JP2023127778A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2831705B1 (fr) * 2001-10-25 2004-08-27 Commissariat Energie Atomique Micro-condensateur variable a fort rapport et faible tension d'actionnement
US20060158484A1 (en) * 2005-01-14 2006-07-20 Greywall Dennis S Thermal actuator for a MEMS device
JP4933192B2 (ja) * 2006-08-09 2012-05-16 キヤノン株式会社 可燃性ガス検出器、及び可燃性ガス検出器を搭載した燃料電池システム
JP2012176445A (ja) * 2011-02-25 2012-09-13 Murata Mfg Co Ltd Memsアクチュエータおよび可変容量素子
JP5644938B2 (ja) * 2011-03-29 2014-12-24 富士通株式会社 電子デバイスとその製造方法
EP2898519A4 (en) * 2012-09-20 2016-06-01 Wispry Inc VARIABLE CONDENSATE DEVICES WITH A MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) AND CORRESPONDING METHOD
WO2016205353A1 (en) * 2015-06-15 2016-12-22 Purdue Research Foundation Microelectromechanical gas sensor based on knudsen thermal force
JP6308605B1 (ja) * 2017-03-06 2018-04-11 株式会社トライフォース・マネジメント 力覚センサ
CN107589155A (zh) * 2017-09-12 2018-01-16 华南师范大学 一种电容式传感器及其制备方法
JP6896576B2 (ja) * 2017-09-20 2021-06-30 株式会社東芝 ガスセンサおよびその製造方法
JP6926040B2 (ja) * 2018-09-10 2021-08-25 株式会社東芝 水素センサ、水素検出方法およびプログラム
JP7227883B2 (ja) * 2019-10-09 2023-02-22 株式会社東芝 センサ及びセンサの校正方法
JP7362557B2 (ja) * 2020-07-17 2023-10-17 株式会社東芝 センサ及びセンサモジュール

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