JP2022114102A5 - - Google Patents

Description

磁気センサ１１０ａにおいて、導電部材２０は、第１対応部２１を含む。第１対応部２１は、第１磁気素子１１Ｅに沿う。例えば、第１対応部２１は、第２方向（Ｙ軸方向）と交差する方向において、第１磁気素子１１Ｅと重なる。例えば、第１対応部２１は、Ｚ軸方向において、第１磁気素子１１Ｅと重なる。Ｚ軸方向における第１磁気素子１１Ｅ、第１対応部２１、第１磁性部材５１及び第１対向磁性部材５１Ａの位置は、任意である。第１対応部２１に供給される電流に基づく磁界（電流磁界）が第１磁気素子１１Ｅに印加される。後述するように、交流の電流磁界を用いることで、ノイズを抑制でき、より高い感度の検出が可能になる。

図９（ａ）に示すように、信号磁界Ｈｓｉｇが０のときは、抵抗Ｒは、正負の磁界Ｈに対して対称な特性を示す。この例では、交流磁界Ｈａｃがゼロのときに、抵抗Ｒは、低抵抗Ｒｏである。例えば磁化自由層の磁化が、正負の磁界Ｈに対して実質的に同じように回転する。このため、対称な抵抗の変化が得られる。交流磁界Ｈａｃに対する抵抗Ｒの変動は、正負の極性で同じ値になる。抵抗Ｒの変化の周期は、交流磁界Ｈａｃの周期の１／２倍となる。抵抗Ｒの変化は、交流磁界Ｈａｃの周波数成分を実質的に有しない。

この例では、検出対象駆動部７６Ｂは、印加制御回路部７６ａ及び駆動アンプ７６ｂを含む。印加制御回路部７６ａによる制御により、駆動アンプ７６ｂが制御され、駆動アンプ７６ｂから、検査導電部材８０ｃに電流が供給される。電流は、例えば、交流である。例えば、検査導電部材８０ｃに交流電流を供給する。交流電流の周波数は、例えば、１０Ｈｚ以上１００ｋＨｚ以下である。周波数は、例えば、１００ｋＨｚ未満でも良い。この例においても、第１ロックインアンプ７５ａ及び第２ロックインアンプ７５ｂが設けられることで、例えば、ノイズを抑制して、高感度の検出が可能になる。検査装置５５１の１つの例において、複数の磁気センサ（例えば複数の磁気センサ１１０）が設けられても良い。複数の磁気センサは、例えば、センサアレイである。センサアレイにより、検査導電部材８０ｃを短時間で検査できる。検査装置５５１の１つの例において、磁気センサ（例えば磁気センサ１１０）がスキャンされて、検査導電部材８０ｃが検査されても良い。

実施形態は、以下の構成（例えば技術案）を含んでも良い。
（構成１）
第１磁気素子と、
第１サイド磁性部と、
第１対向サイド磁性部と、
を含む第１センサ部と、
導電部材と、
を備え、
前記導電部材は、前記第１磁気素子に沿う第１対応部を含み、
前記第１磁気素子は、
第１磁性層と、
第１対向磁性層であって、前記第１磁性層から前記第１対向磁性層への方向は第１方向に沿う、前記第１対向磁性層と、
前記第１磁性層と前記第１対向磁性層との間に設けられた第１中間磁性層と、
を含み、
前記第１サイド磁性部は、第１サイド磁性層を含み、
前記第１対向サイド磁性部は、第１対向サイド磁性層を含み、
前記第１中間磁性層は、前記第１方向と交差する第２方向において、前記第１サイド磁性層と前記第１対向サイド磁性層と、の間にある、磁気センサ。

（構成２）
前記第１サイド磁性部と前記第１磁気素子との間の前記第２方向に沿う距離は、前記第１磁気素子の前記第２方向に沿う第１長さの０．０１倍以下である、構成１記載の磁気センサ。

（構成７）
前記第１積層磁性層の前記第２方向に沿う長さは、前記第１磁気素子の前記第２方向に沿う長さの０．０１倍以上０．１倍以下であり、
前記第１対向積層磁性層の前記第２方向に沿う長さは、前記第１磁気素子の前記第２方向に沿う前記長さの０．０１倍以上０．１倍以下である、構成５または６に記載の磁気センサ。

Claims (1)

1. 第１磁気素子と、
   第１サイド磁性部と、
   第１対向サイド磁性部と、
   を含む第１センサ部と、
   導電部材と、
   を備え、
   前記導電部材は、前記第１磁気素子に沿う第１対応部を含み、
   前記第１磁気素子は、
   第１磁性層と、
   第１対向磁性層であって、前記第１磁性層から前記第１対向磁性層への方向は第１方向に沿う、前記第１対向磁性層と、
   前記第１磁性層と前記第１対向磁性層との間に設けられた第１中間磁性層と、
   を含み、
   前記第１サイド磁性部は、第１サイド磁性層を含み、
   前記第１対向サイド磁性部は、第１対向サイド磁性層を含み、
   前記第１中間磁性層は、前記第１方向と交差する第２方向において、前記第１サイド磁性層と前記第１対向サイド磁性層と、の間にある、磁気センサ。