JP2023017513A - アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 - Google Patents
アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】信頼性を向上するアクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置を提供する。【解決手段】アクチュエータ１０は、開口１０２ａを有する変形可能な薄膜部材１０２と、薄膜部材１０２の一面側の開口１０２ａの周囲に配置された圧電素子１０３とを備え、圧電素子１０３を覆う絶縁膜１１５が設けられ、絶縁膜１１５の表面側には圧電素子１０３に接続された電極配線１１６、１１７を含めて覆う保護膜１１９が設けられ、少なくとも電極配線１１６、１１７と保護膜１１９との間には密着性改善膜１１８が介在している。【選択図】図２
Description
本発明はアクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。
液体吐出ヘッドとして、例えば、液体を吐出するノズルを有する変形可能なノズル板に撓み変形する圧電素子を設け、ノズル板を変形させることで液室内の液体を加圧してノズルから液体を吐出させるものがある。
例えば、第１の面、前記第１の面と反対側の第２の面、および第１の面と第２の面を連絡した筒状の孔を有する基材と、基材の第１の面と積層して孔の一端を塞ぐことで圧力室を形成し、圧力室に連通するノズルを有する振動板と電圧が印加されたときに振動板を変形させて圧力室の容積を変化させる駆動素子とを有するノズルプレートを備え、駆動素子の表面に絶縁膜を有し、絶縁膜の表面に保護膜を備えるものが知られている（特許文献１、２）。
ところで、電気機械変換素子の絶縁膜上に保護膜を形成するときに絶縁膜と保護膜との密着性（接着性）が低下するという課題がある。
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、信頼性を向上することを目的とする。
上記の課題を解決するため、本発明に係るアクチュエータは、
開口を有する変形可能な薄膜部材と、
前記薄膜部材の前記開口の周囲に配置され、前記薄膜部材を変形させる電気機械変換素子と、を備え、
前記電気機械変換素子を覆う絶縁膜が設けられ、
前記絶縁膜の表面側には前記電気機械変換素子に接続された電極配線を含めて覆う保護膜が設けられ、
少なくとも前記電極配線と前記保護膜との間には密着性改善膜が介在している
構成とした。
開口を有する変形可能な薄膜部材と、
前記薄膜部材の前記開口の周囲に配置され、前記薄膜部材を変形させる電気機械変換素子と、を備え、
前記電気機械変換素子を覆う絶縁膜が設けられ、
前記絶縁膜の表面側には前記電気機械変換素子に接続された電極配線を含めて覆う保護膜が設けられ、
少なくとも前記電極配線と前記保護膜との間には密着性改善膜が介在している
構成とした。
本発明によれば、信頼性を向上することができる。
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。まず、本発明の第１実施形態について図１及び図２を参照して説明する。図１は同実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視説明図、図２は同じく図１のＡ－Ａ線に沿う断面説明図である。
この液体吐出ヘッド１は、複数のアクチュエータ１０と、液室形成部材２０とを有している。
アクチュエータ１０は、液体を吐出するノズル１０１を形成する開口１０２ａを有する変形可能なノズル板・振動板となる薄膜部材１０２と、薄膜部材１０２の一面であって、開口１０２ａの周囲に配置された環状の電気機械変換素子としての圧電素子１０３とを有している。
圧電素子１０３は、薄膜部材１０２の一面に、下部電極１１１、電気機械変換膜としての圧電膜１１２、上部電極１１３を順次積層して形成している。そして、圧電素子１０３を覆う絶縁膜１１５を設けている。
圧電素子１０３には、絶縁膜１１５を開口して、下部電極１１１に下部電極引出し配線として電極配線１１６が接続され、上部電極１１３に上部電極引出し配線としての電極配線１１７が接続されている。
さらに、圧電素子１０３の絶縁膜１１５の表面及び電極配線１１６、１１７の各表面を含めて密着性改善膜１１８が成膜され、この密着性改善膜１１８上に保護膜１１９を成膜している。つまり、絶縁膜１１５の表面側には圧電素子１０３に接続された電極配線１１６、１１７を含めて覆う保護膜１１９が設けられ、少なくとも電極配線１１６、１１７と保護膜１１９との間には密着性改善膜１１８が介在している。
密着性改善膜１１８は、保護膜１１９を電極配線１１６、１１７の表面に直接成膜した場合よりも保護膜１１９と電極配線１１６、１１７との接着性（密着性）が高くなる機能を有する層である。
ここで、絶縁膜１１５はＳｉＯ２膜、保護膜１１９はベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）を使用した樹脂膜、密着性改善膜１１８はＳｉＯ２膜としている。
アクチュエータ１０の薄層部材１０２の他面には液室形成部材２０が接合されており、液室形成部材２０はノズル１０１（開口１０２ａ）が通じる液室２０１を形成している。薄層部材１０２は液室２０１に対面する部分が変位可能な部分１２１となる。
このように構成したので、ベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）からなる保護膜１１９と電極配線１１６、１１７との密着性を向上することができる。
つまり、本実施形態では、最上層膜として、高耐薬品性、低吸湿性、高耐熱性、高平坦化性、及び高撥液性を有するベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）を材料とする保護膜１１９を成膜している。しかしながら、ＢＣＢを材料とする保護膜１１９を下地層に直接成膜すると、配線材料との密着性を十分に確保することが困難である。
特に、変位可能な部分１２１に配置されている電極配線１１６、１１７を形成するアルミ配線と保護膜１１９はアクチュエータ１０の駆動時に変位する。そのため、ストレスが生じ、保護膜１１９と電極配線１１６、１１７との密着性が十分でないと、界面で剥がれてしまい液体吐出の機能を果たせなくなる、あるいは、信頼性が確保できなくなる。
しかし、ＢＣＢの保護膜１１９は、下地の材料によって、界面の密着性が大きく影響を受ける。密着性を十分確保するためには、保護膜１１９と下地材料間で共有結合を形成することが必要になる。
圧電素子１０３を覆う絶縁膜１１５として使用されるＳｉＯ２膜の場合は、下地表面が清浄であれば、保護膜１１９と強固なシロキサン結合（－Ｏ-Ｓｉ-Ｏ-）を形成できるが、電極配線１１６、１１７を形成する金属材料（ここではアルミ配線）との密着性は絶縁膜１１５との密着性より劣る。
そこで、電極配線１１６、１１７の表面に密着改善層１１８としてＳｉＯ２膜を成膜することで、絶縁膜１１５と同様に、保護膜１１９と強固な共有結合（シロキサン結合）を形成できる。つまり、本実施形態では、保護膜１１９が接触する膜は、電極配線１１６、１１７を含めて全面を密着性改善膜１１８としてのとしてＳｉＯ２膜としている。
なお、密着性改善膜１１８の膜厚は、薄層部材１０２の剛性に影響するために１０ｎｍ以下とすることが好ましい。
密着性改善膜１１８の成膜方法としては、スパッタ法、蒸着法、ＡＬＤ法等があるが、機能的には、薄膜成膜、段差被覆性、膜質安定性、及び膜厚均一性などの点からＡＬＤ法による成膜が好ましい。
また、保護膜１１９として使用しているＢＣＢ膜は、樹脂としては低吸湿性に優れているが、無機物に比べるとその機能は劣る。そこで、保護膜１１９よりも透湿性の低いＡｌ２Ｏ３膜、ＳｉＮ膜などのバリア層を下地層（絶縁膜１１５、電極配線１１６、１１７）の表面に設け、このバリア層上に密着性改善膜１１８を設けることで、更なる信頼性の向上を図れる。
なお、絶縁膜１１５はＳｉＯ２膜に限るものではなく、ＳｉＮ膜などを用いることもできる。この場合、本実施形態のように、絶縁膜１１５の表面を含めて密着性改善膜１１８を設けることによって保護膜１１９と下地層との密着性を向上できる。
次に、上記第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造工程の一例について図３及び図４を参照して説明する。図３及び図４は同工程の説明に供する断面説明図である。
図３（ａ）に示すように、液室形成部材２０となる結晶面方位（１００）、板厚６２５μｍのシリコン基板３００に、薄膜部材１０２となる２μｍ厚さのシリコン酸化膜（ＳｉＯ２膜）３０１をプラズマＣＶＤ法で成膜する。
次いで、ＳｉＯ２膜３０１上に、下部電極１１１となる下部電極層３０２として、ＳｉＯ２膜３０１との密着層としてのＴｉＯ２膜と電極としてのＰｔをスパッタ法で各々５０ｎｍと１２０ｎｍの膜厚で成膜する。ＴｉＯ２膜は、Ｔｉをスパッタ法で成膜した後に酸素雰囲気でのＲＴＡ法でＴｉを酸化し、ＴｉＯ２膜としてもよい。
さらに、下部電極層３０２上に、圧電膜１１２となるＰＺＴ膜３０３を例えばスピンコート法で複数回に分けて成膜し、最終的に２μｍ厚で成膜する。このＰＺＴ膜３０３上に、上部電極１１３となる上部電極層３０４として、Ｐｔをスパッタ法で例えば１００ｎｍの膜厚で成膜する。ここで、ＰＺＴ膜３０３の成膜方法は、スピンコート法に限らず、例えばスパッタ法、イオンプレーティング法、エアーゾル法、ゾルゲル法、あるいはインクジェット法等などで成膜してもよい。
その後、図３（ｂ）に示すように、リソエッチ法により、後に形成する液室２０１に対応する位置に圧電素子１０３を配置するため、上部電極層３０４、ＰＺＴ膜３０３、下部電極層３０２をパターニングする。これにより、上部電極１１３、圧電膜１１２、下部電極１１１を形成する。その後、絶縁膜１１５として、プラズマＣＶＤ法でＳｉＯ２膜３０５を例えば厚さ１μｍに成膜する。
次に、図３（ｃ）に示すように、ＳｉＯ２膜３０５に対し、下部電極１１１と電極配線１１６とを接続するコンタクト部１２３、上部電極１１３と電極配線１１７とを接続するコンタクト部１２３をリソエッチ法で形成する。
その後、電極配線１１６、１１７として、例えば、ＴｉＮ／Ａｌ膜３０６、３０７を各々膜厚３０ｎｍ／１ｕｍでスパッタ法により成膜する。ここで、ＴｉＮは、コンタクト部１２３の底部で、上部電極１１３、あるいは、下部電極１１１の材料であるＰｔと引き出し配線の材料であるＡｌとが直接接することによって、後の工程による熱履歴で合金化し、体積変化によるストレスによる膜剥がれ等を防止するバリア層として適用している。
そして、ＴｉＮ／Ａｌ膜３０６、３０７をそれぞれリソエッチ法で所望のパターンに形成して、電極配線１１６、１１７を形成する。
その後、保護膜１１９との十分な密着性を得るために密着性改善膜１１８としてＳｉＯ２膜３０８を成膜する。ＳｉＯ２膜３０８は、段差被覆性と、均一性よく薄膜が成膜できる例えばＡＬＤ法（原子層堆積法）で成膜する。ＳｉＯ２膜３０８は、変位可能な部分１２１の変位を阻害しない膜厚とする。また、保護膜１１９と密着性改善膜１１８がシロキサン結合（－Ｏ－Ｓｉ－Ｏ－）されればよいので、ＳｉＯ２膜３０８はＳｉＯ２分子層が１層あればよい。
次いで、図４（ａ）に示すように、保護膜１１９として、スピンコート法でベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）の膜３０９を４μｍ厚で成膜する。そして、重合硬化させるため、窒素雰囲気化２５０℃で１時間熱処理する。
その後、図４（ｂ）に示すように、シリコン基板３００を所要の液室２０１の深さにするため研磨する。
次いで、ノズル１０１を形成するため、リソ法でレジストパターンを形成し、保護膜１１９となるＢＣＢの膜３０９、密着性改善膜１１８となるＳｉＯ２膜３０８、絶縁膜１１５となるＳｉＯ２膜３０５、及び、薄膜部材１０２となるＳｉＯ２膜３０１をエッチングする。エッチングは、ドライエッチングで行い、ＢＣＢの膜３０９は、Ｏ２、あるいはＣＦ４／Ｏ２のガスで、例えばＲＩＥエッチャーや、高密度プラズマエッチャーでエッチングする。
そして、図４（ｃ）に示すように、液室形成部材２０となるシリコン基板３００に液室２０１をエッチングで開口する。
これにより、液体吐出ヘッド１が形成される。
この液体吐出ヘッド１は、保護膜１１９と下地層（絶縁膜１１５、電極配線１１６、１１７）との間に密着性改善膜１１８が介在していることにより、保護膜１１９の密着性が確保され、高い信頼性を得ることができる。
次に、本発明の第２実施形態について図５を参照して説明する。図５は同実施形態に係る液体吐出ヘッドの断面説明図である。
本実施形態では、密着性改善膜１１８と下地層（絶縁層１１５、電極配線１１６、１１７）との間にバリア層１２０を設けている。バリア層１２０としては、例えば、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＮなどの膜を使用することができる。
保護膜１１９としてＢＣＢの膜３０９を使用した場合、樹脂としては低吸湿性に優れているが、無機物に比べると透湿性は相対的に高くなる。そこで、保護膜１１９よりも耐透湿性の優れた、つまり、透湿性の低いバリア層１２０を設けることで、保護膜１１９を透過した水分がバリア層１２０でブロックされ、更に高い信頼性を得られる。
また、密着改善層１１８と下地層との密着性を向上するため、バリア層１２０に代えて、ＳｉＯ２／ＳｉＮの２層膜、あるいは、Ａｌ２Ｏ３／ＳｉＯ２の２層膜を設けて、全体として３層膜構造とすることもできる。
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図６及び図７を参照して説明する。図６は同装置の要部平面説明図、図７は同装置の要部側面説明図である。
この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド１及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド１は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド１は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
液体吐出ヘッド１の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド１に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。
供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。
この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド１に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド１の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド１のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド１を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。
する。
このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図８を参照して説明する。図８は同ユニットの要部平面説明図である。
この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド１で構成されている。
なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図９を参照して説明する。図９は同ユニットの正面説明図である。
この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド１と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド１と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の他の例について図１０を参照して説明する。図１０は同装置の斜視説明図である。
この装置は、架台５００の上に、Ｙ軸駆動手段５０１を設置し、Ｙ軸駆動手段５０１上に対象物５０２を搭載するステージ５０３が設定されて、Ｙ軸駆動手段５０１でステージ５０３がＹ軸方向に往復移動される。
また、Ｘ軸支持部材５０４にはＸ軸駆動手段５０５が取り付けられており、これにＺ軸駆動手段５０６上に搭載されたヘッドベース５０７が取り付けられて、ヘッドベース５０７はＸ軸方向及びＺ軸方向に移動される。
ヘッドベース５０７には、液体を吐出する１又は複数の本発明に係る液体吐出ヘッド１が搭載され、液体貯留部から供給手段５０９を介して液体が供給されている。
本発明に係る液体吐出ヘッドを備えることで、高い吐出効率で液体を吐出することができる。
本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
「液体吐出ユニット」には、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
１ 液体吐出ヘッド
１０ アクチュエータ
２０ 液室形成部材
１０１ ノズル
１０２ 薄膜部材
１０２ａ 開口
１０３ 圧電素子
１１５ 絶縁層
１１６ 電極配線
１１７ 電極配線
１１８ 密着性改善膜
１１９ 保護膜
１２０ バリア層
４０３ キャリッジ
４０４ 液体吐出ヘッド
４４０ 液体吐出ユニット
１０ アクチュエータ
２０ 液室形成部材
１０１ ノズル
１０２ 薄膜部材
１０２ａ 開口
１０３ 圧電素子
１１５ 絶縁層
１１６ 電極配線
１１７ 電極配線
１１８ 密着性改善膜
１１９ 保護膜
１２０ バリア層
４０３ キャリッジ
４０４ 液体吐出ヘッド
４４０ 液体吐出ユニット
Claims (9)
- 開口を有する変形可能な薄膜部材と、
前記薄膜部材の前記開口の周囲に配置され、前記薄膜部材を変形させる電気機械変換素子と、を備え、
前記電気機械変換素子を覆う絶縁膜が設けられ、
前記絶縁膜の表面側には前記電気機械変換素子に接続された電極配線を含めて覆う保護膜が設けられ、
少なくとも前記電極配線と前記保護膜との間には密着性改善膜が介在している
ことを特徴とするアクチュエータ。 - 前記密着性改善膜は、ＳｉＯ２膜である
ことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。 - 前記絶縁膜の表面及び前記電気配線の表面には前記保護膜よりも透湿性が低いバリア層が設けられ、
前記バリア層上に前記密着改善層が設けられている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のアクチュエータ。 - 前記密着性改善膜の膜厚が１０ｎｍ以下である
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のアクチュエータ。 - 前記電気機械変換素子は環状である
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のアクチュエータ。 - 請求項１ないし５のいずれかに記載のアクチュエータと、
前記薄膜部材の開口が通じる液室と、を備えている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 請求項６に記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液体吐出ユニット。
- 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ユニット。 - 請求項６に記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項７若しくは８に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
Priority Applications (4)
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