JPH08304466A - 電流計 - Google Patents
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- JPH08304466A JPH08304466A JP8116706A JP11670696A JPH08304466A JP H08304466 A JPH08304466 A JP H08304466A JP 8116706 A JP8116706 A JP 8116706A JP 11670696 A JP11670696 A JP 11670696A JP H08304466 A JPH08304466 A JP H08304466A
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- G01R15/14—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks
- G01R15/20—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices
- G01R15/205—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices using magneto-resistance devices, e.g. field plates
Abstract
(57)【要約】
【課題】 平面ホール効果磁気抵抗素子を用いた電流計
を提供する。 【解決手段】 この電流計は、磁気抵抗材料から基板の
第一の面の上に配置された薄い層に形成された素子と、
第一の方向（ＸＸ′）に沿った二つの領域で磁気抵抗素
子に接続され、該素子に電流を供給できるようにする第
一の接続手段と、第一の方向（ＸＸ′）に垂直な第二の
方向（ＹＹ′）に沿って配置された二つの領域で磁気抵
抗素子に接続される第二の接続手段とを備える。この電
流計によって、好ましくは第一の方向（ＸＸ′）に平行
な方向（ＺＺ′）に配向した導体中を流れる電流の値の
測定が可能になる。
を提供する。 【解決手段】 この電流計は、磁気抵抗材料から基板の
第一の面の上に配置された薄い層に形成された素子と、
第一の方向（ＸＸ′）に沿った二つの領域で磁気抵抗素
子に接続され、該素子に電流を供給できるようにする第
一の接続手段と、第一の方向（ＸＸ′）に垂直な第二の
方向（ＹＹ′）に沿って配置された二つの領域で磁気抵
抗素子に接続される第二の接続手段とを備える。この電
流計によって、好ましくは第一の方向（ＸＸ′）に平行
な方向（ＺＺ′）に配向した導体中を流れる電流の値の
測定が可能になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電流計に関し、更
に詳しくいえば、平面ホール効果磁気抵抗素子を備える
電流計に関する。この電流計は差動回路遮断器にも応用
できる。
に詳しくいえば、平面ホール効果磁気抵抗素子を備える
電流計に関する。この電流計は差動回路遮断器にも応用
できる。
【０００２】
【従来の技術】フランス特許出願第９３１５５５１号
に、平らなホール効果磁気感受素子を基にした低い磁界
センサが記述されている。
に、平らなホール効果磁気感受素子を基にした低い磁界
センサが記述されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この種のセンサは強磁
性薄膜における異方性磁気抵抗効果の横方向測定を利用
している。図１は磁気感受層を示す。電流Ｉが層の方向
ＸＸ′に流れ、抵抗率を方向ＹＹ′で測定する。この抵
抗率はセンサに加えられる磁化Ｍの関数として変化す
る。更に、それは磁化と電流の方向ＸＸ′の間の角度θ
の関数である。
性薄膜における異方性磁気抵抗効果の横方向測定を利用
している。図１は磁気感受層を示す。電流Ｉが層の方向
ＸＸ′に流れ、抵抗率を方向ＹＹ′で測定する。この抵
抗率はセンサに加えられる磁化Ｍの関数として変化す
る。更に、それは磁化と電流の方向ＸＸ′の間の角度θ
の関数である。
【０００４】
【数１】
【０００５】縦方向測定磁気抵抗センサと比較した平面
ホール効果センサの二つの主な利点は、第一に、関連す
る技術が非常に簡単になること、第二に、低い周波数
（１ヘルツ付近）におけるノイズの主成分である熱ドリ
フトが約４桁も減少することである。このセンサはその
構造によって、その供給方向に垂直な磁界成分のみに感
受性を有するようにできる。その寸法を磁区（ｍａｇｎ
ｅｔｉｃ ｄｏｍａｉｎ）の大きさより小さくできる。
これによって壁の移動に関連するノイズ源をなくすこと
ができる。この種のセンサの原型について、４桁を越え
る初期応答の測定を行った（Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓ
ｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ、１９９５年５月１５日号所載
のＡ．Ｓｃｈｕｈｌ，Ｆ．Ｎｇｕｙｅｎ−Ｖａｎ−Ｄａ
ｕおよびＪ．Ｒ．Ｃｈｉｌｄｒｅｓｓの論文参照）。
ホール効果センサの二つの主な利点は、第一に、関連す
る技術が非常に簡単になること、第二に、低い周波数
（１ヘルツ付近）におけるノイズの主成分である熱ドリ
フトが約４桁も減少することである。このセンサはその
構造によって、その供給方向に垂直な磁界成分のみに感
受性を有するようにできる。その寸法を磁区（ｍａｇｎ
ｅｔｉｃ ｄｏｍａｉｎ）の大きさより小さくできる。
これによって壁の移動に関連するノイズ源をなくすこと
ができる。この種のセンサの原型について、４桁を越え
る初期応答の測定を行った（Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓ
ｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ、１９９５年５月１５日号所載
のＡ．Ｓｃｈｕｈｌ，Ｆ．Ｎｇｕｙｅｎ−Ｖａｎ−Ｄａ
ｕおよびＪ．Ｒ．Ｃｈｉｌｄｒｅｓｓの論文参照）。
【０００６】
【課題を解決するための手段】したがって、本発明は、
磁気抵抗材料から基板の第一の面の上に配置された薄い
層に形成された素子と、第一の方向（ＸＸ′）にある二
つの領域で磁気抵抗素子に接続され、該素子に電流を供
給できるようにする第一の接続手段と、第一の方向（Ｘ
Ｘ′）に垂直な第二の方向（ＹＹ′）に沿って配置され
た二つの領域で前記磁気抵抗素子に接続された第二の接
続手段とを備える電流計に関する。
磁気抵抗材料から基板の第一の面の上に配置された薄い
層に形成された素子と、第一の方向（ＸＸ′）にある二
つの領域で磁気抵抗素子に接続され、該素子に電流を供
給できるようにする第一の接続手段と、第一の方向（Ｘ
Ｘ′）に垂直な第二の方向（ＹＹ′）に沿って配置され
た二つの領域で前記磁気抵抗素子に接続された第二の接
続手段とを備える電流計に関する。
【０００７】
【発明の実施の形態】図２を参照して本発明の電流計の
実施例について説明する。
実施例について説明する。
【０００８】基板５に素子１が設けられる。この素子は
正方形にすることが好ましいが、長方形にすることもで
きる。この素子は、平面ホール効果を得るために使用で
きる磁気抵抗材料の薄い層の形で形成される。この材料
は層の平面に配向した異方性を有することが好ましい。
たとえば、層の厚さは０．０１μｍから１μｍの範囲
（たとえば、０．０２μｍ）であり、素子１の幅と長さ
は１０μｍから５０μｍの範囲（たとえば、２０μｍ）
である。軸ＸＸ′に沿って、素子１はその二つの端部
に、素子１中に電流ｉを流す電源２の接続を可能にする
接続領域２′、２″を有する。この電流ｉは直流電流
で、一定であることが好ましい。
正方形にすることが好ましいが、長方形にすることもで
きる。この素子は、平面ホール効果を得るために使用で
きる磁気抵抗材料の薄い層の形で形成される。この材料
は層の平面に配向した異方性を有することが好ましい。
たとえば、層の厚さは０．０１μｍから１μｍの範囲
（たとえば、０．０２μｍ）であり、素子１の幅と長さ
は１０μｍから５０μｍの範囲（たとえば、２０μｍ）
である。軸ＸＸ′に沿って、素子１はその二つの端部
に、素子１中に電流ｉを流す電源２の接続を可能にする
接続領域２′、２″を有する。この電流ｉは直流電流
で、一定であることが好ましい。
【０００９】素子１の各側に、ＸＸ′軸に垂直なＹＹ′
軸に沿って二つの接続素子３′、３″が接続される。そ
れらの接続素子によって電圧測定器または抵抗率測定器
３が接続できるようになる。各接続領域２′、２″と各
接続素子３′、３″の幅は素子１の一つの側の幅と同じ
である。更に、ジョンソンノイズおよび電力消費に関連
する制約を低減するために、それらの接続領域の幅を迅
速に広くするようにされている。
軸に沿って二つの接続素子３′、３″が接続される。そ
れらの接続素子によって電圧測定器または抵抗率測定器
３が接続できるようになる。各接続領域２′、２″と各
接続素子３′、３″の幅は素子１の一つの側の幅と同じ
である。更に、ジョンソンノイズおよび電力消費に関連
する制約を低減するために、それらの接続領域の幅を迅
速に広くするようにされている。
【００１０】素子１は絶縁体６で覆われる。
【００１１】絶縁体層上には、導体４などの、電流Ｉの
流れを測定可能にする手段が設けられる。
流れを測定可能にする手段が設けられる。
【００１２】導体４中に電流（直流または交流）が流れ
ると、横方向（方向ＺＺ′に沿う）磁界を発生し、この
磁界はセンサで検出できる。以下の桁数の計算から分か
るように、導体の幅が素子１とセンサの間の距離より広
いという制限内にあると有利である。導体４と素子１の
間の絶縁体の選択は、測定すべき電流の範囲に依存す
る。この絶縁体は層１の上に付着された層でも、較正さ
れた自由空間でもよい。唯一の制約は、この導体中の電
流の流れに関連する磁界がセンサのレベルに最低一つの
横成分を有するように、ワイヤがセンサの供給方向に平
行でなければならないことである。特に、この導体を図
２に示すようにセンサの真上に配置する必要はない。
ると、横方向（方向ＺＺ′に沿う）磁界を発生し、この
磁界はセンサで検出できる。以下の桁数の計算から分か
るように、導体の幅が素子１とセンサの間の距離より広
いという制限内にあると有利である。導体４と素子１の
間の絶縁体の選択は、測定すべき電流の範囲に依存す
る。この絶縁体は層１の上に付着された層でも、較正さ
れた自由空間でもよい。唯一の制約は、この導体中の電
流の流れに関連する磁界がセンサのレベルに最低一つの
横成分を有するように、ワイヤがセンサの供給方向に平
行でなければならないことである。特に、この導体を図
２に示すようにセンサの真上に配置する必要はない。
【００１３】振幅Ｉの測定電流によってセンサに誘導さ
れた磁界の大きさの計算は次の式によって行う。
れた磁界の大きさの計算は次の式によって行う。
【００１４】 Ｂ＝（μ０I ／πＬ）＊a ｒｃｔａｎ（Ｌ／２Ｄ） ここで、Ｌは測定すべき電流を伝える導体４の幅、Ｄは
導体４と素子１の間の距離である。
導体４と素子１の間の距離である。
【００１５】Ｌ／２Ｄ＞＞１のとき、Ｂ〜μ０I ／２Ｌ
を得る。
を得る。
【００１６】したがって、Ｌ＞＞２Ｄである境界線の場
合には、この電流計の感度は電流線４と素子１の間の距
離からは独立している。
合には、この電流計の感度は電流線４と素子１の間の距
離からは独立している。
【００１７】本発明の価値を理解できるように、以下に
本発明の二つの例示的応用例を示す。これらの応用例
は、１０ｎＴから１ｍＴまでの範囲の磁界を検出する同
じ一つの検出素子を有する二つの異なる構造に対応す
る。
本発明の二つの例示的応用例を示す。これらの応用例
は、１０ｎＴから１ｍＴまでの範囲の磁界を検出する同
じ一つの検出素子を有する二つの異なる構造に対応す
る。
【００１８】例として、二つの可能な構成について以下
に説明する。
に説明する。
【００１９】構成１：Ｌ＝３００μｍおよびＤ＝１μ
ｍ、その結果Ｂ／Ｉ＝２．１ｍＴ／Ａ＝２１ｍＧ／ｍＡ
となる。
ｍ、その結果Ｂ／Ｉ＝２．１ｍＴ／Ａ＝２１ｍＧ／ｍＡ
となる。
【００２０】構成２：Ｌ＝１ｃｍおよびＤ＝１ｍｍ、そ
の結果Ｂ／Ｉ＝３．１５ １０-5Ｔ／Ａ＝０．３１５Ｇ
／Ａとなる。
の結果Ｂ／Ｉ＝３．１５ １０-5Ｔ／Ａ＝０．３１５Ｇ
／Ａとなる。
【００２１】構成１に従って製作したセンサは５μＡか
ら５００ｍＡまでの電流を測定する。構成２に従って製
作したセンサは、３００μＡから３０Ａまでの電流を測
定する。センサの典型的な感度が１００Ｖ／Ｔ．Ａ．で
あり、センサの素子１に供給される電流が１０ｍＡの場
合には、電流計について得られた感度は、構成１の場合
は２．１ｍＶ／Ａ、構成２の場合は３１．５μＶ／Ａで
ある。
ら５００ｍＡまでの電流を測定する。構成２に従って製
作したセンサは、３００μＡから３０Ａまでの電流を測
定する。センサの典型的な感度が１００Ｖ／Ｔ．Ａ．で
あり、センサの素子１に供給される電流が１０ｍＡの場
合には、電流計について得られた感度は、構成１の場合
は２．１ｍＶ／Ａ、構成２の場合は３１．５μＶ／Ａで
ある。
【００２２】図３のグラフに本発明による電流計の応答
の例を示す。
の例を示す。
【００２３】図４に、基板５の素子１が設けられている
面とは反対側の面に導体４が配置される、本発明の別の
実施形態を示す。この場合、基板は絶縁基板でなければ
ならず、その厚さが素子１と導体４の間の距離Ｄを決定
する。
面とは反対側の面に導体４が配置される、本発明の別の
実施形態を示す。この場合、基板は絶縁基板でなければ
ならず、その厚さが素子１と導体４の間の距離Ｄを決定
する。
【００２４】以上説明した平面ホール効果センサを用い
ると、無接触電流計、すなわち、電気回路素子（たとえ
ば、ワイヤ）に接続する必要なしにその素子中を流れる
電流の測定を可能にする装置の製作が可能である。この
ために、図５ａと図５ｂに示すように、センサの被制御
距離を可能にする回路素子４用の機械的ハウジングが設
けられる。たとえば、図５ａにおいて、基板の素子１と
反対側の裏面に、強さＩを測定すべき電流が流れる導体
を、軸ＺＺ′に沿って配置できるようにする手段が設け
られる。それらの配置手段は基板の上に引いた参照マー
クであってもよい。図５ａによれば、導体を置く溝７を
設けることが計画されている。溝の代わりにボスを設け
ることも計画できる。
ると、無接触電流計、すなわち、電気回路素子（たとえ
ば、ワイヤ）に接続する必要なしにその素子中を流れる
電流の測定を可能にする装置の製作が可能である。この
ために、図５ａと図５ｂに示すように、センサの被制御
距離を可能にする回路素子４用の機械的ハウジングが設
けられる。たとえば、図５ａにおいて、基板の素子１と
反対側の裏面に、強さＩを測定すべき電流が流れる導体
を、軸ＺＺ′に沿って配置できるようにする手段が設け
られる。それらの配置手段は基板の上に引いた参照マー
クであってもよい。図５ａによれば、導体を置く溝７を
設けることが計画されている。溝の代わりにボスを設け
ることも計画できる。
【００２５】図５ｂは図５ａの変形例であり、溝７を絶
縁体層６に設けている。
縁体層６に設けている。
【００２６】複数のセンサを測定すべき電流の流れを横
切るように置くことにより、回路素子４の横寸法Ｌが不
明であること、またはこの寸法が素子とセンサの間の距
離より充分大きくないかもしれないということに起因す
る問題が解決できる。各センサについて行う測定と、セ
ンサの間の距離についての知識とを用いて、二つの未知
量、すなわち回路素子の横寸法と電流の強さを推定でき
る。
切るように置くことにより、回路素子４の横寸法Ｌが不
明であること、またはこの寸法が素子とセンサの間の距
離より充分大きくないかもしれないということに起因す
る問題が解決できる。各センサについて行う測定と、セ
ンサの間の距離についての知識とを用いて、二つの未知
量、すなわち回路素子の横寸法と電流の強さを推定でき
る。
【００２７】この改良によって、寸法（ワイヤ＋被覆の
直径）がワイヤとセンサの間の距離と同じ程度の大きさ
である場合には、電流を一層正確に測定できる。
直径）がワイヤとセンサの間の距離と同じ程度の大きさ
である場合には、電流を一層正確に測定できる。
【００２８】図８に、三個のセンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３を
基板上に並べて置いた特定の例を示す。
基板上に並べて置いた特定の例を示す。
【００２９】この種の装置は次のように動作する。セン
サＣ１とＣ３で同一の応答が得られるまで全てのセンサ
を動かす。そうすると、測定すべき電流は次式によって
与えられる。
サＣ１とＣ３で同一の応答が得られるまで全てのセンサ
を動かす。そうすると、測定すべき電流は次式によって
与えられる。
【００３０】
【数２】
【００３１】ここで、「ａ」は二個のセンサ（Ｃ１−Ｃ
２およびＣ２−Ｃ３）の間の距離、Ｂ２とＢ３はセンサ
Ｃ２、Ｃ３の応答である。
２およびＣ２−Ｃ３）の間の距離、Ｂ２とＢ３はセンサ
Ｃ２、Ｃ３の応答である。
【００３２】使用に便利であるという理由から、電流計
を電流計クランプ（図５ｃ）などクランプ７の形にでき
る。このクランプは電流計の検出素子１の前に導体を配
置できるようにするものである。次に素子１をクランプ
のアーム中の導体４の付近に配置する。
を電流計クランプ（図５ｃ）などクランプ７の形にでき
る。このクランプは電流計の検出素子１の前に導体を配
置できるようにするものである。次に素子１をクランプ
のアーム中の導体４の付近に配置する。
【００３３】より一般的でより基本的な実施形態におい
ては、測定すべき電流が流れる導体を配置するどのよう
な手段も設けないことも可能である。その場合、操作
は、電流計の検出部（素子１）を導体の付近に置き、電
圧（または抵抗率）の最高値を得るようにしてそれを回
転させることに限られる。この最高値が測定値を与え
る。
ては、測定すべき電流が流れる導体を配置するどのよう
な手段も設けないことも可能である。その場合、操作
は、電流計の検出部（素子１）を導体の付近に置き、電
圧（または抵抗率）の最高値を得るようにしてそれを回
転させることに限られる。この最高値が測定値を与え
る。
【００３４】本発明は二つの導体中を流れる二つの電流
の差の測定にも関する。
の差の測定にも関する。
【００３５】図６は、強さがＩｅとＩｓである電流が流
れる二つの導体４と４′における電流の差を、センサＣ
４、Ｃ５で測定するために使用できる電流計を示す。
れる二つの導体４と４′における電流の差を、センサＣ
４、Ｃ５で測定するために使用できる電流計を示す。
【００３６】電流の強さＩｅとＩｓの値を、おのおの上
記した二つのセンサによって測定する。その後でセンサ
の出力信号を場合に応じて増幅してから比較できる。
記した二つのセンサによって測定する。その後でセンサ
の出力信号を場合に応じて増幅してから比較できる。
【００３７】本発明は特に差回路遮断器に応用される。
引き込み線における電流の強さ（Ｉｅ）と引き出し線に
おける電流の強さ（Ｉｓ）の差の測定によって、漏れ電
流の検出が可能になり、したがって電流の入力をカット
することが可能になる。
引き込み線における電流の強さ（Ｉｅ）と引き出し線に
おける電流の強さ（Ｉｓ）の差の測定によって、漏れ電
流の検出が可能になり、したがって電流の入力をカット
することが可能になる。
【００３８】本発明は直流装置（エレクトロニクスおよ
び航行）や交流装置にも応用できる。
び航行）や交流装置にも応用できる。
【００３９】図７ａは差動電流計を製作する方法を示す
もので、図２に示す実施形態から導かれるものである。
センサの各側に導体４と４′が設けられる。導体４は絶
縁体層６の上に配置され、導体４′は基板５の検出素子
１が配置されている面とは反対側の面に配置される。絶
縁体層３と基板５の厚さは同じであり、したがって導体
４、４′は素子１から同じ距離になる。導体４、４′を
流れる電流は互いに逆向きで、同相であることがわか
る。それらの条件が満たされ、電流が等しいとすると、
電流によって誘導される磁界は素子１の内部では互いに
打ち消し合う。しかし、それらの電流が等しくないとす
ると、より強い方の電流による磁界が優勢で、端子３−
３′で零でない電圧が検出される。
もので、図２に示す実施形態から導かれるものである。
センサの各側に導体４と４′が設けられる。導体４は絶
縁体層６の上に配置され、導体４′は基板５の検出素子
１が配置されている面とは反対側の面に配置される。絶
縁体層３と基板５の厚さは同じであり、したがって導体
４、４′は素子１から同じ距離になる。導体４、４′を
流れる電流は互いに逆向きで、同相であることがわか
る。それらの条件が満たされ、電流が等しいとすると、
電流によって誘導される磁界は素子１の内部では互いに
打ち消し合う。しかし、それらの電流が等しくないとす
ると、より強い方の電流による磁界が優勢で、端子３−
３′で零でない電圧が検出される。
【００４０】図７ｂに示す一つの変形例によれば、導体
４、４′をセンサの同じ面、たとえば、絶縁体層６の上
に配置することによって差動電流計を製作することもで
きる。その場合は、センサの検出素子１から同一距離に
なるように、導体４、４′を配置できる。
４、４′をセンサの同じ面、たとえば、絶縁体層６の上
に配置することによって差動電流計を製作することもで
きる。その場合は、センサの検出素子１から同一距離に
なるように、導体４、４′を配置できる。
【図１】平面ホール効果装置を示す図である。
【図２】本発明による装置の例示的実施形態を示す図で
ある。
ある。
【図３】本発明による電流計の応答曲線を示すグラフで
ある。
ある。
【図４】図２に示す電流計の変形例を示す図である。
【図５ａ】電流を測定しようとする導体を配置する手段
を示す図である。
を示す図である。
【図５ｂ】電流を測定しようとする導体を配置する手段
を示す図である。
を示す図である。
【図５ｃ】電流を測定しようとする導体を配置する手段
を示す図である。
を示す図である。
【図６】差動電流計の回路を示す図である。
【図７ａ】本発明の電流計を応用した、よりコンパクト
な差動電流計を示す図である。
な差動電流計を示す図である。
【図７ｂ】本発明の電流計を応用した、よりコンパクト
な差動電流計を示す図である。
な差動電流計を示す図である。
【図８】導体を配置する手段を必要としない複数のセン
サを有する電流計を示す図である。
サを有する電流計を示す図である。
１ 素子 ２ 電源 ２′、２″ 接続領域 ３ 抵抗率測定器 ３′、３″ 接続素子 ４ 導体 ５ 基板 ６ 絶縁体
Claims (14)
- 【請求項１】 磁気抵抗材料から基板の第一の面の上に
配置された薄い層に形成された素子と、 第一の方向（ＸＸ′）に沿った二つの領域で磁気抵抗素
子に接続され、該素子に電流を供給できるようにする第
一の接続手段と、 第一の方向（ＸＸ′）に垂直な第二の方向（ＹＹ′）に
沿って配置された二つの領域で前記磁気抵抗素子に接続
された第二の接続手段とを備える電流計。 - 【請求項２】 磁気抵抗素子の付近で、第一の方向（Ｘ
Ｘ′）にほぼ平行な第三の方向（ＺＺ′）に沿って第一
の電流（Ｉ）の流れを測定できるようにする第一の手段
を備える請求項１に記載の電流計。 - 【請求項３】 電流の循環を測定できるようにする手段
が、外部回路の接続のための接続手段を備えた導体を備
える請求項２に記載の電流計。 - 【請求項４】 磁気抵抗層が基板の第一の面の上に配置
され、導体が基板の第一の面とは反対側の第二の面の上
に配置される請求項３に記載の電流計。 - 【請求項５】 磁気抵抗層が絶縁体層で覆われ、導体が
該絶縁体層の上に配置される請求項３に記載の電流計。 - 【請求項６】 磁気抵抗層の近くで、第一の方向（Ｘ
Ｘ′）にほぼ平行な第三の方向（ＺＺ′）に導体を配置
できるようにする手段を備える請求項１に記載の電流
計。 - 【請求項７】 基板または絶縁体層の第二の面が導体を
第三の方向（ＺＺ′）に対応する位置に固定する手段を
備える請求項４、５または６のいずれか一項に記載の電
流計。 - 【請求項８】 固定手段が溝を備える請求項７に記載の
電流計。 - 【請求項９】 クランプを備え、このクランプによって
導体をクランプのアームの間でつかむことができ、クラ
ンプのアームの一つが磁気抵抗材料で形成された素子を
備える請求項７に記載の電流計。 - 【請求項１０】 第三の方向に平行な第四の方向（Ｔ
Ｔ′）に沿って第二の電流（Ｉ′）の循環を可能にする
第二の手段を備え、これら第一の手段および第二の手段
が磁気抵抗素子から同じ一つの距離にある請求項２に記
載の電流計。 - 【請求項１１】 第一の手段および第二の手段が磁気抵
抗素子の各側に配置される請求項１０に記載の電流計。 - 【請求項１２】 薄い層から形成され、また、接続手段
を備える別の磁気抵抗素子と、 該素子の付近で、前記別の素子に平行な別の方向に第二
の電流を流すことを可能にする手段と、 二つの磁気抵抗素子の接続手段に対して行った電圧測定
の結果を比較する比較手段とを備える請求項２に記載の
電流計。 - 【請求項１３】磁気抵抗素子の材料が、該材料の磁化方
向を基板の第一の面に平行な面の方向に維持する異方性
を有する請求項１に記載の電流計。 - 【請求項１４】 第二の方向（ＹＹ′）に沿った幅が１
０ないし５０μｍの場合に、磁気抵抗素子の厚さが約
０．０１μｍないし１μｍであり、第一の方向（Ｘ
Ｘ′）に沿った接続手段の幅が約１０μｍないし５０μ
ｍである請求項１に記載の電流計。
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