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Die Erfindung betrifft eine Spiegelanordnung, insbesondere zum Einsatz in einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage. Insbesondere betrifft die Erfindung einen Facettenspiegel einer Beleuchtungseinrichtung einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage.
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Mikrolithographie wird zur Herstellung mikrostrukturierter Bauelemente, wie beispielsweise integrierter Schaltkreise oder LCD’s, angewendet. Der Mikrolithographieprozess wird in einer sogenannten Projektionsbelichtungsanlage durchgeführt, welche eine Beleuchtungseinrichtung und ein Projektionsobjektiv aufweist. Das Bild einer mittels der Beleuchtungseinrichtung beleuchteten Maske (= Retikel) wird hierbei mittels des Projektionsobjektivs auf ein mit einer lichtempfindlichen Schicht (Photoresist) beschichtetes und in der Bildebene des Projektionsobjektivs angeordnetes Substrat (z.B. ein Siliziumwafer) projiziert, um die Maskenstruktur auf die lichtempfindliche Beschichtung des Substrats zu übertragen.
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In für den EUV-Bereich ausgelegten Projektionsobjektiven, d.h. bei Wellenlängen von z.B. etwa 13 nm oder etwa 7 nm, werden mangels Verfügbarkeit geeigneter lichtdurchlässiger refraktiver Materialien Spiegel als optische Komponenten für den Abbildungsprozess verwendet.
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In der Beleuchtungseinrichtung einer für den Betrieb im EUV ausgelegten mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage ist der Einsatz von Facettenspiegeln in Form von Feldfacettenspiegeln und Pupillenfacettenspiegeln als bündelführende Komponenten z.B. aus
DE 10 2008 009 600 A1 bekannt. Derartige Facettenspiegel sind aus einer Vielzahl von Einzelspiegeln aufgebaut, welche jeweils zum Zwecke der Justage oder auch zur Realisierung bestimmter Beleuchtungswinkelverteilungen über Festkörpergelenke kippbar ausgelegt sind.
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Nach Einstellung der jeweiligen Kippwinkel der Einzelspiegel werden diese in der entsprechenden Position fixiert, um die aktuelle Position bzw. Justage quasi „einzufrieren“. Dabei besteht in der Praxis ein Bedarf, diese Fixierung zum einen im Hinblick auf die typischerweise recht hohe Anzahl von Einzelspiegel (die z.B. 100 oder mehr betragen kann) im Hinblick auf die Prozessoptimierung in möglichst großer Geschwindigkeit und zum anderen auch insofern mit hinreichender Stabilität durchzuführen, als die erreichte Justageposition bis zu einer erneuten Justage bzw. einer weiteren gezielten Veränderung der Kippwinkel zuverlässig beibehalten werden soll.
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Vor dem obigen Hintergrund ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Spiegelanordnung mit einer Mehrzahl von Einzelspiegeln, insbesondere zum Einsatz in einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, bereitzustellen, welche eine schnelle sowie stabile Justage der Spiegelelemente ermöglicht.
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Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des unabhängigen Patentanspruchs 1 gelöst.
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Eine Spiegelanordnung, insbesondere zum Einsatz in einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, weist auf:
- – eine Mehrzahl von Einzelspiegeln;
- – einen Träger für diese Einzelspiegel;
- – eine Mehrzahl von Festkörpergelenken, wobei jeder Einzelspiegel über eines dieser Festkörpergelenke um mindestens eine Kippachse verkippbar ist; und
- – eine Mehrzahl von Fixierelementen, wobei jeder Einzelspiegel in seiner über das jeweilige Festkörpergelenk eingestellten Kippstellung über eines dieser Fixierelemente fixierbar ist;
- – wobei die Fixierelemente und die Festkörpergelenke auf einander entgegengesetzten Seiten des Trägers angeordnet sind.
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Der Erfindung liegt insbesondere das Konzept zugrunde, bei einer Spiegelanordnung mit einer Mehrzahl von jeweils über Festkörpergelenke verkippbaren Einzelspiegeln eine Justierung dieser Einzelspiegel insofern spannungsfrei vorzunehmen, als die eigentliche Halterung der Spiegelelemente von der Justage sowie der Fixierung dieser Justage funktionell getrennt wird, was im Ergebnis bei der Justage und deren Fixierung ein im Wesentlichen reibungsfreies Arbeiten ermöglicht. Im Unterschied zu herkömmlichen Ansätzen liegt bei der Erfindung während bzw. im Bereich der Justage insbesondere kein vorgespanntes System vor, da die einzelnen Spiegelelemente während der Justage bzw. Fixierung bereits – auf der entgegengesetzten Seite des Trägers – fest eingespannt sind, wobei über die Fixierelemente lediglich noch die „Winkelfixierung“, d.h. die Fixierung der für die Einzelspiegel jeweils bei der Justage eingestellten Kippwinkel, zu erfolgen braucht.
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Infolgedessen hat auch die Justage nicht unter Reibungsbedingungen zu erfolgen, sondern kann reibungsfrei vorgenommen werden. Dies hat wiederum zur Folge, dass etwa unerwünschte „Slip-Stick-Effekte“ (d.h. ein unter Reibungsbedingungen gegebenenfalls auftretendes Ruckgleiten) der während der Justage relativ zueinander verstellten Komponenten vermieden werden können.
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Die erfindungsgemäße Anordnung hat weiter den Vorteil, dass eine Mobilität im Bereich der Festkörpergelenke (wie sie etwa zum Ausgleich thermischer Effekte in der zur optischen Wirkfläche der Einzelspiegel senkrechter Richtung, im Weiteren der z-Richtung bereitgestellt werden kann) an einer anderen Position als dem Ort der Fixierung der Justierstellung realisiert werden kann. Mit anderen Worten wird die Fixierung (die wie im Weiteren erläutert z.B. durch eine Schweiß-, Klebe- oder Klemmverbindung erfolgen kann) dort vorgenommen, wo gerade keine Mobilität in z-Richtung vorliegt. Insofern haben etwa im Falle der Fixierung der Kippstellungen der Einzelspiegel mittels einer Klebeverbindung auftretende Klebereffekte wie z.B. Kleberschrumpfen keine Störungen in der Positionseinstellung der Einzelspiegel zur Folge.
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Gemäß einer Ausführungsform ist jedem Einzelspiegel zur Verkippung ein Justagestift zugeordnet, welcher zur Fixierung der jeweils eingestellten Kippstellung auf der dem jeweiligen Festkörpergelenk entgegengesetzten Seiten des Trägers fixierbar ist. Der Justagestift kann mit dem zugehörigen Einzelspiegel, insbesondere über eine Schraubverbindung, lösbar verbunden sein.
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Gemäß einer Ausführungsform erfolgt die Fixierung über die Fixierelemente mittels einer Schweißverbindung. Dabei kann die Schweißverbindung insbesondere zwischen dem jeweiligen Fixierelement und einem zwischen Träger und Fixierelement angeordneten Einsatzstück erfolgen. Dieses Einsatzstück kann mit dem Träger, insbesondere über eine Schraubverbindung, lösbar verbunden sein. Die Verwendung eines solchen Einsatzstückes hat den Vorteil, dass ein nachträgliches Verändern der Justage und das hierzu erforderliche Lösen der Schweißverbindung wesentlich vereinfacht wird, da die Schweißverbindung nicht unmittelbar an dem Träger für die Einzelspiegel ausgebildet und von diesem gelöst werden muss, sondern lediglich das jeweilige Einsatzstück aus dem Träger herausgeschraubt und gegen ein anderes ausgetauscht werden muss.
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In weiteren Ausführungsformen kann die Fixierung über die Fixierelemente auch mittels einer Klebeverbindung erfolgen. Auch hierbei kann wie vorstehend beschrieben ein Einsatzstück in analoger Weise verwendet werden. In weiteren Ausführungsformen kann die Fixierung auch mittels einer Klemmverbindung erfolgen.
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Im Falle der Realisierung der erfindungsgemäßen Fixierung über eine Klemmverbindung kann jedem Fixierelement ein Federelement sowie wenigstens ein Betätigungselement zugeordnet sein, wobei über das Betätigungselement eine von dem Federelement auf das Fixierelement ausgeübte mechanische Spannung vorübergehend lösbar ist. Auf diese Weise kann wiederum während der Justage das Fixierelement bzw. der mit diesem Fixierelement fest verbundene Justagestift in einem spannungsfreien Zustand gehalten werden. Dabei ist vorzugsweise das jeweilige Federelement auf der dem entsprechenden Festkörpergelenk entgegengesetzten Seite des Trägers angeordnet.
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Die erfindungsgemäße Spiegelanordnung kann insbesondere ein Facettenspiegel, insbesondere ein Pupillenfacettenspiegel einer Beleuchtungseinrichtung einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, sein.
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Die Erfindung betrifft ferner ein optisches System, insbesondere eine Beleuchtungseinrichtung, einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, wobei das optische System eine erfindungsgemäße Spiegelanordnung mit den vorstehend beschriebenen Merkmalen aufweist. Des Weiteren betrifft die Erfindung auch eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage, insbesondere für die EUV-Lithographie, mit einem solchen optischen System.
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Die Erfindung betrifft ferner auch ein Verfahren zum Justieren einer Spiegelanordnung, wobei die Spiegelanordnung eine Mehrzahl von jeweils über ein Festkörpergelenk um mindestens eine Kippachse verkippbaren Einzelspiegeln und einen Träger für diese Einzelspiegel aufweist, mit folgenden Schritten:
- – Einstellen, für jeden der Einzelspiegel, jeweils einer Kippstellung über das jeweilige Festkörpergelenk; und
- – Fixieren der Einzelspiegel in ihrer jeweiligen Kippstellung;
- – wobei dieses Fixieren auf der bezogen auf das jeweilige Festkörpergelenk entgegengesetzten Seite des Trägers erfolgt.
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Zu bevorzugten Ausgestaltungen sowie Vorteilen des Verfahrens wird auf die vorstehenden Ausführungen im Zusammenhang mit der erfindungsgemäßen Spiegelanordnung Bezug genommen.
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Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind der Beschreibung sowie den Unteransprüchen zu entnehmen.
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Die Erfindung wird nachstehend anhand von in den beigefügten Abbildungen dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert.
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Es zeigen:
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1–5 schematische Darstellungen zur Erläuterung diverser Ausführungsformen der Erfindung; und
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6 eine schematische Darstellung des Aufbaus einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, in welcher die Erfindung realisierbar ist.
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Im Weiteren wird der Aufbau einer erfindungsgemäßen Spiegelanordnung anhand einer Ausführungsform unter Bezugnahme auf die schematischen Darstellungen in 1–3 beschrieben. Hierbei zeigt 1 eine schematische Querschnittsansicht und 2 eine perspektivische Ansicht eines Ausschnitts der Anordnung (unter Weglassung der Einzelspiegel).
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Wie am besten aus 1 ersichtlich ist, weist eine erfindungsgemäße Spiegelanordnung eine Mehrzahl von Einzelspiegeln 101, 102, 103, 104, ... auf, welche jeweils über ein zugeordnetes Festkörpergelenk 151, 152, 153, 154, ... um mindestens eine Kippachse (im Ausführungsbeispiel um zwei zueinander senkrechte Kippachsen) verkippbar sind. Die Festkörpergelenke 151, 152, 153, 154, ... sind im dargestellten Ausführungsbeispiel in ein gemeinsames (z.B. als Gelenkplatte ausgebildetes) Bauteil integriert, können jedoch in weiteren Ausführungsformen auch als separate Bauteile ausgeführt sein. Die Festkörpergelenke 151, 152, 153, 154, ... sind ferner im konkreten Ausführungsbeispiel derart ausgestattet, dass zusätzlich zu der Aktuierbarkeit in zwei rotatorischen Freiheitsgraden (entsprechend einer Drehung um die x- bzw. y-Achse, d.h. den Freiheitsgraden Rx und Ry) eine Aktuierbarkeit in einem translatorischen Freiheitsgrad (entsprechend einer Verschiebbarkeit entlang der z-Achse) bereitgestellt wird.
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Wie in 2 angedeutet ist im Ausführungsbeispiel jedes Festkörpergelenk 151, 152, 153, 154, ... hierzu mit drei in bezogen auf die z-Achse tangentialer Richtung verlaufenden, flügelartig ausgeschnittenen Abschnitten ausgebildet und als Blattfedergelenk hergestellt. Während durch die Freiheitsgrade Rx und Ry die z.B. zu Justagezwecken benötigte Verkippbarkeit der Einzelspiegel gewährleistet ist, kann durch den zusätzlichen translatorischen Freiheitsgrad in z-Richtung eine im Betrieb auftretende thermische Ausdehnung (z.B. eine Längenausdehnung) eines in 1 gezeigten und u.a. zur Aktuierung des betreffenden Einzelspiegels 102 dienenden Stifts bzw. Stössels 142 aufgefangen werden.
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Unter erneuter Bezugnahme auf 1 sind die betreffenden, den Einzelspiegeln 101, 102, 103, 104, ... zugeordneten Stifte bzw. Stössel (von denen nur der Stift bzw. Stössel 142 zu sehen ist) jeweils innerhalb eines rohr- bzw. hülsenförmigen Elements 131, 132, 133, ... angeordnet und in den (jeweils mit einem Gewinde versehenen) Spiegelkörper des jeweils zugeordneten Einzelspiegels 101, 102, 103, ... (gemäß 1 mittels eines stirnseitig vorgesehenen Gewindestifts 142a) eingeschraubt.
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Die im Ausführungsbeispiel das gemeinsame Bauteil zur Integration der Festkörpergelenke 151, 152, 153, 154, ... bildende Gelenkplatte 150 ist, wie am besten aus 1 ersichtlich, über eine Klemmverbindung mit den Einzelspiegeln 101, 102, 103, 104, ... lösbar verbunden. Konkret erfolgt diese Klemmung der Gelenkplatte 150 im Ausführungsbeispiel zwischen den Einzelspiegeln 101, 102, 103, 104, ... einerseits und einem Träger 110 andererseits, wobei dieser Träger 110 wiederum im Ausführungsbeispiel eine Komponente eines (aus dem Träger 110 sowie einer weiteren Kühlplatte 120 gebildeten) Kühlers zur Kühlung der Spiegelanordnung bildet. Das zur Kühlung verwendete Kühlfluid fließt innerhalb dieses Kühlers im Bereich zwischen den rohr- bzw. hülsenförmigen Elementen 131, 132, 133, ..., wobei diese rohrförmigen Elemente 131, 132, 133, ... wie bereits beschrieben jeweils in ihrem Inneren einen der in den jeweiligen Einzelspiegel 101, 102, 103, 104, ... eingeschraubten Stifte (z.B. den Stift 142 in 1) aufnehmen und wobei diese Stifte ihrerseits über auf der Unterseite bzw. auf der den Einzelspiegeln 101, 102, 103, 104, ... abgewandten Seite der unteren Kühlerplatte 120 befindliche Fixierelemente 171, 172, 173, ... z.B. in Form von Schrauben fixiert sind. Die Erfindung ist jedoch auf das Vorhandensein einer solchen Kühlung nicht beschränkt, so dass in weiteren Ausführungsformen – und wie in den weiteren 3–5 der Einfachheit halber dargestellt – auch eine einteiliger Träger etwa in Form einer Trägerplatte vorgesehen sein kann.
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Die Verbindung zwischen der Gelenkplatte 150 und dem Träger 110 ist im Ausführungsbeispiel als flächige Verbindung insbesondere durch Löten oder Schweißen (z.B. Diffusions- oder Laserschweißen mit einer Vielzahl von Schweißpunkten) realisiert. Wie aus 1 ersichtlich, ist ferner die Gelenkplatte 150 im Bereich unterhalb des Randabschnitts jedes Einzelspiegels jeweils mit einer Aussparung 160 in Form einer Ausbohrung versehen, welche bewirkt, dass die Gelenkplatte 150 in diesem Bereicht über ein zur Justage benötigtes Spiel verfügt. Hierdurch wird dem Umstand Rechnung getragen, dass der Drehpunkt des jeweiligen Festkörpergelenks 151, 152, 153, 154, ... auf der Elementachse der jeweiligen Einzelspiegels 101, 102, 103, 104, ... liegt, so dass das Festkörpergelenk 151, 152, 153, 154, ... sich während der Justage auf seiner einen Seite etwas nach oben und auf seiner anderen Seite etwas nach unten bewegt, was durch die Aussparung 160 zugelassen wird.
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Ohne dass die Erfindung hierauf beschränkt wäre, können beispielhafte Abmessungen der in 1 und 2 gezeigten Anordnungen etwa wie folgt realisiert sein: Bei einem beispielhaften Abstand der jeweiligen Achsen der Einzelspiegel 101, 102, 103, 104, ... in der Größenordnung von einigen Millimetern (z.B. 5 mm) können die Festkörpergelenke 151, 152, 153, 154, ... etwa mit einem Außendurchmesser der jeweiligen Blattfedergelenke von ca. 4 mm bei einer Dicke der Gelenkplatte von wenigen Zehntelmillimetern (z.B. 0.3 mm) realisiert sein. Als Material der Gelenkplatte 150 kann (ebenfalls ohne dass die Erfindung hierauf beschränkt wäre) z.B. ein Metall mit guter Wärmeleitfähigkeit wie etwa eine Kupferlegierung verwendet werden.
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Im Weiteren wird nun das erfindungsgemäße Konzept der Fixierung der Einzelspiegel in ihrer jeweiligen Kippstellung in unterschiedlichen Ausführungsformen und unter Bezugnahme auf 3–5 beschrieben. Dabei ist der Einfachheit halber jeweils nur ein Einzelspiegel sowie ein diesem zugeordnetes Festgelenk schematisch dargestellt, wobei ferner wie bereits erwähnt im Unterschied zu 1 und 2 gezeigt – und ohne dass die Erfindung hierauf beschränkt wäre – jeweils nur ein als einfache Trägerplatte ausgebildeter Träger vorhanden ist.
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Wie in 3 schematisch dargestellt ist ein Einzelspiegel 301 mit einem sich durch einen Träger 320 hindurch erstreckenden, der Aktuierung bzw. Justage dieses Einzelspiegels 301 dienenden Stift 341 über eine Schraubverbindung (d.h. durch Einschrauben des Stifts 341 in den Einzelspiegel 301) lösbar verbunden, wobei zwischen Träger 320 und Einzelspiegel 301 ein eine Verkippung des Einzelspiegels 301 um die x- bzw. y-Achse ermöglichendes, lediglich schematisch eingezeichnetes Festkörpergelenk 351 angeordnet ist.
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Wenngleich diese Anordnung der Einfachheit halber nur für einen Einzelspiegel 301 in 3 gezeigt ist, sind sämtliche Einzelspiegel der Spiegelanordnung in dieser Weise angeordnet und z.B. zur Justage unabhängig voneinander in eine gewünschte Kippstellung überführbar.
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Um nun die jeweilige Kippstellung für jeden der Einzelspiegel 301 nach Durchführung der Justage zu fixieren bzw. „einzufrieren“, erfolgt erfindungsgemäß eine Fixierung der Einzelspiegel 301 in der entsprechenden Kippstellung auf der zu dem zugehörigen Festkörpergelenk 351 entgegengesetzten Seite des Trägers 320. Die Fixierung selbst kann, wie im Weiteren erläutert, in unterschiedlicher Weise, insbesondere als Schweiß- (3), Klebe- (4) oder Klemmverbindung (5), erfolgen. Sämtliche dieser Ausführungen haben jedoch gemeinsam, dass die betreffende Fixierung nicht etwa auf der gleichen Seite wie die eigentliche Halterung der Einzelspiegel bzw. auf der Seite der den Einzelspiegeln zugeordneten Festkörpergelenken erfolgt, sondern auf der hierzu entgegengesetzten bzw. gegenüberliegenden Seite des Trägers mit der Folge, dass die Justage sowie deren erfindungsgemäße Fixierung spannungsfrei und somit ohne unerwünschten Einfluss von Reibungsbedingungen vorgenommen werden kann. Die nicht unter Reibungsbedingungen erfolgende Justage hat zur Folge, dass unerwünschte Slip-Stick-Effekte in Form eines unter Reibungsbedingungen gegebenenfalls auftretenden Ruckgleitens der bei der Justage verstellten Komponenten vermieden werden können. Da typischerweise die bei einer solchen Justage erforderliche Positioniergenauigkeit des Stifts 341 im Sub-μm-Bereich liegt, können solche Slip-Stick-Effekte anderenfalls eine signifikante Beeinträchtigung der Genauigkeit der Justage bzw. deren Fixierung zur Folge haben.
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Unter erneuter Bezugnahme auf 3 erfolgt die besagte Fixierung über eine Schweißverbindung. Hierzu ist in dem konkreten Ausführungsbeispiel an dem Stift 341 ein Fixierelement 371 vorgesehen, an welchem die Schweißstelle ausgebildet wird und welches z.B. aus Edelstahl hergestellt sein kann. Wenngleich in weiteren Ausführungsformen das Fixierelement auch direkt mit dem Träger 320 verschweißt werden kann, erfolgt gemäß 3 die Verschweißung des Fixierelements 371 nicht unmittelbar mit dem Träger 320, sondern mit einem mit diesem Träger 320 lösbar (im Ausführungsbeispiel durch Einschrauben in den Träger 320) verbundenen Einsatzstück 381, welches z.B. als Scheibe mit einem in den Träger 320 einschraubbaren Außengewinde und einem Durchgangsloch für den Stift 341 ausgebildet und z.B. ebenfalls aus Edelstahl hergestellt sein kann. Die Verwendung eines solchen Einsatzstückes 381 hat den Vorteil, dass ein nachträgliches Verändern der Justage und das hierzu erforderliche Lösen der Schweißverbindung wesentlich vereinfacht wird, da die Schweißverbindung nicht unmittelbar an dem Träger 320 für die Einzelspiegel 301, ... ausgebildet und von diesem gelöst werden muss, sondern lediglich das jeweilige Einsatzstück 381 aus dem Träger 320 herausgeschraubt und gegen ein anderes ausgetauscht werden muss.
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Die vorstehend beschriebene Verschweißung kann durch Laserschweißen erfolgen, wobei die Dauer dieser Verschweißung für jeden der Einzelspiegel 301, ... größenordnungsmäßig z.B. einige Millisekunden (ms) und somit bei schrittweiser Durchführung für die gesamte Spiegelanordnung je nach Anzahl der Einzelspiegel 301, ... z.B. einige Sekunden betragen kann.
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4 dient zur Erläuterung eines weiteren Ausführungsbeispiels der Erfindung, wobei zu 3 analoge bzw. im Wesentlichen funktionsgleiche Elemente mit um „100“ höheren Bezugsziffern bezeichnet sind. Gemäß 4 erfolgt die erfindungsgemäße Fixierung nicht über eine Schweißverbindung, sondern über eine Klebeverbindung, wozu in dem konkreten Ausführungsbeispiel das Fixierelement 471 mit einem zum Ausführungsbeispiel von 3 analogen und auch hier optionalen Einsatzstück 481 verklebt wird. Im konkreten Ausführungsbeispiel von 4 erfolgt ferner die Verklebung – ohne dass die Erfindung hierauf beschränkt wäre – über eine zwischen Einsatzstück 481 und Fixierelement 471 im Einsatzstück 481 vorgesehene Klebertasche 481a und/oder eine außenseitig am Kontaktbereich zwischen Einsatzstück 481 und Fixierelement 471 vorgesehene Kleberraupe 491, wobei das Fixierelement 471 wiederum beispielsweise aus Edelstahl hergestellt sein kann. In weiteren Ausführungsformen kann das Fixierelement auch aus Quarzglas (SiO2) hergestellt und z.B. unter Verwendung eines UV-härtenden Klebers verklebt werden.
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5 dient zur Erläuterung eines weiteren Ausführungsbeispiels der Erfindung, wobei zu 4 analoge bzw. im Wesentlichen funktionsgleiche Elemente mit um „100“ höheren Bezugsziffern bezeichnet sind. Gemäß 5 erfolgt die erfindungsgemäße Fixierung nicht über eine Schweiß- oder Klebeverbindung, sondern über eine Klemmverbindung.
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Gemäß 5 kann dabei eine auf das Fixierelement 571 wirkende, über ein Federelement 592 (z.B. in Form einer Spiralfeder, Tellerfeder o. dgl.) ausgeübte Vorspannung über zwei Betätigungselemente in Form von Stiften 595, die in der Abbildung in der x-y-Ebene nach links bzw. rechts aus einem mit entsprechenden Öffnungen versehenen Gegenstück 594 herausragen, vorübergehend gelöst werden. Das Federelement 592 kann über eine Betätigung der Stifte 595 komprimiert werden, indem die Stifte 595 jeweils so betätigt (z.B. im eingezeichneten Koordinatensystem um die y-Achse verdreht oder in z-Richtung angehoben) werden, dass sie das zwischen dem Träger 520 und einem Druckstück 593 befindliche Federelement 592 zusammendrücken, was zur Folge hat, dass das auf der dem Federelement 592 abgewandten Seite angeordnete Fixierelement 571 spannungsfrei wird. In diesem Zustand kann analog zu den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen und ohne Vorspannung eine Justage der Einzelspiegel 501, ... durchgeführt werden. Sobald diese Justage beendet ist, kann das Druckstück 593 durch Loslassen der Stifte 595 wieder auf dem Fixierelement 571 abgesetzt werden, um über die so wiederhergestellte Klemmverbindung die aktuelle, bei der Justage herbeigeführte Kippstellung der Einzelspiegel 501, ... analog zu den zuvor beschriebenen Ausführungsformen „einzufrieren“.
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Wenngleich die Erfindung vorstehend anhand eines Facettenspiegels (insbesondere eines Pupillenfacettenspiegels) als Ausführungsbeispiel beschrieben wurde, ist die Erfindung nicht hierauf beschränkt. So besteht eine weitere beispielhafte Realisierungsmöglichkeit auch in einer auch als „MMA“ bezeichneten Mikrospiegelanordnung (= Micro Mirror Array“), wie sie in einer Beleuchtungseinrichtung zur Erzeugung unterschiedlicher Beleuchtungssettings (d.h. Intensitätsverteilungen in einer Pupillenebene der Beleuchtungseinrichtung) verwendet wird und welche ebenfalls eine Vielzahl unabhängig voneinander verstellbarer Einzelspiegel aufweist. Eine solche Beleuchtungseinrichtung bzw. die zugehörige mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage kann auch für den Betrieb DUV oder VUV (d.h. bei Wellenlängen von z.B. ca. 248 nm, ca. 193 nm oder ca. 157 nm) ausgelegt sein.
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6 zeigt lediglich schematisch den Aufbau einer für den Betrieb im EUV ausgelegten mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, in welcher die vorliegende Erfindung realisierbar ist.
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Die in 6 dargestellte mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage 1 weist eine Beleuchtungseinrichtung 2 und ein Projektionsobjektiv 3 auf, wobei die Beleuchtungseinrichtung 2 eine Objektebene OP der Projektionsobjektives 3 beleuchtet. Das von einer Plasma-Strahlungsquelle 4 erzeugte EUV-Beleuchtungslicht gelangt über einen Kollektorspiegel 5 auf eine Zwischenfokusebene IMI und von dort über einen Feldfacettenspiegel 6 auf einen Pupillenfacettenspiegel 7, welcher gemäß den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen ausgestaltet sein. Von dem Pupillenfacettenspiegel 7 gelangt das Beleuchtungslicht über eine Übertragungsoptik aus Spiegeln 8–10 in die Objektebene OP des Projektionsobjektivs 3, in welcher eine abzubildende Strukturen aufweisende Maske (Retikel) angeordnet ist. Die Maskenstrukturen werden über das Projektionsobjektiv 3 auf die lichtempfindliche Beschichtung eines in der Bildebene IP des Projektionsobjektivs 3 befindlichen Substrats (Wafer) übertragen.
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Wenn die Erfindung auch anhand spezieller Ausführungsformen beschrieben wurde, erschließen sich für den Fachmann zahlreiche Variationen und alternative Ausführungsformen, z.B. durch Kombination und/oder Austausch von Merkmalen einzelner Ausführungsformen. Dementsprechend versteht es sich für den Fachmann, dass derartige Variationen und alternative Ausführungsformen von der vorliegenden Erfindung mit umfasst sind, und die Reichweite der Erfindung nur im Sinne der beigefügten Patentansprüche und deren Äquivalente beschränkt ist.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 102008009600 A1 [0004]
