JP2008145250A - バリ検出方法及びバリ検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】加工品に発生するバリを精度高くかつ簡易な構成で検出できるバリ検出方法及びバリ検出装置を提供する。
【解決手段】バリ７の有無、位置、大きさを検出するための測定用コンデンサ２０をバルブボデー１の穴内に挿入される電極１４と、検出対象となるバルブボデー電極対向部分１８と、から構成する。測定用コンデンサ２０に既存（検出対象）のバルブボデー電極対向部分１８を利用している分、測定用コンデンサ２０を小さくでき、ひいては複雑な形状でかつ狭い領域においても、バリ検出を適性に行うことができる。電極１４は、電極保持体の一面部の略中央部に配置される針状中心電極と、針状中心電極を中心として配置され針状中心電極と同電位とされる同電位周囲電極と、から構成する。針状中心電極からの電荷の広がり（飛び散り）を同電位周囲電極が抑制するので、検出精度を向上できる。
【選択図】図３

Description

本発明は、自動車の自動変速機用のバルブボデーやフライス加工により得られる製品のように切断、切削、穴あけ等の機械加工が施されて得られる加工品に発生するバリを検出するバリ検出方法及びバリ検出装置に関する。

自動車の自動変速機に使用されるバルブボデーは、溝部及びこれに交叉する穴（以下、スプール穴ともいう。）を有し、溝部側壁における穴の開口部にバリが発生する虞がある。すなわち、図１４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）及び図１５に示すように、バルブボデー１は、例えば、アルミニウム材が用いられ、ダイキャストにより製作され、所定厚みを有する板状をなし、一面側に多数の溝部２が形成されている。前記複数の溝部２に選択的に連通するように複数の穴３が、ドリル（加工部材）を用いてバルブボデー１の側面からの穿設により形成されている。溝部２の側壁４に穴３の開口部（以下、溝部側壁穴開口部５という。）が形成される。溝部２の側壁４のうち、穴３あけ加工時に溝部２内にドリルが突出する側の側壁４に形成される溝部側壁穴開口部５（以下、ドリル突出側穴開口部５ａという。）にバリ７が発生し易い。バルブボデー１のバリ７は、穴３及び溝部２における作動液のスムーズな流れを阻害することから、適切に検出して排除することが望まれる。

上記バリ７を検出する方法として、図１４（Ａ）に示すように、バルブボデー１の外壁における穴３の開口部に設置した光源８から穴３内部を貫通するように光を照射し、その透過光の明暗を目視もしくは画像処理によりバリ７の有無を検査する方法があり、この検査方法が従来、一般に用いられている。

しかしながら、上述した目視によりバリ７の有無を検査する方法では、数十μｍ程度の微小なバリを検出できず、作業者の心身負担が大きい。。
また、上述した画像処理によりバリ７の有無を検査する方法では、光源８からの距離が離れるにつれ明暗の差が小さくなり識別が困難になってしまう。
上述したバリ７の有無を検査する方法では、観測方向の手前側では、バリ７は影として、奥面では光として検知できるが、光路から外れた部分については明暗は現われずバリ７を検出できない。例えば図１４（Ｃ）に示すように、ドリル突出側穴開口部５ａに発生したバリ７については検出できない。

また、バリについてその大きさを把握することが望まれる場合がある。そして、バリの大きさを把握するために、上記目視、画像処理を用いるバリ検出方法において、寸法が既知のゲージを比較対象としてバリを捉えることが考えられる。しかし、この方策では、影の大きさとバリの大きさとが比例しないことから、正確に数値化することは困難であるというのが実情である。
上記画像処理によりバリの有無を検査する方法では、予め良品の加工品を撮像し、その像と検査により得られた画像を比較してバリの有無を検査するが、両者の基準位置を正確に一致させることは困難であり、これに伴いバリの検出精度が劣ったものになる。

また、特許文献１には、２個の固定電極のリングからコンデンサを形成し、このコンデンサを被検査物、たとえば熱交換器用チューブの内面に沿って軸方向に面に平行に移動させ、静電容量の変化を検出して管内の損傷を検出する静電容量式探傷装置が示されている。
そして、特許文献１に示される静電容量式探傷装置を用いて上記バルブボデーに発生するバリの検出を行うことが考えられる。
特公昭６２−７４９８号公報

ところで、上記バルブボデー１は、図１４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）及び図１５に示されるように、複雑な形状の溝部２及びに溝部２に交叉するように穿設される穴３を有し、バリ７が発生すると予想される部分〔図１４及び図１５に示す例ではドリル突出側穴開口部５ａ〕は、狭く、複雑な形状をなしている。このため、バリ７の検出を行うために装置は極力小形であることが望まれる。
また、特許文献１に示される静電容量式探傷装置は、エッジ検出機能がなく、バリを検出することができず、上記対策案（特許文献１に示される静電容量式探傷装置を用いて上記バルブボデーに発生するバリの検出を行うこと）は採用できないというのが実情である。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、加工品に発生するバリを精度高くかつ簡易な構成で検出できるバリ検出方法及びバリ検出装置を提供することを目的とする。

（発明の形態）
本願のバリ検出方法に係る発明は、導電材料からなる加工品の被計測部分に対向して移動可能に配置され、該加工品の被計測部分と共にコンデンサを形成する電極を用いて前記加工品のバリを検出するバリ検出方法であって、前記電極を前記被計測部分に沿って移動させ、前記コンデンサの静電容量を測定して位置対応静電容量として得る位置対応静電容量測定工程と、前記位置対応静電容量に基づいて前記バリを検出するバリ検出工程と、を有することを特徴とする。
本願のバリ検出装置に係る発明は、導電材料からなる加工品の被計測部分に対向して移動可能に配置され、該加工品の被計測部分と共にコンデンサを形成する電極を用いて前記加工品のバリを検出するバリ検出装置であって、前記電極を前記被計測部分に沿って移動させ、前記コンデンサの静電容量を測定して位置対応静電容量として得る位置対応静電容量測定手段と、前記位置対応静電容量に基づいて前記バリを検出するバリ検出手段と、を有することを特徴とする。
本願のバリ検出方法及びバリ検出装置に係る発明によれば、バリの検出をコンデンサを用いて行い、該コンデンサについて、既存（検出対象）の加工品の被計測部分を利用して構成するので、バリ検出を行うためのコンデンサを小さくすることができ、ひいては複雑な形状でかつ狭い領域においても、バリ検出を適性に行うことができる。

以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある。）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施例の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。

本発明は、次の（１）〜（２８）項の態様で構成される。（１）、（３）〜（９）項の態様が夫々請求項１、２〜８に相当し、（１１）〜（１６）項の態様が夫々請求項９〜１４に相当し、（１８）〜（２４）項の態様が夫々請求項１５〜２１に相当し、（２６）〜（３０）項の態様が夫々請求項２２〜２６に相当している。
（１） 導電材料からなる加工品の被計測部分に対向して移動可能に配置され、該加工品の被計測部分と共にコンデンサを形成する電極を用いて前記加工品のバリを検出するバリ検出方法であって、
前記電極を前記被計測部分に沿って移動させ、前記コンデンサの静電容量を測定して位置対応静電容量として得る位置対応静電容量測定工程と、
前記位置対応静電容量に基づいて前記バリを検出するバリ検出工程と、を有することを特徴とするバリ検出方法。
（１）項に記載の態様によれば、バリの検出をコンデンサを用いて行い、該コンデンサについて、既存（検出対象）の加工品の被計測部分を利用して構成するので、バリ検出を行うためのコンデンサを小さくすることができ、ひいては複雑な形状でかつ狭い領域においても、バリ検出を適性に行うことができる。

（２） 前記加工品は、穴を形成する穴形成部材とされ、前記加工品の被計測部分は、前記穴形成部材の穴の開口部とされ、前記位置対応静電容量測定工程における前記電極の移動は、前記電極の一部が前記穴の開口部から突出した状態での前記穴の内周壁に沿う回転とされることを特徴とする（１）項に記載のバリ検出方法。
（２）項に記載の態様によれば、電極の回転位置に対応して静電容量を計測することにより、穴の開口部に生じたバリについて、前記穴の周方向のバリ発生位置並びにその大きさを把握することができる。
（３） 前記加工品は、溝部に交叉する穴を形成するバルブボデーとされ、前記加工品の被計測部分は、前記溝部側壁における穴の開口部とされ、前記位置対応静電容量測定工程における前記電極の移動は、前記電極の一部が前記穴の開口部から突出した状態での前記穴の内周壁に沿う回転とされることを特徴とする（１）項に記載のバリ検出方法。

（４） 前記バリ検出工程に先だって行われる、前記穴内に挿入された前記電極の回転中心を前記穴の中心に調整する回転中心調整工程を有することを特徴とする（３）項に記載のバリ検出方法。
（５） 前記回転中心調整工程における前記電極の回転中心の調整は、前記穴内に挿入された前記電極の前記穴の内壁に沿う回転で測定される前記穴の内周壁及び前記電極間の静電容量に基づいて行われることを特徴とする（４）項に記載のバリ検出方法。

（６） 前記回転中心調整工程で前記電極の回転中心を前記穴の中心に調整した状態で、前記電極を前記穴の中心軸方向に移動させ、この移動位置に対応する前記穴の内周壁及び前記電極間の静電容量を測定して中心軸方向移動時静電容量として得る中心軸方向移動時静電容量算出工程と、
前記中心軸方向移動時静電容量が、予め定めた測定対象部位判定値に達すると前記電極の前記穴の中心軸方向の移動を停止する電極位置決め工程と、を有することを特徴とする（４）項又は（５）項に記載のバリ検出方法。
（４）〜（６）項に記載の態様によれば、バリ検出工程に先だって、電極の回転中心を穴の中心に調整し、この調整を行った上で、バリ検出のために電極を回転するので、バリを精度高く検出できる。

（７） 前記電極は、前記電極と共に電極構成体を構成する絶縁材からなる円板部材における前記穴の内周壁に対向する一面部に備えられることを特徴とする（３）から（６）項の何れかに記載のバリ検出方法。
（８） 前記電極は、前記円板部材の一面部の略中央部に配置される中心電極と、該中心電極を中心として配置され該中心電極と同電位とされる同電位周囲電極と、からなることを特徴とする（７）項に記載のバリ検出方法。
（８）項に記載の態様によれば、電極は、前記円板部材の一面部の略中央部に配置される中心電極と、該中心電極を中心として配置され該中心電極と同電位とされる同電位周囲電極と、からなり、中心電極のみを用いた場合に起こり得る電荷の広がり（飛び散り）を同電位周囲電極が抑制するので、バリの検出精度を向上させることができる。

（９） 互いに逆位相の電圧が供給される一対の電極を、導電材料からなる加工品の被計測部分に対向して移動可能に配置し、前記一対の電極を用いて前記加工品のバリを検出するバリ検出方法であって、
前記一対の電極を前記被計測部分に沿って移動させ、前記一対の電極間の静電容量を測定して位置対応静電容量として得る位置対応静電容量測定工程と、
前記位置対応静電容量に基づいて前記バリを検出するバリ検出工程と、を有することを特徴とするバリ検出方法。
（９）項に記載の態様によれば、バリの検出をコンデンサを用いて行い、該コンデンサについて、既存（検出対象）の加工品の被計測部分を利用して構成するので、バリ検出を行うためのコンデンサを小さくすることができ、ひいては複雑な形状でかつ狭い領域においても、バリ検出を適性に行うことができる。

（１０） 前記加工品は、穴を形成する穴形成部材とされ、前記加工品の被計測部分は、前記穴形成部材の穴の開口部とされ、前記位置対応静電容量測定工程における前記一対の電極の移動は、前記一対の電極の一部が前記穴の開口部から突出した状態での前記穴の内周壁に沿う回転とされることを特徴とする（９）項に記載のバリ検出方法。
（１０）項に記載の態様によれば、電極の回転位置に対応して静電容量を計測することにより、穴の開口部に生じたバリについて、前記穴の周方向のバリ発生位置並びにその大きさを把握することができる。

（１１） 前記加工品は、溝部に交叉する穴を形成するバルブボデーとされ、前記加工品の被計測部分は、前記溝部側壁における穴の開口部とされ、前記位置対応静電容量測定工程における前記一対の電極の移動は、前記一対の電極の一部が前記穴の開口部から突出した状態での前記穴の内周壁に沿う回転とされることを特徴とする（９）項に記載のバリ検出方法。
（１２） 前記バリ検出工程に先だって行われる、前記穴内に挿入された前記一対の電極の回転中心を前記穴の中心に調整する回転中心調整工程を有することを特徴とする（１１）項に記載のバリ検出方法。
（１３） 前記回転中心調整工程における前記一対の電極の回転中心の調整は、前記穴内に挿入された前記一対の電極の前記穴の内壁に沿う回転で測定される前記一対の電極間の静電容量に基づいて行われることを特徴とする（１２）項に記載のバリ検出方法。

（１４） 前記回転中心調整工程で前記一対の電極の回転中心を前記穴の中心に調整した状態で、前記一対の電極を前記穴の中心軸方向に移動させ、この移動位置に対応する一対の電極間の静電容量を測定して中心軸方向移動時静電容量として得る中心軸方向移動時静電容量算出工程と、
前記中心軸方向移動時静電容量が、予め定めた測定対象部位判定値に達すると前記一対の電極の前記穴の中心軸方向の移動を停止する電極位置決め工程と、を有することを特徴とする（１２）項又は（１３）項に記載のバリ検出方法。
（１２）〜（１４）項に記載の態様によれば、バリ検出工程に先だって、一対の電極の回転中心を穴の中心に調整し、この調整を行った上で、バリ検出のために一対の電極を回転するので、バリを精度高く検出できる。

（１５） 前記一対の電極は、前記一対の電極と共に電極構成体を構成する絶縁材からなる円板部材における前記穴の内周壁に対向する一面部に備えられることを特徴とする（１１）項から（１４）項の何れかに記載のバリ検出方法。
（９）〜（１５）項に記載の態様によれば、互いに逆位相の電圧が供給される一対の電極を、導電材料からなる加工品の被計測部分に対向して移動可能に配置しており、前記一対の電極の一方からの電荷が、加工品に受け入れられ、加工品からの電荷が他方の電極に出力される電荷の流れが生じ、加工品を接地せずに、バリ検出を行うことができ、接地のための措置を施さなくて済み、バリ検出を簡易に行うことが可能となる。

（１６） 導電材料からなる加工品の被計測部分に対向して移動可能に配置され、該加工品の被計測部分と共にコンデンサを形成する電極を用いて前記加工品のバリを検出するバリ検出装置であって、
前記電極を前記被計測部分に沿って移動させ、前記コンデンサの静電容量を測定して位置対応静電容量として得る位置対応静電容量測定手段と、
前記位置対応静電容量に基づいて前記バリを検出するバリ検出手段と、を有することを特徴とするバリ検出装置。
（１６）項に記載の態様によれば、バリの検出をコンデンサを用いて行い、該コンデンサについて、既存（検出対象）の加工品の被計測部分を利用して構成するので、バリ検出を行うためのコンデンサを小さくすることができ、ひいては複雑な形状でかつ狭い領域においても、バリ検出を適性に行うことができる。

（１７） 前記加工品は、穴を形成する穴形成部材とされ、前記加工品の被計測部分は、前記穴形成部材の穴の開口部とされ、前記位置対応静電容量測定手段による前記電極の移動は、前記電極の一部が前記穴の開口部から突出した状態での前記穴の内周壁に沿う回転とされることを特徴とする（１６）項に記載のバリ検出装置。
（１７）項に記載の態様によれば、電極の回転位置に対応して静電容量を計測することにより、穴の開口部に生じたバリについて、前記穴の周方向のバリ発生位置並びにその大きさを把握することができる。

（１８） 前記加工品は、溝部に交叉する穴を形成するバルブボデーとされ、前記加工品の被計測部分は、前記溝部側壁における穴の開口部とされ、前記位置対応静電容量測定手段による前記電極の移動は、前記電極の一部が前記穴の開口部から突出した状態での前記穴の内周壁に沿う回転とされることを特徴とする（１６）項に記載のバリ検出装置。
（１９） 前記穴内に挿入された前記電極の回転中心を前記穴の中心に調整する回転中心調整手段を有し、該回転中心調整手段の調整作動は、前記バリ検出手段によるバリ検出作動に先だって行われることを特徴とする（１８）項に記載のバリ検出装置。

（２０） 前記回転中心調整手段による前記電極の回転中心の調整は、前記穴内に挿入された前記電極の前記穴の内壁に沿う回転で測定される前記穴の内周壁及び前記電極間の静電容量に基づいて行われることを特徴とする（１９）項に記載のバリ検出装置。
（２１） 前記回転中心調整手段が前記電極の回転中心を前記穴の中心に調整した状態で、前記電極を前記穴の中心軸方向に移動させ、この移動位置に対応する前記穴の内周壁及び前記電極間の静電容量を測定して中心軸方向移動時静電容量として得る中心軸方向移動時静電容量算出手段と、
前記中心軸方向移動時静電容量が、予め定めた測定対象部位判定値に達すると前記電極の前記穴の中心軸方向の移動を停止する電極位置決め手段と、を有することを特徴とする（１９）項又は（２０）項に記載のバリ検出装置。
（１９）〜（２１）項に記載の態様によれば、バリ検出工程に先だって、電極の回転中心を穴の中心に調整し、この調整を行った上で、バリ検出のために電極を回転するので、バリを精度高く検出できる。

（２２） 前記電極は、前記電極と共に電極構成体を構成する絶縁材からなる円板部材における前記穴の内周壁に対向する一面部に備えられることを特徴とする（１８）項から（２１）項の何れかに記載のバリ検出装置。
（２３） 前記電極は、前記円板部材の一面部の略中央部に配置される中心電極と、該中心電極を中心として配置され該中心電極と同電位とされる同電位周囲電極と、からなることを特徴とする（２２）項に記載のバリ検出装置。
（２３）項に記載の態様によれば、電極は、前記円板部材の一面部の略中央部に配置される中心電極と、該中心電極を中心として配置され該中心電極と同電位とされる同電位周囲電極と、からなり、中心電極のみを用いた場合に起こり得る電荷の広がり（飛び散り）を同電位周囲電極が抑制するので、バリの検出精度を向上させることができる。

（２４） 互いに逆位相の電圧が供給される一対の電極を、導電材料からなる加工品の被計測部分に対向して移動可能に配置し、前記一対の電極を用いて前記加工品のバリを検出するバリ検出装置であって、
前記一対の電極を前記被計測部分に沿って移動させ、前記一対の電極間の静電容量を測定して位置対応静電容量として得る位置対応静電容量測定手段と、
前記位置対応静電容量に基づいて前記バリを検出するバリ検出手段と、を有することを特徴とするバリ検出装置。
（２４）項に記載の態様によれば、バリの検出をコンデンサを用いて行い、該コンデンサについて、既存（検出対象）の加工品の被計測部分を利用して構成するので、バリ検出を行うためのコンデンサを小さくすることができ、ひいては複雑な形状でかつ狭い領域においても、バリ検出を適性に行うことができる。

（２５） 前記加工品は、穴を形成する穴形成部材とされ、前記加工品の被計測部分は、前記穴形成部材の穴の開口部とされ、前記位置対応静電容量測定手段による前記一対の電極の移動は、前記一対の電極の一部が前記穴の開口部から突出した状態での前記穴の内周壁に沿う回転とされることを特徴とする（２４）項に記載のバリ検出方法。
（２５）項に記載の態様によれば、電極の回転位置に対応して静電容量を計測することにより、穴の開口部に生じたバリについて、前記穴の周方向のバリ発生位置並びにその大きさを把握することができる。
（２６） 前記加工品は、溝部に交叉する穴を形成するバルブボデーとされ、前記加工品の被計測部分は、前記溝部側壁における穴の開口部とされ、前記位置対応静電容量測定手段による前記一対の電極の移動は、前記一対の電極の一部が前記穴の開口部から突出した状態での前記穴の内周壁に沿う回転とされることを特徴とする（２４）項に記載のバリ検出装置。

（２７） 前記穴内に挿入された前記一対の電極の回転中心を前記穴の中心に調整する回転中心調整手段を有し、該回転中心調整手段の調整作動は、前記バリ検出手段によるバリ検出作動に先だって行われることを特徴とする（２６）項に記載のバリ検出装置。
（２８） 前記回転中心調整手段による前記一対の電極の回転中心の調整は、前記穴内に挿入された前記一対の電極の前記穴の内壁に沿う回転で測定される前記一対の電極間の静電容量に基づいて行われることを特徴とする（２７）項に記載のバリ検出装置。

（２９） 前記回転中心調整手段が前記一対の電極の回転中心を前記穴の中心に調整した状態で、前記一対の電極を前記穴の中心軸方向に移動させ、この移動位置に対応する一対の電極間の静電容量を測定して中心軸方向移動時静電容量として得る中心軸方向移動時静電容量算出手段と、
前記中心軸方向移動時静電容量が、予め定めた測定対象部位判定値に達すると前記一対の電極の前記穴の中心軸方向の移動を停止する電極位置決め手段と、を有することを特徴とする（２７）項又は（２８）項に記載のバリ検出装置。
（２７）〜（２９）項に記載の態様によれば、バリ検出工程に先だって、一対の電極の回転中心を穴の中心に調整し、この調整を行った上で、バリ検出のために一対の電極を回転するので、バリを精度高く検出できる。

（３０） 前記一対の電極は、前記一対の電極と共に電極構成体を構成する絶縁材からなる円板部材における前記穴の内周壁に対向する一面部に備えられることを特徴とする（２６）項から（２９）項の何れかに記載のバリ検出装置。
（２４）〜（３０）項に記載の態様によれば、互いに逆位相の電圧が供給される一対の電極を、導電材料からなる加工品の被計測部分に対向して移動可能に配置しており、前記一対の電極の一方からの電荷が、加工品に受け入れられ、加工品からの電荷が他方の電極に出力される電荷の流れが生じ、加工品を接地せずに、バリ検出を行うことができ、接地のための措置を施さなくて済み、バリ検出を簡易に行うことが可能となる。

本願のバリ検出方法及びバリ検出装置に係る発明によれば、バリの検出をコンデンサを用いて行い、該コンデンサについて、既存（検出対象）の加工品の被計測部分を利用して構成するので、バリ検出を行うためのコンデンサを小さくすることができ、ひいては複雑な形状でかつ狭い領域においても、バリ検出を適性に行うことができる。

以下、本発明の一実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施の形態に係るバリ検出方法を用いるバリ検出装置の構成を模式的に示すブロック図、図２は、図１のバリ検出装置の電極及び加工品の配置関係並びに電極を駆動するモータを模式的に示す図、図３は、図１のバリ検出装置のセンサ及び波形成形器を示すブロック図、図４は、電極を示す図である。

バリ検出装置１０は、図１〜図３に示すアルミニウム製（導電材料）のバルブボデー１（加工品）を検出対象にし、バルブボデー１に発生するバリ７を検出する。バルブボデー１は、図１４に示されるように、その一面側及び又は他面側に形成される溝部２と、一方の外壁１１ａから他方の外壁１１ｂに延び、途中で溝部２に交叉する穴３と、を有している。
バリ検出装置１０は、図１（Ａ）及び図１４に示すバルブボデー１の穴３内に挿入される、図２及び図４に示す電極構成体を有している。電極構成体１２は、絶縁材からなる略円板状の電極保持体１３（円板部材）と、電極保持体１３の一面側に保持される電極１４と、を有している。電極保持体１３は、一面側の中央部分に円形の穴（以下、中央穴１５という。）を形成し、中央穴１５の外側に環状溝１６を形成している。
電極１４は、中央穴１５に収納される針状中心電極１４ａと、環状溝１６に収納される同電位周囲電極１４ｂと、からなっている。

電極１４は、図１（Ｂ）、図５、図６、図１４及び図１５に示すように、電極構成体１２が、接地されたバルブボデー１の穴３内に挿入されることにより、穴３を形成する内壁（以下、バルブボデー内壁３ａともいう。）における電極１４と対向する部分（便宜上、バルブボデー電極対向部分１８という。）と共に、コンデンサ（以下、測定用コンデンサという。）２０を形成する。そして、電極１４は、バルブボデー電極対向部分１８（被計測部分）との間に、両者間の媒体（本実施形態では空気）の誘電率ε、両者間の距離ｄ（ギャップ）及び両者（電極１４、バルブボデー電極対向部分１８）の対向面積Ｓにより式（１）で定まる静電容量Ｃを得るようにしている。対向面積Ｓは、大略、両者の各面積〔電極１４の面積及びバルブボデー電極対向部分１８の面積（以下、対象面積ともいう。）〕のうち小さい方の面積（図６に示す原理図では、対象面積Ｓ）が用いられる。なお、本実施形態では、電極１４は、上述したように、針状中心電極１４ａ及び同電位周囲電極１４ｂから構成され、本実施形態における電極１４の面積は、針状中心電極１４ａの中心１４ｃから針状中心電極１４ａ及び同電位周囲電極１４ｂの中間部１４ｄまでを範囲とする円の面積とされる。

Ｃ＝ε・Ｓ／ｄ … … （１）

本実施形態では、後述する回転中心調整を行う前は、距離ｄは、不定であるが、回転中心調整後は、距離ｄは一定値となる。そして、このように距離ｄが一定値であることと誘電率εが一定値であることを利用して、後述するように静電容量Ｃ（ひいては静電容量Ｃに対応する出力電圧）から対向面積Ｓひいてはバリ７の大きさを検出する。

電極１４は、この電極１４に接続される静電容量・出力電圧変換回路２５と共に、センサ２６を構成する。静電容量・出力電圧変換回路２５は、複数のコンデンサ２７及びダイオード２８を含む４端子回路２９で構成され、２つの端子（以下、第１、第２端子という。）３１，３２が後述する波形判定器３３のリニアライザ回路３４に接続され、１つの端子（以下、第３端子という。）３５が電極１４を構成する針状中心電極１４ａに接続され、残りの１つの端子（以下、第４端子という。）３６が接地されている。

静電容量・出力電圧変換回路２５は、直列接続された２つのコンデンサ２７（以下、第１、第２コンデンサ２７ａ，２７ｂという。）を有し、第１、第２コンデンサ２７ａ，２７ｂは、第１、第２端子３１，３２に並列に接続される。第１、第２コンデンサ２７ａ，２７ｂの接続部と第４端子３６との間には、交流電流源３７が介在されている。
交流電流源３７の一端部が、接地された第４端子３６に接続されることにより、交流電流源３７はバルブボデー１（バルブボデー電極対向部分１８）に接続されている。
センサ２６は、交流電流源３７が交流電流を流した際に電極１４及びバルブボデー電極対向部分１８〔すなわち測定用コンデンサ２０〕に生じる静電容量を第１、第２コンデンサ２７ａ，２７ｂの両端にかかる電圧に変換し、この電圧（出力電圧）を、センサ２６に接続された波形判定器３３に入力する。

電極構成体１２ひいては電極１４は、前記ドリル突出側穴開口部５ａ（図１（Ｂ）参照。バリ発生予想部分）を含む穴３内に挿入されてバルブボデー内壁３ａに沿って回転可能に、かつ、穴３の中心軸３ｃ方向に移動可能に配置される。
電極構成体１２（電極１４）は、モータ４０により回転駆動される。電極構成体１２（電極１４）の回転角度は、モータ４０に電気的に接続されかつモータ４０と一体に結合されたエンコーダ４１（以下、モータ４０及びエンコーダ４１を合わせて、便宜上、モータ構成体４２という。）により検出される。バリ検出装置１０には、さらに、３軸ロボット４３が備えられており、モータ構成体４２及びモータ４０の駆動力を受ける電極構成体１２（電極１４）を３軸方向（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向）に移動させる。

波形判定器３３は、リニアライザ回路３４及び判定制御部４５を有している。リニアライザ回路３４は、センサ２６からの出力電圧の入力を受け、対向面積Ｓ（静電容量Ｃ）に対して良好な線形特性を確保するように出力電圧の調整を行って調整出力電圧を得る。
判定制御部４５は、後述する計測トリガの入力を受けて、リニアライザ回路３４からの調整出力電圧に基づいてバリ７の有無、バリ７の大きさ、バリ７の発生部位を検出し、この検出結果を示す検出結果情報を発生し、波形判定器３３に接続された表示器４６、加工機４７、制御盤４８に出力する。

また、判定制御部４５は、調整出力電圧に基づいて、図７（Ｂ）に示すように電極１４の回転角度とこれに対応した静電容量とを対応して示す回転角度−静電容量特性を得、回転角度−静電容量特性を検出結果情報に含めるようにしている。回転角度−静電容量特性は、後述するように、電極構成体１２（電極１４）の回転中心の調整に用いられる。

電極構成体１２（電極１４）の回転中心の調整について、図７（Ａ）、（Ｂ）に基づき、式（１）を参照して説明する。
電極構成体１２（電極１４）について、電極１４の一部又は全部が穴３から突出することなく、穴３内に収納されたときには、式（１）において対向面積Ｓは一定であるとみなせ、かつ誘電率εは一定であることから、静電容量Ｃは、図７（Ａ）に示すように、距離ｄ（距離）に反比例して変化する。このため、電極構成体１２（電極１４）の回転中心が穴３の中心軸３ｃに対してズレを生じている場合、図７（Ｂ）に示すように、回転角度を横軸にとり、静電容量Ｃを縦軸にとると、静電容量Ｃはサイン波形を示すことになる。
本実施形態では、電極構成体１２（電極１４）の回転中心が穴３の中心軸３ｃに対してズレを生じて静電容量Ｃがサイン波形を示す場合、サイン波形を平坦化し、図７（Ｂ）に点線で示すように電極構成体１２（電極１４）の回転角度に関わらず静電容量Ｃが一定値を示すように、電極構成体１２（電極１４）の位置を調整するようにしている。

さらに、判定制御部４５は、調整出力電圧に基づいて、図８に示すように、電極構成体１２（電極１４）の穴３の中心軸３ｃ方向の移動量とこれに対応した静電容量〔以下、中心軸方向移動時静電容量という。〕とを対応して示す移動量−中心軸方向移動時静電容量特性を得、移動量−中心軸方向移動時静電容量特性を検出結果情報に含めるようにしている。移動量−中心軸方向移動時静電容量特性は、ドリル突出側穴開口部５ａ（バリ発生予想部分）におけるバリ計測に際し、電極構成体１２（電極１４）の位置決めのために用いられる。

電極構成体１２（電極１４）の位置決めについて、図８に基づき、式（１）を参照して説明する。
電極構成体１２（電極１４）が穴３内からドリル突出側穴開口部５ａに移動し、電極１４の先端側（図６下側）がドリル突出側穴開口部５ａから突出すると、この突出量〔電極構成体１２（電極１４）の移動量〕に応じて対象面積が電極１４面積に対して減少し、式（１）における対向面積Ｓひいては静電容量Ｃは、小さくなる。そして、距離ｄ（距離）及び誘電率εが一定の状態で、対向面積Ｓに比例する静電容量Ｃ〔式（１）参照〕は、図８に示すように、突出量〔電極構成体１２（電極１４）の移動量〕に応じて小さくなる。
本実施形態では、図８に示すような静電容量Ｃの変化を計測し、検出したいバリ７の大きさに対応する対向面積ひいては静電容量〔図８に点線で示す。〕から基準となる電極構成体１２（電極１４）の移動量（以下、基準移動量という。）を定めている。そして、電極構成体１２（電極１４）の移動が基準移動量分、行われると、バリ検出装置１０は、電極構成体１２（電極１４）の移動を停止し、バリ検出作動のための待機状態になる。

判定制御部４５は、さらに、上述したように電極構成体１２（電極１４）が基準移動量分、移動されて停止した後、電極構成体１２（電極１４）をその位置〔電極１４の先端側がドリル突出側穴開口部５ａから突出した状態〕にした状態で、電極構成体１２（電極１４）を回転し、バリ７の検出を行う。
バリ７の検出について、図９（Ａ）、（Ｂ）に基づき、式（１）を参照して説明する。
ドリル突出側穴開口部５ａで電極構成体１２（電極１４）をバルブボデー内壁３ａに沿って回転させると、バリ７が無い加工品であると、回転角度が変化しても、式（１）において、距離ｄ（距離）及び対向面積Ｓは変化せず、かつ誘電率εも一定であるため、静電容量Ｃは、図９（Ａ）実線で示すように一定値を示し、センサ２６の出力電圧ひいては調整出力電圧は一定値を示す。

これに対し、バリ７が、ドリル突出側穴開口部５ａから突出して形成される場合には、次のように、電極構成体１２（電極１４）のバリ７との対面状態に応じて異なった大きさの静電容量Ｃが得られ、これに伴いセンサ２６の出力電圧ひいては調整出力電圧が変化する。
すなわち、電極構成体１２（電極１４）がバリ７に対面していない状態では、静電容量Ｃは、図９（Ｂ）に示すように、図９（Ａ）実線と同等の一定値を示す。一方、電極構成体１２（電極１４）がバリ７に対面すると、バリ７の大きさに応じて対向面積Ｓが大きくなり、これに伴い、図９（Ｂ）に示すように、静電容量Ｃが大きくなり、センサ２６の出力電圧ひいては調整出力電圧も変化する特性を示すことになる。

本実施形態では、ドリル突出側穴開口部５ａにおける電極構成体１２（電極１４）の回転で、図９（Ａ）、（Ｂ）に示すように、バリ７の有無に応じて静電容量Ｃ（調整出力電圧）の値が変化することを利用して、バリ７の有無を検出する。また、バリ７に対応する静電容量Ｃ（調整出力電圧）の変化の大きさに基づいて、バリ７に対応する対向面積ひいてはバリ７の大きさを求めるようにしている。さらに、図９（Ｂ）に示されるように、静電容量Ｃの変化があった部分に対応する回転角度の位置にバリ７が存在することを検出する。そして、判定制御部４５は、上述したようにして検出したバリ７の大きさ、バリ７の発生部位並びにバリ７の有無を含む検出結果情報を発生する。

判定制御部４５は、さらに、Ｄ／Ａ変換器５０を介してエンコーダ４１に接続されており、エンコーダ４１からの回転パルス信号についてＤ／Ａ変換器５０によりアナログ信号に変換されて入力を受けるようになっている。Ｄ／Ａ変換器５０からの情報（アナログ化された回転パルス信号。以下、単に回転パルス信号という。)は、波形判定器３３に接続された制御盤４８に入力され、３軸ロボット４３及びモータ４０による電極１４（センサ２６）の位置制御のために用いられる。

判定制御部４５には、制御盤４８、表示器４６及び加工機４７が接続されており、これらに検出結果情報が入力される。表示器４６は、検出結果情報に基づいてその内容を表示する。加工機４７は、検出結果情報に基づいて、バリ７の発生箇所、大きさを特定し、ドリル加工の加工条件を調整し、バリ７の発生を抑制するようにしている。
制御盤４８には、オペレータの指示を受ける操作盤５１が接続されている。制御盤４８は、操作盤５１からの計測などの指示信号を受け、この指示信号に基づいて３軸ロボット４３及びモータ４０を制御すると共に、波形判定器３３の判定制御部４５に計測トリガを入力する。

波形判定器３３は、計測トリガの入力を受けて、センサ２６の出力電圧ひいては調整出力電圧に基づいて静電容量ひいてはバリ７の大きさを求めると共に、バリ７の発生箇所をＤ／Ａ変換器５０からの信号に基づいて求め、得られた情報を表示器４６に表示させる。

上述したように構成したバリ検出装置の作用を、図１０のフローチャートに基づいて説明する。
まず、電極構成体１２（電極１４）をバルブボデー１の穴３に挿入する(ステップＳ１）。次に、電極構成体１２（電極１４）をバルブボデー内壁３ａに沿って回転させる(ステップＳ２）。ステップＳ２に続いて、電極構成体１２（電極１４）の回転中心が穴３の中心軸３ｃに対しズレを生じているか、それともズレを生じていないかの判定を行う(ステップＳ３）。
ステップＳ３でズレを生じていると判定すると、電極構成体１２（電極１４）の回転中心を修正し(ステップＳ４）、ステップＳ２に戻る。本実施形態では、ステップＳ１〜Ｓ４が、回転中心調整工程及び回転中心調整手段を構成している。

ステップＳ３でズレを生じていないと判定すると、電極構成体１２（電極１４）をドリル突出側穴開口部５ａへ移動させる(ステップＳ５）。
次に、ドリル突出側穴開口部５ａ（バリ発生予想部分）においてバリ計測するために電極構成体１２（電極１４）を位置決めするべく、電極構成体１２（電極１４）の移動が基準移動量分、行われたか否かを判定する(ステップＳ６）。本実施形態では、ステップＳ５、Ｓ６が、中心軸方向移動時静電容量算出工程及び電極位置決め工程並びに中心軸方向移動時静電容量算出手段及び電極位置決め手段を構成している。

ステップＳ６でＮＯと判定すると、ステップＳ５に戻る。ステップＳ６でＹＥＳと判定すると、電極構成体１２（電極１４）をバルブボデー内壁３ａに沿って回転させる(ステップＳ７）。
ステップＳ７における電極構成体１２（電極１４）の回転時に、その回転角度に応じて静電容量Ｃ（出力電圧ひいては調整出力電圧）を得て、バリ７の有無、バリ７の位置、バリ７の大きさ（面積）を検出する(ステップＳ８）。本実施の形態では、ステップＳ８が位置対応静電容量測定工程及びバリ検出工程並びに位置対応静電容量測定手段及びバリ検出手段を構成している。

本実施の形態では、バリ７の有無、バリ７の位置、バリ７の大きさ（面積）を検出するために、測定用コンデンサ２０を用い、測定用コンデンサ２０をバルブボデー１の穴３内に挿入される電極１４と、検出対象となるバルブボデー電極対向部分１８と、から構成している。そして、測定用コンデンサ２０に既存（検出対象）のバルブボデー電極対向部分１８を利用している分、バリ検出を行うための測定用コンデンサ２０を小さくすることができ、ひいては複雑な形状でかつ狭い領域においても、バリ検出を適性に行うことができる。

また、本実施の形態では、電極１４は、電極保持体１３（円板部材）の一面部の略中央部に配置される針状中心電極１４ａと、針状中心電極１４ａを中心として配置され針状中心電極１４ａと同電位とされる同電位周囲電極１４ｂと、から構成されており、針状中心電極１４ａのみを用いた場合に起こり得る電荷の広がり（飛び散り）を同電位周囲電極１４ｂが抑制する。このため、バリ７の検出精度を向上させることができる。なお、バリ７の大きさによっては、上記実施の形態において同電位周囲電極１４ｂを廃止し、針状中心電極１４ａを用いてバリ検出を行うようにしてもよい。この構成によれば、バリ７を簡易的に検出することができる。

また、ドリル突出側穴開口部５ａ（バリ発生予想部分）における電極構成体１２（電極１４）の回転作動によるバリ計測（ステップＳ７，８）に先だって、電極構成体１２（電極１４）を穴３に挿入し、電極構成体１２（電極１４）の回転中心が穴３の中心軸３ｃに対しズレている場合、電極構成体１２（電極１４）の回転中心を修正する(ステップＳ４）。このため、ステップＳ７，８におけるバリ計測を精度高いものにできる。
さらに、ドリル突出側穴開口部５ａ（バリ発生予想部分）においてバリ計測するために電極構成体１２（電極１４）を位置決めし、位置決めされた状態で電極構成体１２（電極１４）を回転してバリ計測を行うので、精度高くバリ計測できる。

上記実施形態では、針状中心電極１４ａ及び同電位周囲電極１４ｂからなる電極１４を用いて電極構成体１２を構成したが、これに代えて、図１１（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、逆位相の電圧が供給される一対の針状電極１４ｅ，１４ｆを用いた電極構成体１２Ａを用いてもよい。
図１１に示す電極構成体１２Ａは、絶縁材からなる略円板状の電極保持体１３Ａと、電極保持体１３Ａの一面側に保持される前記一対の針状電極１４ｅ，１４ｆとからなっている。電極保持体１３Ａは、一面側の中央部分に所定距離を空けて形成された一対の穴３ｅ，３ｆを有している。一対の穴３ｅ，３ｆに一対の針状電極１４ｅ，１４ｆが収納されている。
図１１に示す電極構成体１２Ａでは、一対の針状電極１４ｅ，１４ｆのうち一方（針状電極１４ｅ）から出力される電荷が、加工品（バルブボデー１）に受け入れられ、加工品（バルブボデー１）からの電荷が他方（針状電極１４ｆ）に出力されるように電荷の流れが生じる。この電極構成体１２Ａでは、加工品（バルブボデー１）を接地せずに、バリ検出を行うことができる

上記実施の形態では、電極構成体１２又は１２Ａの一面側〔電極１４が配置される側〕が平坦面である場合を例にしたが、これに代えて、図１２に示すように、加工品（バルブボデー１）の穴３の内壁に対向する面部Ｍを、前記穴３の内壁に対応した凸形状とした電極構成体１２Ｄを用いてもよい。

上記実施の形態では、ドリル突出側穴開口部５ａ（バリ発生予想部分）において、図４に示す電極構成体１２（電極１４）を回転させてバリ７の有無、バリ７の大きさ、バリ７の発生位置を検出している。これに対し、バリ７の有無を検出する際には、図４に示す電極構成体１２（電極１４）に代えて、図１３に示す電極構成体１２Ｅ（電極１４Ｅ）を用いようにしてもよい。
図１３に示す電極構成体１２Ｅは、絶縁材からなる円盤状の４つの電極保持体１３Ｅと、円盤状中心電極１４Ｅａ及び円盤状の２つの同電位周囲電極１４Ｅｂ，１４Ｅｃと、からなっており、全体で円柱状をなし、その径はバルブボデー１の穴３に径に比して僅かに小さくされている。円盤状中心電極１４Ｅａ及び円盤状の２つの同電位周囲電極１４Ｅｂ，１４Ｅｃから電極１４Ｅが構成されている。
電極１４Ｅについては、円盤状中心電極１４Ｅａが中央で、これを挟むようにして、円盤状中心電極１４Ｅａの両側に電極保持体１３Ｅを介在させて同電位周囲電極１４Ｅｂ，１４Ｅｃが配置されている。

図１３に示す電極構成体１２Ｅ（電極１４Ｅ）を用いたバリ検出装置では、バルブボデー１の穴３に電極構成体１２Ｅ（電極１４Ｅ）を挿入し、電極構成体１２Ｅ（電極１４Ｅ）を回転させずに静電容量を求め、バリ７の有無を判定する。
図１３に示す電極構成体１２Ｅ（電極１４Ｅ）では、電極構成体１２Ｅ（電極１４Ｅ）の回転作動を伴わずにバリ７の有無検出を行え、便利である。また、図１３に示す電極構成体１２Ｅ（電極１４Ｅ）では、円盤状中心電極１４Ｅａの両側に同電位周囲電極１４Ｅｂ，１４Ｅｃが配置されており、円盤状中心電極１４Ｅａの電荷の広がり（飛び散り）を同電位周囲電極１４Ｅｂ，１４Ｅｃが抑制するので、同電位周囲電極１４Ｅｂ，１４Ｅｃを設けない場合に比して、バリの検出精度を向上させることができる。

また、上記実施の形態では、加工品がドリルを用いて形成される穴３を有するバルブボデー１である場合を例にしたが、これに代えて、プレス加工により穴が形成された製品を対象にして、プレス加工に伴って穴の開口部に生じるバリを検出することができる。
バルブボデー１や上記プレス加工により穴が形成された製品に代えてスライス加工が施されて得られる製品を対象にして、製品のエッジにスライス加工に伴って生じるバリを検出するようにしてもよい。この場合には、電極構成体（電極）を回転させずに、製品のエッジ部分に沿って電極構成体（電極）を移動させ、電極と、製品のエッジにおける前記電極に対向する部分との間に生じる静電容量を求めて、エッジに生じるバリを検出する。

本発明の一実施の形態に係るバリ検出方法を用いるバリ検出装置を模式的に示すブロック図である。 図１のバリ検出装置の電極及び加工品の配置関係並びに電極を駆動するモータを模式的に示す図である。 図１のバリ検出装置のセンサ及び波形成形器を示すブロック図である。 図２の電極を示し、（Ａ）はその斜視図、（Ｂ）はその断面図である。 図２のドリル突出側穴開口部における電極構成体の回転の様子を模式的に示す図である。 電球及びバルブボデー電極対向部分により構成される測定用コンデンサを示す図である。 電極構成体（電極）の回転中心の調整について示し、（Ａ）は距離と静電容量とを対応して示すグラフ、（Ｂ）は回転角度と静電容量を対応して示すグラフである。 移動量−中心軸方向移動時静電容量特性を示すグラフである。 回転角度−静電容量特性を示し、（Ａ）はバリが無い場合、（Ｂ）はバリが有る場合における特性を示す図である。 図１のバリ検出装置の作用を説明するためのフローチャートである。 図２の電極構成体に代わる他の電極構成体を示し、（Ａ）はその斜視図、（Ｂ）はその断面図、（Ｃ）は当該電極構成体の電極の接続状態を図３に対応して示すブロック図である。 図１１の電極構成体に代わる他の電極構成体を示し、（Ａ）はその斜視図、（Ｂ）はその断面図である。 バリの発生有無の検出に用いる電極構成体の一例を示す斜視図である。 バルブボデーの一例を示し、（Ａ）はその平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＴ−Ｔ線に沿う断面図、（Ｃ）は（Ａ）の一部拡大図である。 図１４のドリル突出側穴開口部及びその近傍を示す断面図である。

符号の説明

１…バルブボデー、５ａ…ドリル突出側穴開口部、１４…電極、１４ａ…針状中心電極、１４ｂ…同電位周囲電極、２０…測定用コンデンサ。

Claims (26)

1. 導電材料からなる加工品の被計測部分に対向して移動可能に配置され、該加工品の被計測部分と共にコンデンサを形成する電極を用いて前記加工品のバリを検出するバリ検出方法であって、
   前記電極を前記被計測部分に沿って移動させ、前記コンデンサの静電容量を測定して位置対応静電容量として得る位置対応静電容量測定工程と、
   前記位置対応静電容量に基づいて前記バリを検出するバリ検出工程と、を有することを特徴とするバリ検出方法。
2. 前記加工品は、溝部に交叉する穴を形成するバルブボデーとされ、前記加工品の被計測部分は、前記溝部側壁における穴の開口部とされ、前記位置対応静電容量測定工程における前記電極の移動は、前記電極の一部が前記穴の開口部から突出した状態での前記穴の内周壁に沿う回転とされることを特徴とする請求項１に記載のバリ検出方法。
3. 前記バリ検出工程に先だって行われる、前記穴内に挿入された前記電極の回転中心を前記穴の中心に調整する回転中心調整工程を有することを特徴とする請求項２に記載のバリ検出方法。
4. 前記回転中心調整工程における前記電極の回転中心の調整は、前記穴内に挿入された前記電極の前記穴の内壁に沿う回転で測定される前記穴の内周壁及び前記電極間の静電容量に基づいて行われることを特徴とする請求項３に記載のバリ検出方法。
5. 前記回転中心調整工程で前記電極の回転中心を前記穴の中心に調整した状態で、前記電極を前記穴の中心軸方向に移動させ、この移動位置に対応する前記穴の内周壁及び前記電極間の静電容量を測定して中心軸方向移動時静電容量として得る中心軸方向移動時静電容量算出工程と、
   前記中心軸方向移動時静電容量が、予め定めた測定対象部位判定値に達すると前記電極の前記穴の中心軸方向の移動を停止する電極位置決め工程と、を有することを特徴とする請求項３又は４に記載のバリ検出方法。
6. 前記電極は、前記電極と共に電極構成体を構成する絶縁材からなる円板部材における前記穴の内周壁に対向する一面部に備えられることを特徴とする請求項２から５の何れかに記載のバリ検出方法。
7. 前記電極は、前記円板部材の一面部の略中央部に配置される中心電極と、該中心電極を中心として配置され該中心電極と同電位とされる同電位周囲電極と、からなることを特徴とする請求項６に記載のバリ検出方法。
8. 互いに逆位相の電圧が供給される一対の電極を、導電材料からなる加工品の被計測部分に対向して移動可能に配置し、前記一対の電極を用いて前記加工品のバリを検出するバリ検出方法であって、
   前記一対の電極を前記被計測部分に沿って移動させ、前記一対の電極間の静電容量を測定して位置対応静電容量として得る位置対応静電容量測定工程と、
   前記位置対応静電容量に基づいて前記バリを検出するバリ検出工程と、を有することを特徴とするバリ検出方法。
9. 前記加工品は、溝部に交叉する穴を形成するバルブボデーとされ、前記加工品の被計測部分は、前記溝部側壁における穴の開口部とされ、前記位置対応静電容量測定工程における前記一対の電極の移動は、前記一対の電極の一部が前記穴の開口部から突出した状態での前記穴の内周壁に沿う回転とされることを特徴とする請求項８に記載のバリ検出方法。
10. 前記バリ検出工程に先だって行われる、前記穴内に挿入された前記一対の電極の回転中心を前記穴の中心に調整する回転中心調整工程を有することを特徴とする請求項９に記載のバリ検出方法。
11. 前記回転中心調整工程における前記一対の電極の回転中心の調整は、前記穴内に挿入された前記一対の電極の前記穴の内壁に沿う回転で測定される前記一対の電極間の静電容量に基づいて行われることを特徴とする請求項１０に記載のバリ検出方法。
12. 前記回転中心調整工程で前記一対の電極の回転中心を前記穴の中心に調整した状態で、前記一対の電極を前記穴の中心軸方向に移動させ、この移動位置に対応する一対の電極間の静電容量を測定して中心軸方向移動時静電容量として得る中心軸方向移動時静電容量算出工程と、
    前記中心軸方向移動時静電容量が、予め定めた測定対象部位判定値に達すると前記一対の電極の前記穴の中心軸方向の移動を停止する電極位置決め工程と、を有することを特徴とする請求項１０又は１１に記載のバリ検出方法。
13. 前記一対の電極は、前記一対の電極と共に電極構成体を構成する絶縁材からなる円板部材における前記穴の内周壁に対向する一面部に備えられることを特徴とする請求項９から１２の何れかに記載のバリ検出方法。
14. 導電材料からなる加工品の被計測部分に対向して移動可能に配置され、該加工品の被計測部分と共にコンデンサを形成する電極を用いて前記加工品のバリを検出するバリ検出装置であって、
    前記電極を前記被計測部分に沿って移動させ、前記コンデンサの静電容量を測定して位置対応静電容量として得る位置対応静電容量測定手段と、
    前記位置対応静電容量に基づいて前記バリを検出するバリ検出手段と、を有することを特徴とするバリ検出装置。
15. 前記加工品は、溝部に交叉する穴を形成するバルブボデーとされ、前記加工品の被計測部分は、前記溝部側壁における穴の開口部とされ、前記位置対応静電容量測定手段による前記電極の移動は、前記電極の一部が前記穴の開口部から突出した状態での前記穴の内周壁に沿う回転とされることを特徴とする請求項１４に記載のバリ検出装置。
16. 前記穴内に挿入された前記電極の回転中心を前記穴の中心に調整する回転中心調整手段を有し、該回転中心調整手段の調整作動は、前記バリ検出手段によるバリ検出作動に先だって行われることを特徴とする請求項１５に記載のバリ検出装置。
17. 前記回転中心調整手段による前記電極の回転中心の調整は、前記穴内に挿入された前記電極の前記穴の内壁に沿う回転で測定される前記穴の内周壁及び前記電極間の静電容量に基づいて行われることを特徴とする請求項１６に記載のバリ検出装置。
18. 前記回転中心調整手段が前記電極の回転中心を前記穴の中心に調整した状態で、前記電極を前記穴の中心軸方向に移動させ、この移動位置に対応する前記穴の内周壁及び前記電極間の静電容量を測定して中心軸方向移動時静電容量として得る中心軸方向移動時静電容量算出手段と、
    前記中心軸方向移動時静電容量が、予め定めた測定対象部位判定値に達すると前記電極の前記穴の中心軸方向の移動を停止する電極位置決め手段と、を有することを特徴とする請求項１６又は１７に記載のバリ検出装置。
19. 前記電極は、前記電極と共に電極構成体を構成する絶縁材からなる円板部材における前記穴の内周壁に対向する一面部に備えられることを特徴とする請求項１５から１８の何れかに記載のバリ検出装置。
20. 前記電極は、前記円板部材の一面部の略中央部に配置される中心電極と、該中心電極を中心として配置され該中心電極と同電位とされる同電位周囲電極と、からなることを特徴とする請求項１９に記載のバリ検出装置。
21. 互いに逆位相の電圧が供給される一対の電極を、導電材料からなる加工品の被計測部分に対向して移動可能に配置し、前記一対の電極を用いて前記加工品のバリを検出するバリ検出装置であって、
    前記一対の電極を前記被計測部分に沿って移動させ、前記一対の電極間の静電容量を測定して位置対応静電容量として得る位置対応静電容量測定手段と、
    前記位置対応静電容量に基づいて前記バリを検出するバリ検出手段と、を有することを特徴とするバリ検出装置。
22. 前記加工品は、溝部に交叉する穴を形成するバルブボデーとされ、前記加工品の被計測部分は、前記溝部側壁における穴の開口部とされ、前記位置対応静電容量測定手段による前記一対の電極の移動は、前記一対の電極の一部が前記穴の開口部から突出した状態での前記穴の内周壁に沿う回転とされることを特徴とする請求項２１に記載のバリ検出装置。
23. 前記穴内に挿入された前記一対の電極の回転中心を前記穴の中心に調整する回転中心調整手段を有し、該回転中心調整手段の調整作動は、前記バリ検出手段によるバリ検出作動に先だって行われることを特徴とする請求項２２に記載のバリ検出装置。
24. 前記回転中心調整手段による前記一対の電極の回転中心の調整は、前記穴内に挿入された前記一対の電極の前記穴の内壁に沿う回転で測定される前記一対の電極間の静電容量に基づいて行われることを特徴とする請求項２２に記載のバリ検出装置。
25. 前記回転中心調整手段が前記一対の電極の回転中心を前記穴の中心に調整した状態で、前記一対の電極を前記穴の中心軸方向に移動させ、この移動位置に対応する一対の電極間の静電容量を測定して中心軸方向移動時静電容量として得る中心軸方向移動時静電容量算出手段と、
    前記中心軸方向移動時静電容量が、予め定めた測定対象部位判定値に達すると前記一対の電極の前記穴の中心軸方向の移動を停止する電極位置決め手段と、を有することを特徴とする請求項２３又は２４に記載のバリ検出装置。
26. 前記一対の電極は、前記一対の電極と共に電極構成体を構成する絶縁材からなる円板部材における前記穴の内周壁に対向する一面部に備えられることを特徴とする請求項２２から２５の何れかに記載のバリ検出装置。

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