JP2022519867A - 光学素子の支持 - Google Patents

Abstract

本発明は、特に極ＵＶ（ＥＵＶ）域の光を用いるための、マイクロリソグラフィ用の結像装置の光学配置構成であって、光学素子（１０９）と、光学素子（１０９）を保持する保持装置（１１０）とを備えた光学配置構成に関する。光学素子（１０９）は、光学面（１０９．１）を含み且つ主延在平面を規定し、主延在平面で径方向及び周方向を規定する。保持装置（１１０）は、ベース要素（１１０．１）及び４つ以上の別個の保持ユニット（１１０．２）を含み、保持ユニット（１１０．２）は、ベース要素（１１０．１）に接続され、周方向に沿って分配され且つ相互に離間するように配置される。保持ユニット（１１０．２）は、ベース要素（１１０．１）に対して光学素子（１０９）を保持する。ここで、保持ユニット（１１０．２）のそれぞれは、光学素子（１０９）とベース要素（１１０．１）との間に他の保持ユニット（１１０．２）のクランプ接続とは別個のクランプ接続を成立させる。

Description

［関連出願の相互参照］
本願は、米国特許法第１１９条の下で、２０１９年２月６日に出願された独国特許出願第１０ ２０１９ ２０１ ５０９．３号及び２０２０年２月３日に出願された米国特許出願第１６／７８０，４４６号の優先権を主張し、上記出願それぞれの全内容を参照により本明細書に援用する。

本発明は、ＵＶ露光光、特に極紫外（ＥＵＶ）域の光の利用に適したマイクロリソグラフィ光学配置構成に関する。さらに、本発明は、当該配置構成を備えた光学結像装置に関する。本発明は、任意の所望の光学結像方法と共に用いることができる。本発明は、超小型電子回路の製造又は検査と、こうしたプロセスで用いられる光学コンポーネント（例えば光学マスク）の製造及び検査とで特に有利に用いることができる。

超小型電子回路の製造と共に用いられる光学装置は、通常は複数の光学素子ユニットを備え、光学素子ユニットは、結像光路に配置されたレンズ素子、ミラー、又は光学格子等の１つ又は複数の光学素子を含む。当該光学素子は、物体（例えば、マスクに形成されたパターン）の像を基板（例えば、いわゆるウェーハ）に転写するために通常は結像プロセスで協働する。光学素子は、通常は１つ又は複数の機能群に組み合わせられ、これらは場合によっては別個の結像ユニットに保持される。特に、主にいわゆる真空紫外域（ＶＵＶ、例えば波長１９３ｎｍ）の波長で動作する屈折系の場合、このような結像ユニットは、１つ又は複数の光学素子を保持する光学モジュールのスタックから形成されることが多い。上記光学モジュールは、１つ又は複数の光学素子ホルダを支持する実質的にリング状の外側支持ユニットを有する支持構造を通常は含み、光学素子ホルダはさらに光学素子を保持する。

半導体コンポーネントの小型化が進歩し続けることで、その製造に用いられる光学系の高分解能化が常に要求されている。この高分解能化の要求により、光学系の開口数（ＮＡ）の増大及び結像精度の向上が必要である。

高い光学分解能を得るための１つの手法は、撮像プロセスで用いられる光の短波長化にある。最近では、通常は５ｎｍ～２０ｎｍの波長、大抵の場合は約１３ｎｍの波長のいわゆる極紫外（ＥＵＶ）域の光を用いるシステムの開発が促進される傾向にある。このＥＵＶ域では、従来の屈折光学系の使用ができなくなっている。その理由は、このＥＵＶ域では、利用可能な光パワーで許容可能な結像結果を達成するには屈折光学系に用いる材料の吸光度が高すぎるからである。したがって、このＥＵＶ域では、反射光学系を結像プロセスに用いる必要がある。

ＥＵＶ域で高開口数（例えばＮＡ＞０．４～０．５）を有する純粋な反射光学系へのこの移行は、結像装置の設計に関して大きな課題をもたらす。

上述の要因は、所望の結像精度を達成するための、結像プロセスに関与する光学素子の相互間の位置及び／又は向きに関して、且つ個々の光学素子の変形に関しても非常に厳しい要件につながる。さらに、最終的にシステムの寿命期間中に動作全体でこの高い結像精度を維持する必要がある。

結果として、結像プロセス中に協働する光学結像装置のコンポーネント（すなわち、例えば照明装置の光学素子、マスク、投影装置の光学素子、及び基板）は、これらのコンポーネント間の所定の明確な空間関係を維持し且つこれらのコンポーネントの望ましくない変形を最小化して、最終的に最大限の結像品質を達成するために、明確な形で支持されなければならない。

ここで、特に上記ＥＵＶシステムにおいて起こる問題は、体系的な要件から、照明装置及び投影装置並びに光学素子の少なくとも１つ１つが比較的大きく重い光学ユニットであることである。しかしながら、精度に関して要件を満たすために、これらの重いユニットは、交換可能且つ対応して調整可能とすべきである。さらに、これらのユニットは、それらのマウントの設計の結果として、望ましくない又は正確に定義されていない変形が起きなくなっているべきである。こうした理由から、例えば特許文献１（Scherle他、その全開示を参照により本明細書に援用する）から既知のように、これらの光学ユニット又は素子を支持する目的で、周囲に沿って均等に分配された（且つ通常はいわゆるヘキサポッドキネマティックを形成するよう構成された）３つの着脱可能な保持ユニットにより、いわゆる３点支持が通常は利用される。

支持構造の製造誤差又は変形により起こり得るような光学ユニットにおける望ましくない寄生応力及びそれに起因する変形を回避するために、このような３点支持により、静定マウントを得るか又は過静定（statically overdetermined）マウントを回避することができる。

このような静定３点支持の欠点は、例えば結像装置の輸送時に起こり得るような衝撃荷重の場合、特定の荷重方向を有する最も不利な荷重の場合に、２つの他の保持ユニットがこの荷重方向で実質的にコンプライアンスがあり、したがって本質的にはその荷重方向にいかなる荷重も支えることができないので、主な荷重を３つの保持ユニットのうちの１つだけで支えなければならないことである。したがって、保持ユニットは、光学素子の確実な支持を確保するために、比較的堅牢且つ複雑な設計を有しなければならない。したがって、光学素子への着脱可能な接続は、特に、可能な限り寄生応力（及びそれから生じる寄生変形）の導入を回避又は低減するために複雑な設計を有する。

特許文献２（Heintel他、その全開示を参照により本明細書に援用する）は、光学素子の外周に接着結合された複数の保持ユニットにより光学素子をその外周で保持することを開示している。これにより、接着結合で動作荷重の分配が改善され且つ構成が小型化される。しかしながら、生じる問題は、接着結合により光学素子の単純な交換が容易にできないことである。

米国特許第７，７６０，３２７号明細書 米国特許第８，４４１，７４７号明細書

したがって、本発明は、上記欠点がないか又は少なくとも上記欠点が少なく、特に、衝撃荷重に対してできる限り堅牢であり且つ小さなサイズを有しつつ光学素子の単純な交換性を促進する光学素子の支持を得る、マイクロリソグラフィ光学配置構成及び当該配置構成を備えた対応する光学結像装置と、光学素子を支持する方法とを提供するという目的に基づく。

本発明は、独立請求項の特徴によりこの目的を達成する。

本発明は、それぞれが別個のクランプ接続により光学素子を保持する４つ以上の保持ユニットが設けられる場合に、衝撃荷重に対して堅牢であり且つ小さなサイズを有しつつ、光学素子の単純な交換性を促進する光学素子の支持が得られるという技術的教示に基づく。ここで、各クランプ接続により、接続の単純な解放性、したがって光学素子の単純な交換性が確保される。結像装置の製造、輸送、及び動作中に光学素子において生じる荷重、特に衝撃荷重が４つ以上の保持ユニット間に分割されるので、最悪の場合は単一の保持ユニットに作用する最大荷重の低減をさらに達成することができる。この結果として、各クランプ接続は、より単純な、したがってより省スペースの設計を有することができ、これによりさらに、保持ユニットの数をさらに増やすことが容易になる。最終的に、これにより、有利な多数の保持ユニットを実現することができる。

さらに、クランプは、そこから得られる保持力（すなわち、クランプ面間の摩擦）をクランプ面での接触力により比較的高精度に設定できるので有利である。したがって、保持ユニットにおいて最も不利な場合に予想される衝撃荷重が上記保持ユニットの保持力を超えるリスクを、保持ユニットの安全率を大きくする必要なく、したがって保持ユニットの寸法を大きめにする必要なく確実に減らすことができる。したがって、保持ユニットの単純化にもかかわらず、衝撃荷重下のシステムの衝撃安全性又は故障安全性を高めることができるのが有利である。

したがって、一態様によれば、本発明は、特に極ＵＶ（ＥＵＶ）域の光を用いるための、マイクロリソグラフィ用の結像装置の光学配置構成であって、光学素子と、光学素子を保持する保持装置とを備えた光学配置構成に関する。ここで、光学素子は、光学面を含み、さらに主延在平面（plane of main extension）を規定し、主延在平面で径方向及び周方向を規定する。保持装置は、ベース要素と４つ以上の別個の保持ユニットとを含み、保持ユニットは、ベース要素に接続され、周方向に沿って分配され且つ相互に離間するように配置される。保持ユニットは、ベース要素に対して事前決定可能な位置及び向きで光学素子を保持する。ここで、各保持ユニットは、光学素子とベース要素との間に他の保持ユニットのクランプ接続とは別個のクランプ接続を成立させる。

原理上、各保持ユニットと光学素子との間のクランプ接続は、任意の適当な方法で成立させることができる。特に、クランプに必要な保持ユニット及び光学素子の１つ又は複数の各接触面間の摩擦係合を、任意の適当な方法でもたらすことができる。したがって、単一のクランプ要素を保持ユニット毎に設けることができ、上記クランプ要素は、クランプの摩擦係合を得るために適当なテンション装置により光学素子の対応する接触面に押し当てられる。ここで、クランプ要素は、例えば、ベース要素上での各自の支持により光学素子に対してプレテンションされ得る。その場合、組立状態で光学素子に作用する接触力が部分毎に、但し少なくとも全体的に相互に打ち消し合い、光学素子の規定の位置及び向きが得られるように、１つ又は複数の隣接する保持ユニットにより対応する反力を加えることができる。

保持ユニットの少なくとも１つが第１クランプ要素及び第２クランプ要素を含む場合に、特に単純な設計が達成される。その場合、第１クランプ要素及び第２クランプ要素は、クランプ接続を成立させるために相互に対して単純に引き締められ、光学素子の境界部が第１クランプ要素と第２クランプ要素との間に特に容易にクランプされる。好ましくは、このような構成の場合に特に単純な全体設計が達成されるので、複数の保持ユニットで、最終的には各保持ユニットでこのような構成が選択される。

第１クランプ要素及び第２クランプ要素が、クランプ接続を成立させるために、単純なテンション要素により相互に対して引き締められる場合に、光学素子に寄生応力が導入されるリスクが低い特に有利な変形形態が達成される。ここで、テンション要素は、クランプブラケットの形態又はタイロッド若しくはテンションアンカーの形態で設計され得る。好ましくは、テンション要素が境界部の凹部を貫通するようになっている結果として、特に局所的に、クランプ力の特に均等な分布を得ることができる。ここで、テンション要素は、回避しなければ光学素子における寄生応力につながる可能性があるテンション要素と光学素子の境界部との間の接触を回避するために、遊びを持って境界部の凹部を貫通することが好ましい。

原理上、テンション要素は、クランプ要素の相互に対する引締め、したがって境界部のクランプを成立させるのに適した任意の設計を有し得る。言及したように、テンション要素は、２つのクランプ要素を取り囲み支えるクランプブラケットであり得る。テンション要素が、引締めを成立させるためにクランプ要素の一方に螺入されるねじ部を含む場合に、特に単純で小型の構成が達成される。ここで、クランプ要素の少なくとも一方が接続部によりベース要素に接続されれば特に有利であり、その場合、接続部は、ねじ部の長手方向軸と実質的に平行に延びる軸周りの回転自由度を制限するように構成される。これにより、光学素子に導入される寄生応力が全くないか又はごくわずかにしかないように、接続部がねじ接続の締付トルクの少なくとも大部分を吸収することが、単純な方法で確実になり得る。

原理上、クランプ要素をベース要素に任意の適当な方法で接続できることが理解されよう。特に、クランプ要素の一方は、上記テンション要素及び他方のクランプ要素を介してベース要素に間接的に接続されるだけであり得る。好ましくは、第１クランプ要素は接続部を介してベース要素に接続され、且つ／又は第２クランプ要素は接続部を介してベース要素に接続される。

例として、接続部は、少なくとも部分毎に板ばね式に構成され得る。これにより、特に単純で小型の費用効果的な変形形態が得られる。追加として又は代替として、接続部は、（光学素子の）径方向にコンプライアンスがあるよう構成され得る。特に、光学素子及び保持装置の熱膨張率が異なる場合にこれは有利である。その場合、径方向のコンプライアンスにより、光学素子と保持装置との間で良好な熱変形分離を得ることができる。追加として又は代替として、接続部は、少なくとも部分毎に径方向に対して垂直な平面内に実質的に延び得る。これによっても、特に費用効果的で小型の設計を得ることができる。

特定の変形形態において、第１クランプ要素及び第２クランプ要素は、共通の接続部を介してベース要素に接続され得ることが理解されよう。しかしながら、さらに他の変形形態において、第１クランプ要素は第１接続部を介してベース要素に接続され、第２クランプ要素は（別個の）第２接続部を介してベース要素に接続される。これら２つの変形形態のいずれも、単独で又は組み合わせて、好ましくは保持装置の４つ以上の別個の保持ユニットに、より好ましくは保持ユニットの全部の別個の保持ユニットに当てはまる。特に後者の変形形態において、第１接続部及び第２接続部が相互に実質的に平行に延びる場合、製造及び組立てが特に容易であるにもかかわらず、動力学的側面から特定の自由度で有利な剛性を有する構成となるので有利である。追加として又は代替として、第１接続部及び第２接続部は、相互に対して引き締められるクランプ要素を径方向と実質的に平行に案内するよう構成された平行ガイド式に構成され得る。これら両方の変形形態で、残りの自由度では動力学的に有利な高い剛性を有したまま（熱変形分離のための）上記径方向のコンプライアンスを得ることができる。

特定の実施形態では、第１接続部及び第２接続部を径方向に相互にオフセット又は離間させることが好ましいことが理解されよう。追加として又は代替として、第１接続部及び第２接続部を周方向に相互にオフセットさせることができる。しかしながら、好ましくは、第１接続部及び第２接続部は、少なくとも本質的に径方向に相互に整列する（したがって、周方向に相互にオフセットしない）。こうした場合、第１接続部及び第２接続部の一方が（径方向）内側接続部を形成する一方で、他方が（径方向）外側接続部を形成する。これらの変形形態の全てが、上述のように他の自由度で（動力学的に有利な）剛性支持を得ながら特定の自由度でコンプライアンスを与える適切な支持を提供する。

原理上、光学素子は、保持ユニットへの各クランプ接続を成立させるために任意の設計を有し得る。したがって、光学素子は、例えば保持ユニットに対するクランプのために設けられる単一の境界部を含み得る。特定の変形形態において、光学素子は、各保持ユニットでの各クランプ接続を成立させるための別個の境界部を含み、当該境界部は、各保持ユニットでクランプされるよう働く。ここで、上述のように、光学素子の境界部は、各保持ユニットの２つのクランプ要素間にクランプされることが好ましい。

境界部及び保持ユニットは、所望に応じて相互に組み合わせ可能であり得る。すなわち、境界部と保持ユニットとの間に特定の対偶が与えられない（したがって、例えば、光学素子と保持ユニットを有するベース要素とを周方向に沿って相互に対して任意に回転させることができる）。他の変形形態において、このような特定の対偶は、コンポーネントの適宜異なる設計及び／又は配置により実現される。ここで、境界部は、第１保持ユニットと組み合わせ可能だが第２保持ユニットとは組み合わせ可能でないよう構成され得る。そのためには、例えば、境界部と関連の保持ユニット、特にそのクランプ要素との対偶が、例えばクランプ方向に沿った寸法及び／又はクランプ面の構造若しくは構成について他の対偶とは著しく異なり得る。さらに、周囲に沿って保持ユニットが不均等に分配された特定の設計では、この不均等な分配を用いて、回転アライメントの１つのみ又は規定の一部分が全てのクランプ接続の成立に可能であることを確実にすることができる。特に、適切なクランプのための光学素子と保持装置との間の（周方向Ｕに沿った）単一の可能な回転アライメントを正確に規定するには、均等な分配から逸脱した境界部と関連の保持ユニットとの単一の対で十分であり得る。

原理上、光学素子の境界部は、光学素子において任意の適当な方法で実現することができる。光学素子の各境界部が光学素子の突出部により形成される場合に、特に小型で単純な設計が達成される。ここで、複数の境界部が光学素子の共通の突出部に形成され得る。さらに、複数の又はさらに全部の境界部が光学素子のリング状突出部に形成され得る。光学素子の突出部は、周方向に且つ／又は周方向及び径方向により規定される平面に対して垂直な方向に延び得る。

原理上、各境界部は、所望される任意の適当な方法で設計され得る。例として、これは光学素子の本体に直接形成され得る。容易且つ高精度に実行することができるので好ましい変形形態において、各境界部は、光学素子に接続された境界要素により形成することができる。ここで、境界要素は、光学素子の凹部に挿入され得るものであり、当該境界要素は、特に光学素子の突出部の凹部に挿入され得る。このような構成は特に容易に製造することができる。境界要素は、例えばコネクタブッシュを含み得る。このコネクタブッシュは、単純で正確な製造及び組立てを容易にするカラーを含み得る。

原理上、光学素子は、一部品又は多部品式に任意の適当な材料から製造することができる。好ましくは、光学素子は、少なくとも突出部の領域が、特にＳｉＳｉＣを含むセラミック材料から製造され、且つ／又はＺｅｒｏｄｕｒを含む材料及び／又はレンズ材料から製造される。境界要素を有する変形形態において、境界要素は、インバー及び／又はステンレス鋼及び／又はモリブデンを含む材料から製造できることが好ましい。

原理上、光学面は、任意の屈折及び／又は反射及び／又は回折光学面であり得る。本明細書に記載の利点は、光学面が反射光学面である場合に特によく奏功する。その場合、光学面は、光学素子の本体に配置されることが好ましい。本体は、その場合、光学面とは反対側に少なくとも１つの突出部を含むことが好ましく、当該突出部は、保持ユニットの少なくとも１つに対する境界部を形成する。

原理上、ベース要素も同様に任意の設計を有し得る。したがって、例えば、板状のベース要素が設けられ得る。好ましい小型変形形態において、ベース要素はリング状の構成を有する。特に有利な設計では、ベース要素は、ベース要素の主延在平面を規定し、保持ユニットの少なくとも１つは、ベース要素の主延在平面に対して実質的に垂直にベース要素から突出する。好ましくは、これは、複数の又はさらに全部の保持ユニットに当てはまり、当該保持ユニットの全部がベース要素の主延在平面に対して実質的に垂直にベース要素から突出する。リング状のベース要素を有する変形形態において、これにより冠状の設計が得られ、保持ユニットは、冠の爪（tines）のようにリング状のベース要素から突出する。

原理上、保持装置は、いわゆる差動構成の複数の別個のコンポーネントから任意の適当な方法で構成され得る。特に堅牢で高精度に製造された特定の変形形態の場合、ベース要素は、保持ユニットの少なくとも１つと（好ましくは複数の又はさらに全部の保持ユニットと）モノリシックである。

既に上述したように、できる限り多くの保持ユニットがあることが好ましく、その数は、光学素子のサイズに応じた利用可能な設置空間により制限される。好ましくは、６個以上、好ましくは９個以上、さらに好ましくは１８個～３６個の保持ユニットが設けられる。保持ユニットは任意の分配で配置することができる。特に、分配は、光学素子の質量分布及び／又は（特に衝撃荷重の）予想荷重方向に適合させることができる。特定の変形形態において、保持ユニットは、周方向に沿って実質的に均等な分配で配置される。特に、これは、荷重がいかなる方向にも生じ得る状況を考慮できる。

本発明は、特にマイクロリソグラフィ用の光学結像装置であって、第１光学素子群を含む照明装置と、物体を収容する物体装置と、第２光学素子群を有する投影装置と、画像装置とを備え、照明装置は物体を照明するよう構成され、投影装置は物体の像を画像装置に投影するよう構成される光学結像装置にも関する。照明装置及び／又は投影装置は、本発明による光学配置構成を少なくとも１つ含む。これにより、上述した変形形態及び利点を同程度に実現することができるので、この点で上記説明を参照されたい。

本発明はさらに、特に極ＵＶ（ＥＵＶ）域の光を用いるための、マイクロリソグラフィ用の光学素子を支持する方法であって、光学素子は保持装置により保持され、光学素子は、光学面を含み且つ主延在平面を規定し、主延在平面で径方向及び周方向を規定する方法に関する。ここで、光学素子は、保持装置の４つ以上の別個の保持ユニットにより保持装置のベース要素に対して保持され、上記保持ユニットは、周方向に沿って分配され且つ相互に離間するように配置される。各保持ユニットは、光学素子とベース要素との間に他の保持ユニットのクランプ接続とは別個であるクランプ接続を成立させる。これにより、上述した変形形態及び利点を同程度に実現することができるので、この点で上記説明を参照されたい。

プレストレスなしの又は規定の組立て（光学素子の寄生応力の発生が少なくとも主に回避されている）を考えると、保持装置の３つの保持ユニットと光学素子との間の各クランプ接続が、光学素子がベース要素に対して空間的に固定されるように第１ステップで成立する場合に、ここでは特に有利である。したがって、結果として従来の３点支持のような支持を最初に実現することができる。これは、光学素子のこの初期固定のために特に設計され且つ残りの保持ユニットとは異なる３つの（第１）保持ユニットにより達成され得る。特に、これら３つの（第１）保持ユニットは、残りの（第２）保持ユニットよりも剛性設計を有し得る。その場合、保持装置の残りの（第２）保持ユニットと光学素子との間の各クランプ接続は、第１ステップの次の第２ステップで成立する。ここで、特にクランプのために必要な運動方向で、残りの（第２）保持ユニットは、３つの（第１）保持ユニットよりも大幅に低い剛性を有することで、著しい復元力、したがって寄生応力を発生させることなく製造誤差を補償することができるようになり得る。

したがって、さらに別の態様によれば、本発明は、特に極ＵＶ（ＥＵＶ）域の光を用いるための、マイクロリソグラフィ用の結像装置の光学配置構成であって、光学素子と光学素子を保持する保持装置とを備えた光学配置構成に関する。ここで、光学素子は、光学面を含み且つ主延在平面を規定し、主延在平面で径方向及び周方向を規定する。保持装置は、ベース要素と４つ以上の別個の保持ユニットとを含み、保持ユニットは、ベース要素に接続され、周方向に沿って分配され且つ相互に離間するように配置される。保持ユニットは、ベース要素に対して事前決定可能な位置及び向きで光学素子を保持する。ここで、各保持ユニットは、光学素子とベース要素との間に他の保持ユニットのクランプ接続とは別個であるクランプ接続を成立させる。保持ユニットの少なくとも１つ、好ましくは各保持ユニットは、第１クランプユニットと、第１クランプユニットとは別個の第２クランプユニットとを含む。第１クランプユニット及び第２クランプユニットは、ベース要素にそれぞれ別個の場所で接続される。第１クランプユニット及び第２クランプユニットは、クランプ接続を成立させるように相互に対して引き締められ、光学素子の境界部が、第１クランプユニットと第２クランプユニットとの間にクランプされる。これにより、上述した変形形態及び利点を同程度に実現することができるので、この点で上記説明を参照されたい。

好ましくは、第１クランプユニットは第１クランプ要素及び第１接続部を含み、第２クランプユニットは第２クランプ要素及び第２接続部を含む。第１クランプ要素は第１接続部を介してベース要素に接続され、第２クランプ要素は第２接続部を介してベース要素に接続される。第１クランプ要素及び第２クランプ要素は、クランプ接続を成立させるように相互に対して引き締められ、光学素子の境界部は、第１クランプ要素と第２クランプ要素との間にクランプされる。

本発明のさらに他の態様及び例示的な実施形態は、従属請求項及び添付図面に関する以下の好ましい例示的な実施形態の説明から明らかである。開示される特徴の全ての組み合わせが、請求項の主題であるか否かに関係なく本発明の範囲内にある。

本発明による光学配置構成の好ましい実施形態を含む、本発明による投影露光装置の好ましい実施形態の概略図である。 図１からの本発明による配置構成の保持装置の概略平面図である。 図２からの本発明による配置構成の一部（細部Ｄ）の（図２の線ＩＩＩ－ＩＩＩに沿った）概略断面図である。 図３Ａからの（図３Ａの径方向Ｒに見た）配置構成の部分の概略図である。 図２からの本発明による配置構成の変形形態の一部の（図３Ａの図と同様の）概略断面図である。 図２からの本発明による配置構成のさらに別の変形形態の一部の（図３Ａの図と同様の）概略断面図である。 図２からの本発明による配置構成のさらに別の変形形態の一部の（図３Ａの図と同様の）概略断面図である。

本発明による光学配置構成の好ましい例示的な実施形態を備えた、本発明によるマイクロリソグラフィ投影露光装置１０１の好ましい実施形態を、例として図１～図４を参照して以下で説明する。以下の説明を単純化するために、ｘｙｚ座標系を図示し、ｚ方向が重力方向に相当する。言うまでもなく、さらに他の構成でｘｙｚ座標系の任意所望の他の向きを選択することが可能である。

図１は、半導体コンポーネントを製造するマイクロリソグラフィプロセスで用いられる投影露光装置１０１の概略的な一定の縮尺でない図である。投影露光装置１０１は、照明装置１０２及び投影装置１０３を備える。投影装置１０３は、露光プロセスにおいて、マスクユニット１０４に配置されたマスク１０４．１の構造の像を基板ユニット１０５に配置された基板１０５．１に転写するよう設計される。この目的で、照明装置１０２はマスク１０４．１を照明する。光学投影装置１０３は、マスク１０４．１から光を受光し、マスク１０４．１のマスク構造の像を例えばウェーハ等の基板１０５．１に投影する。

照明装置１０２は、光学素子群１０６．１を有する光学ユニット１０６を含む。投影装置１０３は、光学素子群１０７．１を含むさらに別の光学素子ユニット１０７を含む。光学素子群１０６．１、１０７．１は、投影露光装置１０１の折り返し中心光線経路１０１．１に沿って配置される。各光学素子群１０６．１、１０７．１は、複数の光学素子を含み得る。

好ましい実施形態において、投影露光装置１０１は、５ｎｍ～２０ｎｍの波長、特に１３ｎｍの波長を有するＥＵＶ域の露光光（極紫外線）で動作する。したがって、照明装置１０２及び投影装置１０３の素子群１０６．１、１０７．１の光学素子は、反射光学素子に限られる。光学素子群１０６．１、１０７．１は、光学配置構成１０８に基づいて以下で説明するように、本発明による１つ又は複数の光学配置構成を含み得る。光学ユニット１０６及び１０７は、それぞれが支持構造１０１．２により支持される。

本発明のさらに他の構成では、任意のタイプの光学素子（屈折、反射、回折）を単独で又は任意の所望の組み合わせで残りの光学モジュールに用いることも当然ながら（特に照明光の波長に応じて）可能である。

本発明による光学配置構成を、光学配置構成１０８に基づいて例示的に以下で説明する。図２は、光学配置構成１０８の一部の概略平面図を示し、図３Ａは、光学配置構成１０８の一部の（図２の線ＩＩＩ－ＩＩＩに沿った）概略断面図を示す。図３Ｂは、図３Ａの径方向Ｒに見た図３Ａからの配置構成の部分の概略図である。

図２と、特に（図２の細部Ｄを示す）図３Ａ及び図３Ｂとから分かるように、光学配置構成１０８は、照明装置１０２のコレクタミラーの形態の光学素子１０９と、光学素子１０９を保持する保持装置１１０とを備える。図２は、（ｚ方向に沿った）保持装置１１０の平面図を示し、光学素子１０９をその破線外側輪郭で示す。

光学素子１０９は、光学素子１０９の本体１０９．２の片側（前側）に（従来通りに）形成された反射光学面１０９．１を含む。光学素子１０９は、（図２のｘｙ平面又は図平面と平行な）主延在平面を規定し、主延在平面で径方向Ｒ及び周方向Ｕを規定する。

本例では、保持装置１１０は、ベース要素１１０．１及び別個の保持ユニット１１０．２を含み、保持ユニット１１０．２は、ベース要素１１０．１に接続され、周方向Ｕに沿って分配され且つ相互に離間するように配置される。保持ユニット１１０．２は、光学素子１０９をベース要素１１０．１に対して所定の位置及び向きで保持する。各保持ユニット１１０．２は、光学素子１０９とベース要素１１０．１との間に他の保持ユニット１１０．２により設けられたクランプ接続とは別個であるクランプ接続を成立させる。

既に述べたように、できる限り多くの保持ユニット１１０．２があることが好ましく、保持ユニット１１０．２の数は、光学素子１０９のサイズに応じた利用可能な設置空間により制限される。本例では、１８個の保持ユニット１１０．２が設けられる。しかしながら、他の変形形態では異なる数を設けることもできる。特に、６個以上、好ましくは９個以上、さらに好ましくは１８個～３６個の保持ユニット１１０．２が設けられ得る。したがって、６個以上（例えば、７個以上、８個以上、９個以上、１０個以上、１５個以上、１８個以上、２０個以上、２５個以上、３０個以上）の保持ユニット１１０．２があってもよく、且つ／又は４０個以下（例えば、３６個以下、３０個以下、２５個以下）の保持ユニット１１０．２があってもよい。場合によっては、６個～３６個（例えば、１８個～３６個）の保持ユニット１１０．２が設けられる。

本例では、保持ユニット１１０．２は、周方向Ｕに沿ってそれぞれ２０°の角度間隔で均等に分配されて配置される。これにより、光学素子に導入される荷重、特に衝撃荷重の方向に関係なく取付けが常に実質的に同じ挙動を有することができるか、又は衝撃荷重に伴い光学素子１０９の位置ずれにつながるリスクが高まるような荷重方向をなくすことができる。

しかしながら、他の変形形態において、保持ユニット１１０．２が所望に応じて少なくとも部分毎に不均等な分配で配置され得ることも理解されたい。特に、保持ユニット１１０．２の分配は、この場合は光学素子１０９の質量分布及び／又は配置構成１０８の予想加速度及びそれから生じる荷重方向に適合され得る。保持ユニット１１０．２は、特に非対称の光学素子１０９の場合には特定の領域で大きな荷重を受け得るので、大きな荷重を受けるそれらの領域で保持ユニット１１０．２の密度を高くした（すなわち、円周角あたりの保持ユニット数を局所的に多くした）非対称分配とすることが好都合である。

特に図３Ａから分かるように、本例の各保持ユニット１１０．２は、（別個の場所でベース要素１１０．１に接続された）２つの別個のクランプユニット、すなわち第１クランプ要素１１０．３（ここでは径方向Ｒで外側のクランプ要素）を有する第１クランプユニット及び第２クランプ要素１１０．４（ここでは径方向Ｒで内側のクランプ要素）を有する第２クランプユニットを有する。第１クランプ要素１１０．３は、第１クランプユニットの第１接続部１１０．５を介してベース要素１１０．１に接続され、第２クランプ要素１１０．４は、第２クランプユニットの第２接続部１１０．６を介してベース要素１１０．１に接続される。

光学素子１０９に対するクランプ接続を成立させる目的で、第１クランプ素子１１０．３及び第２クランプ素子１１０．４は、テンションねじの形態のテンション要素１１１により相互に対して引き締められる。光学要素１０９の関連の境界部１０９．３が、各保持ユニット１１０．２の第１クランプ要素１１０．３と第２クランプ要素１１０．４との間にそれぞれクランプされる。

しかしながら、他の変形形態において、各保持ユニット１１０．２と光学素子１０９との間のクランプ接続は異なる設計も有し得る。例えば、クランプ要素１１０．３又は１１０．４を適当なテンション装置（例えば、径方向Ｒの適当なプレテンション下の接続部１１０．５又は１１０．６）により光学素子１０９の境界部１０９．３上の関連の接触面に押し当てて、クランプ接続の摩擦係合を得る場合、クランプに必要な摩擦係合は、保持ユニット１１０．２あたり単一のクランプ要素１１０．３又は１１０．４により最終的に実現され得る。その場合、組立状態で光学素子１０９に作用する接触力が少なくとも部分毎に、但し少なくとも全体的に相互に打ち消し合い、したがって光学素子１０９の規定の位置及び向きが得られるように、１つ又は複数の隣接する保持ユニット１１０．２により対応する反力を加えることができる。

本例では、テンション要素１１１は、タイロッドのように設計される。テンション要素１１１は、遊びを持って境界部１０９．３の凹部１０９．４を貫通し、その結果としてクランプ力の特に均等な分布が得られる。テンション要素１１１と凹部１０９．９の領域の境界部１０９．３との間の遊びにより、回避しなければ光学素子における寄生応力につながる可能性があるテンション要素１１１と境界部１０９．３との間の接触が回避される。

したがって、径方向Ｒに対して垂直に、クランプ要素１１０．３、１１０．４の接触面と境界部１０９．３の関連の接触面との間には、テンション要素１１１のプレテンションにより正確に規定されるクランプ接続の摩擦係合のみがある。これは、クランプから得られる保持力、したがってクランプ面における接触力をテンション要素１１１のプレテンションにより比較的高精度に設定できるので有利である。

テンション要素１１１は、外側の第１クランプ要素１１０．４の通路開口と凹部１０９．９とを通る。本例では、テンション要素１１１はねじ部１１１．１を含み、これは、引締めのために内側の第２クランプ要素１１０．４の対応するねじ孔に螺入される。テンション要素１１１のねじ頭１１１．２は、外側の第１クランプ要素１１０．４に載る。

本例では、２つのクランプ要素１１０．３、１１０．４の各接続部１１０．５、１１０．６が、ねじ部１１１．１の長手方向軸と実質的に平行に延びる軸周りの回転自由度を制限することが特に有利である。これにより、光学素子に導入される寄生応力が全くないか又はごくわずかにしかないように、接続部１１０．５、１１０．６がねじ接続の締付トルクの少なくとも大部分を吸収できることが、単純な方法で確実となる。

この目的で、本例のように、各接続部１１０．５、１１０．６を、本例では径方向Ｒに対して垂直な平面に実質的に延びる板ばね式に構成することができる。これにより、特に単純で小型の構成が得られる。

特に図３Ｂから分かるように、各接続部１１０．５、１１０．６は、実質的に矩形の板ばねにより形成される。本例では、接続部１１０．５、１１０．６は実質的に同一である。しかしながら、他の変形形態では各接続部１１０．５、１１０．６が相互に逸脱した任意の他の所望の適当な設計を有し得ることが理解されよう。他の変形形態では、各接続部１１０．５、１１０．６が任意の他の所望の適当な外側輪郭（例えば、図３Ｂに点線輪郭で示すような台形輪郭）を有し得ることがさらに理解されよう。接続部１１０．５、１１０．６の各設計（特に各外側輪郭）は、例えば、接続部１１０．５、１１０．６の長手方向軸に沿った接続部１１０．５、１１０．６の剛性の（径方向Ｒの）所望の分布を規定するよう選択され得る。

さらに、その結果として、各接続部１１０．５、１１０．６は径方向Ｒにコンプライアンスがある。これは、特に光学素子１０９及び保持装置１１０の熱膨張率が異なる場合に有利である。その場合、この径方向のコンプライアンスにより、光学素子１０９と保持装置１１０との間で良好な熱変形分離を得ることができる。

第１接続部１１０．５及び第２接続部１１０．６は、相互に実質的に平行に延び、製造及び組立てが特に容易な構成をもたらす。さらに、この構成は、各接続部１１０．５、１１０．６の平面と平行な自由度の剛性があることが有利なので、動力学的側面から有利である。

図３Ａから特によく分かるように、第１接続部１１０．５及び第２接続部１１０．６は、径方向Ｒに相互にオフセット又は離間している。したがって、第１接続部１１０．５が（径方向）外側接続部を形成する一方で、第２接続部１１０．６が（径方向）内側接続部を形成する。特定の変形形態では、第１接続部１１０．５及び第２接続部１１０．６が周方向Ｕに相互にオフセットし得ることが理解されよう。しかしながら、好ましくは、本例のように、第１接続部１１０．５及び第２接続部１１０．６は、本質的には径方向Ｒに相互に整列する（したがって、本質的には周方向Ｕに相互にオフセットしない）。

さらに、本例では、第１接続部１１０．５及び第２接続部１１０．６は、相互に対して引き締められるクランプ要素１１０．３、１１０．４を径方向Ｒと実質的に平行に案内する平行ガイドを提供する。したがって、残りの自由度では動力学的に有利な高い剛性を有したまま（熱変形分離のための）上記径方向のコンプライアンスを得ることができる。

本例では、光学素子１０９の各境界部１０９．３は、光学素子１０９の（光学面１０９．１とは反対側の）裏側でリング状に周方向に（周方向Ｕに）延びる突出部１０９．５に形成される。突出部１０９．５は、周方向Ｕと、光学素子１０９の主延在平面（すなわち、周方向Ｕ及び径方向Ｒにより規定される平面）に対して垂直な方向とに延びる。

本例では、全部の境界部１０９．３が共通の突出部１０９．５に形成される。しかしながら、他の変形形態において、突出部１０９．５は、境界部１０９．３が個別に又は群として突出部１０９．５の別個の周方向セグメントに設けられるように周方向Ｕで途切れることもあり得る。

本例では、各境界部１０９．３が突出部１０９．５の領域で光学素子１０９に接続される境界要素１０９．６により形成されることにより、特に容易且つ高精度に実現可能な設計が得られる。ここで、境界要素１０９．６は、カラー１０９．７を有するコネクタブッシュとして構成され、光学素子１０９の突出部１０９．５の凹部１０９．８に挿入され且つ適当な方法で（例えば、接着結合、はんだ付け等による材料接続により）そこに取り付けられる。

コネクタブッシュ１０９．６は、クランプ要素１１０．３、１１０．４に対する接触面を形成するので、この構成は特に製造が単純である。クランプ要素１１０．３、１１０．４に対するこれらの接触面を突出部１０９．５よりもコネクタブッシュ１０９．６の端に設ける方が、実質的に容易である。この場合、コネクタブッシュ１０９．６を十分に高い精度で比較的容易に収容し取り付けることができる径方向凹部１０９．８を、突出部１０９．５に作るだけでよい。

しかしながら、他の変形形態において、各境界部１０９．３を光学素子１０９の本体１０９．２に、特に突出部１０９．５に直接形成することもできることを理解されたい。

境界部１０９．３及び保持ユニット１１０．２は、所望に応じて相互に組み合わせ可能とすることができる。すなわち、境界部１０９．３と保持ユニット１１０．２とは特定の対偶をなさない（したがって、例えば、光学素子１０９と保持ユニット１１０．２を有するベース要素１１０．１とを周方向Ｕに沿って相互に対して任意に回転させることができる）。

しかしながら、他の変形形態において、このような特定の対偶は、境界部１０９．３及び保持ユニット１１０．２のコンポーネントの適宜異なる設計及び／又は配置により実現することができる。その場合、境界部１０９．３は、ある（第１）保持ユニット１１０．２と組み合わせ可能だが別の（第２）保持ユニット１１０．２とは組み合わせ可能でないよう構成され得る。

そのためには、例えば、境界部１０９．３と関連の保持ユニット１１０．２、特にそのクランプ要素１１０．３、１１０．４との対偶は、例えば、クランプ方向に沿った（すなわち、例えばテンション要素１１１の長手方向軸に沿った）寸法について且つ／又は境界部１０９．３とクランプ要素１１０．３、１１０．４との対向するクランプ面の構造又は構成について、他の対偶とは著しく異なり得る。

さらに、周方向Ｕに沿って保持ユニット１１０．２（及び対向する境界部１０９．３）が不均等に分配された特定の設計では、この不均等な分配を用いて、回転アライメントの１つのみ又は規定の一部分が全てのクランプ接続の成立に可能であることを確実にすることができる。特に、適切なクランプを可能にする光学素子１０９と保持装置１１０との間の（周方向Ｕに沿った）単一の可能な回転アライメントを正確に規定するには、均等な周方向分配から逸脱した境界部１０９．３と関連の保持ユニット１１０．２との単一の対で十分であり得る。

応力のない又は規定の組立て（光学素子１０９における寄生応力の発生が少なくとも概ね回避されている）に関して、保持装置１１０の３つの保持ユニット１１０．２と光学素子１０９との間の各クランプ接続が、光学素子がベース要素１１０．１に対して空間的に固定されるように組立中に第１ステップで最初に成立すれば特に有利である。したがって、従来の３点支持のような保持装置１１０に対する光学素子１０９の固定を最初に実現することができる。

これは、光学素子１０９のこの初期取付けのために特に設計され且つ残りの保持ユニット１１０．２とは異なる３つの（第１）保持ユニット１１０．２により達成され得る。本例では、これらは、相互に対して周方向に１２０°回転してそれぞれ配置された３つの位置１１２．１、１１２．２、及び１１２．３（図２参照）にある保持ユニット１１０．２であり得る。特に、これら３つの（第１）保持ユニット１１０．２は、残りの（第２）保持ユニット１１０．２よりも剛性設計を有し得る。

その場合、保持装置１１０の残りの（第２）保持ユニット１１０．２と光学素子１０９との間の各クランプ接続は、組立てプロセスの第１ステップの次の第２ステップで成立する。残りの（第２）保持ユニット１１０．２は、クランプのために必要な運動方向で（すなわち、本例では径方向Ｒで）３つの（第１）保持ユニット１１０．２よりも大幅に低い剛性を有することで、著しい復元力、したがって寄生応力を発生させることなく製造誤差を補償することができるようになり得る。

原理上、光学素子１０９は、一部品式（すなわちモノリシック）又は多部品式（いわゆる差動構成）に任意の適当な材料から製造することができる。好ましくは、光学素子１０９は、少なくとも突出部１０９．５の領域が、特にＳｉＳｉＣを含むセラミック材料から製造される。追加として又は代替として、光学素子１０９は、少なくとも突出部１０９．５の領域が、Ｚｅｒｏｄｕｒを含む材料及び／又はレンズ材料から製造され得る。境界要素１０９．６を有する上記変形形態において、境界要素１０９．６は、インバー及び／又はステンレス鋼及び／又はモリブデンを含む材料から製造できることが好ましい。

原理上、ベース要素１１０．１も同様に任意の設計を有し得る。したがって、例えば、板状のベース要素１１０．１が設けられ得る。本例では、ベース要素１１０．１はリング状であり、ベース要素の主延在平面を規定する。保持ユニット１１０．２は、ベース要素１１０．１の主延在平面に対して実質的に垂直にベース要素１１０．１から突出する。これにより冠状の設計が得られ、保持ユニット１１０．２は、冠の爪のようにリング状のベース要素１１０．１から突出する。

原理上、保持装置１１０は、いわゆる差動構成の複数の別個のコンポーネントから任意の適当な方法で構成され得る。本例では、ベース要素１１０．１は、全部の保持ユニット１１０．２と一体的又はモノリシックな設計を有する結果として、高精度に製造できる特に堅牢な設計が得られる。

図４は、図３Ａからの保持装置１１０の変形形態を示し、それ以外は同一の設計である。この変形形態において、１つ、複数、又は全部の保持ユニット１１０．２の各内側の第２クランプ要素１１０．４は、上記テンション要素及びここではフォーク状の接続部１１０．７（対応する板ばね部からなる）を介してベース要素１１０．１に間接的に接続されるだけであり、上記接続部１１０．７は、第１クランプ要素１１０．３及び第２クランプ要素１１０．４により共有される。特定の用途にとっては、保持ユニット１１０．２が周方向Ｕに対して接線方向の軸（すなわち、図４のｙ軸と平行な軸）周りの回転自由度を制限しないので、この構成は有利である。

図５は、図３Ａからの保持装置１１０の変形形態を示し、それ以外は同一の設計である。この変形形態において、１つ、複数、又は全部の保持ユニット１１０．２の各内側の第２クランプ要素１１０．４は、上記テンション要素、第１クランプ要素１１０．３、及びその接続部１１０．５を介してベース要素１１０．１に間接的に接続されるだけである（したがって、第２接続部１１０．６はない）。特定の用途にとっては、保持ユニット１１０．２が周方向Ｕに対して接線方向の軸（すなわち、図５のｙ軸と平行な軸）周りの回転自由度を制限しないので、この場合もこの構成は有利である。

図６は、図３Ａからの保持装置１１０の変形形態を示し、それ以外は同一の設計である。この変形形態において、１つ、複数、又は全部の保持ユニット１１０．２の各外側の第１クランプ要素１１０．３は、上記テンション要素、第２クランプ要素１１０．４、及びその接続部１１０．６を介してベース要素１１０．１に間接的に接続されるだけである（したがって、第１接続部１１０．５はない）。特定の用途にとっては、保持ユニット１１０．２が周方向Ｕに対して接線方向の軸（すなわち、図６のｙ軸と平行な軸）周りの回転自由度を制限しないので、この場合もこの構成は有利である。

本発明は、マイクロリソグラフィの分野からの例に基づいてのみ説明したものである。しかしながら、本発明を、重い光学ユニットの支持に関して同様の問題が起こる任意の他の光学用途、特に異なる波長での結像方法に関連して用いることもで着ることを理解されたい。

さらに、物体の検査、例えば、マイクロリソグラフィに用いるマスクの完全性等を検査するいわゆるマスク検査等に関連して、本発明を用いることができる。図１において、例えば（さらなる処理のために）マスク１０４．１の投影パターンの結像を検出するセンサユニットが、このとき基板１０５．１の代わりになる。このマスク検査は、このとき、その後のマイクロリソグラフィプロセスで用いるのと実質的に同じ波長でも行うことができる。しかしながら、その波長から外れた任意所望の波長を検査に用いることも同じく可能である。

最後に、本発明は、添付の特許請求の範囲に定める特徴の特定の組み合わせを示す特定の例示的な実施形態に基づいて上述したものである。本発明の主題がこれらの特徴の組み合わせに制限されるのではなく、添付の特許請求の範囲から明らかであるような特徴の全ての他の組み合わせも本発明の主題に属することを、ここで特に指摘しておく。

Claims (33)

1. 特に極ＵＶ（ＥＵＶ）域の光を用いるための、マイクロリソグラフィ用の結像装置の光学配置構成であって、
   光学素子（１０９）と、
   該光学素子（１０９）を保持する保持装置（１１０）と
   を備え、前記光学素子（１０９）は、光学面（１０９．１）を含み且つ主延在平面を規定し、該主延在平面で径方向及び周方向を規定し、
   前記保持装置（１１０）は、ベース要素（１１０．１）及び４つ以上の別個の保持ユニット（１１０．２）を含み、
   該保持ユニット（１１０．２）は、前記ベース要素（１１０．１）に接続され、周方向に沿って分配され且つ相互に離間するように配置され、且つ
   前記保持ユニット（１１０．２）は、前記ベース要素（１１０．１）に対して前記光学素子（１０９）を保持する、光学配置構成において、
   前記保持ユニット（１１０．２）のそれぞれは、前記光学素子（１０９）と前記ベース要素（１１０．１）との間に他の前記保持ユニット（１１０．２）のクランプ接続とは別個のクランプ接続を成立させ、
   前記保持ユニット（１１０．２）の少なくとも１つ、好ましくは各保持ユニット（１１０．２）は、第１クランプユニット（１１０．３、１１０．５）及び該第１クランプユニット（１１０．３、１１０．５）とは別個の第２クランプユニット（１１０．４、１１０．６）を含み、
   第１クランプユニット（１１０．３、１１０．５）及び前記第２クランプユニット（１１０．４、１１０．６）は、それぞれ別個の場所で前記ベース要素（１１０．１）に接続され、
   前記第１クランプユニット（１１０．３、１１０．５）及び前記第２クランプユニット（１１０．４、１１０．６）は、クランプ接続を成立させるために相互に対して引き締められ、且つ
   前記光学素子（１０９）の境界部（１０９．３）が、前記第１クランプユニット（１１０．３、１１０．５）と前記第２クランプユニット（１１０．４、１１０．６）との間にクランプされることを特徴とする光学配置構成。
2. 請求項１に記載の光学配置構成において、
   前記第１クランプユニットは、第１クランプ要素（１１０．３）及び第１接続部（１１０．５）を含み、
   前記第２クランプユニットは、第２クランプ要素（１１０．４）及び第２接続部（１１０．６）を含み、
   前記第１クランプ要素（１１０．３）は、前記第１接続部（１１０．５）を介して前記ベース要素（１１０．１）に接続され、
   前記第２クランプ要素（１１０．４）は、前記第２接続部（１１０．６）を介して前記ベース要素（１１０．１）に接続され、
   前記第１クランプ要素（１１０．３）及び前記第２クランプ要素（１１０．４）は、クランプ接続を成立させるために相互に対して引き締められ、且つ
   前記光学素子（１０９）の前記境界部（１０９．３）は、前記第１クランプ要素（１１０．３）と前記第２クランプ要素（１１０．４）との間にクランプされる光学配置構成。
3. 請求項２に記載の光学配置構成において、
   前記第１接続部（１１０．５）及び／又は前記第２接続部（１１０．６）は、少なくとも部分毎に板ばね式に構成され、且つ／又は
   前記第１接続部（１１０．５）及び／又は前記第２接続部（１１０．６）は、径方向にコンプライアンスがあるよう構成され、且つ／又は
   前記第１接続部（１１０．５）及び／又は前記第２接続部（１１０．６）は、少なくとも部分毎に径方向に対して垂直な平面内に実質的に延びる光学配置構成。
4. 請求項２又は３に記載の光学配置構成において、
   前記第１接続部（１１０．５）及び前記第２接続部（１１０．６）は、相互に実質的に平行に延び、且つ／又は
   前記第１接続部（１１０．５）及び前記第２接続部（１１０．６）は、径方向に相互に離間し、且つ／又は
   前記第１接続部（１１０．５）及び前記第２接続部（１１０．６）は、径方向に少なくとも実質的に相互に整列し、且つ／又は
   前記第１接続部（１１０．５）及び前記第２接続部（１１０．６）は、相互に対して引き締められる前記クランプ要素（１１０．３、１１０．４）を径方向と実質的に平行に案内するよう構成された平行ガイド式に構成される光学配置構成。
5. 請求項１～４のいずれか１項に記載の光学配置構成において、
   前記第１クランプユニット（１１０．３、１１０．５）及び前記第２クランプユニット（１１０．４、１１０．６）、特に前記第１クランプユニットの第１クランプ要素（１１０．３）及び前記第２クランプユニットの第２クランプ要素（１１０．４）は、クランプ接続を成立させるために、テンション要素（１１１）により相互に対して引き締められ、特に、
   前記テンション要素（１１１）は、特に遊びを持って前記境界部（１０９．３）の凹部（１０９．４）を貫通する光学配置構成。
6. 請求項５に記載の光学配置構成において、
   前記テンション要素（１１１）は、引締めを成立させるために前記クランプ要素（１１０．３、１１０．４）の一方に螺入されるねじ部（１１１．１）を含み、特に、
   前記クランプ要素（１１０．３、１１０．４）の前記一方は、接続部（１１０．５、１１０．６）を介して前記ベース要素（１１０．１）に接続され、前記接続部（１１０．５、１１０．６）は、前記ねじ部（１１１．１）の長手方向軸と実質的に平行に延びる軸周りの回転自由度を制限するように構成される光学配置構成。
7. 請求項１～６のいずれか１項に記載の光学配置構成において、
   前記光学素子（１０９）は、前記各保持ユニット（１１０．２）とのクランプ接続を成立させるために、各境界部（１０９．３）を含み、特に、
   前記光学素子（１０９）の前記境界部（１０９．３）は、前記保持ユニット（１１０．２）の２つのクランプ要素（１１０．３、１１０．４）間にクランプされ、且つ／又は
   前記境界部（１０９．３）の１つは、第１保持ユニット（１１０．２）と組み合わせ可能だが第２保持ユニット（１１０．２）とは組み合わせ可能でないよう構成される光学配置構成。
8. 請求項７に記載の光学配置構成において、
   前記光学素子（１０９）の前記境界部（１０９．３）は、前記光学素子（１０９）の突出部（１０９．５）により形成され、特に、
   複数の前記境界部（１０９．３）が、前記光学素子（１０９）の共通の突出部（１０９．５）に形成され、且つ／又は
   全部の前記境界部（１０９．３）が、前記光学素子（１０９）のリング状の突出部（１０９．５）に形成され、且つ／又は
   前記光学素子（１０９）の前記突出部（１０９．５）は、周方向に且つ／又は周方向及び径方向により規定される平面に対して垂直な方向に延びる光学配置構成。
9. 請求項７又は８に記載の光学配置構成において、
   前記各境界部（１０９．３）は、前記光学素子（１０９）に接続された境界要素（１０９．６）により形成され、特に、
   前記境界要素（１０９．６）は、前記光学素子（１０９）の凹部（１０９．８）に挿入され、特に、前記光学素子（１０９）の突出部（１０９．５）の凹部（１０９．８）に挿入され、且つ／又は
   前記境界要素（１０９．６）は、コネクタブッシュ（１０９．６）、特にカラー（１０９．７）を有するコネクタブッシュを含む光学配置構成。
10. 請求項９に記載の光学配置構成において、
    前記光学素子（１０９）は、少なくとも前記突出部（１０９．５）の領域が、特にＳｉＳｉＣを含むセラミック材料から製造され、且つ／又はＺｅｒｏｄｕｒを含む材料及び／又はレンズ材料から製造され、且つ／又は
    前記境界要素（１０９．６）は、インバー及び／又はステンレス鋼及び／又はモリブデンを含む材料から特に製造される光学配置構成。
11. 請求項１～１０のいずれか１項に記載の光学配置構成において、
    前記光学面は、反射光学面であり、
    前記光学面は、前記光学素子（１０９）の本体（１０９．２）に配置され、且つ
    前記本体（１０９．２）は、前記光学面とは反対側に少なくとも１つの突出部（１０９．５）を含み、該突出部は、前記保持ユニット（１１０．２）の少なくとも１つに対する境界部（１０９．３）を形成する光学配置構成。
12. 請求項１～１１のいずれか１項に記載の光学配置構成において、
    前記ベース要素（１１．１）は、リング状であり、且つ／又は
    前記ベース要素（１１０．１）は、該ベース要素（１１０．１）の主延在平面を規定し、前記保持ユニット（１１０．２）の少なくとも１つは、前記ベース要素（１１０．１）の前記主延在平面に対して実質的に垂直に前記ベース要素（１１０．１）から突出し、特に複数の又は全部の前記保持ユニット（１１０．２）は、前記ベース要素（１１０．１）の前記主延在平面に対して実質的に垂直に前記ベース要素（１１０．１）から突出し、且つ／又は
    前記ベース要素（１１０．１）は、前記保持ユニット（１１０．２）の少なくとも１つとモノリシックに構成される光学配置構成。
13. 請求項１～１２のいずれか１項に記載の光学配置構成において、
    ６個以上、好ましくは９個以上、さらに好ましくは１８個～３６個の保持ユニット（１１０．２）が設けられ、且つ／又は
    前記保持ユニット（１１０．２）は、周方向に沿って実質的に均等な分布で配置される光学配置構成。
14. 特にマイクロリソグラフィ用の光学結像装置であって、
    第１光学素子群（１０６）を含む照明装置（１０２）と、
    物体（１０４．１）を収容する物体装置（１０４）と、
    第２光学素子群（１０７）を含む投影装置（１０３）と、
    画像装置（１０５）と
    を備え、前記照明装置（１０２）は前記物体（１０４．１）を照明するよう構成され、且つ
    前記投影装置（１０３）は前記物体（１０３．１）の像を前記画像装置（１０５）に投影するよう構成される光学結像装置において、
    前記照明装置（１０２）及び／又は前記投影装置（１０３）は、請求項１～１３のいずれか１項に記載の少なくとも１つの光学配置構成（１０８）を含むことを特徴とする光学結像装置。
15. 特に極ＵＶ（ＥＵＶ）域の光を用いるための、マイクロリソグラフィ用の光学素子（１０９）を支持する方法であって、
    前記光学素子（１０９）は、保持装置（１１０）により保持され、前記光学素子（１０９）は、光学面を含み且つ主延在平面を規定し、該主延在平面で径方向及び周方向を規定し、
    前記光学素子（１０９）は、前記保持装置（１１０）の４つ以上の別個の保持ユニット（１１０．２）により前記保持装置（１１０）のベース要素（１１０．１）に対して保持され、前記保持ユニットは、周方向に沿って分配され且つ相互に離間するように配置される方法において、
    各保持ユニット（１１０．２）は、前記光学素子（１０９）と前記ベース要素（１１０．１）との間に他の前記保持ユニット（１１０．２）のクランプ接続とは別個のクランプ接続を成立させ、
    前記保持ユニット（１１０．２）の少なくとも１つ、好ましくは各保持ユニット（１１０．２）は、第１クランプユニット（１１０．３、１１０．５）及び該第１クランプユニット（１１０．３、１１０．５）とは別個の第２クランプユニット（１１０．４、１１０．６）を含み、
    第１クランプユニット（１１０．３、１１０．５）及び前記第２クランプユニット（１１０．４、１１０．６）は、それぞれ別個の場所で前記ベース要素（１１０．１）に接続され、
    前記第１クランプユニット（１１０．３、１１０．５）及び前記第２クランプユニット（１１０．４、１１０．６）は、クランプ接続を成立させるために相互に対して引き締められ、且つ
    前記光学素子（１０９）の境界部（１０９．３）が、前記第１クランプユニット（１１０．３、１１０．５）と前記第２クランプユニット（１１０．４、１１０．６）との間にクランプされることを特徴とする方法。
16. 請求項１５に記載の方法において、
    前記保持装置（１１０）の３つの保持ユニット（１１０．２）と前記光学素子（１０９）との間の各クランプ接続は、前記光学素子（１０９）が前記ベース要素（１１０．１）に対して空間的に固定されるように第１ステップで成立し、
    前記保持装置（１１０）の残りの保持ユニット（１１０．２）と前記光学素子（１０９）との間の各クランプ接続は、前記第１ステップの次の第２ステップで成立する方法。
17. 特に極ＵＶ（ＥＵＶ）域の光を用いるための、マイクロリソグラフィ用の結像装置の光学配置構成であって、
    光学素子（１０９）と、
    該光学素子（１０９）を保持する保持装置（１１０）と
    を備え、前記光学素子（１０９）は、光学面（１０９．１）を含み且つ主延在平面を規定し、該主延在平面で径方向及び周方向を規定し、
    前記保持装置（１１０）は、ベース要素（１１０．１）及び４つ以上の別個の保持ユニット（１１０．２）を含み、
    該保持ユニット（１１０．２）は、前記ベース要素（１１０．１）に接続され、周方向に沿って分配され且つ相互に離間するように配置され、
    前記保持ユニット（１１０．２）は、前記ベース要素（１１０．１）に対して前記光学素子（１０９）を保持する、光学配置構成において、
    前記保持ユニット（１１０．２）のそれぞれは、前記光学素子（１０９）と前記ベース要素（１１０．１）との間に他の前記保持ユニット（１１０．２）のクランプ接続とは別個のクランプ接続を成立させることを特徴とする光学配置構成。
18. 請求項１７に記載の光学配置構成において、
    前記保持ユニット（１１０．２）の少なくとも１つ、好ましくは各保持ユニット（１１０．２）は、第１クランプ要素（１１０．３）及び第２クランプ要素（１１０．４）を含み、
    前記第１クランプ要素（１１０．３）及び前記第２クランプ要素（１１０．４）は、クランプ接続を成立させるために相互に対して引き締められ、且つ
    前記光学素子（１０９）の境界部（１０９．３）が、前記第１クランプ要素（１１０．３）と前記第２クランプ要素（１１０．４）との間にクランプされる光学配置構成。
19. 請求項１８に記載の光学配置構成において、
    第１クランプ要素（１１０．３）及び第２クランプ要素（１１０．４）は、クランプ接続を成立させるために、テンション要素（１１１）により相互に対して引き締められ、特に、
    前記テンション要素（１１１）は、特に遊びを持って前記境界部（１０９．３）の凹部（１０９．４）を貫通する光学配置構成。
20. 請求項１９に記載の光学配置構成において、
    前記テンション要素（１１１）は、引締めを成立させるために前記クランプ要素（１１０．３、１１０．４）の一方に螺入されるねじ部（１１１．１）を含み、特に、
    前記クランプ要素（１１０．３、１１０．４）の少なくとも一方は、接続部（１１０．５、１１０．６）を介して前記ベース要素（１１０．１）に接続され、前記接続部（１１０．５、１１０．６）は、前記ねじ部（１１１．１）の長手方向軸と実質的に平行に延びる軸周りの回転自由度を制限するように構成される光学配置構成。
21. 請求項１８～２０のいずれか１項に記載の光学配置構成において、
    前記第１クランプ要素（１１０．３）は、接続部（１１０．５；１１０．７）を介して前記ベース要素（１１０．１）に接続され、且つ／又は
    前記第２クランプ要素（１１０．４）は、接続部（１１０．６；１１０．７）を介して前記ベース要素（１１０．１）に接続される光学配置構成。
22. 請求項２１に記載の光学配置構成において、
    前記接続部（１１０．５、１１０．６；１１０．７）は、少なくとも部分毎に板ばね式に構成され、且つ／又は
    前記接続部（１１０．５、１１０．６；１１０．７）は、径方向にコンプライアンスがあるよう構成され、且つ／又は
    前記接続部（１１０．５、１１０．６；１１０．７）は、少なくとも部分毎に径方向に対して垂直な平面内に実質的に延びる光学配置構成。
23. 請求項２１又は２２に記載の光学配置構成において、
    前記第１クランプ要素（１１０．３）は、第１接続部（１１０．５）を介して前記ベース要素（１１０．１）に接続され、前記第２クランプ要素（１１０．４）は、第２接続部（１１０．６）を介して前記ベース要素（１１０．１）に接続され、特に、
    前記第１接続部（１１０．５）及び前記第２接続部（１１０．６）は、相互に実質的に平行に延び、且つ／又は
    前記第１接続部（１１０．５）及び前記第２接続部（１１０．６）は、径方向に相互に離間し、且つ／又は
    前記第１接続部（１１０．５）及び前記第２接続部（１１０．６）は、径方向に少なくとも実質的に相互に整列し、且つ／又は
    前記第１接続部（１１０．５）及び前記第２接続部（１１０．６）は、相互に対して引き締められる前記クランプ要素（１１０．３、１１０．４）を径方向と実質的に平行に案内するよう構成された平行ガイド式に構成され、且つ／又は
    前記第１クランプ要素（１１０．３）及び前記第１接続部（１１０．５）は、第１場所で前記ベース要素（１１０．１）に接続された第１クランプユニットを形成し、前記第２クランプ要素（１１０．４）及び前記第２接続部（１１０．６）は、特に前記第１場所とは異なる第２場所で前記ベース要素（１１０．１）に接続された第２クランプユニットを形成する光学配置構成。
24. 請求項１７～２３のいずれか１項に記載の光学配置構成において、
    前記光学素子（１０９）は、前記各保持ユニット（１１０．２）とのクランプ接続を成立させるために、各境界部（１０９．３）を含み、特に、
    前記光学素子（１０９）の前記境界部（１０９．３）は、前記保持ユニット（１１０．２）の２つのクランプ要素（１１０．３、１１０．４）間にクランプされ、且つ／又は
    前記境界部（１０９．３）の１つは、第１保持ユニット（１１０．２）と組み合わせ可能だが第２保持ユニット（１１０．２）とは組み合わせ可能でないよう構成される光学配置構成。
25. 請求項２４に記載の光学配置構成において、
    前記光学素子（１０９）の前記境界部（１０９．３）は、前記光学素子（１０９）の突出部（１０９．５）により形成され、特に、
    複数の前記境界部（１０９．３）が、前記光学素子（１０９）の共通の突出部（１０９．５）に形成され、且つ／又は
    全部の前記境界部（１０９．３）が、前記光学素子（１０９）のリング状の突出部（１０９．５）に形成され、且つ／又は
    前記光学素子（１０９）の前記突出部（１０９．５）は、周方向に且つ／又は周方向及び径方向により規定される平面に対して垂直な方向に延びる光学配置構成。
26. 請求項２４又は２５に記載の光学配置構成において、
    前記各境界部（１０９．３）は、前記光学素子（１０９）に接続された境界要素（１０９．６）により形成され、特に、
    前記境界要素（１０９．６）は、前記光学素子（１０９）の凹部（１０９．８）に挿入され、特に、前記光学素子（１０９）の突出部（１０９．５）の凹部（１０９．８）に挿入され、且つ／又は
    前記境界要素（１０９．６）は、コネクタブッシュ（１０９．６）、特にカラー（１０９．７）を有するコネクタブッシュを含む光学配置構成。
27. 請求項２６に記載の光学配置構成において、
    前記光学素子（１０９）は、少なくとも前記突出部（１０９．５）の領域が、特にＳｉＳｉＣを含むセラミック材料から製造され、且つ／又はＺｅｒｏｄｕｒを含む材料及び／又はレンズ材料から製造され、且つ／又は
    前記境界要素（１０９．６）は、インバー及び／又はステンレス鋼及び／又はモリブデンを含む材料から特に製造される光学配置構成。
28. 請求項１７～２７のいずれか１項に記載の光学配置構成において、
    前記光学面は、反射光学面であり、
    前記光学面は、前記光学素子（１０９）の本体（１０９．２）に配置され、且つ
    前記本体（１０９．２）は、前記光学面とは反対側に少なくとも１つの突出部（１０９．５）を含み、該突出部は、前記保持ユニット（１１０．２）の少なくとも１つに対する境界部（１０９．３）を形成する光学配置構成。
29. 請求項１７～２８のいずれか１項に記載の光学配置構成において、
    前記ベース要素（１１．１）は、リング状であり、且つ／又は
    前記ベース要素（１１０．１）は、該ベース要素（１１０．１）の主延在平面を規定し、前記保持ユニット（１１０．２）の少なくとも１つは、前記ベース要素（１１０．１）の前記主延在平面に対して実質的に垂直に前記ベース要素（１１０．１）から突出し、特に複数の又は全部の前記保持ユニット（１１０．２）は、前記ベース要素（１１０．１）の前記主延在平面に対して実質的に垂直に前記ベース要素（１１０．１）から突出し、且つ／又は
    前記ベース要素（１１０．１）は、前記保持ユニット（１１０．２）の少なくとも１つとモノリシックに構成される光学配置構成。
30. 請求項１７～２９のいずれか１項に記載の光学配置構成において、
    ６個以上、好ましくは９個以上、さらに好ましくは１８個～３６個の保持ユニット（１１０．２）が設けられ、且つ／又は
    前記保持ユニット（１１０．２）は、周方向に沿って実質的に均等な分布で配置される光学配置構成。
31. 特にマイクロリソグラフィ用の光学結像装置であって、
    第１光学素子群（１０６）を含む照明装置（１０２）と、
    物体（１０４．１）を収容する物体装置（１０４）と、
    第２光学素子群（１０７）を含む投影装置（１０３）と、
    画像装置（１０５）と
    を備え、前記照明装置（１０２）は前記物体（１０４．１）を照明するよう構成され、且つ
    前記投影装置（１０３）は前記物体（１０３．１）の像を前記画像装置（１０５）に投影するよう構成される光学結像装置において、
    前記照明装置（１０２）及び／又は前記投影装置（１０３）は、請求項１７～３０のいずれか１項に記載の光学配置構成（１０８）を少なくとも１つ含むことを特徴とする光学結像装置。
32. 特に極ＵＶ（ＥＵＶ）域の光を用いるための、マイクロリソグラフィ用の光学素子（１０９）を支持する方法であって、
    前記光学素子（１０９）は、保持装置（１１０）により保持され、前記光学素子（１０９）は、光学面を含み且つ主延在平面を規定し、該主延在平面で径方向及び周方向を規定し、
    前記光学素子（１０９）は、前記保持装置（１１０）の４つ以上の別個の保持ユニット（１１０．２）により前記保持装置（１１０）のベース要素（１１０．１）に対して保持され、前記保持ユニットは、周方向に沿って分配され且つ相互に離間するように配置される方法において、
    各保持ユニット（１１０．２）は、前記光学素子（１０９）と前記ベース要素（１１０．１）との間に他の前記保持ユニット（１１０．２）のクランプ接続とは別個のクランプ接続を成立させることを特徴とする方法。
33. 請求項３２に記載の方法において、
    前記保持装置（１１０）の３つの保持ユニット（１１０．２）と前記光学素子（１０９）との間の各クランプ接続は、前記光学素子（１０９）が前記ベース要素（１１０．１）に対して空間的に固定されるように第１ステップで成立し、
    前記保持装置（１１０）の残りの保持ユニット（１１０．２）と前記光学素子（１０９）との間の各クランプ接続は、前記第１ステップの次の第２ステップで成立する方法。

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