1、RN=1)への塗布を行う前のみにすることができ、予備動作時間を低減することができる。
ペーストの塗布時、ノズル82が加熱されているので、塗布されるペーストの粘度が低下している。そのため、半導体チップDへ塗布されたペーストも粘度が下がっており、ペーストの温度が高いままだと、時間経過と共にペーストの裾野が広がり高さが低くなる等の形状変化(経時変化)をしてしまう可能性ある。
本実施形態では、プリフォームステージ95の冷却部95bにより、載置部95aおよび基板Sを介して塗布されたペーストを冷却して、そのペーストの温度が加熱前の温度(室温)になるようにする。積極的に塗布されたペーストの温度を室温へ早く戻すようにすることで、ペーストの粘度が高くなり、粘性が回復して形状変化を低減することができる。
本実施形態によれば、下記の一つまたは複数の効果を奏する。
(a)塗布されたペーストの形状変化を低減することが可能となる。
(b)ペーストを安定して塗布することが可能となる。
(c)上記(b)により、塗布開始前の予備動作(例えば捨て打ち)の回数を大きく減らすことが可能となり、タクトタイム(Takt Time)の短縮が可能となる。これにより、生産能力の向上が可能となる。
(d)上記(a)または(b)により、製品品質の向上が可能となる。
以上、本開示者らによってなされた開示を実施形態に基づき具体的に説明したが、本開示は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々変更可能であることはいうまでもない。
例えば、実施形態では、冷却部としてペルチェ素子を例に説明したが、冷却水循環または空冷であってもよい。
また、実施形態では、加熱部として抵抗加熱の電気ヒータを例に説明したが、赤外線加熱または誘導加熱等の電気ヒータやペルチェ素子であってもよい。
また、実施形態では、ノズル92の加熱部によってペーストを加熱する例に説明したが、室温における粘度が実施形態のペーストよりも低いペーストにおいては、加熱しないで塗布し、またはノズル92に冷却部を設けて冷却して塗布するようにしてもよい。この場合、塗布されたペーストをプリフォームステージ95により塗布時のペーストの温度よりも低い温度に冷却して、経時変化による形状変化を低減するようにしてもよい。
また、実施形態では、半導体チップDの上にペーストPAを環状に塗布する例を説明したが、半導体チップDの上にペーストPAを環状以外(例えば、X字状やZ字状)に塗布してもよい。
また、実施形態では、半導体チップDの上にペーストPAを塗布する例を説明したが、半導体チップDの上に半導体ウエハから分割された半導体チップ(ダイ)を積層するようにしてもよい。
また、実施形態では、半導体チップDの上にペーストPAを塗布する例を説明したが、基板Sの上にペーストPAを塗布してもよい。この場合、基板Sの上に半導体チップがボンドされる。
また、実施形態では、ボンドヘッド41でチップ供給部1からピックアップしたワークDGを基板Sに実装された半導体チップDにボンディングする例を説明したが、チップ供給部1とボンディング部4との間に中間ステージ部を設け、ピックアップヘッドでチップ供給部1からピックアップしたワークDGを中間ステージに載置し、ボンドヘッド41で中間ステージから再度ワークDGをピックアップし、基板Sに実装された半導体チップDにボンドするようにしてもよい。
8・・・制御部
10・・・ボンダ(半導体製造装置)
91・・・シリンジ
92・・・ノズル
93a・・・加熱部
95・・・プリフォームステージ
95a・・・載置部
95b・・・冷却部
D・・・半導体チップ
PA・・・ペースト
S・・・基板
10・・・ボンダ(半導体製造装置)
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Claims (10)
- ペーストが格納されるシリンジと、前記シリンジの先端に設けられるノズルと、を有する塗布装置と、
半導体チップが実装された基板が載置される載置部と、前記載置部を冷却する冷却部と、を有するステージと、
前記ノズルから前記ペーストを前記半導体チップの上に塗布し、前記塗布されたペーストを前記冷却部により冷却するよう構成される制御部と、
を備える半導体製造装置。 - 請求項1の半導体製造装置において、
前記塗布装置は、さらに、前記ノズルを加熱する加熱部を有し、
前記制御部は、前記加熱部により前記ノズルが加熱されている状態で、前記ノズルから前記ペーストを前記半導体チップの上に塗布するよう構成される半導体製造装置。 - 請求項1または2の半導体製造装置において、
前記制御部は前記冷却部により前記塗布されたペーストを塗布時のペーストの温度よりも低い温度に冷却するよう構成される半導体製造装置。 - 請求項3の半導体製造装置において、
前記制御部は前記塗布されたペーストを室温に冷却するよう構成される半導体製造装置。 - 請求項2の半導体製造装置において、
さらに、ボンドヘッドを備え、
前記制御部は、前記ボンドヘッドにより前記半導体チップの上にワークを載置するよう構成される半導体製造装置。 - 請求項5の半導体製造装置において、
前記ワークはガラスチップである半導体製造装置。 - ペーストが格納されるシリンジと、前記シリンジの先端に設けられるノズルと、ステージと、制御部と、を備え、
前記ステージは、ワークが載置される載置部と、前記載置部を冷却する冷却部と、を有し、、
前記制御部は、前記ノズルから前記ペーストを前記ワークの上に塗布し、前記塗布されたペーストを前記冷却部により冷却するよう構成される塗布装置。 - 請求項7の塗布装置において、
さらに、前記ノズルを加熱する加熱部を有し、
前記制御部は、前記加熱部により前記ノズルが加熱されている状態で、前記ノズルから前記ペーストを前記ワークの上に塗布するよう構成される塗布装置。 - ペーストが格納されるシリンジと、前記シリンジの先端に設けられるノズルと、を有する塗布装置と、半導体チップが実装された基板が載置される載置部と、前記載置部を冷却する冷却部と、を有するステージと、を備える半導体製造装置に半導体チップが実装された基板を搬入する工程と、
前記塗布装置で前記半導体チップにペーストを塗布する塗布工程と、
前記ステージで塗布された前記ペーストを冷却する冷却工程と、
を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項9の半導体装置の製造方法において、
前記塗布装置は、さらに、前記ノズルを加熱する加熱部を有し、
前記塗布工程は、前記加熱部により前記ノズルが加熱されている状態で、前記ノズルから前記ペーストを前記半導体チップの上に塗布する半導体装置の製造方法。
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