JP2022188045A - 制御装置、露光装置及び物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】制御装置は、フィードバック制御系FCRとフィードフォワード制御系FCCWを有し、フィードフォワード制御系は、第1制御対象と第2制御対象のそれぞれに関するフィードバック制御が行われ、第1フィードフォワード制御及び第2フィードフォワード制御が行われていない状態で、第1制御対象に関する第1偏差を計測して得られる第1データを取得し、第1データに基づき第1フィードフォワード操作量を算出し、第1制御対象と第2制御対象のそれぞれに関するフィードバック制御が行われ、第1フィードフォワード操作量を用いて第1フィードフォワード制御が行われている状態で、第2制御対象に関する第2偏差を計測して得られる第2データを取得し、第2データに基づき第2フィードフォワード操作量を算出する算出器51を含む。
【選択図】図6
Description
算出器を含むことを特徴とする。
図1は、本発明の一側面としての露光装置1の構成を示す概略図である。露光装置1は、半導体デバイスなどの製造工程であるリソグラフィ工程に採用され、基板にパターンを形成するリソグラフィ装置である。露光装置1は、本実施形態では、ステップ・アンド・スキャン方式で基板を露光して、レチクルのパターンを基板に転写する。
本実施形態では、基板ステージ20の駆動軸の干渉関係を考慮してフィードフォワードテーブルを算出する場合について説明する。基板ステージ20は、複数の駆動軸を含む移動体であって、本実施形態では、図9に示すように、6つの駆動軸(駆動方向X、Y、Z、wX、wY、wX)を有する。
本発明の実施形態における物品の製造方法は、例えば、デバイス(半導体素子、磁気記憶媒体、液晶表示素子など)、カラーフィルタ、光学部品、MEMSなどの物品を製造するのに好適である。かかる製造方法は、上述した露光装置1を用いて感光剤が塗布された基板を露光する工程と、露光された感光剤を現像する工程とを含む。また、現像された感光剤のパターンをマスクとして基板に対してエッチング工程やイオン注入工程などを行い、基板上に回路パターンが形成される。これらの露光、現像、エッチングなどの工程を繰り返して、基板上に複数の層からなる回路パターンを形成する。後工程で、回路パターンが形成された基板に対してダイシング(加工)を行い、チップのマウンティング、ボンディング、検査工程を行う。また、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、レジスト剥離など)を含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性及び生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (8)
- 第1制御対象及び第2制御対象に関する制御を行う制御装置であって、
前記第1制御対象及び前記第2制御対象のそれぞれに関するフィードバック制御を行うフィードバック制御系と、
前記フィードバック制御が行われている状態において、第1フィードフォワード操作量を用いて前記第1制御対象に関する第1フィードフォワード制御を行い、第2フィードフォワード操作量を用いて前記第2制御対象に関する第2フィードフォワード制御を行うフィードフォワード制御系と、を有し、
前記フィードフォワード制御系は、
前記第1制御対象と前記第2制御対象のそれぞれに関する前記フィードバック制御が行われ、前記第1フィードフォワード制御及び前記第2フィードフォワード制御が行われていない状態で、前記第1制御対象に関する第1偏差を計測して得られる第1データを取得し、
前記第1データに基づき前記第1フィードフォワード操作量を算出し、
前記第1制御対象と前記第2制御対象のそれぞれに関する前記フィードバック制御が行われ、前記第1フィードフォワード操作量を用いて前記第1フィードフォワード制御が行われている状態で、前記第2制御対象に関する第2偏差を計測して得られる第2データを取得し、
前記第2データに基づき前記第2フィードフォワード操作量を算出する、
算出器を含むことを特徴とする制御装置。 - 前記算出器は、前記第1制御対象に対する指令が与えられていない状態で前記第1制御対象に第1操作量を与えて得られる第1制御応答を取得し、前記第2制御対象に対する指令が与えられていない状態で前記第2制御対象に第2操作量を与えて得られる第2制御応答を取得し、前記第1データ及び前記第1制御応答に基づき前記第1フィードフォワード操作量を算出し、前記第2データ及び前記第2制御応答に基づき前記第2フィードフォワード操作量を算出することを特徴とする請求項1に記載の制御装置。
- 前記算出器は、
前記第1制御対象と前記第2制御対象のそれぞれに前記フィードバック制御が行われ、前記第1フィードフォワード制御及び前記第2フィードフォワード制御が行われていない状態で、前記第2制御対象に関する第3偏差を計測して得られる第3データを取得し、
前記第2データ及び前記第2制御応答に基づき算出された第3フィードフォワード操作量と前記第3データ及び前記第2制御応答に基づき算出された第4フィードフォワード操作量とに基づいて、前記第2フィードフォワード操作量を算出することを特徴とする請求項2に記載の制御装置。 - 前記フィードフォワード制御系は、
前記算出器で算出された前記第2フィードフォワード操作量を格納する記憶部を含み、
前記記憶部に格納した前記第2フィードフォワード操作量を用いて前記第2制御対象に関するフィードフォワード制御を行うことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の制御装置。 - 前記第1制御応答及び前記第2制御応答は、インパルス応答又はステップ応答を含むことを特徴とする請求項2又は3に記載の制御装置。
- 基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持する基板ステージと、
前記基板に転写すべきパターンを有するレチクルを保持するレチクルステージと、
前記レチクルステージの駆動に追従するように前記基板ステージの駆動を同期させるように同期制御を行う請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の制御装置と、
を有することを特徴とする露光装置。 - 基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持する基板ステージと、
前記基板ステージの駆動を制御する制御装置と、を有し、
前記制御装置は、前記基板ステージの複数の駆動軸に関する駆動の制御を行う請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の制御装置を含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項6又は7に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光した前記基板を現像する工程と、
現像された前記基板から物品を製造する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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