JP2022552755A - チップの黒化方法、黒化後のチップ、及び表面弾性波濾波器 - Google Patents

Abstract

【解決手段】本出願は、チップの黒化方法、黒化後のチップ、及び表面弾性波濾波器を開示し、半導体に係る技術分野に関し、該チップの黒化方法は、チップに対して還元処理を実行するステップと、紫外光によりチップに対して所定の時間に照射するステップと、チップの黒化の均一性ＤＥ値が０．３～０．６の範囲内にし、色度Ｌ値が４８～５４の範囲内にするステップと、を含む。本出願において、紫外光を用いてチップの黒化プロセスを促進することによって、チップの黒化の均一性ＤＥ値及び色度Ｌ値を効果的に改善して、そしてチップの透過率を改善してチップの黒化の歩留まりを向上することができる。その中に、チップに対する還元処理の実行、及び紫外光がチップを所定の時間に照射することを互いに交換することができることによって、この２種の方法は、いずれも、チップの黒化の歩留まりを向上することができる。【選択図】図１

Description

本出願は、半導体に係る技術分野に関し、特にチップの黒化方法、黒化後のチップ、及び表面弾性波濾波器に関する。

圧電チップとは、表面弾性波濾波器を作成するための主な材料である。圧電チップは、高透過率、高い焦電係数、及び高い電気抵抗率を有するため、その表面に大量の静電荷が蓄積されやすい。これらの静電荷が、濾波器の櫛形電極間や圧電チップ間で自発的に放出されると、圧電チップの割れや櫛形電極の焼損などの問題が発生する。したがって、上記した問題を解決するために、圧電チップに対して黒化プロセス（還元処理）をまず実行する必要があって、より高い表面弾性波濾波器の歩留まりを提供する。

従来の圧電チップは、伝統的な圧電チップの黒化方法により取得されるものであり、それには黒化の均一性及び色度差に劣るのに加え、透過率が高いといった問題が存在しており、且つ４インチ以下の圧電チップのみに適用されている。伝統的な圧電チップの黒化方法によりサイズの大きな圧電チップを作成する場合、そのサイズの大きな圧電チップはより大きな温度勾配が必要であるが、径方向温度勾配を均一に大きくすることは難しい。このため、ある位置において温度勾配が過大や過小となる問題が極めて発生しやすく、黒化の均一性、色度、及び透過率に影響を及ぼす。

よって、サイズの大きな圧電チップにおいて、どのようにすれば圧電チップの黒化の均一性、色度、及び透過率を改善できるかが、本分野において解決すべき課題となっている。

本出願は、チップのサイズが大きい場合でも、チップの黒化の均一性、色度、及び透過率を改善することができるチップの黒化方法を提供する。

本出願は、黒化後のチップ、及び表面弾性波濾波器を提供することを他の目的とする。

第１に、本出願の実施例によれば、チップの黒化方法は、
チップに対して還元処理を実行するステップと、
紫外光によりチップに対して所定の時間に照射するステップと、
チップの黒化の均一性ＤＥ値が０．３～０．６の範囲内であり、色度Ｌ値が４８～５４の範囲内にするステップと、を含む。

可能な実施形態において、チップに対して還元処理を実行するステップ、及び紫外光によりチップに対して所定の時間に照射するステップの順序を交換する。

可能な実施形態において、チップのサイズが６インチ、８インチ、または１０インチである。

可能な実施形態において、前記した紫外光により前記チップに対して所定の時間照射する場合には、前記紫外光の波長が２００～４５０ｎｍの範囲内にあり、前記紫外光の照射時間が０．１時間～２．５時間の範囲内にあることが含まれる。

可能な実施形態において、紫外光の照射時間が１時間である。

可能な実施形態において、チップに対して還元処理を実行する場合には、
チップ及び還元媒質を積み重ねるように交差排列することと、
還元温度が３６０℃～５５０℃の範囲内にあり、還元時間が２時間～５時間の範囲内にあることと、が含まれる。

第２に、本出願の実施例によれば、黒化後のチップを提供し、該チップが上記したチップの黒化方法により作成されたものであり、
該チップの黒化の均一性ＤＥ値が０．３～０．６の範囲内にあり、色度Ｌ値が４８～５４の範囲内にあり、且つ該チップの波長が３００～９００ｎｍの光に対する透過率が０％～５％の範囲内にある。

可能な実施形態において、チップの黒化の均一性ＤＥ値が０．５以下にある。

可能な実施形態において、チップの色度Ｌ値が５２以下にある。

可能な実施形態において、チップには６インチ、８インチ、または１０インチのチップが含まれる。

可能な実施形態において、チップが圧電チップであり、該圧電チップにはタンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムのチップが含まれる。

第３に、本出願の実施例によれば、表面弾性波濾波器を提供し、該表面弾性波濾波器は、
上記した黒化後のチップと、
チップ上に配置されているインターディジタルトランスデューサと、を含んでおり、
該インターディジタルトランスデューサは、入力端とする第１のインターディジタルトランスデューサと、出力端とする第２のインターディジタルトランスデューサと、を含んでいる。

従来技術と比べて、本出願は以下の有利な効果を有する。
（１）本出願において、紫外光を用いてチップの黒化プロセスを促進することによって、チップの黒化の均一性ＤＥ値及び色度Ｌ値を効果的に改善して、そしてチップの透過率を改善してチップの黒化の歩留まりを向上することができる。また、紫外光の照射によりチップの黒化プロセスを促進する場合、還元温度及び還元時間を適当に低減して、生産効率を向上して生産コストを削減することができる。
（２）本出願の方法を用いてサイズの大きなチップに対して黒化を実行することによって、サイズの大きなチップの黒化の均一性ＤＥ値及び色度Ｌ値を効果的に改善してサイズの大きなチップの黒化の歩留まりを向上して、そしてサイズの大きなチップの品質を向上することができる。
（３）該方法により作成されたチップは、より低い透過率を有し、その後に表面弾性波濾波器を製作する場合のフォトエッチングプロセスにおいて、短波長の設備に交換して使用する必要がなく、長波長の設備を使用して透過率の低いチップを作ることができるため、フォトエッチングに係るコストを削減することができる。

本出願の実施例の技術方案をはっきり説明するために、以下、実施例において使用される図面を簡単に説明する。以下の図面は、本出願のいくつかの実施例を示すに過ぎず、範囲を限定するものではなく、本技術分野における通常の知識を有する者にとって、創造性の手間をかけなくても、これらの図面に従って他の関連する図面を取得することもできることを理解されたい。
本出願の実施例に係るチップの黒化方法が示されるフローチャートである。 本出願の実施例に係るチップの黒化方法が示されるフローチャートである。 本出願の実施例に係るチップの異なる還元環境での色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値が示される模式図である。 本出願の実施例に係るチップの色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値の還元時間による変化が示されるランチャートである。 本出願の実施例に係るチップの色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値の紫外光の照射時間による変化が示されるランチャートである。 本出願の実施例に係るチップが異なる波長での透過率が示される模式図である。 本出願の実施例に係るチップの測定装置の構成が示される模式図である。

以下、特定の具体的な実施例を通して本出願の実施方式を説明する。本分野における通常の知識を有する者は本明細書に開示されている内容によって本出願の他の利点及び効果を容易に理解することができる。本出願は他の異なる具体的な実施方式を通して実施または運営することもでき、本出願における各詳細は、異なる観点及び応用に基づいて本出願の精神を外れなければ修飾または変更されることもできる。

本出願の一形態によれば、チップの黒化方法を提供する。該チップの黒化方法は、４インチの小さなサイズのチップに適用され得るだけではなく、６インチ、８インチ、及び１０インチなどのサイズの大きなチップにも適用され得る。サイズの小さなチップは面積が限られているので、回路を作成する製作コストが比較的に高い一方、大きな面積を有するサイズの大きなチップを利用すれば、チップの利用率を向上することができ、且つ回路の製作コストを削減することもできる。ただし、従来の黒化設備及び黒化方法を用いて、６インチ、８インチ、及び１０インチなどのサイズの大きなチップに対して黒化を実行すると、得られるサイズの大きなチップの黒化の歩留まりが悪く、サイズの大きなチップの黒化の品質に対して影響を及ぼす。本出願が提供する方法は、従来の黒化設備で６インチ、８インチ、及び１０インチなどのサイズの大きなチップに対する黒化を実現して、黒化の均一性が高いサイズの大きなチップを得てサイズの大きなチップの黒化の歩留まり及び品質を改善することができる。該チップは、表面弾性波濾波器の基板とされるものであり、主に圧電チップであり、該圧電チップにはタンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムのチップが含まれる。

なお、以下の実施例において、サイズが具体的に限定されていないチップはすべてサイズの大きなチップを指す。

図１を参照する。該チップの黒化方法は、以下のステップを含む。

Ｌ１は、チップに対して還元処理を実行するステップである。

一実施方式において、チップに対して還元処理を実行することには、
チップ及び還元媒質を積み重ねるように交差排列することと、
チップの排列が完了した後に、排列されたチップをキュリー温度より低い還元環境において放置し、該還元環境が還元気体または不活性気体のある環境であり、還元温度が３６０℃～５５０℃の範囲内であり、還元時間が２時間～５時間の範囲内であるようにすることと、が含まれる。

具体的には、排列されたチップを黒化炉内の台に載置して該チップに対して還元処理を実行する。

より好ましくは、還元媒質がベース粉体、触媒、及び離型剤により作成されたものである。その中に、ベース粉体は炭酸塩または多種の炭酸塩の粉末であり、その粒径が１０～１０００μｍの範囲内にあり、且つ該還元媒質におけるベース粉体の重量比が５０～９５％である。触媒は、不飽和ポリエステル樹脂やアクリル酸エステルなどのカルボキシル基を有する有機物であり、該還元媒質における重量比が３％～４５％である。離型剤は、二酸化ケイ素、炭化ケイ素、またはケイ素などの一種または多種の組み合わせからなる非金属酸化物の粉末であり、その粒径が１００～１０００μｍの範囲内にあり、且つ該還元媒質における離型剤の重量比が２％～５％である。

Ｌ２は、紫外光によりチップに対して所定の時間照射するステップである。

一実施方式において、紫外光によりチップに対して所定の時間照射することには、チップを紫外光の光源の下に放置して、チップと紫外光の光源との距離が３０～１００ｃｍの範囲内にすることと、紫外光の光源の波長が２００～４５０ｎｍの範囲内にすることと、紫外光の光源がチップを照射する時間が０．１ｈ～２．５ｈの範囲内にすることと、が含まれる。

タンタル酸リチウムのチップを例として説明する。

タンタル酸リチウムのチップにおけるキャリアは、主に酸素空位であるため、紫外光のタンタル酸リチウムのチップに対する光導電効果を利用すると、酸素空位が伝導帯または価電子帯に励起され得る。酸素空位は一定的な濃度勾配を元々有しているので、酸素空位が高い濃度のところから低い濃度のところへ移動し、励起された酸素空位が再び捕捉されて、新たなバランスに達して、そして酸素空位の濃度が均一分布となってチップの黒化の均一性を改善することができる。

また、紫外光によりチップに対して照射すると、チップにおける酸素空位は禁制帯内に大量の欠陥レベルを形成し、チップの光吸収係数及び光屈折の敏感さを変化させることでチップの光屈折の性能を強化して、そしてチップの黒化の均一性を改善することができる。

Ｌ３は、チップの黒化の均一性ＤＥ値を０．３～０．６の範囲内にし、色度Ｌ値を４８～５４の範囲内にするステップである。

一実施方式において、チップの黒化の均一性ＤＥ値を０．３～０．６の範囲内にし、色度Ｌ値を４８～５４の範囲内にするにあたって、色度Ｌ値のテスト方法についてはチップの中心部及びチップの周縁から所定の距離の４つのポイント（チップの周方向に沿って均一分布）をテストポイントとして選択する。具体的には、該４つのポイントとチップの周縁との距離は２～４ｍｍにする。図７の装置を用いてこれらのテストポイントに対して測定を実行して、チップのＬ値と、ａ値及びｂ値を取得する。Ｌ値はチップの黒色向きの程度を示しており、本出願の色度値である。ａ値はチップの赤色向きの程度を表示している。ｂ値はチップの黄色向きの程度を示している。

図７はチップの測定装置の構成が示された図であり、その中に、センサー１０、レンズ２０、及び積分球３０が同じ軸線に沿って順に配置され、且つチップ４０の中心軸線と該軸線との間に所定の角度を呈し、該角度が６°～１０°となる。積分球３０には、補助光源５０及び光トラップ６０が更に配置され、光トラップ６０及びセンサー１０がチップの中心軸線に沿って対称分布となる。図７の装置を利用すると、チップ４０における複数のテストポイントに対する測定を正確に実行することができ、チップ４０の品質の向上につながる。

黒化の均一性ＤＥ値のテスト方法について、上記したテストポイントのＬ値、ａ値、及びｂ値の範囲を取得し、そして以下の公式に従って黒化の均一性ＤＥ値を計算する。

その中に、ΔLはテストポイントのＬ値の最大値と最小値の差であり、Δaはテストポイントのａ値の最大値と最小値の差であり、Δbはテストポイントのｂ値の最大値と最小値の差である。

色度Ｌ値に従って、チップを５つの規格に分けることが好ましい。

規格ＳＢ：Ｌ値が４５～４７の範囲内にある。

規格３Ａ：Ｌ値が４７～４８．５の範囲内にある。

規格２Ａ：Ｌ値が４８．５～５０の範囲内にある。

規格１Ａ：Ｌ値が５０～５２の範囲内にある。

規格０Ａ：Ｌ値が５２～５３．５の範囲内にある。

一実施方式において、該チップの波長が３００～９００ｎｍの光に対する透過率は０％～５％の範囲内にある。その後に表面弾性波濾波器を製作する場合に、フォトエッチングプロセスを利用する必要がある。一般的には、フォトエッチングプロセスに使用される露光の波長が短ければ、チップに対する透過率が低い。本実施方式において、チップの波長が３００～９００ｎｍの光に対する透過率が５％以下にあるので、その後に表面弾性波濾波器を作成する場合に短波長の設備を使用する必要がなく、長波長の設備を使用すればチップの透過率を低くして、フォトエッチングに係るコストを削減することができる。

一実施方式において、図２に示されているように、チップに対して還元処理を実行するステップと、紫外光によりチップに対して所定の時間照射するステップとの順序を交換することができる。交換されたステップは、以下となる。

Ｓ１、紫外光によりチップに対して所定の時間照射する。

Ｓ２、チップに対して還元処理を実行する。

Ｓ３、チップの黒化の均一性ＤＥ値を０．３～０．６の範囲内にし、色度Ｌ値を４８～５４の範囲内にする。

上記した実施例において、紫外光によりチップの黒化プロセスを促進することによって、チップの黒化の均一性ＤＥ値及び色度Ｌ値を効果的に改善して、そしてチップの透過率を改善してチップの黒化の歩留まりを向上することができる。また、紫外光によりチップに対する照射、及びチップに対する還元処理の実行の前後の順序を交換することができ、いずれの方法とも、チップの黒化の均一性ＤＥ値及び色度Ｌ値を効果的に改善してチップの透過率を改善して、そしてチップの黒化の歩留まりを向上することができる。

以下、６インチのチップを例として、異なる黒化方法により得られた６インチのチップを説明する。

（実施例１）
４インチのチップ及び６インチのチップを選択して、４インチのチップ及び６インチのチップに対して黒化処理をそれぞれ実行した。該黒化処理とは、具体的には６インチのチップ（或いは、４インチのチップ）及び還元媒質を積み重ねるように交差排列し、６インチのチップ（或いは、４インチのチップ）の排列が完了してから、該６インチのチップ（或いは、４インチのチップ）を黒化炉の台に載置して、炉内の温度を徐々に４５０℃に上げて、酸素を遮断して還元反応に参加するように温度上昇過程において水素を加えた。温度が４５０℃に達してから３時間保温した後、炉内の加熱器をオフして室温まで自然に冷まし、そして研削、薄化、研磨を実行してから、黒化後の６インチのチップ（或いは、４インチのチップ）を得た。

図３を参照する。分光測定装置により４インチのチップ及び６インチのチップをそれぞれ測定したところ、４インチのチップは色度Ｌ値が５０．２、黒化の均一性ＤＥ値が０．６６であり、６インチのチップは色度Ｌ値が５１．５、黒化の均一性ＤＥ値が１．３７であった。これにより、４インチのチップの黒化効果が６インチのチップの黒化効果よりも優れていることがわかる。

本実施例からわかるように、伝統的な技術を利用してサイズの小さなチップ(４インチ)及びサイズの大きなチップ（６インチ）に対して黒化処理を実行した場合、サイズの大きなチップの黒化効果はサイズの小さなチップの黒化効果よりも著しく悪い。

（実施例２）
実施例１で提供した技術態様に基づいて、６インチのチップの黒化処理が完了した後、６インチのチップを紫外光の光源の下に放置して所定の時間照射し、且つ６インチのチップと紫外光の光源との距離を５０ｃｍにした。紫外光の光源の波長は３１５～４００ｎｍの範囲内にし、紫外光の光源を６インチのチップに１時間照射した。

図３を参照する。分光測定装置により紫外光の光源を１時間照射した６インチのチップを測定したところ、色度Ｌ値が４８．９であり、黒化の均一性ＤＥ値が０．４５であった。これにより、実施例１の６インチのチップと比べると、紫外光により照射された６インチのチップの色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値は、いずれも著しく減少したことがわかる。これは紫外光によりチップを照射することがチップの色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値を効果的に改善して、チップの黒化効果を改善することができることを説明している。

本実施例によると、紫外光の照射によりサイズの大きなチップの黒化プロセスを促進することによって、サイズの大きなチップの黒化の均一性ＤＥ値が６７％減少し、サイズの大きなチップの品質を向上することができる。

（実施例３）
６インチのチップを紫外光の光源の下に放置して所定の時間照射し、且つ６インチのチップと紫外光の光源との距離を５０ｃｍにした。紫外光の光源の波長は３１５～４００ｎｍの範囲内にし、紫外光の光源を６インチのチップに１時間照射した。

チップが紫外光により１ｈに照射された後、実施例１の技術形態に従って、紫外光により１時間照射された６インチのチップに対して黒化処理を実行した。

図３を参照する。分光測定装置により６インチのチップを測定したところ、色度Ｌ値が４９．２であり、黒化の均一性ＤＥ値が０．４８であった。これにより、実施例１、実施例２の６インチのチップと比べると、本実施例における６インチのチップの色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値は、いずれも実施例２における色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値と基本的に近く、且ついずれも実施例２における色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値よりも著しく小さいことがわかる。即ち、紫外光をチップに照射する前後順序を変えても、６インチのチップの色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値に影響を与えない。紫外光の照射をチップの黒化の前または後に設ける２種の方法のいずれも、チップの色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値を効果的に改善して、チップの黒化効果を改善することができる。

本実施例からわかるように、紫外光の照射によりサイズの大きなチップの黒化プロセスを促進することによって、紫外光の照射の前後順序にかかわらず、サイズの大きなチップの黒化の歩留まりを効果的に改善して、サイズの大きなチップの品質を向上することができる。

（実施例４）
６インチのチップに対して黒化処理を実行した。該黒化処理とは、具体的には６インチのチップ及び還元媒質を積み重ねるように交差排列し、６インチのチップの排列が完了してから、該６インチのチップを黒化炉の台に載置して、炉内の温度を徐々に３６０℃に上げて、酸素を遮断して還元反応に参加するように温度上昇過程において水素を加えた。温度が４５０℃に達してから３時間保温した後、炉内の加熱器をオフして室温まで自然に冷まし、そして研削、薄化、研磨を実行してから、黒化後の６インチのチップを得た。

６インチのチップの黒化処理が完了した後、６インチのチップを紫外光の光源の下に放置して所定の時間照射し、且つ６インチのチップと紫外光の光源との距離を５０ｃｍにした。紫外光の光源の波長は３１５～４００ｎｍの範囲内にし、紫外光の光源を６インチのチップに１時間照射した。

図３を参照する。分光測定装置により紫外光の照射を受けなかった６インチのチップ及び紫外光の照射を受けた６インチのチップを測定したところ、紫外光の照射を受けなかった６インチのチップは色度Ｌ値が５３．６であり、黒化の均一性ＤＥ値が１．６７であった。紫外光の照射を受けた６インチのチップは色度Ｌ値が５１．９であり、黒化の均一性ＤＥ値が０．５１であった。これにより、実施例１の６インチのチップと比べると、本実施例において還元温度を低減して紫外光の照射を受けた６インチのチップの色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値が著しく改善したことがわかる。紫外光の照射によりチップの黒化プロセスを促進する場合には、チップの還元温度を低減して、温度下降時間を短縮して生産効率を向上して生産コストを削減することができる。

（実施例５）
実施例１の黒化方法を採用して６インチのチップを作成し、分光測定装置により６インチのチップの異なる還元時間６時間、５時間、４時間、３時間、２時間、１時間、０．５時間での色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値を測定した。

実施例２の黒化方法を採用して紫外光の照射を受けた６インチのチップを作成し、分光測定装置により紫外光の照射を受けた６インチのチップの異なる還元時間６時間、５時間、４時間、３時間、２時間、１時間、０．５時間での色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値を測定した。

図４を参照する。図４は、紫外光の照射を受けなかった６インチのチップ及び紫外光の照射を受けた６インチのチップの異なる還元時間での色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値を示している。これから見て取れるように、還元時間の減少につれて、紫外光の照射を受けなかった６インチのチップの色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値が増大し、そして紫外光の照射を受けた６インチのチップは色度Ｌ値が増大するが、黒化の均一性ＤＥ値については還元時間が２時間以下に減少した場合にのみ著しく変化する。紫外光の照射によりチップの黒化プロセスを促進する場合には、６インチのチップの還元時間を適度に短縮して生産コストを削減することができる。

（実施例６）
実施例２の黒化方法を採用して紫外光の照射を受けた６インチのチップを作成し、分光測定装置により紫外光の照射を受けた６インチのチップの照射時間０．１時間、０．２５時間、０．５時間、０．７５時間、１時間、２時間、３時間、４時間での色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値を測定した。

図５を参照する。図５は、紫外光の照射を受けた６インチのチップの異なる照射時間での色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値を示している。これから見て取れるように、照射時間が０～１時間にある際に、照射時間の増加につれて、チップの色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値が減少するようになる。照射時間が１時間を超えると、チップの色度Ｌ値及び黒化の均一性ＤＥ値が基本的に変化しなくなる。それは紫外光のチップに対する作用が基本的にすでに飽和していることを示し、即ち、１時間の紫外光の照射時間が最適の照射時間である。

上記した技術方案によると、従来の伝統的な方法により得られたサイズの大きなチップの黒化の歩留まりは、サイズの小さなチップの黒化の歩留まりよりも悪いことがわかる。本出願においては紫外光の照射によりチップの黒化プロセスを促進することによって、サイズの大きなチップの黒化の均一性ＤＥ値及び色度Ｌ値を著しく改善してサイズの大きなチップの透過率を改善して、そしてサイズの大きなチップの黒化の歩留まりを改善することができる。その中に、チップに対する還元処理の実行、及び紫外光によるチップへの所定の時間の照射の前後順序を交換することができ、この２種の方法は、いずれもサイズの大きなチップの黒化の歩留まりを改善することができる。また、紫外光の照射によりサイズの大きなチップの黒化プロセスを促進する場合には、還元温度及び還元時間を適度に短縮して、生産効率を向上して生産コストを削減することができる。

本出願の他の形態によると、本出願の実施例は黒化後のチップを提供し、該チップは具体的には６インチ、８インチ、１０インチなどのサイズの大きなチップである。該チップは、上記した実施例のチップの黒化方法によって作成され得る。該チップの黒化の均一性ＤＥ値が０．３～０．６の範囲内にあり、色度Ｌ値が４８～５４の範囲内にあり、且つ該チップの波長が３００～９００ｎｍの範囲内にある光に対する透過率が０％～５％の範囲内にある（図６を参照）。

チップの黒化の均一性ＤＥ値が０．５以下にあり、チップの色度Ｌ値が５２以下にあることは好ましい。

チップが圧電チップであることは好ましく、該圧電チップはタンタル酸リチウムのチップまたはニオブ酸リチウムのチップを含む。

上記した技術方案によると、チップの波長が３００～９００ｎｍの光に対する透過率が０％～５％の範囲内にある。即ち、その後に表面弾性波濾波器を作成する場合のフォトエッチングプロセスにおいて、露光の波長で比較的に低い透過率を有するため、短波長の設備に交換して使用する必要がなく、長波長の設備を使用すれば透過率の低いチップを作ることができるため、フォトエッチングに係るコストを削減することができる。更に、該チップは、良好な黒化の均一性ＤＥ値及び色度Ｌ値を有して、表面弾性波濾波器の歩留まりを向上することができる。

本出願の他の形態によると、本出願の実施例は表面弾性波濾波器を提供しており、該表面弾性波濾波器は、上記した実施例の黒化後のチップと、インターディジタルトランスデューサと、を含んでいる。インターディジタルトランスデューサは、チップの上に配置されており、且つ該インターディジタルトランスデューサは、入力端とする第１のインターディジタルトランスデューサと、出力端とする第２のインターディジタルトランスデューサと、を含んでいる。

上記したのは、本出願の好ましい実施方式にすぎず、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の原理から逸脱しない限り、若干の改良及び修飾を行うことができ、これらの改良及び修飾も本発明の保護範囲とみなされるべきであることに留意されたい。

Ｌ１～Ｌ３ ステップ
Ｓ１～Ｓ３ ステップ
１０ センサー
２０ レンズ
３０ 積分球
４０ チップ
５０ 補助光源
６０ 光トラップ

Claims (12)

1. チップの黒化方法であって、
   前記チップに対して還元処理を実行するステップと、
   紫外光により前記チップに対して所定の時間照射するステップと、
   前記チップの黒化の均一性ＤＥ値が０．３～０．６の範囲内にあり、色度Ｌ値が４８～５４の範囲内にあるステップと、を含むことを特徴とするチップの黒化方法。
2. 前記チップに対して還元処理を実行する前記ステップ、及び紫外光により前記チップに対して所定の時間照射する前記ステップの順序を交換することを特徴とする請求項１に記載のチップの黒化方法。
3. 前記チップのサイズが６インチ、８インチ、または１０インチであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のチップの黒化方法。
4. 前記した紫外光により前記チップに対して所定の時間照射する場合には、前記紫外光の波長が２００～４５０ｎｍの範囲内にあり、前記紫外光の照射時間が０．１時間～２．５時間の範囲内にあることが含まれることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のチップの黒化方法。
5. 前記紫外光の照射時間が１時間であることを特徴とする請求項４に記載のチップの黒化方法。
6. 前記チップに対して還元処理を実行する場合には、
   前記チップ及び還元媒質を積み重ねるように交差排列することと、
   還元温度が３６０℃～５５０℃の範囲内にあり、還元時間が２時間～５時間の範囲内にあることと、が含まれることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のチップの黒化方法。
7. 黒化後のチップであって、
   前記チップが請求項１～６のいずれか一項に記載のチップの黒化方法により作成されたものであり、
   前記チップの黒化の均一性ＤＥ値が０．３～０．６の範囲内にあり、色度Ｌ値が４８～５４の範囲内にあり、且つ前記チップの波長が３００～９００ｎｍの光に対する透過率が０％～５％の範囲内にあることを特徴とする黒化後のチップ。
8. 前記チップの黒化の均一性ＤＥ値が０．５以下にあることを特徴とする請求項７に記載の黒化後のチップ。
9. 前記チップの色度Ｌ値が５２以下にあることを特徴とする請求項７に記載の黒化後のチップ。
10. 前記チップには６インチ、８インチ、または１０インチのチップが含まれることを特徴とする請求項７～９のいずれか一項に記載の黒化後のチップ。
11. 前記チップが圧電チップであり、前記圧電チップにはタンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムのチップが含まれることを特徴とする請求項１０に記載の黒化後のチップ。
12. 表面弾性波濾波器であって、
    請求項７～１１のいずれか一項に記載の黒化後のチップと、
    前記チップ上に配置されているインターディジタルトランスデューサと、を含んでおり、
    前記インターディジタルトランスデューサは、入力端とする第１のインターディジタルトランスデューサと、出力端とする第２のインターディジタルトランスデューサと、を含んでいることを特徴とする表面弾性波濾波器。

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