CN211771651U

CN211771651U - 一种长晶炉排气管结构

Info

Publication number: CN211771651U
Application number: CN202020390927.1U
Authority: CN
Inventors: 王鹏; 陶飞
Original assignee: Wafer Works (yangzhou) Corp
Current assignee: Wafer Works (yangzhou) Corp
Priority date: 2020-03-24
Filing date: 2020-03-24
Publication date: 2020-10-27
Anticipated expiration: 2030-03-24

Abstract

本实用新型公开了一种长晶炉排气管结构。该种长晶炉排气管结构包括：管一，管一的一端与长晶炉连通；管二，管二与管一相交连通；密封件，密封件可拆卸式安装于管一的另一端以及管二的一端。通过相交连通的结构以及可拆卸的密封件，能够有效解决排气管的拐角无法清理的问题，提高了清理的效果，降低了管路堵塞的可能。

Description

一种长晶炉排气管结构

技术领域

本实用新型涉及长晶炉设备领域，特别涉及长晶炉的排气管结构。

背景技术

长晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，而直拉法生长单晶硅的过程中，会产生大量粉尘，粉尘会对长晶过程产生不利的影响，故长晶炉都设置有排气管，通过排气管排出长晶炉中的粉尘，以保证长晶质量。

现有的长晶炉管道的清理，通常都是在停炉后，将刷子伸入管道内清理管道内壁，而管路拐角处由于管路方向变化，粉尘运动路径发生变化从而导致粉尘更易残留于管道拐角处，但是通常的管路结构导致刷子难以清理管路的拐角，从而导致拐角处粉尘残留依旧存在，轻则导致排气管排气能力下降，重则导致排气管堵塞。

实用新型内容

本申请通过提供一种长晶炉排气管结构，从而解决现有技术中拐角难以清理的问题。

本申请实施例提供了一种长晶炉排气管结构，包括：

管一，所述管一的一端与所述长晶炉连通；

管二，所述管二与所述管一相交连通；

密封件，密封件可拆卸式安装于管一的另一端以及管二的一端。

打开密封件，直接将刷子伸入对应的管道中并清理管道内壁，该种相交连通的结构避免了拐角无法清理的问题，并且清理完成后再将密封件安装回原位，使得排气管能够继续可靠的工作。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进：

进一步地：所述管一包括段一与段二，所述段一与所述段二之间设置有连接件，所述连接件用于将所述段一与段二同轴连接。本步的有益效果：通过连接件，便于将段一与段二分离。

进一步地：所述管一、管二各有两根，所述管一与所述管二形成的相交连通的结构有两组并对称设置于所述长晶炉两侧；所述长晶炉排气管结构还包括管三、管四，所述管三与两根所述管二分别相交连通，所述管三两端设置有将管口封闭的密封件，所述管三中与所述管四连通。

进一步地：所述管三包括段三、段四、段五、段六、段七，所述段三、段四、段五、段六、段七依次通过所述连接件相互同轴连接。

进一步地：所述管一、管二、管三、管四中至少有一个设置有防爆阀。

进一步地：所述连接件包括波纹管、波纹管卡扣，所述波纹管卡扣设置于所述波纹管两端并用于将所述波纹管与对应的部位连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

1、通过相交连通的结构以及可拆卸的密封件，能够解决排气管的拐角无法清理的问题，提高了清理的效果，降低了管路堵塞的可能；

2、设置可拆卸的密封件，便于对排气管进行清理，使得该种长晶炉排气管结构具有易请理性；

3、该种长晶炉排气管结构简单，没有复杂的结构，制造成本低；

4、通过连接件，便于对排气管的各部分进行拆卸，从而针对性的更换排气管中损坏的部分，便于排气管道的维护，提高了排气管整体的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。

图1为本实用新型的结构示意图。

其中，

1管一，101段一，102段二；

2管二；

3密封件；

4长晶炉；

5管三，501段三，502段四，503段五，504段六，505段七；

6管四；

7连接件，701波纹管，702波纹管卡扣；

8防爆阀。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个及以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

具体实施例

如图1所示，一种长晶炉4排气管结构，包括：管一1、管二2、密封件3；管一1与管二2都为柱形直管，管一1沿横向设置，管一1的一端与长晶炉4连通，管一1的另一端朝向背离长晶炉4的方向延伸，管二2沿竖向间隔设置于长晶炉4一侧，管二2与管一1相交并连通，本实施例中的管二2与管一1呈相互垂直的十字形结构连通，管一1伸出至管二2另一侧的管口安装有密封件3，管二2伸出至管一1上方的管口设置有密封件3，通过密封件3将管一1对应端部管口以及管二2对应端部管口封闭。

具体的，如图1所示，管一1、管二2各有两根，其中一根管一1与一根管二2成一组，另一根管一1与另一根管二2成一组，从而管一1与管二2形成的相交连通的结构有两组并对称设置于长晶炉4的左右两侧；该种长晶炉4排气管结构还包括管三5、管四6，管一、管二、管三在同一个平面，管三5与长晶炉4左右两侧的两根管二2分别相交连通，管三5的两端管设置有将管三5的管口封闭的密封件3，管四6沿竖向设置，管四6的一端与管三5中部连通，管四6的另一端与抽气设备连接。

具体的，密封件3可以采用管帽、管堵等现有技术中的产品，通过在密封件3与对应的管口设置有密封管螺纹，实现密封件3对管一1、管二2对应端部的可拆卸式的密封。

具体的，如图1所示，管一1包括段一101、段二102两部分，段一101、段二102为管一1中部沿径向将管一1分成的两部分，段一101的一端与长晶炉4连接，段二102与管二2相交连通，段一101与段二102之间设置有连接件7，连接件7用于将段一101与段二102同轴连接，段二102的端部设置有将管一1管口封闭的密封件3；管三5包括段三501、段四502、段五503、段六504、段七505，段三501、段四502、段五503、段六504、段七505依次通过连接件7实现相互同轴连接，段三501与管二2相交连通，段七505与另一个管二2相交连通，段五503与管四6连通。

具体的，如图1所示，其中连接件7包括波纹管701、波纹管卡扣702，波纹管卡扣702设置于波纹管701两端并用于将波纹管701与对应的部位连接；连接件7还可以为管件，管件包括两个管口，管件的管口内壁设置有内螺纹，段一101、段二102、段三501、段四502、段五503、段六504、段七505中与连接件7对应连接的端口的外周表面设置有与管件内螺纹相匹配的外螺纹，内螺纹与外螺纹都为密封管螺纹，从而实现相互之间的密封可拆卸的连接。

具体的，管一1、管二2、管三5、管四6中至少有一个设置有防爆阀8；如图1所示，例如将段五503在分为两部分，两个部分相向的管口连接于同一防爆阀8，管四6的一端连接于防爆阀8，通过防爆阀8提升该种长晶炉排气管结构的安全性。

该长晶炉排气管结构具有如下有益效果：

1、通过相交连通的结构以及可拆卸的密封件，在清理长晶炉排气管结构中管道内壁时，只需要将密封件取下，通过刷子清理对应的管道内壁即可，该种结构避免了拐角难以清理的问题，降低了长晶炉排气管堵塞的风险；

2、当管一、管二、管三、管四中的任意一部分发生损坏时，只需要通过连接件将损坏部分取下并更换，从而降低了后期维护成本，提升了维修效率以及排气管整体的使用寿命。

上述连接、设置、安装等连接方式，可以在已存在的现有技术中选择合适的连接方式，如焊接、铆接、螺纹连接、粘接、销连接、键连接、弹性变形连接、卡扣连接、过盈连接、注塑成型的方式实现结构上的相连，实际生产中，应该在实现连接目的、保证连接效果的前提下，根据生产条件，选择成本较低、生产效率高的连接方式。

本实用新型的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本实用新型的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。

Claims

1.一种长晶炉排气管结构，其特征在于，包括：

管一，所述管一的一端与所述长晶炉连通；

管二，所述管二与所述管一相交连通；

密封件，所述密封件可拆卸式安装于所述管一的另一端以及所述管二的一端。

2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述管一包括段一与段二，所述段一与所述段二之间设置有连接件，所述连接件用于将所述段一与段二同轴连接。

3.根据权利要求2所述的结构，其特征在于，所述管一、管二各有两根，所述管一与所述管二形成的相交连通的结构有两组并对称设置于所述长晶炉两侧；

所述长晶炉排气管结构还包括管三、管四，所述管三与两根所述管二分别相交连通，所述管三两端设置有将管口封闭的密封件，所述管三中与所述管四连通。

4.根据权利要求3所述的结构，其特征在于，所述管三包括段三、段四、段五、段六、段七，所述段三、段四、段五、段六、段七依次通过所述连接件相互同轴连接。

5.根据权利要求3所述的结构，其特征在于，所述管一、管二、管三、管四中至少有一个设置有防爆阀。

6.根据权利要求2-5任一所述的结构，其特征在于，所述连接件包括波纹管、波纹管卡扣，所述波纹管卡扣设置于所述波纹管两端并用于将所述波纹管与对应的部位连接。