JP2022172441A - リニアアクチュエータ - Google Patents

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Abstract

【課題】リニアアクチュエータの製造コストの削減及び使用寿命の向上。【解決手段】ガイドレール２とねじ軸３と移動ステージ４とを備え、ガイドレール２は第１のボール転走溝部２１を有し、移動ステージ４は、ガイドレール２に沿ってスライド移動できると共に、ステージ本体部４１とレール部４２とボールリターン溝部４３とボール反転溝部４７とボールチェーン４４とを有する。ステージ本体部４１は第１の材料で構成される。レール部４２は、ステージ本体部４１の側面にあって第２のボール転走溝部４２１が形成されるように、硬さが第１の材料より高い第２の材料で構成される。ボール反転溝部４７は、ボールリターン溝部４３の端部と第２のボール転走溝部４２１の端部と連続し、ボールリターン溝部４３及びボール転走溝部２１、４２１と共にボール循環経路を構成し、ボールチェーン４４はボール循環経路内において循環転走できる。【選択図】図４

Description

本発明は自動生産設備に関し、より詳しくはリニアアクチュエータに関する。
リニアアクチュエータは、回転運動を直線運動に変換するための機械要素の１つとして、例えば搬送や切削や整列などの様々なプロセスを行なう自動生産ラインにおいて用いられるものである。
従来のリニアアクチュエータとして、例えば特許文献１に記載されたものが挙げられる。
特許文献１に記載された従来のリニアアクチュエータは、互いに平行していると共に開口が向かい合っている一対のレール溝がそれぞれに凹設されている一対のガイドレールと、該一対のガイドレールの間に位置されているねじ軸と、該ねじ軸が貫通すると共に該一対のガイドレールに沿ってスライド移動可能に配置されているスライドユニットと、該スライドユニットの中に該ねじ軸が介在するようにそれぞれに配置されている一対のボールチェーンと、該スライドユニットと接続されてスライドユニットのスライド移動を駆動するための駆動モジュールと、を備えている。
台湾特許第Ｉ６１００３３号明細書 “Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ Ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ ｏｆ Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ, Ｃｏａｘｉａｌ, Ａｉｒ‐Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ Ｌｉｎｅ,”
しかしながら、特許文献１に記載のような従来のリニアアクチュエータは、自動生産ラインにおいて適用されるが、自動生産ラインにおいては数多くのプロセスがあり、それに対応する数量のリニアアクチュエータを設置する必要がある場合、リニアアクチュエータの設置コストや耐用性が当該自動生産ラインを組み立てる業者にとって課題となる。このため、従来のリニアアクチュエータの構成に対して改善する余地がある。
よって、本発明は上記問題点に鑑みて、より低いコストや優れた耐用性を有するリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
上記目的を達成するための手段として、本発明はリニアアクチュエータを提供する。当該リニアアクチュエータは、長手方向と、前記長手方向と略直交する短手方向と、前記長手方向及び前記短手方向の両方と略直交すると共に通常の使用状態において上下方向となる厚さ方向とがあるように構成され、且つ一対のガイドレールと、ねじ軸と、移動ステージと、を備えており、
前記一対のガイドレールは、それぞれに前記長手方向に沿う直線状となって、互いに前記短手方向において間を隔てるように並列されていると共に、前記長手方向から見た断面が半円形状となっていて開口が向かい合っている第１のボール転走溝部が前記一対のガイドレールにそれぞれに形成されており、
前記ねじ軸は、前記一対のガイドレールの間に前記長手方向に沿って延伸するように配置されており、
前記移動ステージは、前記長手方向に沿ってスライド移動可能な前記一対のガイドレールに設けられており、且つステージ本体部と、一対のレール部と、一対のボールリターン溝部と、４つのボール反転溝部と、２つのボールチェーンと、を有しており、
前記ステージ本体部は、前記一対のガイドレールの間に位置されており、且つ、前記短手方向において離間している両側面と、前記長手方向に沿って延伸して前記ねじ軸が貫通している駆動孔とを有するように、第１の材料で構成されているものであり、
前記一対のレール部は、それぞれに前記長手方向に沿って延伸して前記ステージ本体部の前記両側面にはめ込まれており、且つ、前記長手方向に沿って延伸していると共に、前記長手方向から見た断面が半円形状となって、それぞれの開口が対応する前記第１のボール転走溝部の開口と位置が合わせられていて、一対の前記第１のボール転走溝部と共に一対のボール転走経路を画成している一対の第２のボール転走溝部を有するように、前記第１の材料よりも硬さが高い第２の材料で構成されているものであり、
前記一対のボールリターン溝は、前記ステージ本体部の中に前記長手方向に沿って延伸していて前記ねじ軸が間に介在するようにそれぞれに設けられており、一対のボールリターン経路を画成しており、
前記４つのボール反転溝部は、いずれも、前記厚さ方向から見るとＵ字形状に形成されており、当該Ｕ字形状の一端が、対応する前記ボールリターン溝部の端部と連続している一方、当該Ｕ字形状の他端が、対応する前記第２のボール転走溝部の端部と連続しており、且つ、前記ボール転走経路及び前記ボールリターン経路と連通している４つのボール反転経路を画成しており、
前記４つのボール反転経路と、前記一対のボール転走経路と前記一対のボールリターン経路とにより、前記短手方向に沿って離間している一対のボール循環経路が構成されており、
各前記ボールチェーンは、閉ループ形状となっていて、対応する前記ボール循環経路内において循環転走することができるように配置構成されており、且つ、複数のボールと、各前記ボール同士の間にそれぞれに配置されている複数の間座部と、前記複数の間座部を連接していて前記複数のボールにより嵌合されている連接部と、を有しており、
また、各前記ボールチェーンにおける前記複数のボールは、対応する前記第１のボール転走溝部及び対応する前記第２のボール転走溝部の溝壁に当接して当該溝壁による反作用力を受けて、対応する前記ボール転走経路において転がり摺動することができるように構成されていることを特徴とする。
上記構成により、本発明に係るリニアアクチュエータは、移動ステージのステージ本体部と一対のレール部とが異なる材料により構成できるので、ステージ本体部の作成材料とする第１の材料を比較的安価な材料に選定すれば、製造コストを低く抑えることができる。それに加え、一対のレール部の作成材料とする第２の材料として硬さが該第１の材料の硬さよりも高いものを用いれば、装置の使用寿命を向上させることができる。
本発明の一実施形態に係るリニアアクチュエータの構成が示される斜視図 該実施形態に係るリニアアクチュエータの構成が示される分解斜視図 該実施形態に係るリニアアクチュエータのカバー部材を取り外した後の構成が示される部分上面図 図３におけるＩＶ－ＩＶ線に沿った断面が示される断面図 該実施形態の一対のガイドレール、ねじ軸、移動ステージの構成が示される正面図 図５におけるＶＩ－ＶＩ線に沿った断面が示される断面図 該実施形態のボールチェーンの構成が示される部分側面図 該実施形態のボールリターン溝部及びボール反転溝部の構成が示される斜視図 図８に示された構成が他の角度から示される斜視図 該実施形態のボールリターン溝部、ボール反転溝部、第２のボール転走溝部、ステージ本体部の構成が示される部分斜視図
本発明に係るリニアアクチュエータは、例えば自動化生産ラインにおいて、加工用工具または加工対象物を搬送対象物として載せて、載せた搬送対象物を搬送することができるものである。
以下、本発明に係るリニアアクチュエータについて図面を参照して説明する。
図１～図１０を参照してリニアアクチュエータの構成を説明する。ここで、図１は本発明の一実施形態に係るリニアアクチュエータの構成が示される斜視図であり、図２は該実施形態に係るリニアアクチュエータの構成が示される分解斜視図であり、図３は該実施形態に係るリニアアクチュエータのカバー部材を取り外した後の構成が示される部分上面図であり、図４は図３におけるＩＶ－ＩＶ線に沿った断面が示される断面図であり、図５は該実施形態の一対のガイドレール２、ねじ軸３、移動ステージ４の構成が示される正面図であり、図６は図５におけるＶＩ－ＶＩ線に沿った断面が示される断面図であり、図７は該実施形態のボールチェーン４４の構成が示される部分側面図である。
また、図８は該実施形態のボールリターン溝部４３及びボール反転溝部４７の構成が示される斜視図であり、図９は図８に示された構成が他の角度から示される斜視図であり、図１０は該実施形態のボールリターン溝部４３、ボール反転溝部４７、第２のボール転走溝部４２１、ステージ本体部４１の構成が示される部分斜視図である。
本発明に係るリニアアクチュエータは、図１及び図２に示されるように、長手方向Ｘと、長手方向Ｘと略直交する短手方向Ｙと、長手方向Ｘ及び短手方向Ｙの両方と略直交すると共に通常の使用状態において上下方向となる厚さ方向Ｚとがあるように構成され、且つ、ベース１と、一対のガイドレール２と、ねじ軸３と、移動ステージ４と、カバー部材５と、モータ（図示せず）と、を備えている。
ベース１は、図１及び図２に示されるように、長手方向Ｘに沿う両端があるように構成されているベース本体部１２と、ベース本体部１２の両端にそれぞれに配置されている上に、ベース本体部１２と共に上方へ開口する収容空間１３を画成している２つのエンド部材１１と、を備えている。
一対のガイドレール２は、図２及び図４に示されるように、それぞれに長手方向Ｘに沿う直線状となって、互いに短手方向Ｙにおいて間を隔てるように並列されていると共に、長手方向Ｘから見た断面が半円形状となっていて開口が向かい合っている第１のボール転走溝部２１をそれぞれに有する。
ねじ軸３は、図１と図２図３と図６に示されるように、一対のガイドレール２の間に長手方向Ｘに沿って延伸するように配置されている。
また、該一対のガイドレール２と該ねじ軸３とは、図１及び図２に示されるように、いずれも、収容空間１３内にあって両端が２つのエンド部材１１にそれぞれに連接されている。更に、該一対のガイドレール２は、いずれもベース本体部１２に装着されている。
移動ステージ４は、図１及び図２に示されるように、長手方向Ｘに沿ってスライド移動可能な一対のガイドレール２に設けられており、且つ、図２～図６に示されるように、ステージ本体部４１と、一対のレール部４２と、一対のボールリターン溝部４３と、４つのボール反転溝部４７と、２つのボールチェーン４４と、４つの溝カバー部材４５と、一対の油注入経路４８と、４つのカバープレート４６とを有している。
ステージ本体部４１は、一対のガイドレール２の間に位置されており、且つ、図４及び図５に示されるように、短手方向Ｙにおいて離間している両側面４１０と、長手方向Ｘに沿って延伸してねじ軸３が貫通している駆動孔４１１とを有するように、第１の材料で構成されているものである。
一対のレール部４２は、長手方向Ｘに沿って延伸してステージ本体部４１の両側面４１０にそれぞれにはめ込まれており、且つ、図４及び図５に示されるように、長手方向Ｘに沿って延伸していると共に、長手方向Ｘから見た断面が半円形状となって、それぞれの開口が対応する第１のボール転走溝部２１の開口と位置が合わせられていて、一対の第１のボール転走溝部２１と共に一対のボール転走経路を画成している一対の第２のボール転走溝４２１部を有するように、第１の材料よりも硬さが高い第２の材料で構成されているものである。
なお、本実施形態では、各レール部４２は、嫌気性接着剤（特に高強度且つ中粘度の緑色にものを採用）によりステージ本体部４１の両側面４１０にはめ込まれて固定されているが、ここでそれに限定されず、他の実施形態において他の接着剤を採用してもよい。
一対のボールリターン溝部４３は、管状となったものであり、且つ、図４及び図６に示されるように、ステージ本体部４１の中に長手方向Ｘに沿って延伸していてねじ軸３が間に介在するようにそれぞれに設けられており、一対のボールリターン経路を画成している。
また、図４と図８と図９に示されるように、該一対のボールリターン溝部４３は、いずれも、上側へ開口している油注入孔４３１と、管状となっている溝本体部４３４と、当該溝本体部４３４の上下両側と連続し、長手方向Ｘに沿って延伸して、第２のボール転走溝部４２１における厚さ方向Ｚに沿って離間している上下開口縁に装着されていると共に、対応するボールチェーン４４の後述する連接部４４３が移動可能にはめ込まれるように配置されている上ガイド部４３２及び下ガイド部４３３と、を有している。なお、本実施形態では、該ステージ本体部４１の構成材料である第１の材料はアルミニウムであり、該一対のレール部４２の構成材料である第２の材料は鋼である。また、該ステージ本体部４１は、アルミニウム押出成形により作成されたものである。
具体的に、アルミニウムは、重量においてまた価格においても同一体積の鋼よりも低いので、アルミニウムを採用して体積が比較的に大きなステージ本体部４１を作成すれば、リニアアクチュエータの全体的な重量を低減するだけではなく、製造コストも抑えることができる。また、耐磨耗性については、鋼がアルミニウムよりも高いので、該実施形態のリニアアクチュエータを長期に使用しても装置の変形が発生しにくい。このため、上記したような材料を選定することによっても、製造コストの削減、装置の軽量化、良好な耐用性といった効果を得ることができる。
また、各ボールリターン溝部４３は、プラスチックを材料としてオーバーモールド成型によりステージ本体部４１内に嵌入するように形成されたものである。ここで、後述するように、ボールリターン溝部４３は、ボールチェーン４４の移動を案内するものでありその構造が複雑であるため、プラスチックを採用してオーバーモールド成形により作成すれば、製造コストや材料コストを削減することができる。
４つのボール反転溝部４７は、図６に示されるように、いずれも、厚さ方向Ｚから見るとＵ字形状に形成されており、当該Ｕ字形状の一端が、対応するボールリターン溝部４３の端部と連続している一方、当該Ｕ字形状の他端が、対応する第２のボール転走溝部４２１の端部と連続しており、且つ、第１のボール転走溝部２１と第２のボール転走溝部４２１とにより画成されるボール転走経路、及びボールリターン溝部４３により画成されるボールリターン経路と連通する４つのボール反転経路を画成している。
具体的には、図６に示されるように、該４つのボール反転経路は、該一対のボール転走経路と該一対のボールリターン経路と共に短手方向Ｙに沿って離間している一対のボール循環経路を構成している。
２つのボールチェーン４４は、図６に示されるように、いずれも、閉ループ形状となっていて、対応するボール循環経路内において循環転走することができるように配置構成されており、且つ、図６及び図７に示されるように、複数のボール４４１と、各ボール４４１同士の間にそれぞれに配置されている複数の間座部４４２と、複数の間座部４４２を連接していて複数のボール４４１により嵌合されている連接部４４３と、を有している。
また、各ボールチェーン４４における複数のボール４４１は、対応する第１のボール転走溝２１部及び対応する第２のボール転走溝部４２１の溝壁に当接して当該溝壁による反作用力を受けて、対応するボール転走経路において転がり摺動することができる。
なお、本実施形態では、各ボールチェーン４４は、図４に示されるように、連接部４４３が対応するボールリターン溝部４３の上ガイド部４３２及び下ガイド部４３３にそれぞれにはめ込まれている状態で、対応するボール転走経路内を移動することができるように構成されたものである。これにより、ボールチェーン４４がボール転走経路内を移動している際にその角度を維持することができるので、ボール４４１の転がり摺動に対して影響を与えない。
また、ボールリターン溝部４３にも、上記のようなボールチェーン４４の連接部４４３がはめ込まれる構成が備わっている。よって、上記した効果は、すべてのボール循環経路内において得ることができる。
なお、本実施形態では、図１０に示されるように、各第２のボール転走溝部４２１の長手方向Ｘに沿って離間している両端部が、面取り構造となっている。具体的には、各第２のボール転走溝部４２１の両端部には、対応する２つのボール反転溝部４７と連続している２つの第１の面取り面４２４が形成されている。そして、各ボール反転溝部４７には、対応する第２のボール転走溝部４２１における対応する第１の面取り面４２４と連続している第２の面取り面４７１が形成されている。
ここで、第１の面取り面４２４及び第２の面取り面４７１により、第２のボール転走溝部４２１とボール反転溝部４７との接続箇所において滑らかな曲面となって、ボールチェーン４４のボール４４１がこの接続箇所を転走する際に引っかかることなく、より順調に通過することができる。
４つの溝カバー部材４５は、図６に示されるように、それぞれに各ボール反転溝部４７をカバーして当該ボール反転溝部４７が画成するボール反転経路において転走している前記複数のボール４４１の脱出を防止するためのものである。
一対の油注入経路４８は、図２～図４に示されるように、ステージ本体部４１の上面及び各ボールリターン溝部４３にある油注入孔４３１とそれぞれに連通している。
したがって、ステージ本体部４１の上面から潤滑油を注入して、当該潤滑油が油注入経路４８および油注入孔４３１を通ってボールリターン経路へ流入し、そしてボールチェーン４４の転走によりボール反転経路そしてボール転走経路にまで流入するようになる。
要するに、各ボールチェーン４４における複数のボール４４１は、対応するボール転走経路において転走している際には、対応する第１のボール転走溝部２１及び対応する第２のボール転走溝部４２１の溝壁による反作用力で互いに比較的に接近するようになる一方、対応するボール転走経路及び対応するボールリターン経路において転走している際には、互いに比較的に離れるようになる。よって、油注入経路４８を通して潤滑油をボールリターン経路へ注入すれば、ボールチェーン４４の転走によりボール循環経路における潤滑油分布をより均一化することができるので、より優れた潤滑効果を得ることができる。
このような構成によって、潤滑油を添加する際に移動ステージ４をベース１から取り外す必要がないので、リニアアクチュエータの長期の使用による潤滑性低下とそれに伴う移動ステージ４の移動抵抗を解決するためのメンテナンスが容易に実行できるようになる。
４つのカバープレート４６は、図２と図３と図５に示されるように、該４つの溝カバー部材４５にそれぞれに設けられている。
カバー部材５は、図１及び図２に示されるように、移動ステージ４のステージ本体部４１をカバーして、例えば自動生産ラインにおいて加工用工具又は加工対象物を搬送対象物として載せることができるものである。
駆動モーターは、ねじ軸３の回転運動を駆動し、そして当該回転運動を移動ステージ４の直線運動に変換するためのものである。ここで、該駆動モーターは、本発明の特徴ではないので、更なる詳細な記載がなくても、同業者であれば、本発明の内容に基づいて利用できると考えられる。
総括すると、本発明に係るリニアアクチュエータは、移動ステージ４のステージ本体部４１と一対のレール部４２とが異なる材料により構成できるので、ステージ本体部４１の作成材料とする第１の材料を比較的安価な材料に選定すれば 、製造コストを低く抑えることができることに加え、一対のレール部４２の作成材料とする第２の材料として硬さが該第１の材料の硬さよりも高いものを用いれば、装置の使用寿命を向上させることができる。
上記においては、本発明の全体的な理解を促すべく、多くの具体的な詳細が示された。しかしながら、当業者であれば、一またはそれ以上の他の実施形態が具体的な詳細を示さなくとも実施され得ることが明らかである。
以上、本発明の好ましい実施形態及び変化例を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、最も広い解釈の精神および範囲内に含まれる様々な構成として、全ての修飾および均等な構成を包含するものとする。
本発明に係るリニアアクチュエータによれば、製造コストを低く抑えることに加え、装置の使用寿命を向上させる利点がある。そのため、産業上の利用可能性がある。
１ ベース
１１ エンド部材
１２ ベース本体部
１３ 収容空間
２ ガイドレール
２１ 第１のボール転走溝部
３ ねじ軸
４ 移動ステージ
４１ ステージ本体部
４１０ 両側面
４１１ 駆動孔
４２ レール部
４２１ 第２のボール転走溝部
４２４ 第１の面取り面
４３ ボールリターン溝部
４３１ 油注入孔
４３２ 上ガイド部
４３３ 下ガイド部
４３４ 溝本体部
４４ ボールチェーン
４４１ ボール
４４２ 間座部
４４３ 連接部
４５ 溝カバー部材
４６ カバープレート
４７ ボール反転溝部
４７１ 第２の面取り面
４８ 油注入経路
５ カバー部材
Ｘ 長手方向
Ｙ 短手方向
Ｚ 厚さ方向

Claims (9)

  1. リニアアクチュエータであって、
    長手方向と、前記長手方向と略直交する短手方向と、前記長手方向及び前記短手方向の両方と略直交すると共に通常の使用状態において上下方向となる厚さ方向とがあるように構成され、且つ一対のガイドレールと、ねじ軸と、移動ステージと、を備えており、
    前記一対のガイドレールは、それぞれに前記長手方向に沿う直線状となって、互いに前記短手方向において間を隔てるように並列されていると共に、前記長手方向から見た断面が半円形状となっていて開口が向かい合っている第１のボール転走溝部が前記一対のガイドレールにそれぞれに形成されており、
    前記ねじ軸は、前記一対のガイドレールの間に前記長手方向に沿って延伸するように配置されており、
    前記移動ステージは、前記長手方向に沿ってスライド移動可能な前記一対のガイドレールに設けられており、且つステージ本体部と、一対のレール部と、一対のボールリターン溝部と、４つのボール反転溝部と、２つのボールチェーンと、を有しており、
    前記ステージ本体部は、前記一対のガイドレールの間に位置されており、且つ、前記短手方向において離間している両側面と、前記長手方向に沿って延伸して前記ねじ軸が貫通している駆動孔とを有するように、第１の材料で構成されているものであり、
    前記一対のレール部は、それぞれに前記長手方向に沿って延伸して前記ステージ本体部の前記両側面にはめ込まれており、且つ、前記長手方向に沿って延伸していると共に、前記長手方向から見た断面が半円形状となって、それぞれの開口が対応する前記第１のボール転走溝の開口と位置が合わせられていて、一対の前記第１のボール転走溝部と共に一対のボール転走経路を画成している一対の第２のボール転走溝部を有するように、前記第１の材料よりも硬さが高い第２の材料で構成されているものであり、
    前記一対のボールリターン溝部は、前記ステージ本体部の中に前記長手方向に沿って延伸していて前記ねじ軸が間に介在するようにそれぞれに設けられており、一対のボールリターン経路を画成しており、
    前記４つのボール反転溝部は、いずれも、前記厚さ方向から見るとＵ字形状に形成されており、当該Ｕ字形状の一端が、対応する前記ボールリターン溝部の端部と連続している一方、当該Ｕ字形状の他端が、対応する前記第２のボール転走溝部の端部と連続しており、且つ、前記ボール転走経路及び前記ボールリターン経路と連通している４つのボール反転経路を画成しており、
    前記４つのボール反転経路と、前記一対のボール転走経路と、前記一対のボールリターン経路とにより、前記短手方向に沿って離間している一対のボール循環経路が構成されており、
    各前記ボールチェーンは、閉ループ形状となっていて、対応する前記ボール循環経路内において循環転走することができるように配置構成されており、且つ、複数のボールと、各前記ボール同士の間にそれぞれに配置されている複数の間座部と、前記複数の間座部を連接していて前記複数のボールにより嵌合されている連接部と、を有しており、
    また、各前記ボールチェーンにおける前記複数のボールは、対応する前記第１のボール転走溝部及び対応する前記第２のボール転走溝部の溝壁に当接して当該溝壁による反作用力を受けて、対応する前記ボール転走経路において転がり摺動することができるように構成されている、
    ことを特徴とするリニアアクチュエータ。
  2. 前記リニアアクチュエータは、前記長手方向に沿って延伸しているベースを更に備えており、
    前記ベースは、前記長手方向に沿う両端があるように構成されているベース本体部と、前記ベース本体部の両端にそれぞれに配置されている上に、前記ベース本体部と共に上方へ開口している収容空間を画成している２つのエンド部材と、を備えており、
    また、前記一対のガイドレールと前記ねじ軸とは、いずれも、前記収容空間内にあって両端が前記２つのエンド部材にそれぞれに連接されていて、且つ前記一対のガイドレールは、いずれも前記ベース本体部に装着されるように構成されている、
    ことを特徴とする請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
  3. 前記移動ステージの前記ステージ本体部をカバーするためのカバー部材を更に備えている、
    ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のリニアアクチュエータ。
  4. 前記第１の材料はアルミニウムであり、前記第２の材料は鋼であり、前記一対のボールリターン溝部の材質はプラスチックである、
    ことを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載のリニアアクチュエータ。
  5. 各前記ボールリターン溝部には、管状となっている溝本体部と、前記溝本体部の上下両側と連続し、前記長手方向に沿って延伸して、前記第２のボール転走溝部における前記厚さ方向に沿って離間している上下開口縁に装着されていると共に、対応する前記ボールチェーンの前記連接部が移動可能にはめ込まれるように配置されている上ガイド部及び下ガイド部と、が更に備わっている、
    ことを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載のリニアアクチュエータ。
  6. 前記一対のボールリターン溝部は、いずれも、上側へ開口している油注入孔を有しており、
    前記移動ステージは、前記ステージ本体部の上面及び各前記ボールリターン溝部にある前記油注入孔とそれぞれに連通している一対の油注入経路を更に有している、
    ことを特徴とする請求項１～５のいずれか一項に記載のリニアアクチュエータ。
  7. 前記移動ステージは、各前記ボール反転溝部をそれぞれにカバーして前記ボール反転経路において転走している前記複数のボールの脱出を防止するための４つの溝カバー部材を更に有している、
    ことを特徴とする請求項１～６のいずれか一項に記載のリニアアクチュエータ。
  8. 各前記第２のボール転走溝部の前記長手方向に沿って離間している両端部が、面取り構造となっている、
    ことを特徴とする請求項１～７のいずれか一項に記載のリニアアクチュエータ。
  9. 各前記第２のボール転走溝部の前記両端部には、対応する２つの前記ボール反転溝部と連続している２つの第１の面取り面が形成されており、
    各前記ボール反転溝部には、対応する前記第２のボール転走溝部において対応する前記第１の面取り面と連続している第２の面取り面が形成されている、
    ことを特徴とする請求項８に記載のリニアアクチュエータ。
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