CN201162066Y - 节能型多晶硅还原炉 - Google Patents
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Abstract
节能型多晶硅还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及其他附属部件组成，炉体主体采用不锈钢材质，以减少设备材质对产品的污染，每对电极分正、负极均匀的设置在底盘上，混和气进气管分为数个喷口均匀设置在底盘上，其特征是在还原炉底盘上分两个圆周均匀布置13对电极，外周布置8对电极，内周布置5对电极，该种设计使还原炉内部结构紧凑合理，内外圈耗电功率接近，相比现有的十二对电极的还原炉，生产多晶硅时在耗电相当的情况下，每炉每次产量提高约10％左右。
Description
技术领域
本发明涉及一种多晶硅还原炉，主要是用三氯氢硅和氢气在加热的硅芯上进行化学气相沉积生产多晶硅的还原炉。
背景技术
目前，国内外生产多晶硅的主要工艺技术是“改良西门子法”：用氯气和氢气合成氯化氢，氯化氢和硅粉在一定温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的高纯三氯氢硅与氢气按比例混合后，在一定的温度和压力下通入多晶硅还原炉内，在通电高温硅芯上进行沉积反应生成多晶硅，反应温度控制在1080摄氏度左右，最终生成棒状多晶硅产品，同时生成四氯化硅、二氯二氢硅、氯化氢等副产物。
多晶硅还原炉是“改良西门子法”生产多晶硅的主要设备，由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及其他附属部件组成，炉体主体采用不锈钢材质，以减少设备材质对产品的污染。
发明内容
本发明是一种节能型多晶硅还原炉，主要通过在还原炉底盘上设置十三对电极来降低能量消耗，提高单台还原炉产品产量。
节能型多晶硅还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及其他附属部件组成，炉体主体采用不锈钢材质，以减少设备材质对产品的污染，每对电极分正、负极均匀的设置在底盘上，混和气进气管分为数个喷口设置在底盘上，其特征是在还原炉底盘上分两个圆周均匀布置13对电极，外周布置8对电极，内周布置5对电极。
该种设计使还原炉内部结构紧凑合理，内外圈耗电功率接近，相比现有的十二对电极的还原炉，生产多晶硅时在耗电相当的情况下，每炉每次产量提高约10％左右。
附图说明
图1为该节能型多晶硅还原炉主视图
图2为该节能型多晶硅还原炉底盘俯视图
具体实施方式
本发明涉及的节能型多晶硅还原炉主视图如图1所示，1为含夹套冷却水的钟罩式双层炉体，2为视镜孔，3为底盘，4为底盘冷却水进水管，5为底盘冷却水出水管，6为混和气进气管，7为进气管喷口，8为混和气尾气出气管，9为炉体冷却水进水管，10为炉体冷却水出水管，11为连接硅芯与电极的石墨夹头，12为电极，13为硅芯，14为夹套冷却水导流板，进气管喷口7喷出的三氯氢硅和氢气的混合气在高温通电硅芯13上进行化学气相沉积反应，生成棒状多晶硅产品。
本发明涉及的节能型多晶硅还原炉底盘俯视图如图2所示，7为进气管喷口，8为混和气尾气出气管，12为电极，在还原炉底盘上分两个圆周均匀布置13对电极，外周布置8对电极，内周布置5对电极。
Claims (1)
1、节能型多晶硅还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及其他附属部件组成，炉体主体采用不锈钢材质，以减少设备材质对产品的污染，每对电极分正、负极均匀的设置在底盘上，混和气进气管分为数个喷口设置在底盘上，其特征是在还原炉底盘上分两个圆周均匀布置13对电极，外周布置8对电极，内周布置5对电极。
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Publications (1)
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ID=40183007
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| CN (1) | CN201162066Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011123998A1 (zh) * | 2010-04-08 | 2011-10-13 | 江苏中能硅业科技发展有限公司 | 用于生产多晶硅的反应器及系统 |
| CN107758671A (zh) * | 2016-08-15 | 2018-03-06 | 内蒙古盾安光伏科技有限公司 | 还原炉及使用该还原炉的多晶硅生产工艺 |
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2008
- 2008-02-02 CN CNU2008200069172U patent/CN201162066Y/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
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Granted publication date: 20081210 Termination date: 20130202 |