JP2022115868A - 接着層用フィルム、多層配線基板および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
〔1〕少なくともその一面に形成されている導体パターンを有するフッ素樹脂基板と、前記フッ素樹脂基板を接着するための接着層と、を含み、前記接着層が熱硬化性樹脂の硬化物を含有し、かつ、20%以上300%以下の破断伸び率を有する、多層配線基板。
〔2〕前記接着層の引張り弾性率が、1GPa以下である、上記〔1〕の多層配線基板。
〔3〕前記接着層が、0.002以下の誘電正接を有するフィラーを含む、上記〔1〕または〔2〕の多層配線基板。
〔4〕前記フッ素樹脂基板の誘電率が100%であるときの、前記接着層の誘電率が、70~130%である、上記〔1〕~〔3〕のいずれかの多層配線基板。
〔5〕前記接着層上の伝送損失が、20GHzにおいて、0~-3dB/70mmである、上記〔1〕~〔4〕のいずれかの多層配線基板。
〔6〕上記〔1〕~〔5〕のいずれかの多層配線基板を含む、半導体装置。
なお、図1に示すように、多層配線基板1には、必要に応じ、ヴィアホール(スルーホール)40を形成することができる。
フッ素樹脂基板としては、例えば、特開平07-323501号公報あるいは特開2005-268365号公報に記載のフッ素樹脂基板を使用できる。具体的な例として、ガラスクロスに、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)を含浸保持させて得られる、プリプレグから構成したリジッド基板、および、フッ素樹脂繊維と、ガラス繊維などの耐熱性絶縁繊維と、を用いて、湿式抄紙法にて形成することにより得られる、いわゆる抄紙シートが、挙げられる。
接着層は、熱硬化性樹脂の硬化物を含有し、かつ、この接着層の破断伸び率は、20%以上300%以下である。
上述のとおり、本開示の多層配線基板は、少なくともその一面に形成されている導体パターンを有するフッ素樹脂基板と、そのフッ素樹脂基板を接着するための接着層と、を含む。その接着層は、熱硬化性樹脂の硬化物を含有し、かつ、20%以上300%以下の破断伸び率を有する。この多層配線基板は、フッ素樹脂基板と接着層との間のピール強度、および導体パターンと接着層との間のピ-ル強度に優れる。この優れたピ-ル強度の原因は、投錨効果(アンカー効果)による、と考えられる。接着層の破断伸び率が、導体(銅箔)とのピール強度に寄与することが考えられる。破断伸び率が20%未満または300%を超えると、銅箔ピール強度は弱くなる。なお、フッ素樹脂基板と接着層と間のピール強度が高いため、ピール試験では、フッ素樹脂基板と銅箔との間で剥離が生じたり、フッ素樹脂基板自体が破壊される場合がある。
本開示の半導体装置は、上述の多層配線基板を含む。半導体装置の例としては、ミリ波アンテナおよび無線基地局が、挙げられる。
熱硬化性樹脂2として、三菱ガス化学製変性ポリフェニレンエーテル(品名:OPE2St1200)が、使用された。
熱硬化性樹脂3として、大阪ソーダ製ビスフェノールA型エポキシ樹脂(品名:LX-01)が、使用された。
熱硬化性樹脂4として、日本化薬製ビフェニル型エポキシ樹脂(品名:NC3000)が、使用された。
熱硬化性樹脂5として、DIC製ナフタレン型エポキシ樹脂(品名:HP4032D)が、使用された。
熱硬化性樹脂6として、ケイ・アイ化成製ビスマレイミドである、ビス-(3-エチル-5-メチル-4-マレイミドフェニル)メタン(品名:BMI-70)が、使用された。
熱硬化性樹脂7として、東亞合成製特殊アクリレートである、N-アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタルイミド(品名:M-140)が、使用された。
硬化剤1として、四国化成製イミダゾール(品名:1B2PZ)が、使用された。
硬化剤2として、四国化成製イミダゾール(品名:2PHZ)が、使用された。
その他の樹脂1として、クレイトンポリマー製エラストマーSEBS(品名:G1652)が、使用された。
その他の樹脂2として、クレイトンポリマー製エラストマーSEBS(品名:G1657)が、使用された。
その他の樹脂3として、クラレ製エラストマーSEEPS(品名:セプトン4044)が、使用された。
その他の樹脂4として、旭化成ケミカルズ製エラストマーSEBS(品名:タフテックH1052)が、使用された。
その他の樹脂5として、JSR製エラストマーSBS(品名:TR2003)が、使用された。
フィラー1として、ダイキン工業製フッ素樹脂フィラー(品名:ルブロン L-2、平均粒径:2μm)が、使用された。
フィラー2として、アドマテックス シリカフィラー(品名:SE2050、平均粒径:0.5μm)が、使用された。
なお、フィラー1の誘電正接、および、フィラー2の誘電正接は、いずれも0.002以下であった。
表1に示す配合で、各成分が計量配合された。その後、それら成分を80℃に加温された反応釜に投入して、回転数250rpmで回転させながら、常圧溶解混合を3時間行った。ただし、硬化剤は、冷却後に加えた。なお、表1には記載していないが、溶解および粘度調整にトルエンを使用した。
支持体付の接着層用フィルムを、200℃、60min、および1MPaの条件で真空熱プレス硬化させた。硬化後の支持体付の接着層用フィルムを、15mm×150mmに切り出した。支持体を剥がした後、長手方向に、引張り速度200mm/minで、オートグラフで引張り、破断までに伸びた長さを測定した。接着層の破断伸び率は、破断時の長さを、初期の長さで除して得られる値を、パーセントで表示した値である。表1に、接着層の破断伸び率の測定結果を示す。
支持体付の接着層用フィルムを、200℃、60min、および1MPaの条件で、真空熱プレス硬化させた。硬化後の支持体付の接着層用フィルムから、25mm×250mmの支持体付の硬化フィルムを切り出した。支持体付の硬化フィルムから支持体を剥がして試験片を得た後、試験片の厚みを測定した。次いで、オートグラフを用いて、試験片を、その長手方向に、引張速度1mm/minで、引っ張った。そして、1~2mmまでに試験片が伸びた時の、応力ひずみ曲線の傾きを測定した。この値を断面積で除して、接着層の引張り弾性率を求めた。接着層の引張り弾性率は、好ましくは0.1~1GPa以下である。表1に、接着層の引張り弾性率の測定結果を示す。
支持体からはがした接着層用フィルムの一面に、中興化成工業(株)製フッ素樹脂基板(品名:CGS-500)を、他の一面に福田金属箔粉工業(株)製銅箔(厚さ:35μm、品名:CF-T8G-HTE)を、200℃、60min、および2MPaの条件で、真空熱プレスしながら、貼りあわせた。このようにして、積層部材を作製した。その後、JIS K6854-1に準拠して、銅箔またはフッ素樹脂基板をオートグラフで引きはがして、ピール強度(90°ピール)を測定した。ピール強度は、好ましくは7N/cm以上である。表1に、ピール強度の測定結果を示す。
上記と同じ方法で作製した積層部材を、260℃のはんだ浴に1分間浮かべて、剥離および膨れの有無を、目視で確認した。
支持体付の接着層用フィルムを、200℃、60min、1MPaの条件で、真空熱プレス硬化させた。硬化後の支持体付の接着層用フィルムから、支持体付の硬化フィルム(70mm×130mm)を切り出した。支持体付の硬化フィルムから支持体を剥離して試験片を得た後、試験片の厚みを測定した。次いで、SPDR法(1.9GHz)により、試験片の誘電率(ε)および誘電正接(tanδ)を測定した。誘電率は、好ましくは1.6~3.5、より好ましくは2.0~2.9である。誘電正接は、好ましくは0.0005~0.005である。
次に、フッ素樹脂基板の誘電率が100%であるときの、接着層の誘電率の比(単位:%)を計算した。使用したフッ素樹脂基板の誘電率は、2.24であった。フッ素樹脂基板の誘電率が100%であるとき、接着層の誘電率は、好ましくは70~130%である。
支持体を取り除いた後の、厚み50μmの熱硬化前の接着層用フィルムを、2枚の銅箔(福田金属箔粉(株)製、18μm、CF-T9FZ-SV)間に挟み、次いで、200℃、60min、1MPaの条件で、真空熱プレスした。このようにして、銅張基板を作製した。この銅張基板の一面に、インピーダンス50Ωとなるように、エッチング処理により、信号配線長70mmとなる信号配線とグランドパッドを作製した。銅張基板の他の一面は、グランド層とした。グランドパッドとグランド層との接続をとるため、スルーホールを作製したのち、銅めっき処理を行った。これにより、50Ωのマイクロストリップライン基板を作製した。この時、銅めっき処理により配線高さは約30μmとなった。作製した基板を、ネットワークアナライザー(キーサイト製、N5245A)を用いて、20GHzで測定した。得られたSパラメーター挿入損失(S21)の測定値を接着層上の伝送損失と定義した。接着層上の伝送損失は、20GHzにおいて、好ましくは0~-3dB/70mmである。
10 接着層
20 導体パターン
30 フッ素樹脂基板
40 ヴィアホール(スルーホール)
Claims (6)
- 少なくともその一面に形成されている導体パターンを有するフッ素樹脂基板と、
前記フッ素樹脂基板を接着するための接着層と、
を含み、
前記接着層が、熱硬化性樹脂の硬化物を含有し、かつ、20%以上300%以下の破断伸び率を有する、多層配線基板。 - 前記接着層の引張り弾性率が、1GPa以下である、請求項1記載の多層配線基板。
- 前記接着層が、0.002以下の誘電正接を有するフィラーを含む、請求項1または2記載の多層配線基板。
- 前記フッ素樹脂基板の誘電率が100%であるときの、前記接着層の誘電率が、70~130%である、請求項1~3のいずれか1項に記載の多層配線基板。
- 前記接着層上の伝送損失が、20GHzにおいて、0~-3dB/70mmである、請求項1~4のいずれか1項に記載の多層配線基板。
- 請求項1~5のいずれか1項に記載の多層配線基板を含む、半導体装置。
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Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021070592A (ja) * | 2019-10-29 | 2021-05-06 | 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 | シリカ粒子、樹脂組成物、樹脂フィルム及び金属張積層板 |
JPWO2021201173A1 (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-07 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011011456A (ja) * | 2009-07-02 | 2011-01-20 | Toyobo Co Ltd | 多層フッ素樹脂フィルムおよび多層フッ素樹脂基板 |
JP2012243923A (ja) * | 2011-05-19 | 2012-12-10 | Fujikura Ltd | フレキシブルプリント回路及びその製造方法 |
JP2016124982A (ja) * | 2014-12-27 | 2016-07-11 | 新日鉄住金化学株式会社 | 架橋ポリイミド樹脂、その製造方法、接着剤樹脂組成物、その硬化物、カバーレイフィルム及び回路基板 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2614190B2 (ja) | 1994-06-01 | 1997-05-28 | 日本ピラー工業株式会社 | 多層板用プリプレグ、積層板、多層プリント回路基板およびその製造方法 |
JP2001203466A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-27 | Nippon Shokubai Co Ltd | 多層プリント基板 |
JP2003133814A (ja) * | 2001-10-24 | 2003-05-09 | Kyocera Corp | 高周波用配線基板 |
JP2003298196A (ja) * | 2002-04-03 | 2003-10-17 | Japan Gore Tex Inc | プリント配線板用誘電体フィルム、多層プリント基板および半導体装置 |
JP4038667B2 (ja) | 2002-07-25 | 2008-01-30 | 三菱瓦斯化学株式会社 | ビニル化合物およびその硬化物 |
JP4325337B2 (ja) * | 2003-09-19 | 2009-09-02 | 日立化成工業株式会社 | 樹脂組成物、それを用いたプリプレグ、積層板及び多層プリント配線板 |
JP2005268365A (ja) | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 多層プリント回路基板とその製造方法 |
JP2006024618A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Toshiba Corp | 配線基板 |
JP4917745B2 (ja) * | 2004-08-17 | 2012-04-18 | ユニチカ株式会社 | 高周波基板及びその製造方法 |
JP4377867B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2009-12-02 | 日本ピラー工業株式会社 | 銅張積層板、プリント配線板及び多層プリント配線板並びにこれらの製造方法 |
WO2008018483A1 (fr) * | 2006-08-08 | 2008-02-14 | Namics Corporation | Composition de résine thermodurcissable et film non durci en étant composé |
JP5023623B2 (ja) * | 2006-08-31 | 2012-09-12 | 東亞合成株式会社 | ハロゲンフリー難燃性接着剤組成物 |
GB201102672D0 (en) * | 2011-02-15 | 2011-03-30 | Zephyros Inc | Improved structural adhesives |
JP2014207297A (ja) * | 2013-04-11 | 2014-10-30 | 株式会社フジクラ | フレキシブルプリント回路及びその製造方法 |
US10383215B2 (en) * | 2013-05-31 | 2019-08-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Radio-frequency printed circuit board and wiring material |
WO2015053309A1 (ja) * | 2013-10-11 | 2015-04-16 | 住友電工プリントサーキット株式会社 | フッ素樹脂基材、プリント配線板、及び回路モジュール |
WO2016117554A1 (ja) * | 2015-01-19 | 2016-07-28 | 株式会社巴川製紙所 | 熱硬化性接着剤組成物、熱硬化性接着フィルム、および複合フィルム |
EP3275922A4 (en) * | 2015-03-23 | 2018-07-11 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co., Ltd. | Method of manufacturing resin impregnated material, composite material and copper-clad laminate |
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Patent Citations (3)
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JP2011011456A (ja) * | 2009-07-02 | 2011-01-20 | Toyobo Co Ltd | 多層フッ素樹脂フィルムおよび多層フッ素樹脂基板 |
JP2012243923A (ja) * | 2011-05-19 | 2012-12-10 | Fujikura Ltd | フレキシブルプリント回路及びその製造方法 |
JP2016124982A (ja) * | 2014-12-27 | 2016-07-11 | 新日鉄住金化学株式会社 | 架橋ポリイミド樹脂、その製造方法、接着剤樹脂組成物、その硬化物、カバーレイフィルム及び回路基板 |
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