JP2023039290A - レーザー加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】空間光変調器の異常を加工中でも高速に検知することができるレーザー加工装置を提供すること。【解決手段】レーザー加工装置は、発振器22と、集光器23と、表示部241に表示した位相パターンに応じて入射したレーザービーム21を変調して出射する空間光変調器24をと、含むレーザービーム照射ユニット20と、集光器23の入射瞳面に入射する領域に表示される加工用パターンと、加工用パターンを囲繞し、集光器23の入射瞳面に入射しない領域に表示される変化検知用パターンと、を含む位相パターンを、表示部241のレーザービーム21が当たる領域に表示させる制御部と、空間光変調器24において変化検知用パターンにより変調されたレーザービーム21の強度を検出する光検出ユニット30と、レーザービーム21の強度に基づいて、空間光変調器24が正常に動作しているか否かを判定する判定部と、を備える。【選択図】図3
Description
本発明は、レーザー加工装置に関する。
半導体デバイスを製造するために、レーザービームの集光点をウエーハの内部に位置づけ、ストリート(分割予定ライン)に沿って照射することで改質層を形成し、外力を加えることで分割する加工方法が知られている(特許文献1参照)。上述した加工方法を実現するレーザー加工装置では、発振器から出射したレーザービームが空間光変調器により変調され、集光レンズにより集光されてウエーハへと照射される。このレーザー加工装置において、空間光変調器が不良や異常により正常に動作しない場合、レーザービームの変調が適切に行われず、加工不良を引き起こす可能性がある。
そこで、空間光変調器の動作不良を検知するために、様々な方法が提案されている。例えば、特許文献2には、集光レンズの瞳面に入射しない一部を変調するマーキングを含む位相パターンを空間光変調器に表示させ、マーキングを含む位相パターンの強度分布を取得することで、動作を確認する方法が開示されている。また、特許文献3には、レーザー加工を行う第一モードと、第一モードと異なる第二モードとを有する加工装置において、第二モード実行中に空間光変調器に表示する位相パターンを切り替えて、切り替え前後の強度変化により動作を確認する方法が開示されている。
しかしながら、特許文献2の方法は、加工中に動作異常を確認することができる一方で、二次元の強度分布を取得する必要があり、処理に時間がかかるという問題がある。また、特許文献3の方法は、レーザー加工中には異常を検知できないため、途中で加工不良が発生してもウエーハ全体を加工してしまうという課題が存在していた。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、空間光変調器の異常を加工中でも高速に検知することができるレーザー加工装置を提供することである。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のレーザー加工装置は、レーザービームを出射する発振器と、該発振器から出射されたレーザービームを集光して被加工物に照射する集光器と、該発振器と該集光器との間に配設され、位相パターンを表示する表示部を有し、該表示部に入射したレーザービームを該位相パターンに応じて変調して出射する空間光変調器と、を含むレーザービーム照射ユニットと、該表示部に表示する位相パターンを制御する制御部と、該空間光変調器から出射された該レーザービームの強度を検出する光検出ユニットと、該光検出ユニットにより検出した該レーザービームの強度に基づいて、該空間光変調器が正常に動作しているか否かを判定する判定部と、を備え、該制御部は、該集光器の入射瞳面に入射する領域に表示される加工用パターンと、該加工用パターンを囲繞し、該集光器の入射瞳面に入射しない領域に表示される変化検知用パターンと、を含む位相パターンを、該表示部の該レーザービームが当たる領域に表示させ、該光検出ユニットは、該変化検知用パターンにより変調され該表示部から出射したレーザービームの強度を検出することを特徴とする。
また、本発明のレーザー加工装置において、該光検出ユニットは、該レーザービーム照射ユニットが該被加工物に対して該レーザービームを照射している間に該レーザービームの強度を検出してもよい。
また、本発明のレーザー加工装置において、該変化検知用パターンは、該加工用パターンによって変調された該レーザービームが進行する方向とは異なる方向に該レーザービームが進行するように該レーザービームを変調してもよい。
また、本発明のレーザー加工装置において、該空間光変調器と該集光器との間には、該レーザービームを集束する集束レンズと、該集束レンズの焦点位置または該焦点位置の近傍に位置づけられたアパーチャと、が配設され、該光検出ユニットは、該変化検知用パターンにより変調されて該空間光変調器から出射されて該アパーチャに照射されたレーザービームの、反射光を受光することで該レーザービームの強度を検出してもよい。
また、本発明のレーザー加工装置は、該レーザービームの集光点を該被加工物に設定された複数の分割予定ラインに沿って相対的に移動させる移動ユニットを更に備え、該レーザー加工装置において、該制御部は、1つまたは複数の分割予定ラインに沿ってレーザービームを照射する毎に、該空間光変調器の該表示部に表示する該加工用パターンと該変化検知用パターンとを含む位相パターンのうち少なくとも該変化検知用パターンを切り替えてもよい。
また、本発明のレーザー加工装置において、該光検出ユニットは、フォトダイオードであってもよい。
本発明は、空間光変調器の異常を加工中でも高速に検知することができる。
本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。更に、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。
〔実施形態〕
まず、本発明の実施形態に係るレーザー加工装置1の構成について図面に基づいて説明する。図1は、実施形態に係るレーザー加工装置1の構成例を示す斜視図である。図2は、図1に示すレーザー加工装置1の加工対象である被加工物100の一例を示す斜視図である。図3は、図1に示すレーザービーム照射ユニット20の概略構成を示す模式図である。図4は、図3に示す空間光変調器24の表示部241の一例を示す模式図である。
まず、本発明の実施形態に係るレーザー加工装置1の構成について図面に基づいて説明する。図1は、実施形態に係るレーザー加工装置1の構成例を示す斜視図である。図2は、図1に示すレーザー加工装置1の加工対象である被加工物100の一例を示す斜視図である。図3は、図1に示すレーザービーム照射ユニット20の概略構成を示す模式図である。図4は、図3に示す空間光変調器24の表示部241の一例を示す模式図である。
以下の説明において、X軸方向は、水平面における一方向である。Y軸方向は、水平面において、X軸方向に直交する方向である。Z軸方向は、X軸方向およびY軸方向に直交する方向である。実施形態のレーザー加工装置1は、加工送り方向がX軸方向であり、割り出し送り方向がY軸方向であり、集光点位置調整方向がZ軸方向である。
レーザー加工装置1は、保持テーブル10と、レーザービーム照射ユニット20と、光検出ユニット30(図3参照)と、撮像ユニット31と、移動ユニット60と、撮像ユニット70と、入力手段80と、制御部90と、判定部91と、を備える。実施形態に係るレーザー加工装置1は、加工対象である被加工物100に対して、レーザービーム21を照射することにより、被加工物100を加工する装置である。レーザー加工装置1による被加工物100の加工は、例えば、ステルスダイシングによって被加工物100の内部に改質層106(図3参照)を形成する改質層形成加工、被加工物100の表面102に溝を形成する溝加工、または分割予定ライン103に沿って被加工物100を切断する切断加工等である。実施形態では、被加工物100に改質層106を形成する構成について説明する。
被加工物100は、例えば、シリコン(Si)、サファイア(Al2O3)、ガリウムヒ素(GaAs)、炭化ケイ素(SiC)、またはリチウムタンタレート(LiTa3)等を基板101(図2参照)とする円板状の半導体デバイスウエーハ、光デバイスウエーハ等のウエーハである。なお、被加工物100は、実施形態では円板状であるが、本発明では円板状でなくともよい。被加工物100は、例えば、環状のフレーム110が貼着されかつ被加工物100の外径よりも大径なテープ111が被加工物100の裏面105に貼着されて、フレーム110の開口内に支持された状態で搬送および加工される。
図2に示すように、被加工物100は、基板101の表面102に格子状に設定された分割予定ライン103と、分割予定ライン103によって区画された領域に形成されたデバイス104と、を有している。デバイス104は、例えば、IC(Integrated Circuit)、またはLSI(Large Scale Integration)等の集積回路、CCD(Charge Coupled Device)、またはCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)等のイメージセンサである。
実施形態において、被加工物100は、分割予定ライン103に沿って改質層106(図3参照)が形成される。被加工物100は、分割予定ライン103に形成された改質層106に沿って個々のデバイス104に分割されて、チップに個片化される。なお、チップは、実施形態では正方形状であるが、本発明では長方形状であってもよい。
図1等に示す保持テーブル10は、被加工物100を保持面11で保持する。保持面11は、ポーラスセラミック等から形成された円板形状である。保持面11は、実施形態において、水平方向と平行な平面である。保持面11は、例えば、真空吸引経路を介して真空吸引源と接続している。保持テーブル10は、保持面11上に載置された被加工物100を吸引保持する。保持テーブル10の周囲には、被加工物100を支持する環状のフレーム110を挟持するクランプ部12が複数配置されている。
保持テーブル10は、回転ユニット13によりZ軸方向と平行な軸心回りに回転される。回転ユニット13は、X軸方向移動プレート14に支持される。回転ユニット13および保持テーブル10は、X軸方向移動プレート14を介して、後述の加工送りユニット61によりX軸方向に移動される。回転ユニット13および保持テーブル10は、X軸方向移動プレート14、加工送りユニット61およびY軸方向移動プレート15を介して、後述の割り出し送りユニット62によりY軸方向に移動される。
レーザービーム照射ユニット20は、保持テーブル10の保持面11に保持された被加工物100に対してレーザービーム21を照射するユニットである。レーザービーム照射ユニット20のうち、少なくとも集光器23(図3参照)は、レーザー加工装置1の装置本体2から立設した柱3に設置される後述の集光点位置調整ユニット63に支持される。図3に示すように、レーザービーム照射ユニット20は、発振器22と、集光器23と、空間光変調器24と、偏光板25と、集束レンズ26と、アパーチャ27と、リレーレンズ28と、ミラー29と、を含む。
発振器22は、被加工物100を加工するための所定の波長を有するレーザービーム21を出射する。レーザービーム照射ユニット20が照射するレーザービーム21は、被加工物100に対して透過性または吸収性を有する波長のレーザービームであり、改質層形成加工を行う実施形態においては、透過性を有する波長のレーザービームである。
集光器23は、発振器22から出射されたレーザービーム21を、保持テーブル10の保持面11に保持された被加工物100に集光して、被加工物100に照射させる集光レンズである。集光器23は、空間光変調器24によって変調されたレーザービーム21を、被加工物100に集光する。集光器23によって集光されたレーザービーム21の集光点211は、実施形態の改質層形成加工において、被加工物100の内部に位置付けられる。なお、図3に示す例では、被加工物100の裏面105側を保持テーブル10に保持して表面102側からレーザービーム21を照射するが、本発明では表面102側を保持テーブル10に保持して裏面105側からレーザービーム21を照射してもよい。
空間光変調器24は、発振器22と集光器23との間に設けられる。空間光変調器24は、発振器22から発振されたレーザービーム21の、振幅、位相、偏光等の空間的な分布を電気的に制御することによって、入射したレーザービーム21を変調させる。空間光変調器24は、実施形態ではレーザービーム21を反射させて出力するが、本発明ではレーザービーム21を透過させて出力させてもよい。
空間光変調器24は、表示部241を有する。図4に示すように、表示部241は、所定の位相パターン242を表示する。空間光変調器24は、表示部241に入射したレーザービーム21を、位相パターン242に応じて変調して出射する。空間光変調器24は、位相パターン242を表示部241に表示させることによって、被加工物100に照射されるレーザービーム21の出力を調整する。位相パターン242は、加工用パターン243と、変化検知用パターン244と、を含む。
加工用パターン243は、表示部241のレーザービーム21が当たる領域212において、集光器23の入射瞳面に入射する領域に表示される。集光器23の入射瞳面に入射する領域とは、例えば、該領域で反射したレーザービーム21がアパーチャ27の開口を通過する、レーザービーム21の中央部が照射される領域をいう。
変化検知用パターン244は、表示部241のレーザービーム21が当たる領域212において、加工用パターン243を囲繞し、集光器23の入射瞳面に入射しない領域に表示される。集光器23の入射瞳面に入射しない領域とは、例えば、該領域で反射したレーザービーム21がアパーチャ27の開口の周囲に照射される、レーザービーム21の外縁部が照射される領域をいう。変化検知用パターン244は、例えば、加工用パターン243によって変調されたレーザービーム21が進行する方向とは異なる方向にレーザービーム21が進行するようにレーザービーム21を変調する。
なお、レーザービーム21が当たる領域212は、図4に示す一例では、変化検知用パターン244の外周と外縁が一致するように描写されているが、少なくとも変化検知用パターン244と重なっていれば、外縁が変化検知用パターン244の外周より大きくても小さくてもよい。また、変化検知用パターン244は、表示部241の全面に表示されてもよい。
図3に示すように、偏光板25は、発振器22と空間光変調器24との間に設けられる。偏光板25は、発振器22から発振されたレーザービーム21を特定方向の光に偏光させる。
集束レンズ26は、空間光変調器24と集光器23との間に配設される。集束レンズ26は、レーザービーム21を集束する。実施形態において、集束レンズ26を透過したレーザービーム21は、アパーチャ27に向かって集束して照射され、一部が遮光されると共に一部が通過する。集束レンズ26を通過したレーザービーム21のうち、加工用パターン243によって変調されたレーザービーム21は、アパーチャ27の開口に向かって集束して開口を通過する。集束レンズ26を透過したレーザービーム21のうち、変化検知用パターン244によって変調されたレーザービーム21は、アパーチャ27で反射され、反射光213として光検出ユニット30に入射する。
アパーチャ27は、空間光変調器24と集光器23との間に配設される。アパーチャ27は、集束レンズ26の焦点位置または焦点位置の近傍に位置づけられる。アパーチャ27には、集束レンズ26を透過して集束されたレーザービーム21が入射する。アパーチャ27は、空間光変調器24において加工用パターン243によって変調されたレーザービーム21を通過させる。アパーチャ27は、空間光変調器24において変化検知用パターン244によって変調されたレーザービーム21を反射させる。なお、アパーチャ27の開口は、円形状でもよいし、矩形状でもよい。
リレーレンズ28は、空間光変調器24と集光器23との間に配設される。リレーレンズ28は、集束レンズ26によって集束されてアパーチャ27を通過したレーザービーム21を、ミラー29へ透過させる。
ミラー29は、レーザービーム21を反射して、保持テーブル10の保持面11に保持した被加工物100に向けて反射する。実施形態において、ミラー29は、リレーレンズ28を透過したレーザービーム21を集光器23へ向けて反射する。
光検出ユニット30は、受光した光を検知する。光検出ユニット30は、例えば、空間光変調器24から出射されたレーザービーム21の強度を検出する。より詳しくは、光検出ユニット30は、変化検知用パターン244により変調され表示部241から出射したレーザービーム21の強度を検出する。実施形態において、光検出ユニット30は、アパーチャ27に照射されたレーザービーム21の反射光213を受光することでレーザービーム21の強度を検出する。
ここで、上述した通り、レーザービーム照射ユニット20は、被加工物100に対してレーザービーム21を照射する際、空間光変調器24によって、加工用パターン243に入射したレーザービーム21を、集光器23の入射瞳面に入射して被加工物100を所望の加工条件で加工するように変調するとともに、変化検知用パターン244に入射したレーザービーム21を、光検出ユニット30に入射するように変調する。すなわち、レーザービーム照射ユニット20は、被加工物100に対してレーザービーム21を照射している間、変化検知用パターン244に照射され変調されたレーザービーム21の強度を光検出ユニット30が検出する。
光検出ユニット30は、例えば、フォトダイオードである。フォトダイオードは、受光したレーザービーム21の受光量により変化する電圧値を制御部90へ出力する。光検出ユニット30は、フォトダイオードに限定されず、例えば、CCD撮像素子またはCMOS撮像素子等の撮像素子を備えた撮像ユニットでもよいし、パワーメータでもよい。
撮像ユニット31は、保持テーブル10に保持された被加工物100に照射されるレーザービーム21による加工点(集光点211)を撮像する。撮像ユニット31は、例えば、CCDカメラ等を含む。撮像ユニット31は、後述の撮像ユニット70と共通でもよい。
図1に示す移動ユニット60は、レーザービーム21の集光点211(図3参照)を被加工物100に設定された複数の分割予定ライン103に沿って相対的に移動させるユニットである。移動ユニット60は、加工送りユニット61と、割り出し送りユニット62と、集光点位置調整ユニット63と、を含む。
加工送りユニット61は、保持テーブル10と、レーザービーム照射ユニット20の集光点211(図3参照)とを加工送り方向であるX軸方向に相対的に移動させるユニットである。加工送りユニット61は、実施形態において、保持テーブル10をX軸方向に移動させる。加工送りユニット61は、実施形態において、レーザー加工装置1の装置本体2上に設置されている。加工送りユニット61は、X軸方向移動プレート14をX軸方向に移動自在に支持する。
割り出し送りユニット62は、保持テーブル10と、レーザービーム照射ユニット20の集光点211(図3参照)とを割り出し送り方向であるY軸方向に相対的に移動させるユニットである。割り出し送りユニット62は、実施形態において、保持テーブル10をY軸方向に移動させる。割り出し送りユニット62は、実施形態において、レーザー加工装置1の装置本体2上に設置されている。割り出し送りユニット62は、Y軸方向移動プレート15をY軸方向に移動自在に支持する。
集光点位置調整ユニット63は、保持テーブル10と、レーザービーム照射ユニット20の集光点211(図3参照)とを集光点位置調整方向であるZ軸方向に相対的に移動させるユニットである。集光点位置調整ユニット63は、実施形態において、レーザービーム照射ユニット20の少なくとも集光器23をZ軸方向に移動させる。集光点位置調整ユニット63は、実施形態において、レーザー加工装置1の装置本体2から立設した柱3に設置されている。集光点位置調整ユニット63は、レーザービーム照射ユニット20の少なくとも集光器23をZ軸方向に移動自在に支持する。
加工送りユニット61、割り出し送りユニット62、および集光点位置調整ユニット63はそれぞれ、実施形態において、周知のボールねじと、周知のパルスモータと、周知のガイドレールと、を含む。ボールねじは、軸心回りに回転自在に設けられる。パルスモータは、ボールねじを軸心回りに回転させる。加工送りユニット61のガイドレールは、X軸方向移動プレート14をX軸方向に移動自在に支持する。加工送りユニット61のガイドレールは、Y軸方向移動プレート15に固定して設けられる。割り出し送りユニット62のガイドレールは、Y軸方向移動プレート15をY軸方向に移動自在に支持する。割り出し送りユニット62のガイドレールは、装置本体2に固定して設けられる。集光点位置調整ユニット63のガイドレールは、レーザービーム照射ユニット20の少なくとも集光器23をZ軸方向に移動自在に支持する。集光点位置調整ユニット63のガイドレールは、柱3に固定して設けられる。
撮像ユニット70は、保持テーブル10に保持された被加工物100を撮像する。撮像ユニット70は、CCDカメラまたは赤外線カメラを含む。撮像ユニット70は、例えば、レーザービーム照射ユニット20の集光器23(図2参照)に隣接するように固定されている。撮像ユニット70は、被加工物100を撮像して、被加工物100とレーザービーム照射ユニット20との位置合わせを行うアライメントを遂行するための画像を得て、得た画像を出力する。
入力手段80は、実施形態において、液晶表示装置等により構成される表示装置に含まれるタッチパネルである。入力手段80は、オペレータが加工内容情報を登録する等の各種操作を受付可能である。入力手段80は、キーボード等の外部入力装置であってもよい。
制御部90は、レーザー加工装置1の上述した各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物100に対する加工動作等をレーザー加工装置1に実行させる。制御部90は、演算手段としての演算処理装置と、記憶手段としての記憶装置と、通信手段としての入出力インターフェース装置と、を含むコンピュータである。演算処理装置は、例えば、CPU(Central Processing Unit)等のマイクロプロセッサを含む。記憶装置は、HDD(Hard Disk Drive)、ROM(Read Only Memory)またはRAM(Random Access Memory)等のメモリを有する。演算処理装置は、記憶装置に格納された所定のプログラムに基づいて各種の演算を行う。演算処理装置は、演算結果に従って、入出力インターフェース装置を介して各種制御信号を上述した各構成要素に出力し、レーザー加工装置1の制御を行う。
制御部90は、空間光変調器24の表示部241に表示する位相パターン242を制御する。制御部90は、例えば、位相パターン242を、表示部241のレーザービーム21が当たる領域212に表示させる。制御部90は、例えば、1つまたは複数の分割予定ライン103に沿ってレーザービーム21を照射する毎に、空間光変調器24の表示部241に表示する加工用パターン243と変化検知用パターン244とを含む位相パターン242のうち少なくとも変化検知用パターン244を切り替える。この際、変化検知用パターン244は、切り替える前後で光検出ユニット30が受光する出力が所定値以上に変化するものとする。制御部90は、変化検知用パターン244を表示させた状態から表示させない状態に切り替えることで、変化検知用パターン244を切り替えてもよい。
判定部91は、光検出ユニット30により検出したレーザービーム21の強度に基づいて、空間光変調器24が正常に動作しているか否かを判定する。判定部91は、制御部90としてのコンピュータの一部として構成されてもよい。判定部91は、例えば、制御部90が表示部241に表示する位相パターン242のうち変化検知用パターン244を切り替えた際、光検出ユニット30により検出したレーザービーム21の強度が変化したか否かに基づいて、空間光変調器24が正常に動作しているか否かを判定する。
以上説明したように、実施形態に係るレーザー加工装置1において、レーザービーム照射ユニット20は、被加工物100に対してレーザービーム21を照射する際、空間光変調器24によって、加工用パターン243に入射したレーザービーム21を、集光器23の入射瞳面に入射して被加工物100を所望の加工条件で加工するように変調するとともに、変化検知用パターン244に入射したレーザービーム21を、光検出ユニット30に入射するように変調する。すなわち、レーザー加工装置1は、レーザービーム照射ユニット20が被加工物100に対してレーザービーム21を照射している間、変化検知用パターン244に照射され変調されたレーザービーム21の強度を光検出ユニット30が検出することができる。
これにより、被加工物100を加工しながら空間光変調器24の異常を高速に検知することが可能となるため、加工途中でも異常に気づくことができ、被加工物100全体を加工して不良チップとしてしまう可能性を低減するという効果を奏する。
更に、1つまたは複数の分割予定ライン103に沿ってレーザービーム21を照射する毎に、制御部90が空間光変調器24の表示部241に表示する加工用パターン243と変化検知用パターン244とを含む位相パターン242のうち少なくとも変化検知用パターン244を切り替えてもよい。この際、変化検知用パターン244を切り替えることで光検出ユニット30が受光する出力を所定値以上変化させることによって、光検出ユニット30がレーザービーム21の強度変化をより精度よく検出できるため、判定部91が、空間光変調器24が正常に動作しているか否かをより精度よく判定することができる。なお、本発明では、例えば、1つの分割予定ライン103を加工している間に、変化検知用パターン244を何度も切り替えてもよい。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、光検出ユニット30は、必ずしもアパーチャ27で反射した反射光213を受光しなくてもよい。
〔変形例〕
図5は、変形例に係るレーザービーム照射ユニット20-1の概略構成を示す模式図である。変形例のレーザービーム照射ユニット20-1は、実施形態のレーザービーム照射ユニット20と比較して、アパーチャ27で反射した反射光213を受光するように配置された光検出ユニット30の代わりに、光検出ユニット30-1を含む点で異なる。
図5は、変形例に係るレーザービーム照射ユニット20-1の概略構成を示す模式図である。変形例のレーザービーム照射ユニット20-1は、実施形態のレーザービーム照射ユニット20と比較して、アパーチャ27で反射した反射光213を受光するように配置された光検出ユニット30の代わりに、光検出ユニット30-1を含む点で異なる。
レーザービーム21のうち変化検知用パターン244によって変調されたレーザービーム21は、加工用パターン243によって変調されたレーザービーム21が進行する方向と異なる方向に進行する。集束レンズ26を透過したレーザービーム21のうち、加工用パターン243によって変調されたレーザービーム21は、アパーチャ27の開口に向かって集束して開口を通過する。レーザービーム21のうち、変化検知用パターン244によって変調されたレーザービーム21は、集束レンズ26を透過した光214が、光検出ユニット30-1に入射する。光検出ユニット30-1は、光214を受光することで、変化検知用パターン244によって変調されたレーザービーム21の強度を検出する。
このように、光検出ユニット30、30-1は、空間光変調器24において変化検知用パターン244から出射したレーザービーム21を受光するものであれば、どのように配置されてもよい。
更に、別の変形例として、例えば、光検知ユニットは、レーザービーム照射ユニットにおいて、空間光変調器24と集束レンズ26との間に配設されてもよい。すなわち、空間光変調器24に変調されたレーザービーム21のうち、加工用パターン243によって変調されたレーザービーム21は、集束レンズ26を透過してアパーチャ27の開口に向かって集束する。空間光変調器24に変調されたレーザービーム21のうち、変化検知用パターン244によって変調されたレーザービーム21は、光検知ユニットに入射する。
1 レーザー加工装置
10 保持テーブル
11 保持面
20、20-1 レーザービーム照射ユニット
21 レーザービーム
211 集光点
212 領域
213 反射光
214 光
22 発振器
23 集光器
24 空間光変調器
241 表示部
242 位相パターン
243 加工用パターン
244 変化検知用パターン
25 偏光板
26 集束レンズ
27 アパーチャ
28 リレーレンズ
29 ミラー
30、30-1 光検出ユニット
31 撮像ユニット
60 移動ユニット
90 制御部
91 判定部
100 被加工物
102 表面
103 分割予定ライン
105 裏面
106 改質層
10 保持テーブル
11 保持面
20、20-1 レーザービーム照射ユニット
21 レーザービーム
211 集光点
212 領域
213 反射光
214 光
22 発振器
23 集光器
24 空間光変調器
241 表示部
242 位相パターン
243 加工用パターン
244 変化検知用パターン
25 偏光板
26 集束レンズ
27 アパーチャ
28 リレーレンズ
29 ミラー
30、30-1 光検出ユニット
31 撮像ユニット
60 移動ユニット
90 制御部
91 判定部
100 被加工物
102 表面
103 分割予定ライン
105 裏面
106 改質層
Claims (6)
- レーザー加工装置であって、
レーザービームを出射する発振器と、
該発振器から出射されたレーザービームを集光して被加工物に照射する集光器と、
該発振器と該集光器との間に配設され、位相パターンを表示する表示部を有し、該表示部に入射したレーザービームを該位相パターンに応じて変調して出射する空間光変調器と、
を含むレーザービーム照射ユニットと、
該表示部に表示する位相パターンを制御する制御部と、
該空間光変調器から出射された該レーザービームの強度を検出する光検出ユニットと、
該光検出ユニットにより検出した該レーザービームの強度に基づいて、該空間光変調器が正常に動作しているか否かを判定する判定部と、
を備え、
該制御部は、
該集光器の入射瞳面に入射する領域に表示される加工用パターンと、
該加工用パターンを囲繞し、該集光器の入射瞳面に入射しない領域に表示される変化検知用パターンと、
を含む位相パターンを、該表示部の該レーザービームが当たる領域に表示させ、
該光検出ユニットは、
該変化検知用パターンにより変調され該表示部から出射したレーザービームの強度を検出することを特徴とする、
レーザー加工装置。 - 該光検出ユニットは、
該レーザービーム照射ユニットが該被加工物に対して該レーザービームを照射している間に該レーザービームの強度を検出することを特徴とする、
請求項1に記載のレーザー加工装置。 - 該変化検知用パターンは、
該加工用パターンによって変調された該レーザービームが進行する方向とは異なる方向に該レーザービームが進行するように該レーザービームを変調することを特徴とする、
請求項1または2に記載のレーザー加工装置。 - 該空間光変調器と該集光器との間には、
該レーザービームを集束する集束レンズと、
該集束レンズの焦点位置または該焦点位置の近傍に位置づけられたアパーチャと、
が配設され、
該光検出ユニットは、
該変化検知用パターンにより変調されて該空間光変調器から出射されて該アパーチャに照射されたレーザービームの、反射光を受光することで該レーザービームの強度を検出することを特徴とする、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載のレーザー加工装置。 - 該レーザービームの集光点を該被加工物に設定された複数の分割予定ラインに沿って相対的に移動させる移動ユニットを更に備え、
該制御部は、
1つまたは複数の分割予定ラインに沿ってレーザービームを照射する毎に、
該空間光変調器の該表示部に表示する該加工用パターンと該変化検知用パターンとを含む位相パターンのうち少なくとも該変化検知用パターンを切り替えることを特徴とする、
請求項1乃至4のいずれか1項に記載のレーザー加工装置。 - 該光検出ユニットは、フォトダイオードであることを特徴とする、
請求項1乃至5のいずれか1項に記載のレーザー加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021146391A JP2023039290A (ja) | 2021-09-08 | 2021-09-08 | レーザー加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2021146391A JP2023039290A (ja) | 2021-09-08 | 2021-09-08 | レーザー加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023039290A true JP2023039290A (ja) | 2023-03-20 |
Family
ID=85600644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021146391A Pending JP2023039290A (ja) | 2021-09-08 | 2021-09-08 | レーザー加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2023039290A (ja) |
-
2021
- 2021-09-08 JP JP2021146391A patent/JP2023039290A/ja active Pending
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