JP2022534829A - 高電圧リーク検出のためのシステム及び方法 - Google Patents

Abstract

リーク検出システムは、試験インターフェースを含み、試験インターフェースは、パッケージを保持して回転させるように構成された回転ホルダーを含む。試験インターフェースは、パッケージが高電圧リーク検出ＨＶＬＤ装置を使用して検査される前及び／又は間に、パッケージに圧力を印加するようにプランジャーを作動させるように構成されたプランジャー装置を含む。また、試験インターフェースは、試験インターフェースを動作させ、試験インターフェースの動作をＨＶＬＤ装置の動作と整合させるように構成されたコントローラーを含む。

Description

本開示は、高電圧リーク検出のためのシステム及び方法に関する。

高電圧リーク検出（ＨＶＬＤ）は、漏出を検査するための新しく出現した技術のうちの１つである。ＨＶＬＤは、非導電性のパッケージ又はコンテナの内側の導電性の物質に高電圧電位を印加することによって動作する。パッケージの内側の物質とＨＶＬＤ電極との間に放電が検出されるときに、欠陥が識別される。たとえば、ＨＶＬＤ試験プロセスは、液体を含有するシールされたパッケージをスキャンする１セットの電極を含むことが可能である。１セットの電極の間に電流又は電圧が存在することは、パッケージ・クロージャーの破損を示しており、それは、亀裂、ピン・ホール、又はシール不完全の存在に起因する可能性がある。

１つの実施例では、リーク検出システムは、試験インターフェースを含み、試験インターフェースは、パッケージを保持して回転させるように構成されている回転ホルダーを含む。試験インターフェースは、パッケージが高電圧リーク検出（ＨＶＬＤ）装置を使用して検査される前及び／又は間に、パッケージに圧力を印加するようにプランジャーを作動させるように構成されているプランジャー装置を含む。また、試験インターフェースは、試験インターフェースを動作させ、試験インターフェースの動作をＨＶＬＤ装置の動作と協働させるように構成されているコントローラーを含む。

別の実施例では、高電圧リーク検出（ＨＶＬＤ）検査のためのリーク試験インターフェースは、パッケージを保持して回転させるように構成されている回転ホルダーを含む。試験インターフェースは、パッケージがＨＶＬＤ装置を使用して検査される前及び／又は間に、パッケージのストッパーに圧力を印加するようにプランジャーを作動させるように構成されているプランジャー装置を含む。ストッパーは、パッケージの中にフィット（適合）し、パッケージの開口部をシールするように構成されている。

別の実施例では、高電圧リーク検出（ＨＶＬＤ）検査のための方法は、検査電極及び検出電極を使用してパッケージを検査するように構成されているＨＶＬＤ装置を提供するステップを含む。方法は、回転ホルダー及びプランジャー装置を含む試験インターフェースを提供するステップを含む。方法は、試験インターフェースの上にパッケージを装着するステップであって、パッケージは、ストッパーを含み、ストッパーは、パッケージの中にフィットし、パッケージの開口部をシールするように構成されている、ステップを含む。方法は、回転ホルダーを使用してパッケージを回転させるステップと、プランジャー装置を使用して、内向き方向にストッパーに圧力を印加するステップとを含む。また、方法は、ＨＶＬＤ装置を使用してパッケージを検査するステップを含む。

この概要は、本開示のいくつかの態様の基本的な理解を提供するように、単にいくつかの例示的な実施例を要約する目的のためだけに提供されているに過ぎない。したがって、上述の実例は、決して、本開示の範囲又は要旨を狭めるように解釈されるべきではないということが認識されることとなる。他の実例、実施例、態様、及び利点は、添付の図面と併用される以下の詳細な説明から明らかになることとなる。

プランジャー装置と、シリンジを保持する回転ホルダーとを含む例示的な試験インターフェースの斜視図である。 プランジャー装置と、ニードル・シリンジを保持する回転ホルダーとを含む、図１の試験インターフェースの上面図である。 １つの一体的なピースとして構築されたプランジャー装置及び回転ホルダーを含む例示的な試験インターフェースの斜視図である。 図３の試験インターフェースの上面図である。 試験インターフェース及びＨＶＬＤ装置を含むリーク検出システムのダイアグラムである。 図５のリーク検出システムを使用するＨＶＬＤ検査のための例示的な方法を示す図である。 図５のリーク検出システムを使用してパッケージを検査する例示的なプロセスを図示する概略図である。 図５のリーク検出システムを使用してパッケージを検査する例示的なプロセスを図示する概略図である。

本開示は、本出願に説明されている特定の実施例（それらは、単に、さまざまな態様の図示として意図されているに過ぎない）の観点から限定されない。当業者には明らかになることとなるように、多くの修正例及び変形例が、本発明の範囲を逸脱することなく作製され得る。本明細書で列挙されているものに加えて、本開示の範囲の中の機能的に同等の方法が、以下の説明から当業者に明らかになることとなる。そのような修正例及び変形例は、添付の特許請求の範囲の中に入ることが意図されている。本明細書で使用されている専門用語は、特定の実施例を説明する目的のためだけのものであり、限定することを意図していない。

本開示は、たとえば、Ｐａｃｋａｇｉｎｇ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ａｎｄ Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ，ＬＬＣによって製造されている高電圧漏出検出（ＨＶＬＤ）のためのシステム及び方法に関する。いくつかの実例において、システム及び／又は方法は、検出可能な欠陥サイズを低減させ、及び／又は、ＨＶＬＤ検出の信頼性を改善しようとする。検査電極間の電流又は電圧の存在は、パッケージ・クロージャーの破損を示している可能性があり、それは、亀裂、ピン・ホール、又はシール不完全の存在に起因する可能性がある。しかし、小さい又は部分的に充填された欠陥を検出することに関連付けられる課題が存在している。たとえば、欠陥は、あまりに小さ過ぎるか、又は、非導電性物質によって少なくとも部分的に充填され得、パッケージの中に含有されている液体が、小さいか又は少なくとも部分的に充填された欠陥を通る電流経路を確立することができないようになっている。結果として、欠陥が存在しているときでも、電流又は電圧が検出されず、不正確な又は信頼性の低い漏出検出につながる。

実例では、ゴム・ストッパーによってシールされた１ミリリットル（ｍＬ）プレフィルド・シリンジ（ＰＦＳ）のショルダー部において、２ミクロン（ｐｍ）のレーザー・ドリル加工された欠陥を検出するために、ＨＶＬＤ検査が実施されるときに、ＰＦＳのショルダー部における欠陥は、正確に検出さない可能性がある。とりわけ、シリンジの内側にあるシリコンの層は、欠陥を凝固させている可能性があり、不正確な検出につながる。したがって、本明細書で説明されているシステム及び方法は、上に記載されている欠点を克服するように構成されている。本明細書で説明されているシステム及び方法は、ＨＶＬＤ検査の前及び／又は間に、パッケージ又はストッパーに圧力を印加するステップを含むことが可能である。内部圧力の上昇は、欠陥が存在している場合には、液体が欠陥を通って退出することを支援することが可能であり、したがって、ＨＶＬＤ検査の信頼性及び精度を改善する。

図１は、本開示の実施例による、パッケージ１２に圧力を印加するように構成されている例示的な試験インターフェース１０の斜視図を示している。試験インターフェース１０は、回転ホルダー１４を含むことが可能であり、回転ホルダー１４は、パッケージ１２を保持して回転させるように構成されている。試験インターフェース１０は、プランジャー装置１６を含むことが可能であり、プランジャー装置１６は、パッケージ１２が高電圧リーク検出（ＨＶＬＤ）装置を使用して検査される前及び／又は間に、プランジャー１８を作動させ、パッケージ１２に接触し、パッケージ１２に圧力を印加するように構成されている。いくつかの実例において、プランジャー１８は、ＨＶＬＤ試験の直前に、パッケージ１２に接触し、パッケージ１２に圧力を印加する。

パッケージ１２は、任意の適切な形状を有することが可能であり、任意の適切な非導電性材料（たとえば、ポリマー、ガラス、セラミック、複合材など）から作製され、パッケージ１２の中に液体２０を含有することが可能である。図示されている実施例において、パッケージ１２は、第１の遠位端部２４及び第２の遠位端部２６を有するシリンジ２２であり、ストッパー２８を含み、ストッパー２８は、シリンジ２２の中にフィットし、シリンジ２２の開口部３０をシールするように構成されている。ストッパー３０は、任意の適切な非導電性材料から作製され得、また、シリンジ２２の内側表面と緊密な締まり嵌めを形成し、開口部３０をシールするために任意の適切な形状になっていることが可能である。たとえば、ストッパー３０は、開口部３０の直径と実質的に等しいか又はそれよりもわずかに大きい直径を有する円筒状の形状を有するゴム・ストッパーであることが可能である。ストッパー３０は、開口部３０との締まり嵌めを形成するために、開口部３０の直径よりもわずかに大きい直径を有することが可能である。

図示されている実施例において、回転ホルダー１４は、シリンジ２２を保持するように構成されているリテイナー３２と、シリンジ２２を回転させるように構成されている回転メカニズム３３とを含む。回転メカニズム３３は、１つ又は複数のシャフト３４を含むことが可能であり、１つ又は複数のシャフト３４は、モーターによって駆動されるドライバー・シャフト３６に連結されている。また、回転メカニズム３３は、１つ又は複数のローラー３８を含むことが可能であり、１つ又は複数のローラー３８は、１つ又は複数のシャフト３４の少なくとも一部分を取り囲むように配設されている。シリンジ２２が回転ホルダー１４によって保持されているときには、シリンジ２２は、リテイナー３２及び１つ又は複数のシャフト３４の上に載っている（たとえば、１つ又は複数のローラー３８と接触している）。１つ又は複数のシャフト３４の長手方向は、試験インターフェース１０の長手方向又はスキャン方向４０に対して実質的に平行である。

いくつかの実施例において、リテイナー３２は、第２の遠位端部２６からシリンジ２２を保持するための嵌合インターフェース４２を含むことが可能である。嵌合インターフェース４２は、シリンジ２２の第２の遠位端部２６に一致させられた形状を有し、第２の遠位端部２６を受け入れ、長手方向４０へのシリンジ２２の任意の運動を制限することが可能である。たとえば、嵌合インターフェース４２は、シリンジ２２の第２の遠位端部２６において半径方向の突出部を受け入れるための凹部又は溝部を含むことが可能であり、シリンジ２２が回転ホルダー１４によって保持されているときには、シリンジ２２が第１の回転方向４４又は第２の回転方向４６に回転することができるが、長手方向４０には移動することができないようになっている。いくつかの実施例において、嵌合インターフェース４２は、任意の適切な材料から作製され得、又は、シリンジ２２が回転するときに嵌合インターフェース４２とシリンジ２２との間の摩擦を低減させるためのコーティングを含むことが可能である。

ドライバー・シャフト３６は、モーターに連結することが可能であり、第１の回転方向４４又は第２の回転方向４６への１つ又は複数のシャフト３４の回転を駆動するように構成されている。１つ又は複数のローラー３８は、１つ又は複数のシャフト３４とともに回転するように構成されており（たとえば、１つ又は複数のローラー３８は、１つ又は複数のシャフト３４に非回転式に連結されている）、シリンジ２２に接触し、シリンジ２２の回転を駆動する。ローラー３８は、シャフト３４に緊密に一致するリング又はＯリングであることが可能である。ローラー３８は、シリンジ２２の回転を駆動するのに十分な摩擦を提供するために、任意の適切な材料（たとえば、ゴム及びポリマーなど）から作製され得る。そのうえ、１つ又は複数のローラー３８及びシリンジ２２は、反対側方向に回転するように構成されている。たとえば、第１の回転方向４４に回転している１つ又は複数のシャフト３４及び１つ又は複数のローラー３８は、第２の回転方向４６に回転するようにシリンジ２２を駆動し、又は、その逆もまた同様である。

プランジャー装置１６は、プランジャー１８及びアクチュエーター５０を含むことが可能であり、アクチュエーター５０は、プランジャー１８を作動させ、パッケージ１２（たとえば、シリンジ２２）に圧力を印加するように構成されている。図示されている実施例において、プランジャー１８は、シリンジ２２に接触するように構成されている遠位端部５２においてエンド・エフェクター６０を含み、プランジャー１８は、また、プランジング・ロッド５４を含み、プランジング・ロッド５４は、アクチュエーター５０に連結され、シリンジ２２に向けて及びシリンジ２２から離れるようにエンド・エフェクター６０を移動させる。プランジャー１８は、アクチュエーター５０に取り外し可能に連結され得る。プランジャー１８は、導電性又は非導電性であることが可能であり、任意の適切な材料（たとえば、金属、金属合金、ポリマー、セラミック、複合材、又はそれらの任意の組み合わせなど）から作製され得る。プランジャー１８の遠位端部５２は、シリンジ２２の第２の遠位端部２６に接触して圧力を印加するのに適切な寸法を有している。たとえば、プランジャー１８の遠位端部５２は、シリンジ２２の開口部３０の内径よりも小さい直径又は代表長さを有することが可能である。プランジャー１８の遠位端部５２は、任意の適切な形状及び任意の適切な寸法を有することが可能である。たとえば、プランジャー１８の遠位端部５２は、適切な圧力又は力をパッケージ１２に提供するために、任意の適切な形状及び寸法を有することが可能である。いくつかの実施例において、プランジャー１８の遠位端部５２は、約５ミリメートル（ｍｍ）から約７ｍｍ、約５．５ｍｍから約６．５ｍｍ、約５．８ｍｍから約６．２ｍｍ、約６．１ｍｍ、又は約６．０ｍｍの直径又は代表長さを有することが可能である。

アクチュエーター５０は、パッケージ１２に向けて第１の方向又は内向き方向５６に移動するか、又は、パッケージ１２から離れるように第２の方向又は引き抜き方向５８に移動する、プランジャー１８を作動させるためのリニア・アクチュエーターであることが可能である。アクチュエーター５０は、それに限定されないが、空気圧式のアクチュエーター、ソレノイド・アクチュエーター、及びリード・スクリューを含む、任意の適切なタイプのアクチュエーターであることが可能である。

いくつかの実施例において、プランジャー１８は、遠位端部５２においてエンド・エフェクター６０を含むことが可能である。エンド・エフェクター６０は、パッケージ１２に接触してパッケージ１２とともに回転するように構成され得る。たとえば、エンド・エフェクター６０は、軸受６２又は任意の他の適切なメカニズムを含むことが可能であり、それは、遠位端部５２に回転不可能に連結されており、プランジング・ロッド５４に回転可能に連結されている。エンド・エフェクター６０がパッケージ１２（たとえば、シリンジ２２）と接触しているときには、エンド・エフェクター６０（たとえば、遠位端部５２及び軸受６２）は、パッケージ１２とともに回転する。他の実例では、遠位端部５２は、パッケージ１２とともに回転せず、たとえば、遠位端部は、回転可能な軸受６２に接続されておらず、パッケージ１２に圧力を印加した後に、及び、試験インターフェース１０がパッケージ１２を回転させ始める（又は、回転させ続ける）前に、パッケージ１２から離れるように移動する。また、試験インターフェース１０は、任意の適切な装着特徴６６を含むことが可能であり、試験インターフェース１０がＨＶＬＤ装置（たとえば、光学的レール）に連結されるか又はインターフェース接続されることを可能にする。

動作時に、アクチュエーター５０は、パッケージ１２の第２の遠位端部２６に接触するように、プランジャー１８を作動させる。パッケージ１２に働く圧力は、印加される力をパッケージ１２とプランジャー１８の間の接触面積で割ったものによって事前に決定される。印加される圧力は、パッケージ１２（たとえば、シリンジ２２）の内部圧力が上昇することを引き起こすことが可能である。たとえば、内向き方向５６へのストッパー２８に印加される圧力は、ストッパー２８が圧縮することを引き起こすことが可能であり、及び／又は、パッケージ１２の内側の流体２０及び／又は空気がパッケージ１２の内部表面に圧力（たとえば、外向きの圧力、剪断応力）を働かせることを引き起こすことが可能である。これらの内部圧力は、詰まった欠陥をクリアにし、及び／又は、液体２０が欠陥を通って流れることを助けることが可能であり、それによって、ＨＶＬＤ検査の信頼性及び精度を改善し、非常に小さいサイズの欠陥でさえも検出され得る。

いくつかの実施例において、図２に示されているように、パッケージ１２は、ニードル・シリンジ７０であることが可能であり、ニードル・シリンジ７０は、バレル７２、ニードル７４、及びニードル・キャップ７６を含む。図２は、試験インターフェース１０によって保持されているニードル・シリンジ７０の上面図を示している。図示されている実施例において、ニードル・シリンジ７０は、１つ又は複数のシャフト３４の上に載っている。バレル７２は、リテイナー３２によって保持されている。たとえば、バレル７２の半径方向に突出する縁部は、嵌合インターフェース４２（たとえば、凹部又は溝部）によって受け入れられており、ニードル・シリンジ７０が、第１の回転方向４４又は第２の回転方向４６に回転することができるようになっているが、圧力がプランジャー１８によってストッパー２８に印加されているときでも、長手方向４０には移動することができないようになっている。

いくつかの実例において、回転ホルダー及びプランジャー装置は、１つの一体的なピース（ｏｎｅ ｉｎｔｅｇｒａｌ ｐｉｅｃｅ）として構築され得る。図３は、回転ホルダー１４及びプランジャー装置１６を１つの一体的なピースで有する試験インターフェース１０によって保持されているパッケージ１２（たとえば、ニードル・シリンジ７０）の斜視図を示している。図示されている実施例において、ニードル・シリンジ７０は、リテイナー３２によって保持されており、回転メカニズム３３によって連結／保持されている。回転メカニズム３３は、スピナー８０を含むことが可能であり、スピナー８０は、ニードル・シリンジ７０を保持して第１の回転方向４４又は第２の回転方向４６に回転させるように構成されている。リテイナー３２は、非常に低いか又は実質的にゼロの摩擦でニードル・シリンジ７０が容易に回転することを可能にするように構成され得る。スピナー８０、リテイナー３２、又はその両方は、ニードル・シリンジ７０が長手方向４０に移動することを抑制するように構成され得る。いくつかの実施例において、リテイナー３２は、省略され得、スピナー８０は、パッケージ１２（たとえば、ニードル・シリンジ７０）を保持して回転させるように構成されている。

図４は、静止しているインターフェース１０によって保持されているパッケージ（たとえば、ニードル・シリンジ７０）の上面図を示しており、プランジャー１８は、アクチュエーター５０によって作動させられ、バレル７２の内側に配設されているストッパー２８に接触して圧力を印加する。プランジャー１８の遠位端部５２は、バレル７２の内径よりも小さい直径又は代表長さを有している。遠位端部５２は、バレル７２の中へ挿入し、ストッパー２８に圧力を印加する。

試験インターフェース１０は、任意の適切なＨＶＬＤ装置と組み合わせて使用され、ＨＶＬＤ検査の信頼性及び精度を改善することを助けることが可能である。図５は、リーク検出システム９０を示すダイアグラムであり、リーク検出システム９０は、試験インターフェース１０と、ＨＶＬＤ装置９２と、試験インターフェース１０及びＨＶＬＤ装置９２に動作可能に及び通信可能に連結されているコントローラー９４とを含む。

コントローラー９４は、試験インターフェース１０を動作させ、試験インターフェース１０の動作をＨＶＬＤ装置９２の動作と協働させるように構成され得る。また、いくつかの実施例において、コントローラー９４は、ＨＶＬＤ装置９２を動作させるように構成され得る。コントローラー９４は、任意の適切なプロセッサー（たとえば、マイクロプロセッサー、ＭＯＳＦＥＴ、ＩＧＢＴなど）及びメモリーを含むことが可能である。コントローラー９４は、任意の適切なユーザー・インターフェース及び／又はディスプレイを含むことが可能であり、試験インターフェース１０、ＨＶＬＤ装置９２、又はその両方の動作を制御するための入力をユーザーがプログラム及び／又は提供することを可能にする。たとえば、コントローラー９４は、ユーザーからインストラクションを受信することが可能であり、又は、特定の手順又は所定の手順に続いてパッケージ１２を検査するように事前にプログラムされ得る。

ＨＶＬＤ装置９２は、パッケージ１２に対してリーク検査を実施するための任意の適切なリーク検出回路又は装置であることが可能である。図示されている実施例において、ＨＶＬＤ装置９２は、スキャナー９５（たとえば、Ｅ－Ｓｃａｎ ＴＭ）を含むことが可能であり、スキャナー９５は、検査電極９６及び検出電極９８を含み、パッケージ１２を検査する。検査電極９６及び検出電極９８は、パッケージ１２の両側の近くに位置決めされ、及び／又は、パッケージ１２の両側の近くに接触し、（たとえば、図１～図４において長手方向又はスキャン方向４０に）パッケージ１２を横切ってスキャンし、パッケージ１２を検査するように構成されている。

図６は、リーク検出システム９０を使用してパッケージを検査するための方法１００を示している。本明細書で議論されているステップは、コントローラー９４によって制御及び実行され得る。方法１００は、検査電極及び検出電極を含むスキャナーを使用してパッケージを検査するように構成されているＨＶＬＤ装置を提供するステップ１０２を含むことが可能である。たとえば、ステップ１０２は、ＨＶＬＤ装置９２を提供するステップを含むことが可能であり、ＨＶＬＤ装置９２は、検査電極９６及び検出電極９８を含むスキャナー９５を含むことが可能である。

方法１００は、試験インターフェース（たとえば、試験インターフェース１０）を提供するステップ１０４を含むことが可能であり、また、試験インターフェースの上にパッケージ（たとえば、パッケージ１２）を装着するステップ１０６を含むことが可能である。試験インターフェース１０は、ＨＶＬＤ装置９２の付近に配向／位置決めされ、検査を可能にすることができ、又は、装着特徴６６を使用してＨＶＬＤ装置９２に連結され得る。

方法１００は、試験インターフェース１０の上にパッケージを装着するステップ１０６を含むことが可能である。いくつかの実施例において、ステップ１０６は、回転ホルダー１４のリテイナー３２及び１つ又は複数のシャフト３４の上にパッケージ１２（たとえば、シリンジ２２、ニードル・シリンジ７０）を装着するステップを含むことが可能である。いくつかの実施例において、ステップ１０６は、回転ホルダー１４のスピナー８０及び／又はリテイナー３２の上にパッケージ１２（たとえば、シリンジ２２、ニードル・シリンジ７０）を装着するステップを含むことが可能である。パッケージ１２は、ストッパー（たとえば、ストッパー２８）を含むことが可能であり、ストッパーは、パッケージ１２の中にフィットし、パッケージ１２をシールするように構成されている。パッケージ１２は、液体（たとえば、液体２０）によって事前に充填されている。

方法１００は、第１の回転方向４４又は第２の回転方向４６に、任意の適切な速度で、回転ホルダー１４を使用してパッケージ１２を回転させるステップ１０８を含むことが可能である。

方法１００は、試験の前及び／又は間にパッケージ１２に圧力を印加するステップ１１０を含むことが可能である。たとえば、ステップ１１０は、長手方向４０に移動するようにプランジャー１８を作動させ、パッケージ１２に（たとえば、ストッパー２８に）接触して圧力を印加することを含むことが可能である。印加される圧力は、ストッパー２８のサイズ、パッケージ１２のサイズ、ストッパー２８とパッケージ１２の内側表面との間のフィッティング及び／又は摩擦、ストッパー２８の機械的特性、パッケージ１２の機械的特性、プランジャー１８の寸法又はサイズ、プランジャー１８とストッパー２８との間の接触面積、又はそれらの組み合わせに基づく所定の値であることが可能である。いくつかの実施例において、圧力は、第１の閾値よりも大きくなっており、ストッパー２８及び／又はパッケージ１２の内側の液体若しくは空気を十分に圧縮することが可能である。圧力は、パッケージ１２の変形又は破壊を引き起こす可能性のある第２の閾値よりも下方にあることが可能である。いくつかの実施例において、圧力は、ストッパー２８の変位を引き起こす可能性のある第３の閾値を下回っていることが可能である。いくつかの実施例において、パッケージ１２又はストッパー２８に印加される力は、約１５ニュートン（Ｎ）又は約１８７．５キロパスカル（ｋＰａ）である。いくつかの実施例において、十分な力が、ストッパー２８に印加され、ストッパー２８の１リブ以下の移動を維持する。

方法１００は、ＨＶＬＤ装置９２を使用してパッケージ１２を検査するステップ１１２を含むことが可能である。図７（ａ）及び図７（ｂ）は、ステップ１１２の例示的なプロセスを図示する概略図を示している。たとえば、ステップ１１２は、パッケージ１２の両側においてパッケージ１２の近くに又はパッケージ１２に接触するように、検査電極９６及び検出電極９８を移動させること、並びに、パッケージ１２の所望の検査部分を横切って、検査電極９６及び検出電極９８を移動させることを含むことが可能である（たとえば、図７（ａ）及び図７（ｂ）を参照）。検査電極９６及び検出電極９８は、長手方向又はスキャン方向４０に移動することが可能である。検査電極９６及び検出電極９８は、実質的に同じ速度で一緒に移動することが可能であり、又は、異なる速度で移動することが可能である。所望の検査部分は、ストッパー２８及び／又はパッケージ１２の任意の他の部分を含むことが可能である。

いくつかの実施例において、ステップ１１２は、ストッパー２８を検査すること（たとえば、図７（ａ）を参照）、及び、パッケージ１２の残りの部分を検査すること（たとえば、図７（ｂ）を参照）を含むことが可能である。ストッパー２８を検査することは、ストッパー２８の近くに又はストッパー２８に接触するようにプランジャー１８の導電性のエンド・エフェクター６０を移動させること、エンド・エフェクター６０の近くに又はエンド・エフェクター６０に接触するように検査電極９６を移動させること、パッケージ１２の近くに又はパッケージ１２に接触するように検出電極９８を移動させること、及び、ストッパー２８が検査電極９６と検出電極９８との間にあるときにＨＶＬＤ測定を行うことを含むことが可能である（たとえば、図７（ａ）を参照）。パッケージ１２の残りの部分を検査することは、検出電極９８の反対側において、パッケージ１２の近くに又はパッケージ１２に接触するように検査電極９６を移動させること、並びに、ＨＶＬＤ測定を行いながら（たとえば、第２の遠位端部２６から第１の遠位端部２４へ）パッケージ１２を横切って実質的に同じ速度で検査電極９６及び検出電極９８を移動させることを含むことが可能である（たとえば、図７（ｂ）を参照）。いくつかの実施例において、プランジャー１８（たとえば、エンド・エフェクター６０）は、パッケージ１２を検査する前に、ストッパー２８から離れるように移動又は後退させられ得る。

いくつかの実施例において、パッケージに圧力を印加するステップ（ステップ１１０）は、パッケージを検査するステップ（ステップ１１２）の前及び／又は間に起こることが可能である。いくつかの実施例において、方法１００は、圧力がパッケージに印加されているときに（ステップ１１０）、パッケージを回転させるステップ（ステップ１０８）を含むことが可能である。たとえば、プランジャー装置１６は、軸受６２を備えたエンド・エフェクター６０を含むことが可能であり、パッケージとの接触を維持しながら、エンド・エフェクター６０がパッケージ１２（たとえば、ストッパー２８）とともに回転することを可能にする。いくつかの実施例において、方法１００は、印加される圧力がない状態で、パッケージを回転させるステップ（ステップ１０８）を含むことが可能である（たとえば、ステップ１０８及びステップ１１０は、同時に起こらない）。

非限定的な実例において、方法１００は、説明されている順序で、以下のステップを含むことが可能である。
（ａ） パッケージ１２を回転させるステップ、
（ｂ） パッケージ１２の回転を停止させ、ストッパー２８に接触するように導電性のプランジャー１８（たとえば、エンド・エフェクター６０）を移動させ、パッケージ１２に接触するように検出電極９８を移動させ、プランジャー１８に接触するように検査電極９６を移動させ、ストッパー２８が検査電極９６と検出電極９８との間にあるときにＨＶＬＤ測定を行うステップ（たとえば、図７（ａ）を参照）、
（ｃ） パッケージ１２から離れるようにプランジャー１８を後退させながらパッケージ１２を回転させ、検出電極９８の正反対側においてパッケージ１２に接触するように検査電極９６を移動させるステップ、
（ｄ） パッケージ１２が回転している間に第２の遠位端部２６から第１の遠位端部２４へ実質的に同じ速度で検査電極９６及び検出電極９８を移動させ、ＨＶＬＤ測定を行うステップ（たとえば、図７（ｂ）を参照）、並びに、
（ｅ） パッケージ１２の回転を停止させ、検査電極９６及び検出電極９８を後退させるステップ。

当業者は、本明細書で開示されているこの及び他のプロセス及び方法に関して、プロセス及び方法において実施される機能は、異なる順序で実装され得るということを認識することとなる。そのうえ、概説されたステップ及び動作は、単に実例として提供されているに過ぎず、ステップ及び動作のうちのいくつかは、随意的なものであり、より少ないステップ及び動作に組み合わせられ、又は、開示されている実施例の本質を損なうことなく、追加的なステップ及び動作に拡張され得る。

Claims (20)

1. 試験インターフェースを有するリーク検出システムであって、
   前記試験インターフェースが、
   パッケージを保持する及び回転させるように構成された回転ホルダーと、
   前記パッケージが高電圧リーク検出（ＨＶＬＤ）装置を使用して検査される前及び間のうちの少なくとも一方において、前記パッケージに圧力を印加するようにプランジャーを作動させるように構成されたプランジャー装置と、
   前記試験インターフェースを動作させるように、及び前記試験インターフェースの動作を前記ＨＶＬＤ装置の動作と整合させるように構成されたコントローラーと
   を有している、リーク検出システム。
2. 前記回転ホルダー及び前記プランジャー装置は、１つの一体的なピースである、請求項１に記載のリーク検出システム。
3. 前記プランジャー装置は、前記パッケージのストッパーに圧力を印加するように構成され、また前記ストッパーは、前記パッケージの中に適合し、前記パッケージの開口部をシールし、前記パッケージとともに回転するように構成されている、請求項１に記載のリーク検出システム。
4. 前記プランジャー装置は、前記パッケージと接触して前記パッケージとともに回転するように構成されたエンド・エフェクターを含む、請求項１に記載のリーク検出システム。
5. 前記プランジャーは、金属、金属合金、ポリマー、セラミック、複合材、又はそれらの任意の組み合わせを有する、請求項１に記載のリーク検出システム。
6. 前記プランジャーは、導電性である、請求項１に記載のリーク検出システム。
7. 前記プランジャー装置は、前記プランジャーを作動させるためのリニア・アクチュエーターを有し、前記リニア・アクチュエーターは、空気圧式アクチュエーター、ソレノイド・アクチュエーター、又はリード・スクリューを有する、請求項１に記載のリーク検出システム。
8. 高電圧リーク検出（ＨＶＬＤ）検査のためのリーク試験インターフェースであって、
   パッケージを保持する及び回転させるように構成された回転ホルダーと、
   前記パッケージがＨＶＬＤ装置を使用して検査される前及び／又は間に、前記パッケージのストッパーに圧力を印加するようにプランジャーを作動させるように構成されたプランジャー装置であって、前記ストッパーは、前記パッケージの中に適合し、前記パッケージの開口部をシールするように構成されている、プランジャー装置と
   を有する、リーク試験インターフェース。
9. 前記回転ホルダー及び前記プランジャー装置は、１つの一体的なピースであり、前記パッケージの遠位端部から前記パッケージを回転させるための回転メカニズムを有する、請求項８に記載のリーク試験インターフェース。
10. 前記回転ホルダー及び前記プランジャー装置は、２つの別個のピースであり、前記回転ホルダーは、回転シャフトを有し、前記回転シャフトは、前記パッケージに接触して回転させるように構成された１つ又は複数のローラーに連結されている、請求項８に記載のリーク試験インターフェース。
11. 前記プランジャー装置は、前記パッケージと接触して前記パッケージとともに回転するように構成されたエンド・エフェクターを有する、請求項８に記載のリーク試験インターフェース。
12. 前記プランジャーは、金属、金属合金、ポリマー、セラミック、複合材、又はそれらの任意の組み合わせを有する、請求項８に記載のリーク試験インターフェース。
13. 前記プランジャーは、導電性である、請求項８に記載のリーク試験インターフェース。
14. 前記プランジャー装置は、前記プランジャーを作動させるためのリニア・アクチュエーターを有し、前記リニア・アクチュエーターは、空気圧式アクチュエーター、ソレノイド・アクチュエーター、又はリード・スクリューを有する、請求項８に記載のリーク試験インターフェース。
15. 前記試験インターフェースを動作させて前記ＨＶＬＤ装置の動作と整合させるように構成されたコントローラーを有する、請求項８に記載のリーク試験インターフェース。
16. 高電圧リーク検出（ＨＶＬＤ）検査のための方法であって、
    検査電極及び検出電極を有するスキャナーを使用して前記パッケージを検査するように構成されたＨＶＬＤ装置を提供するステップと、
    回転ホルダー及びプランジャー装置を有する試験インターフェースを提供するステップと、
    前記試験インターフェースに前記パッケージを装着するステップであって、前記パッケージは、前記パッケージの中に適合して前記パッケージの開口部をシールするように構成されたストッパーを有している、ステップと、
    前記回転ホルダーを使用して前記パッケージを回転させるステップと、
    前記プランジャー装置を使用して、内向き方向に前記ストッパーに圧力を印加するステップと、
    前記ＨＶＬＤ装置を使用して前記パッケージを検査するステップと
    を含む、方法。
17. 前記パッケージを検査する前及び／又は間に前記圧力を印加するステップを含む、請求項１６に記載の方法。
18. 前記圧力が印加されたときに前記パッケージを回転させるステップを含む、請求項１６に記載の方法。
19. 印加される前記圧力がない状態で前記パッケージを回転させるステップを含む、請求項１６に記載の方法。
20. 前記パッケージを検査するステップは、前記ストッパーを検査するステップと、前記パッケージの残りの部分を検査するステップとを含む、請求項１６に記載の方法。

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