JP2022164566A - 結晶成長炉 - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 32
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 11
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
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- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
- C30B29/06—Silicon
Abstract
Description
10 炉体
20 坩堝
30 加熱装置
40 昇降装置
50 上方排気手段
501 流路
501a 開放側
502 排気口
60 流れ案内手段
601 第一段
602 第二段
61 第一吸気穴
62 第二吸気穴
621 中型穴
622 小型穴
70 上部輻射シールド
80 排気管
90 邪魔板
C 中心
H 高さ
P1 第一点
P2 第二点
P3 第三点
P4 第四点
P5 第五点
P6 第六点
R 炉室
S1 縦方向参照面
S2 横方向参照面
T1 吸気通路
T2 下方排気通路
T 厚さ
A 表面積
Claims (10)
- 排気管を含んだ抽気装置に接続される結晶成長炉であって、
炉室を備えた炉体と、
当該炉室に設置された坩堝であって、当該坩堝の上方に位置する吸気通路を当該炉室に有する坩堝と、
当該炉室に設置された上方排気手段であって、当該坩堝の上方に位置して連通する流路及び排気口を有し、当該流路が当該吸気通路を囲む開放側を有し、当該排気管が当該排気口に連通する上方排気手段と、
当該上方排気手段に接続されると共に当該流路における当該開放側に設置される流れ案内手段と、を含み、
当該流れ案内手段は、当該排気口から離れた一方側に設置される第一吸気穴及び少なくとも二つの第二吸気穴を有し、当該第一吸気穴及び当該排気口を通過した縦方向参照面を定義すると、当該流れ案内手段が当該縦方向参照面によって第一段及び第二段に分けられ、当該少なくとも二つの第二吸気穴は、それぞれ、当該第一段及び当該第二段に設置され、当該第一吸気穴の開口面積が当該少なくとも二つの第二吸気穴の開口面積よりも大きく、
当該炉室における気体は、当該抽気装置により、それぞれ、当該流れ案内手段における当該第一吸気穴及び当該少なくとも二つの第二吸気穴を介して、当該上方排気手段の当該流路に抜けてから、当該上方排気手段の当該排気口及び当該排気管を介して当該炉室から抜き出される、ことを特徴とする結晶成長炉。 - 当該流れ案内手段は、環状とされ、当該流れ案内手段における環壁の表面積と当該第一吸気穴及び当該少なくとも二つの第二吸気穴の開口面積の総和との比例が10:1~20:1である、ことを特徴とする請求項1に記載の結晶成長炉。
- 当該第一吸気穴及び各当該第二吸気穴を通過した横方向参照面を定義すると、当該横方向参照面と当該第一吸気穴の穴壁の両側とが第一点及び第二点に交わり、当該第一点及び当該第二点と当該流れ案内手段が回る中心とを線引きした線の夾角が35度~55度であり、当該横方向参照面と各当該第二吸気穴の両側とが第三点及び第四点に交わり、当該第三点及び当該第四点と当該中心とを線引きした線の夾角が3度~30度である、ことを特徴とする請求項2に記載の結晶成長炉。
- 隣接する二つの当該第一吸気穴及び当該第二吸気穴、或いは、隣接する二つの当該第二吸気穴における互いに近接する一方側と、当該横方向参照面とがそれぞれ第五点及び第六点に交わり、当該第五点及び当該第六点と当該中心とを線引きした線の夾角が20度~55度である、ことを特徴とする請求項3に記載の結晶成長炉。
- 当該流れ案内手段は、高さが50~150mmである、ことを特徴とする請求項1に記載の結晶成長炉。
- 当該流れ案内手段は、厚さが10~20mmである、ことを特徴とする請求項1に記載の結晶成長炉。
- 当該少なくとも二つの第二吸気穴における少なくとも一つの開口面積と、当該少なくとも二つの第二吸気穴における他方の開口面積とが異なる、ことを特徴とする請求項1に記載の結晶成長炉。
- 当該流れ案内手段は、当該第一吸気穴及び当該少なくとも二つの第二吸気穴の開口を開閉するように制御可能である、複数の邪魔板を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の結晶成長炉。
- 当該流路は、環状とされ、当該排気口は、当該流路の上方に設置される、ことを特徴とする請求項2に記載の結晶成長炉。
- 当該炉室に設置されると共に当該坩堝の下方に位置する下方排気通路が含まれている、ことを特徴とする請求項1に記載の結晶成長炉。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW110113712 | 2021-04-16 | ||
TW110113712A TWI747780B (zh) | 2021-04-16 | 2021-04-16 | 長晶爐 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022164566A true JP2022164566A (ja) | 2022-10-27 |
JP7470143B2 JP7470143B2 (ja) | 2024-04-17 |
Family
ID=79907808
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022033775A Active JP7470143B2 (ja) | 2021-04-16 | 2022-03-04 | 結晶成長炉 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7470143B2 (ja) |
CN (1) | CN115216832A (ja) |
TW (1) | TWI747780B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116988157A (zh) * | 2023-09-26 | 2023-11-03 | 山西第三代半导体技术创新中心有限公司 | 一种降低晶体生长孔洞碳化硅籽晶粘接炉 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115233291B (zh) * | 2022-06-29 | 2023-08-04 | 中环领先(徐州)半导体材料有限公司 | 导流组件和具有其的长晶炉、长晶方法 |
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JP2019075517A (ja) * | 2017-10-19 | 2019-05-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置及び拡散路を有する部材 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8926751B2 (en) * | 2010-12-02 | 2015-01-06 | National Central University | Gas flow guiding device for use in crystal-growing furnace |
CN203007469U (zh) * | 2012-11-19 | 2013-06-19 | 西安隆基硅材料股份有限公司 | 直拉单晶炉热场装置 |
TWM473400U (zh) * | 2013-11-15 | 2014-03-01 | Eversol Corp | 長晶爐之排氣機構 |
KR20150082853A (ko) * | 2014-01-08 | 2015-07-16 | 삼성전자주식회사 | 수직로 |
CN211771651U (zh) * | 2020-03-24 | 2020-10-27 | 扬州合晶科技有限公司 | 一种长晶炉排气管结构 |
CN112191121B (zh) * | 2020-09-22 | 2022-09-30 | 南京晶升装备股份有限公司 | 一种长晶炉工艺气混气气道 |
-
2021
- 2021-04-16 TW TW110113712A patent/TWI747780B/zh active
-
2022
- 2022-03-02 CN CN202210197342.1A patent/CN115216832A/zh active Pending
- 2022-03-04 JP JP2022033775A patent/JP7470143B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN116988157A (zh) * | 2023-09-26 | 2023-11-03 | 山西第三代半导体技术创新中心有限公司 | 一种降低晶体生长孔洞碳化硅籽晶粘接炉 |
CN116988157B (zh) * | 2023-09-26 | 2023-12-05 | 山西第三代半导体技术创新中心有限公司 | 一种降低晶体生长孔洞碳化硅籽晶粘接炉 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7470143B2 (ja) | 2024-04-17 |
TW202242212A (zh) | 2022-11-01 |
CN115216832A (zh) | 2022-10-21 |
TWI747780B (zh) | 2021-11-21 |
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