JP2022143260A - インダクタ部品およびその製造方法 - Google Patents
インダクタ部品およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022143260A JP2022143260A JP2021043687A JP2021043687A JP2022143260A JP 2022143260 A JP2022143260 A JP 2022143260A JP 2021043687 A JP2021043687 A JP 2021043687A JP 2021043687 A JP2021043687 A JP 2021043687A JP 2022143260 A JP2022143260 A JP 2022143260A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- wiring
- connection
- inductor component
- winding portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 24
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 138
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 69
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 15
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 15
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 10
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 8
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 7
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 7
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract description 5
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 13
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 10
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 10
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 7
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0013—Printed inductances with stacked layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0033—Printed inductances with the coil helically wound around a magnetic core
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/04—Fixed inductances of the signal type with magnetic core
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/2804—Printed windings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/29—Terminals; Tapping arrangements for signal inductances
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/32—Insulating of coils, windings, or parts thereof
- H01F27/323—Insulation between winding turns, between winding layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F3/00—Cores, Yokes, or armatures
- H01F3/10—Composite arrangements of magnetic circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/041—Printed circuit coils
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/041—Printed circuit coils
- H01F41/046—Printed circuit coils structurally combined with ferromagnetic material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/06—Coil winding
- H01F41/061—Winding flat conductive wires or sheets
- H01F41/063—Winding flat conductive wires or sheets with insulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F3/00—Cores, Yokes, or armatures
- H01F3/10—Composite arrangements of magnetic circuits
- H01F2003/106—Magnetic circuits using combinations of different magnetic materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0013—Printed inductances with stacked layers
- H01F2017/002—Details of via holes for interconnecting the layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/04—Fixed inductances of the signal type with magnetic core
- H01F2017/048—Fixed inductances of the signal type with magnetic core with encapsulating core, e.g. made of resin and magnetic powder
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/2804—Printed windings
- H01F2027/2809—Printed windings on stacked layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
Abstract
Description
複数の絶縁層が積層された素体と、
前記素体内に設けられ、前記絶縁層の積層方向に進行する螺旋状に巻回されたコイルと、
前記素体の上面に設けられた基板と、を備え、
前記コイルは、前記積層方向に沿って複数配置され且つ前記積層方向に直交する平面に沿って巻回されたコイル配線と、複数の前記コイル配線の端部を互いに接続する接続配線と、を有し、
前記コイル配線は、前記平面上に巻回された巻回部と、前記巻回部の端部から前記接続配線に引き出された引出部と、を有し、
前記接続配線は、前記積層方向に複数配置され、
前記積層方向において、前記積層方向の最上層の前記接続配線の上面の最も低い位置は、最上層の前記コイル配線における前記巻回部の底面の位置よりも低く、
前記最上層のコイル配線の前記引出部は、前記最上層のコイル配線の前記巻回部が設けられた前記平面より前記積層方向の下側に引き出されて、前記最上層の接続配線に接続し、前記平面に対して傾斜している。
前記最上層の接続配線の前記上面の最も低い位置は、前記積層方向における最上層の1層下の前記コイル配線における前記巻回部の底面の位置よりも高い。
前記積層方向における最下層の前記コイル配線の前記引出部は、前記平面に対して平行であり、
前記コイル配線の前記引出部は、前記積層方向の上層に位置するものほど、前記平面に対する傾斜角度が大きくなる。
前記積層方向において、隣り合う前記コイル配線の前記巻回部間の絶縁層の厚みは、当該巻回部の厚みよりも小さい。
前記接続配線の幅は、前記巻回部の幅よりも大きい。
前記コイルは、複数存在し、
前記積層方向に複数配置された前記接続配線は、互いに接続されて、積層体を構成し、
複数の前記コイルは、それぞれ前記積層体を有する。
複数の前記コイルは、互いに線路長が異なる第1コイルと第2コイルとを含み、
前記第1コイルの前記コイル配線の一部の幅は、前記第2コイルの前記コイル配線の幅と異なる。
各々の前記積層体の厚みは、同じである。
前記複数のコイルは、第1コイルと第2コイルとを含み、
前記第1コイルでは、前記コイル配線の前記巻回部は、渦巻状に巻回され、
前記第1コイルの前記巻回部と前記第2コイルの前記積層体との最短距離は、前記第1コイルの前記巻回部の隣り合うターン間の距離よりも大きい。
前記巻回部の端部に接続されたダミー配線をさらに備え、
前記ダミー配線は、前記巻回部の延在方向に沿って前記巻回部の端部から延在し、電流経路を構成しない。
前記ダミー配線は、最上層のコイル配線には接続されていない。
前記積層方向における最下層の前記コイル配線における前記巻回部の端部に接続された前記ダミー配線の線路長は、前記最下層のコイル配線以外の前記コイル配線における前記巻回部の端部に接続された前記ダミー配線の線路長よりも短い。
前記基板は、磁性基板であり、
前記素体は、前記コイルより径方向内側の領域において、前記積層方向に貫通した貫通孔を有し、
前記貫通孔内に設けられ、内磁路を構成する内磁路部材をさらに備え、
前記内磁路部材は、前記基板とは異なる磁性材料を含む。
前記内磁路部材は、金属磁性粉と樹脂のコンポジット材料から構成され、
前記積層方向において、前記金属磁性粉の平均粒径の1/2以下の平均粒径を有する金属磁性粉と樹脂のコンポジット材料から構成される密着層を、前記最上層のコイル配線の前記巻回部と前記基板との間に備える。
前記素体の下面に設けられ、厚みが前記基板よりも厚い基板をさらに備える。
前記積層方向において上側に位置する巻回部の厚みの方が、下側に位置する巻回部の厚みよりも薄い。
第1絶縁層上に第1コイル配線と第1接続配線とを積層する工程と、
前記第1接続配線の上面の少なくとも一部が露出するように、第2絶縁層を前記第1コイル配線および前記第1接続配線上に積層する工程と、
前記第1接続配線の上面に第2接続配線が接触するように、前記第2絶縁層上に第2コイル配線および第2接続配線を積層する工程と、を含み、
前記第2コイル配線を、前記第2接続配線に向かって引き出される引出部が、傾斜するように形成する。
図1は、インダクタ部品の第1実施形態を示す斜視図である。図2は、インダクタ部品の透視平面図である。図3は、インダクタ部品の分解平面図である。図示するように、絶縁層11の積層方向(以下、単に「積層方向」という。)をZ方向と定義し、Z方向からみて、素体10の長辺が延在する方向をX方向、短辺が延在する方向をY方向と定義する。本明細書では、積層方向(Z方向)を上下方向とする。図3は、上層から下層を順に示す。なお、積層方向は、プロセス上の順序を示しているだけであり、インダクタ部品1としての上下は逆(外部電極が上側にある構成)であってもよい。
図10は、本発明のインダクタ部品の第2実施形態を示す透視平面図である。図11は、本発明のインダクタ部品の第2実施形態を示す分解平面図である。第2実施形態は、第1実施形態とは、第1コイルおよび第2コイルの構成が異なる。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第1実施形態と同じ構成であり、第1実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。
図13は、本発明のインダクタ部品の第3実施形態を示す透視平面図である。図14は、図13のE-E’断面図である。第3実施形態は、第1実施形態とは、内磁路部材が設けられていることが異なる。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第1実施形態と同じ構成であり、第1実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。
図15は、インダクタ部品の第3実施形態の第1変形例を示す断面図である。図15に示すように、インダクタ部品1Cは、積層方向において、内磁路部材91に含まれる金属磁性粉の平均粒径の1/2以下の平均粒径を有する金属磁性粉と樹脂のコンポジット材料から構成される第1密着層81を、最上層の第4コイル配線24の巻回部241と第2基板62との間に備える。具体的に述べると、第1密着層81は、素体10の上面に設けられている。第1密着層81は、素体10と第2基板62とを接着する。第1密着層81に含まれる樹脂は、接着性を有する絶縁樹脂である。「平均粒径」とは、視野領域が200μm×200μmであるSEM画像を3つ取得した際の平均粒径D50(体積基準の累積百分率50%相当粒径)を指す。第2基板62は、第1密着層81の上面に設けられている。
図16は、インダクタ部品の第3実施形態の第2変形例を示す断面図である。インダクタ部品1Dは、積層方向において、最上層の第4コイル配線24の巻回部241と第2基板62との間に第2密着層82を備える。具体的に述べると、第2密着層82は、素体10の上面に設けられている。第2基板62は、第2密着層82の上面に設けられている。第2密着層82は、素体10と第2基板62とを接着する。第2密着層82は、例えば接着性を有する絶縁樹脂である。
図17は、インダクタ部品の第3実施形態の第3変形例を示す断面図である。図17に示すように、インダクタ部品1Eの素体10の上面において、貫通孔10a周囲の所定範囲に窪み部10bが設けられている。そして、内磁路部材91Eの上部の一部は、窪み部10bに設けられている。積層方向に直交する方向からみて、内磁路部材91Eの形状は、略T字状である。素体10の上面であって、内磁路部材91Eが設けられている領域以外の領域の上面には、第1密着層81Eが設けられている。第1密着層81Eは、第1変形例の第1密着層81と同じである。また、内磁路部材91Eおよび第1密着層81Eの上面には、第2密着層82Eが設けられている。第2密着層82Eは、第2変形例の第2密着層82と同じである。第2密着層82Eの上面には、第2基板62が設けられている。
10 素体
10a 貫通孔
11 絶縁層
11a ビア開口
21~24 第1~第4コイル配線
26~27 第6~第7コイル配線
28,28A 第1コイル
29,29A 第2コイル
211,221,231,241,261,271 巻回部
212,222,232,242,262,272 引出部
251~258 接続配線
31~33 ダミー配線
41~44 接続電極
51~54 外部電極
61 第1基板
62 第2基板
81,81E,82,82E 密着層
91,91E 内磁路部材
2571 ビアパッド
2572 ビア
L1,L2 積層体
Claims (17)
- 複数の絶縁層が積層された素体と、
前記素体内に設けられ、前記絶縁層の積層方向に進行する螺旋状に巻回されたコイルと、
前記素体の上面に設けられた基板と、を備え、
前記コイルは、前記積層方向に沿って複数配置され且つ前記積層方向に直交する平面に沿って巻回されたコイル配線と、複数の前記コイル配線の端部を互いに接続する接続配線と、を有し、
前記コイル配線は、前記平面上に巻回された巻回部と、前記巻回部の端部から前記接続配線に引き出された引出部と、を有し、
前記接続配線は、前記積層方向に複数配置され、
前記積層方向において、前記積層方向の最上層の前記接続配線の上面の最も低い位置は、最上層の前記コイル配線における前記巻回部の底面の位置よりも低く、
前記最上層のコイル配線の前記引出部は、前記最上層のコイル配線の前記巻回部が設けられた前記平面より前記積層方向の下側に引き出されて、前記最上層の接続配線に接続し、前記平面に対して傾斜している、インダクタ部品。 - 前記最上層の接続配線の前記上面の最も低い位置は、前記積層方向における最上層の1層下の前記コイル配線における前記巻回部の底面の位置よりも高い、請求項1に記載のインダクタ部品。
- 前記積層方向における最下層の前記コイル配線の前記引出部は、前記平面に対して平行であり、
前記コイル配線の前記引出部は、前記積層方向の上層に位置するものほど、前記平面に対する傾斜角度が大きくなる、請求項1または2に記載のインダクタ部品。 - 前記積層方向において、隣り合う前記コイル配線の前記巻回部間の絶縁層の厚みは、当該巻回部の厚みよりも小さい、請求項1から3の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記接続配線の幅は、前記巻回部の幅よりも大きい、請求項1から4の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記コイルは、複数存在し、
前記積層方向に複数配置された前記接続配線は、互いに接続されて、積層体を構成し、
複数の前記コイルは、それぞれ前記積層体を有する、請求項1から5の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 複数の前記コイルは、互いに線路長が異なる第1コイルと第2コイルとを含み、
前記第1コイルの前記コイル配線の一部の幅は、前記第2コイルの前記コイル配線の幅と異なる、請求項6に記載のインダクタ部品。 - 各々の前記積層体の厚みは、同じである、請求項6または7に記載のインダクタ部品。
- 前記複数のコイルは、第1コイルと第2コイルとを含み、
前記第1コイルでは、前記コイル配線の前記巻回部は、渦巻状に巻回され、
前記第1コイルの前記巻回部と前記第2コイルの前記積層体との最短距離は、前記第1コイルの前記巻回部の隣り合うターン間の距離よりも大きい、請求項6から8の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記巻回部の端部に接続されたダミー配線をさらに備え、
前記ダミー配線は、前記巻回部の延在方向に沿って前記巻回部の端部から延在し、電流経路を構成しない、請求項1から9の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記ダミー配線は、最上層のコイル配線には接続されていない、請求項10に記載のインダクタ部品。
- 前記積層方向における最下層の前記コイル配線における前記巻回部の端部に接続された前記ダミー配線の線路長は、前記最下層のコイル配線以外の前記コイル配線における前記巻回部の端部に接続された前記ダミー配線の線路長よりも短い、請求項10または11に記載のインダクタ部品。
- 前記基板は、磁性基板であり、
前記素体は、前記コイルより径方向内側の領域において、前記積層方向に貫通した貫通孔を有し、
前記貫通孔内に設けられ、内磁路を構成する内磁路部材をさらに備え、
前記内磁路部材は、前記基板とは異なる磁性材料を含む、請求項1から12の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記内磁路部材は、金属磁性粉と樹脂のコンポジット材料から構成され、
前記積層方向において、前記金属磁性粉の平均粒径の1/2以下の平均粒径を有する金属磁性粉と樹脂のコンポジット材料から構成される密着層を、前記最上層のコイル配線の前記巻回部と前記基板との間に備える、請求項13に記載のインダクタ部品。 - 前記素体の下面に設けられ、厚みが前記基板よりも厚い基板をさらに備える、請求項13または14に記載のインダクタ部品。
- 前記積層方向において上側に位置する巻回部の厚みの方が、下側に位置する巻回部の厚みよりも薄い、請求項1から15の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 第1絶縁層上に第1コイル配線と第1接続配線とを積層する工程と、
前記第1接続配線の上面の少なくとも一部が露出するように、第2絶縁層を前記第1コイル配線および前記第1接続配線上に積層する工程と、
前記第1接続配線の上面に第2接続配線が接触するように、前記第2絶縁層上に第2コイル配線および第2接続配線を積層する工程と、を含み、
前記第2コイル配線を、前記第2接続配線に向かって引き出される引出部が、傾斜するように形成する、インダクタ部品の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021043687A JP7405108B2 (ja) | 2021-03-17 | 2021-03-17 | インダクタ部品およびその製造方法 |
US17/685,135 US20220301759A1 (en) | 2021-03-17 | 2022-03-02 | Inductor component and method of manufacturing same |
CN202210252275.9A CN115116695A (zh) | 2021-03-17 | 2022-03-15 | 电感器部件及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021043687A JP7405108B2 (ja) | 2021-03-17 | 2021-03-17 | インダクタ部品およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022143260A true JP2022143260A (ja) | 2022-10-03 |
JP7405108B2 JP7405108B2 (ja) | 2023-12-26 |
Family
ID=83284054
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021043687A Active JP7405108B2 (ja) | 2021-03-17 | 2021-03-17 | インダクタ部品およびその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220301759A1 (ja) |
JP (1) | JP7405108B2 (ja) |
CN (1) | CN115116695A (ja) |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09232760A (ja) * | 1996-02-26 | 1997-09-05 | Nippon Avionics Co Ltd | 多層プリント配線板およびその製造方法 |
JPH1154326A (ja) * | 1997-08-04 | 1999-02-26 | Murata Mfg Co Ltd | コイル部品 |
JPH11154612A (ja) * | 1997-11-20 | 1999-06-08 | Tokin Corp | 電子部品 |
JP2006237249A (ja) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Tdk Corp | コイル部品 |
JP2010080550A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Taiyo Yuden Co Ltd | コモンモードチョークコイル |
WO2013031842A1 (ja) * | 2011-09-02 | 2013-03-07 | 株式会社 村田製作所 | フェライト磁器組成物、セラミック電子部品、及びセラミック電子部品の製造方法 |
WO2013108862A1 (ja) * | 2012-01-20 | 2013-07-25 | 株式会社村田製作所 | コイル部品 |
JP2015207574A (ja) * | 2014-04-17 | 2015-11-19 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | コモンモードノイズフィルタ及びその製造方法 |
JP2016139786A (ja) * | 2015-01-27 | 2016-08-04 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | コイル部品及びその製造方法 |
JP2019029372A (ja) * | 2017-07-25 | 2019-02-21 | 株式会社村田製作所 | コイル部品およびその製造方法 |
JP2020021837A (ja) * | 2018-08-01 | 2020-02-06 | 株式会社村田製作所 | コイル部品、コイル部品の製造方法 |
JP2020031118A (ja) * | 2018-08-22 | 2020-02-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | コモンモードノイズフィルタ |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6500635B2 (ja) | 2015-06-24 | 2019-04-17 | 株式会社村田製作所 | コイル部品の製造方法およびコイル部品 |
-
2021
- 2021-03-17 JP JP2021043687A patent/JP7405108B2/ja active Active
-
2022
- 2022-03-02 US US17/685,135 patent/US20220301759A1/en active Pending
- 2022-03-15 CN CN202210252275.9A patent/CN115116695A/zh active Pending
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09232760A (ja) * | 1996-02-26 | 1997-09-05 | Nippon Avionics Co Ltd | 多層プリント配線板およびその製造方法 |
JPH1154326A (ja) * | 1997-08-04 | 1999-02-26 | Murata Mfg Co Ltd | コイル部品 |
JPH11154612A (ja) * | 1997-11-20 | 1999-06-08 | Tokin Corp | 電子部品 |
JP2006237249A (ja) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Tdk Corp | コイル部品 |
JP2010080550A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Taiyo Yuden Co Ltd | コモンモードチョークコイル |
WO2013031842A1 (ja) * | 2011-09-02 | 2013-03-07 | 株式会社 村田製作所 | フェライト磁器組成物、セラミック電子部品、及びセラミック電子部品の製造方法 |
WO2013108862A1 (ja) * | 2012-01-20 | 2013-07-25 | 株式会社村田製作所 | コイル部品 |
JP2015207574A (ja) * | 2014-04-17 | 2015-11-19 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | コモンモードノイズフィルタ及びその製造方法 |
JP2016139786A (ja) * | 2015-01-27 | 2016-08-04 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | コイル部品及びその製造方法 |
JP2019029372A (ja) * | 2017-07-25 | 2019-02-21 | 株式会社村田製作所 | コイル部品およびその製造方法 |
JP2020021837A (ja) * | 2018-08-01 | 2020-02-06 | 株式会社村田製作所 | コイル部品、コイル部品の製造方法 |
JP2020031118A (ja) * | 2018-08-22 | 2020-02-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | コモンモードノイズフィルタ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN115116695A (zh) | 2022-09-27 |
US20220301759A1 (en) | 2022-09-22 |
JP7405108B2 (ja) | 2023-12-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6958525B2 (ja) | インダクタ部品 | |
KR101792281B1 (ko) | 파워 인덕터 및 그 제조 방법 | |
US8174349B2 (en) | Electronic component and manufacturing method of electronic component | |
JP5195876B2 (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
JP5673359B2 (ja) | コイル部品及びその製造方法 | |
JP5488566B2 (ja) | コモンモードフィルタ | |
JP5339398B2 (ja) | 積層インダクタ | |
KR102632343B1 (ko) | 인덕터 어레이 부품 및 그의 실장 기판 | |
JP2019062217A (ja) | 基板内結合インダクタ構造 | |
JP2007503716A (ja) | 極薄フレキシブル・インダクタ | |
WO2004040597A1 (ja) | インダクタンス部品とそれを用いた電子機器 | |
JP5082271B2 (ja) | チップコイルとその製造方法 | |
CN109427468B (zh) | 线圈组件 | |
US20220375679A1 (en) | Coil component and manufacturing method therefor | |
JP2017152457A (ja) | コイル部品 | |
JP2022143260A (ja) | インダクタ部品およびその製造方法 | |
JP2007317892A (ja) | 積層インダクタ | |
JP2000082621A (ja) | 平面トランス | |
JP2012182286A (ja) | コイル部品 | |
US11942255B2 (en) | Inductor component | |
US20230071379A1 (en) | Coil component and manufacturing method therefor | |
US11631526B2 (en) | Inductor component | |
JP2003282328A (ja) | 薄型磁性素子及びその製造方法並びにそれを用いた電源モジュール | |
JP2021040043A (ja) | 電子部品およびその製造方法 | |
JP7355051B2 (ja) | インダクタ部品および電子部品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221019 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20230522 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20230529 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230704 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230810 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231114 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231127 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7405108 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |