CN202786503U - 多晶铸锭炉气路分配装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种多晶铸锭炉气路分配装置，属于多晶铸锭技术领域。其包括一端与进气管（1）连接、另一端与多晶铸锭炉的坩埚内部相通的进气套管（2），其特征是：所述进气套管（2）与多晶铸锭炉的坩埚内部相通的一端伸入所述坩埚的内部，该伸入端的下端沿其周向均均连接有至少两根与其内部相通的导气管（4），每根所述的导气管（4）上均设有一排沿其轴向排列的出气孔（8），所有的出气孔（8）的轴线均位于同一水平面内且所有的出气孔（8）的朝向同呈顺时针方向排布或同呈逆时针方向排布。本实用新型可使得进入坩埚内的气体均匀地分布于整个空间中，达到了气体定向流动，均匀分布的效果，有利于提升多晶硅的质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种多晶铸锭炉气路分配装置，属于多晶铸锭技术领域。
背景技术
目前，在太阳能光伏行业多晶硅锭的生产过程中，采用的是定向凝固法提纯硅锭的生产工艺，所采用的设备为多晶铸锭炉。利用多晶铸锭炉生产多晶硅锭时，需要把硅料加热至1420℃以上使其熔化，然后进行定向凝固。在化料及定向凝固过程中，需要通入0.6kgf/cm2压力的高纯氩气，以便快速带走硅料内杂质并减少硅蒸气对热场的污染。
现在较为普遍的装置中，氩气气体通过进气管进入坩埚后，在开始阶段很难均匀分布到整个多晶硅生长环境中，气体的流动不定向，容易产生紊流，进而影响到多晶硅的质量。
发明内容
针对现有技术中存在的上述缺陷，本实用新型提供了一种能使氩气气体分布均匀的多晶铸锭炉气路分配装置。
本实用新型所采用的技术方案是：一种多晶铸锭炉气路分配装置，包括一端与进气管连接、另一端与多晶铸锭炉的坩埚内部相通的进气套管，其特殊之处是，所述进气套管与多晶铸锭炉的坩埚内部相通的一端伸入所述坩埚的内部，该伸入端的下端沿其周向均匀连接有至少两根与其内部相通的导气管，每根所述的导气管上均设有一排沿其轴向排列的出气孔，所有的出气孔的轴线均位于同一水平面内且所有的出气孔的朝向同呈顺时针方向排布或同呈逆时针方向排布。
当氩气气体由进气管进入进气套管后，氩气气体在进气套管的下端分流进入各导气管，并由导气管上的出气孔喷出。气体通过出气孔后分别向同一平面内的不同方向流动，这样可以使气体均匀地分布于整个空间中，达到气体定向流动，均匀分布的效果。
本实用新型中，所述导气管可以采用耐高温材料，如石墨或采用钨、钼等耐高温材料，优选的，所述导气管为石墨管。
为了便于安装及维修，本实用新型中所述导气管与进气套管连接的一端设有螺纹，其通过两个螺母与所述进气套管固定连接。
本实用新型中的导气管的数量可以是两根以上，考虑到结构设计的简单性及气体分布的效果，所述导气管最好为四根。
本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，其通过在进气套管的下端设置导气管，使得进入坩埚内的气体能够均匀地分布于整个空间中，达到了气体定向流动，均匀分布的效果，很好地解决了多晶铸锭炉中气体分布不均的的问题，形成了更有利于多晶硅生长的气路，提升了多晶硅的质量。
附图说明
图1是本实用新型具体实施方式中的结构示意图；
图2是图1中的A-A向放大示意图；
图3是图2中的B部放大示意图；
图4是图2中导气管与进气套管连接结构放大示意图；
图中，1、进气管，2、进气套管，3、盖板，4、导气管，5、坩埚，6、螺母A，7、螺母B，8、出气孔。
具体实施方式
下面通过非限定性的实施例并结合附图对本实用新型作进一步的说明：
如附图1-4所示，是多晶铸锭炉的内部结构示意图，其气路分配装置包括进气套管2和导气管4。其中，进气套管2的一端与多晶铸锭炉的进气管1连接，其另一端穿过多晶铸锭炉的坩埚5的盖板3伸入坩埚5的内部，该伸入端的下端沿其周向均均连接有至少两根导气管4，本实施例中所示的导气管4为四根。导气管4的内部与进气套管2的内部相通。本实施例中，导气管4为石墨管，导气管4与进气套管2连接端设有螺纹，该端通过螺母A6和螺母B7与进气套管2紧固连接。每根导气管4的管壁上均设有一排沿导气管轴向排列的出气孔8，这些出气孔8在导气管上间隔均匀。所有的导气管上的出气孔8的轴线最好都在同一水平面内，且所有的出气孔8的朝向同呈顺时针方向排布或同呈逆时针方向排布，保证气体自出气孔喷出时，气体定向流动。
本实用新型在实际使用时，氩气气体由进气管1进入进气套管2后，气体在进气套管2的下端分流进入各导气管4，并由导气管4上的出气孔8喷出，形成定向流动的气流，这样可以使气体均匀地分布于整个空间中，达到均匀分布的效果，气体通过出气孔后的流向如图2中箭头所示。
本实施例中的其他部分采用现有技术，在此不再赘述。
上述实施例仅用作对本实用新型的说明，并非对其的限制，本领域的技术人员还可在此基础上做出变动，如：导气管的数量、导气管与进气套管的连接方式、导气管的材质等等，导气管的材质也可以是钨钼等金属、C/C复合材料、陶瓷等。
Claims (4)
1.一种多晶铸锭炉气路分配装置，包括一端与进气管（1）连接、另一端与多晶铸锭炉的坩埚内部相通的进气套管（2），其特征是：所述进气套管（2）与多晶铸锭炉的坩埚内部相通的一端伸入所述坩埚的内部，该伸入端的下端沿其周向均匀连接有至少两根与其内部相通的导气管（4），每根所述的导气管（4）上均设有一排沿其轴向排列的出气孔（8），所有的出气孔（8）的轴线均位于同一水平面内且所有的出气孔（8）的朝向同呈顺时针方向排布或同呈逆时针方向排布。
2.根据权利要求1所述的多晶铸锭炉气路分配装置，其特征是：所述导气管（4）为石墨管。
3.根据权利要求1所述的多晶铸锭炉气路分配装置，其特征是：所述导气管（4）与进气套管（2）连接的一端设有螺纹，其通过两个螺母与所述进气套管（2）固定连接。
4.根据权利要求1或2或3所述的多晶铸锭炉气路分配装置，其特征是：所述导气管（4）为四根。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220375632 CN202786503U (zh) | 2012-07-31 | 2012-07-31 | 多晶铸锭炉气路分配装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN 201220375632 CN202786503U (zh) | 2012-07-31 | 2012-07-31 | 多晶铸锭炉气路分配装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202786503U true CN202786503U (zh) | 2013-03-13 |
Family
ID=47813799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201220375632 Expired - Lifetime CN202786503U (zh) | 2012-07-31 | 2012-07-31 | 多晶铸锭炉气路分配装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202786503U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107385511A (zh) * | 2016-02-03 | 2017-11-24 | 陈鸽 | 一种带有导流装置的多晶硅铸锭炉 |
| TWI655313B (zh) * | 2017-11-22 | 2019-04-01 | 台灣積體電路製造股份有限公司 | 半導體晶圓加工系統及加工半導體晶圓的方法 |
| CN111394790A (zh) * | 2020-04-26 | 2020-07-10 | 新余学院 | 一种低杂质多晶硅铸锭炉 |
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2012
- 2012-07-31 CN CN 201220375632 patent/CN202786503U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107385511A (zh) * | 2016-02-03 | 2017-11-24 | 陈鸽 | 一种带有导流装置的多晶硅铸锭炉 |
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| CN111394790A (zh) * | 2020-04-26 | 2020-07-10 | 新余学院 | 一种低杂质多晶硅铸锭炉 |
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