JP2014078640A - 露光装置及びデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を露光する露光装置であって、前記基板を保持して移動するステージと、前記ステージを指令値に従って制御するステージ制御系と、前記基板に照射される露光光を検出して前記基板への露光が開始された露光開始時刻を特定する特定部と、前記特定部で特定された露光開始時刻における前記ステージの位置情報に基づいて前記基板の露光期間中の複数の時刻における前記ステージの位置を算出し、前記算出した前記複数の時刻における前記ステージの位置から前記露光期間中の少なくとも一部の期間における前記ステージの平均の位置を求め、当該ステージの平均の位置を目標位置に一致させるための指令値を前記ステージ制御系に与える主制御系と、を有することを特徴とする露光装置を提供する。
【選択図】図2
Description
Claims (7)
- 基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持して移動するステージと、
前記ステージを指令値に従って制御するステージ制御系と、
前記基板に照射される露光光を検出して前記基板への露光が開始された露光開始時刻を特定する特定部と、
前記特定部で特定された露光開始時刻における前記ステージの位置情報に基づいて前記基板の露光期間中の複数の時刻における前記ステージの位置を算出し、前記算出した前記複数の時刻における前記ステージの位置から前記露光期間中の少なくとも一部の期間における前記ステージの平均の位置を求め、当該ステージの平均の位置を目標位置に一致させるための指令値を前記ステージ制御系に与える主制御系と、
を有することを特徴とする露光装置。 - 前記主制御系は、前記ステージ制御系の入出力特性である前記ステージの位置応答を表すモデルを用いて、前記基板の露光期間中の複数の時刻における前記ステージの位置を算出することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記モデルは、前記露光開始時刻における前記ステージの位置情報を初期値として前記基板の露光期間中の複数の時刻における前記ステージの位置を順次与える状態空間モデルであることを特徴とする請求項2に記載の露光装置。
- 前記ステージの位置情報は、前記露光開始時刻における前記ステージの位置及び前記露光開始時刻における前記ステージの速度の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記主制御系は、前記露光期間中の全ての期間における前記ステージの平均の位置を目標位置に一致させるための指令値を前記ステージ制御系に与えることを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記ステージ制御系は、比例項と、積分項と、微分項とを含むPID制御器を有し、
前記指令値は、前記微分項には与えられず、前記比例項及び前記積分項に与えられることを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の露光装置。 - 請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された前記基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイスの製造方法。
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